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专利名称：激光测试装置的制作方法
技术领域：
激光测试装置
技术领域：
本实用新型涉及一种测试装置，尤其是一种激光测试装置。背景技术：
传统的激光测试装置，特别是激光功率或能量测试装置，一般采用吸收器对待测 激光进行吸收测试。但一般未设置散热结构或采用在吸收器设置水冷结构，但由于吸收器 本身结构的限制，水冷结构设置受限，无法合理进行散热。且激光的大部分能量都积聚在吸 收器中进行吸收，会使吸收器温升过高，尤其当测试大功率的激光时，由于得不到适当的散 热，吸收器的温度会急剧升高，导致吸收器严重变形，甚至熔化。

实用新型内容基于此，有必要提供一种能避免吸收器中温度升高过快的激光测试装置。一种激光测试装置，包括吸收器，所述吸收器包括壳体及设置在所述壳体中的反 射镜，所述反射镜与入射激光成一倾斜角度设置，所述吸收器还包括设置在所述壳体中并 反射所述反射镜的透射光的反射座，所述吸收器连接设有与所述反射座相应设置并吸收所 述反射座的反射光的吸收座，所述反射座设置有与所述反射镜的透射光成一倾斜角度的反 射斜面。在优选的实施方式中，还包括与所述反射镜相应设置并吸收、检测所述反射镜的 反射光的测试单元，所述反射镜为分光镜，所述反射镜的反射率根据所述测试单元的量程 大小进行确定。在优选的实施方式中，，所述反射座的反射斜面与所述反射镜对应设置、并分别对 应倾斜45°设置。在优选的实施方式中，所述反射座的反射斜面设置有进行镀亮银处理形成的反射 层，所述反射座中及所述反射镜附近设置有温度探测器。在优选的实施方式中，所述反射座的基体为铜制基体，所述反射座中设置有装设 循环冷却水的水槽。在优选的实施方式中，所述吸收座为中空结构以形成吸收内腔，所述吸收内腔包 括吸收所述反射座的反射光并反射未被吸收的激光的圆锥形第一内腔。在优选的实施方式中，所述吸收内腔还包括与所述第一内腔远离所述反射座的一 端邻接并与所述第一内腔相通的柱状第二内腔。在优选的实施方式中，所述吸收座上远离所述反射座的一端设置有堵盖，所述堵 盖装设在所述吸收座的吸收内腔中将所述吸收座反射过来的激光再反射给所述吸收座吸 收，所述堵盖设置有反射所述吸收座的反射光的圆锥形反射部，所述堵盖中设置有水槽。在优选的实施方式中，所述堵盖为铜制堵盖，所述堵盖中设置有温度探测器，所述 堵盖的圆锥形反射部的中心与所述吸收座的吸收内腔中心不重合。在优选的实施方式中，所述吸收座为铝合金制成且内表面黑色电镀氧化处理的铝
3制吸收座，所述吸收座的侧部开设有水槽。上述的激光测试装置采用在吸收器上连接设置吸收座对反射镜透射的激光进行 吸收，且通过在吸收器中设置反射座将反射镜透射的激光反射到吸收座中，避免吸收器因 单一空间进行吸收而导致温度升高过快。且由于设置反射座将激光反射到吸收座中，激光 的大部分能量在吸收座中进行吸收，激光吸收散热空间增大，从而吸收器可以承受更大功 率的激光测试，也不会造成吸收器的变形、熔化。且经反射座、吸收座多次反射后，降低激光 被原路径反射回去的可能。由于吸收座单独设置且仅用于吸收激光，可以根据需要在吸收 座上合理进行散热结构的布置，不受吸收器结构的限制。

图1为本实用新型一实施例的激光测试装置的部分结构分解示意图；图2为本实用新型一实施例的激光测试装置的光路传播示意图。
具体实施方式如图1及图2所示，本实施例的一种激光测试装置100，包括吸收器102、与吸收 器102相应设置的测试单元、与吸收器102连接的吸收座80。吸收器102底部设置有底板 108进行支撑。本实施例的测试单元采用能量计或功率计104进行说明，同时本实施的激光测试 装置100采用作为用于激光能量或功率测试的激光能量或功率测试装置进行说明。吸收器102包括壳体20、设置壳体20中的反射镜40、设置在壳体20中并与反射 镜40相应设置反射座60。壳体20中形成有用于安装反射镜40的反射镜腔206及用于设置反射座60的反 射座腔208。本实施例中，反射镜40为分光镜，一部分光被反射，另一部分被透射出射。且 本实施例中，经过反射镜40的激光中被透射的激光占大部分。反射镜腔206中临近反射镜40处设置有温度探测器402。温度探测器402监测反 射镜40的温度，避免反射镜40温升过高。当温度探测器402探测到温度超过预设值时，则 发出报警信号进行警示，提醒操作人员进行冷却操作或停机操作。能量计或功率计104、与反射镜40相应进行设置，吸收并检测反射镜40反射过来 的反射光。本实施例中，能量计或功率计104、置于吸收座80上。吸收座80与壳体20连 接，并与能量计或功率计104设置在壳体20的同一侧。吸收器102的壳体20顶部设置有入射孔200，壳体20上与能量计或功率计104相 对应的部位设置有与反射镜腔206相通的测试孔202，壳体20上与吸收座80连接的位置设 置有与反射座腔208相通的反射吸收孔204。激光从壳体20的顶部的入射孔200垂直入射，到达反射镜40。反射镜40设置有 与入射激光成一倾斜角度设置的反射斜面400。本实施例中，反射斜面400与入射激光成 45°角设置。由于入射激光垂直入射，则反射镜40在吸收器102的壳体中成45°倾斜角度 设置。能量计或功率计104与反射镜40的反射光方向对应进行设置。本实施例中，根据能量计或功率计104的量程大小来确定所使用反射镜40的反射 率。被反射镜40反射的激光由吸收器102上的测试孔202射出被功率计或能量计104吸收并检测。反射座60与反射镜40相应进行设置，并与反射镜40的透射光成一倾斜角度设 置。本实施例中，将反射座60的反射斜面600设置为与反射镜40的透射光方向成45°倾 斜角度设置。反射座60的反射斜面600进行镀亮银处理以形成反射层604。反射层604的粗糙 度接近镜面标准RaO. 012，且对激光的反射率R > 96%，特别是针对于1060-1080nm的激光 反射效果更好。从而保证反射镜40透射到反射座60上的大部分激光被反射，小于4%的激 光被反射座60吸收。反射座60的基体606采用铜材料制成铜制基体，导热性能良好，反射座60所吸收 激光产生的热量可以很快通过热传导至反射座60的底部。反射座60的底部进一步设置有 水槽608。水槽608中通有循环冷却水，可以通过热对流带走热量，防止反射座60温升过 高。另反射座60中还设置有温度探测器65对反射座60的温度进行监测。如温度探测器 60感应到反射座60的温度超过预设值，则发出警报信号，以提示操作人员进行相应的操作 处理。吸收座80与反射座60相应进行设置，且通过反射吸收孔204与反射座腔208相 通，吸收反射座60反射过来的激光。吸收座80为中空结构以形成吸收内腔82。吸收内腔82的内表面吸收反射座60 反射过来的激光。吸收内腔82包括圆锥形的第一内腔820及柱状第二内腔822。第二内腔822设置在第一内腔820远离反射座60的一端并与第一内腔820邻接 相通。第一内腔820表面吸收一部分反射座60反射过来的一部分激光，并将另一部分未被 吸收的激光反射到第二内腔822。经反射座60反射的激光进入吸收座80的圆锥形的第一内腔820，光斑边缘能量密 度相对较低的激光直接被吸收座80的吸收内腔82表面吸收。吸收座80为铝合金制成铝制吸收座，且表面采用黑色电镀氧化处理。特别是吸收 内腔82表面采用黑色电镀氧化处理后，对激光的吸收率超过97%，入射到吸收座80的激光 在吸收内腔82内反射3-4次后即可全部被吸收座80吸收。吸收座80的侧部设置有水槽85。为了使吸收座更好的散热，本实施例中，吸收座 80的相对两侧都设置有水槽85。吸收座80吸收了大量的激光能量后温度会升高，特别是 大功率的激光能量，在吸收座80的水槽85中充满循环的冷却水，利用热对流带走热量降低 温度。更进一步，将吸收座80上的水槽85的深度设置达到30mm，甚至更大，增加了散热面 积，更利于冷却降温。吸收座80的远离反射座60的一端设置有堵盖90。堵盖90装设在吸收座80的吸 收内腔82中，并与第二内腔822邻接相通。堵盖90上设置有圆锥形反射部900。堵盖90 中设置有水槽905，以对堵盖90进行冷却散热。另堵盖90中还设置有温度探测器97，以对 堵盖90的温度进行监测，当堵盖90温度超过预设值时，温度探测器97发出报警信号进行报警。经反射座60反射的激光进入吸收座80的吸收内腔82，激光光斑边缘能量密度相 对较低的激光直接被吸收座80的吸收内腔82表面吸收，激光光斑中间能量密度较高部分 及经吸收座80的吸收内腔82表面反射后被反射在堵盖90的圆锥形反射部900的反射表
5面。本实施例中，堵盖90采用铜材料制成，对激光的反射率在90%左右，仅吸收10%左右 的激光能量，使大部分激光能量被反射，经堵盖90反射的激光，反射到吸收座80的吸收内 腔82表面被吸收。本实施例中，堵盖90的圆锥形的反射部900的锥面中心与吸收座80的吸收内腔 82的中心不重合，以避免激光能量最密集的光斑中间部分被直接反射回去。堵盖90采用圆 锥形反射部900，可使激光经圆锥形反射部900反射后指向各个方向，以避免激光能量过于 集中反射到吸收座80对吸收座80造成过度损耗。透过反射镜40的激光能量绝大部份(> 90% )被吸收座80吸收，其余分别被吸 收器的壳体20、反射座60和堵盖90吸收。反射座60、吸收座80、堵盖90等所有可能吸收 激光能量的部件均开设有水槽供冷却水通过以带走吸收激光能量产生的热量。本实施例中，堵盖90与吸收座80上的水槽除起冷却作用外，还可起到报警作用。 堵盖90、吸收座80因为长时间承受高功率激光能量，有可能被打穿，当部件被打穿至水槽 处，其中的冷却水会溢出，警示操作人员部件损坏应马上更换。在反射镜40、反射座60及堵盖90处分别设置有温度探测器，分别监测反射镜40、 反射座60及堵盖90的温度，如果温度过高则发出报警信号。本实施例，反射镜40采用分光镜将激光进行分光测试功率或能量，透过反射镜40 需要被吸收的激光经过反射座60反射后被吸收座80吸收，另一部反射到堵盖90上，经堵 盖90反射过来的激光再被吸收座80或吸收器102吸收。设置反射座60、吸收座80及堵盖 90，被反射镜40透射的激光经多次反射后再被吸收，降低激光被原路径反射回去的可能。 堵盖90设置圆锥形的反射部900进行锥面反射，保护堵盖90并分散反射激光能量，且采用 锥面可使激光经其反射后指向各个方向，同时保护吸收器102以避免激光能量过于集中对 吸收座80造成过度损耗。以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通 技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属 于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求一种激光测试装置，包括吸收器，所述吸收器包括壳体及设置在所述壳体中的反射镜，所述反射镜与入射激光成一倾斜角度设置，其特征在于，所述吸收器还包括设置在所述壳体中并反射所述反射镜的透射光的反射座，所述吸收器连接设有与所述反射座相应设置并吸收所述反射座的反射光的吸收座，所述反射座设置有与所述反射镜的透射光成一倾斜角度的反射斜面。
2.如权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于，还包括与所述反射镜相应设置并 吸收、检测所述反射镜的反射光的测试单元，所述反射镜为分光镜，所述反射镜的反射率根 据所述测试单元的量程大小进行确定。
3.如权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于，所述反射座的反射斜面与所述反 射镜对应设置、并分别对应倾斜45°设置。
4.如权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于，所述反射座的反射斜面设置有进 行镀亮银处理形成的反射层，所述反射座中及所述反射镜附近设置有温度探测器。
5.如权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于，所述反射座的基体为铜制基体，所 述反射座中设置有装设循环冷却水的水槽。
6.如权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于，所述吸收座为中空结构以形成吸 收内腔，所述吸收内腔包括吸收所述反射座的反射光并反射未被吸收的激光的圆锥形第一 内腔。
7.如权利要求6所述的激光测试装置，其特征在于，所述吸收内腔还包括与所述第一 内腔远离所述反射座的一端邻接并与所述第一内腔相通的柱状第二内腔。
8.如权利要求6所述的激光测试装置，其特征在于，所述吸收座上远离所述反射座的 一端设置有堵盖，所述堵盖装设在所述吸收座的吸收内腔中将所述吸收座反射过来的激光 再反射给所述吸收座吸收，所述堵盖设置有反射所述吸收座的反射光的圆锥形反射部，所 述堵盖中设置有水槽。
9.如权利要求8所述的激光测试装置，其特征在于，所述堵盖的圆锥形反射部的中心 与所述吸收座的吸收内腔中心不重合，所述堵盖为铜制堵盖且堵盖中设置有温度探测器。
10.如权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于，所述吸收座为铝合金制成且内表 面黑色电镀氧化处理的铝制吸收座，所述吸收座的侧部开设有水槽。
专利摘要激光测试装置，包括吸收器，吸收器包括壳体及反射镜，反射镜与入射激光成一倾斜角度设置，吸收器还包括设置在所述壳体中并反射所述反射镜的透射光的反射座，吸收器连接设有与反射座相应设置并吸收反射座的反射光的吸收座，反射座设置有与反射镜的透射光成一倾斜角度的反射斜面；上述的激光测试装置采用在吸收器上连接设置吸收座对反射镜透射的激光进行吸收，避免吸收器因单一空间进行吸收而导致温度升高过快。且由于设置反射座将激光反射到吸收座中，激光的大部分能量在吸收座中进行吸收，激光吸收散热空间增大，从而吸收器可以承受更大功率的激光测试，不会造成吸收器的变形、熔化。
文档编号G01J1/02GK201688913SQ20102015675
公开日2010年12月29日 申请日期2010年4月6日 优先权日2010年4月6日
发明者苟忠超, 赵磊, 高云峰, 黄苏梅 申请人:深圳市大族激光科技股份有限公司