专利名称：透明材料折射率干涉测量仪的制作方法
技术领域：
本实用新型与透明材料有关，特别是一种透明材料折射率干涉测量仪。
2.该测定仪通过转动样品改变光程差，需要转动很大角度才能得到大量的条纹变化量，以达到其测量精度。但引起光束偏转很大，可能破坏其干涉。
3.该测定仪影响测量精度的因素很多，例如样品厚度、光源波长、转动角度和条纹变化量等的误差都会影响该测定仪的测量精度。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题在于克服上述现有技术在测量透明材料折射率方面的困难，提供一种透明材料折射率干涉测量仪。
本实用新型的技术解决方案如下一种透明材料折射率干涉测量仪，包括激光光源，在光束前进的方向上依次有准直透镜、第一半透半反镜、组合平板样品、第一全反镜，在第一半透半反镜的反射光路上设有第二全反镜，在第二全反镜的反射光路和第一全反镜的反射光路的交点处设有第二半透半的镜，在该第二半透半反镜的透射光路上设有第二光阑和第二光电接收器，在第一半透半反镜的另一透射方向设有第一光阑和第一光电接收器，第一光电接收器和第二光电接收器的输出端与数据采集系统相连，该数据采集系统再接一计算机。
在第一半透半反镜和组合平板样品之间还设有第一偏振片，在第一半透半反镜和第二全反镜之间还设有第二偏振片，以适应利用透明材料折射率干涉测量仪测量各向异性透明材料的需要。
所述的组合平板样品是由相同的两块尖劈相对叠合而成的矩形样品，其两通光面的平整度＜0.5，光洁度PIII，组合后的平行度≤10”。
本实用新型的技术效果如下1.本实用新型装置透明材料折射率测量精度达10-5～10-6；2.本实用新型在测试过程中不用测角仪；3.在样品移动过程中，光束方向不产生变化，不会破坏干涉；4.折射率只与条纹变化量有关，影响测量精度的因素较少；5.所测折射率上限达2.7，可测量从紫外到红外的材料折射率。
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。
图2为本实用新型样品加工示意图。
测量各向异性材料时，在干涉测量仪的两臂分别加入第一偏振片6和第二偏振片16。
利用不同波长的激光光源，可以测量材料从紫外到近红外的折射率，从而得到材料的色散和阿贝尔数。
组合平板样品7加工技术要求如下1.如图2所示将矩形样品沿对角线切割成相同的两块701、702，并将两切面磨光后光胶成整体再按图2技术要求加工；然后加温使样品分离；2.两通光面平整度N＜0.5，光洁度PIII，组合后平行度≤10”；3.其余面320号砂磨毛，所有棱倒角为0.5nm。
本实用新型透明材料折射率干涉测量仪的构成将包括四个模块配置各种波长(如532、650、1060nm等)激光组成多波长测量系统的第一模块；包括
图1所示光路的组合干涉仪、组合样品架和步进电机组成的第二�？樽魑瞧鞯闹魈澹徊捎霉獾缃邮掌�、低噪声直流放大器、数据采集及图像处理组成仪器的第三个�？椋还炭刂�、数据采集、图像处理和数据处理分析软件和电脑组成系统的第四�？�。
只要将组合平板样品放置光路中，并将干涉条纹级别调到接近零�。杉扑慊刂撇浇泶锎�701沿702棱镜斜面缓慢移动。周期性电信号送入计算机进行条纹计数和识别，最后计算出测量结果。整个测量中只要将样品放入并微调干涉仪，其余工作可全部由电脑控制完成。
权利要求1.一种透明材料折射率干涉测量仪，其特征在于它包括激光光源(1)，在光束前进的方向上依次有准直透镜(2)、第一半透半反镜(3)、组合平板样品(7)、第一全反镜(8)，在第一半透半反镜(3)的反射光路上设有第二全反镜(15)，在第二全反镜(15)的反射光路和第一全反镜(8)的反射光路的交点处设有第二半透半反镜(14)，在该第二半透半反镜(14)的透射光路中设有第二光阑(13)和第二光电接收器(12)，在第一半透半反镜(3)的另一透射方向设有第一光阑(5)和第一光电接收器(4)，第一光电接收器(4)和第二光电接收器(12)与数据采集系统(9)相连，该数据采集系统(9)再接一计算机(10)。
2.根据权利要求1所述的透明材料折射率干涉测量仪，其特征在于第一半透半反镜(3)和组合平板样品(7)之间还设有第一偏振片(6)，在第一半透半反镜(3)和第二全反镜(15)之间还设有第二偏振片(16)。
3.根据权利要求2所述的透明材料折射率干涉测量仪，其特征在于所述组合平板样品(7)是由相同的两块尖臂相对叠合而成的矩形样品，其两通光面的平整度＜0.5，光洁度PIII，组合的平行度≤10”。
专利摘要一种透明材料折射率干涉测量仪，主要是将待测材料制成两块对称棱镜组成的组合平板样品，并将其置于马赫－陈德尔干涉仪一臂上，产生两路干涉，一路是马赫－陈德尔干涉，另一路是组合平板样品的两通光面形成的等厚干涉，组合平板样品中的一块固定，另一块沿固定块平移的同时，精密测定移动过程中两路干涉条纹的变化量m
文档编号G01N21/41GK2599568SQ0228366
公开日2004年1月14日 申请日期2002年12月27日 优先权日2002年12月27日
发明者黄国松, 李顺光 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
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