专利名称：一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及微机械陀螺，尤其涉及一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法及其装置。
背景技术：
微机械陀螺是一种感知外界转动信息的惯性传感器，因其体积小、功耗低、可批量产生等优点，逐渐在民用甚至军用领域得到重视。微机械陀螺的稳定工作需依赖于其驱动模态持续和稳定的振动，而微机械陀螺本身参数的漂移对驱动模态的振动控制电路提出了一定的要求。带有调谐结构的微机械陀螺由于对制造工艺不完善造成的器件缺陷具有一定的 弥补作用而得到了广泛研究，多种结构的可调谐微机械陀螺也开始被广泛研制出来，加工可调谐微机械陀螺在技术上已得到实现。现有的微机械陀螺驱动技术普遍使驱动信号适应微机械陀螺参数的漂移而变化，以保证驱动模态振动信号的幅度保持恒定，但振动信号的频率却往往是变化的，这不但增加了微机械陀螺系统信号处理的复杂性，也会影响系统中与频率相关�？楣ぷ鞯奈榷ㄐ裕贾峦勇菪藕偶觳獾牟晃榷ㄐ�。因此，现有的微机械陀螺驱动方法本身会对微机械陀螺系统带来一定的不稳定性。现有的微机械陀螺驱动技术中也不乏可以保持驱动频率不变的技术，但这些技术或是要求信号检测电路不能存在较大的延时，或是要求较为复杂的控制电路。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足，同时利用日益广泛的可调谐微机械陀螺，提供一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法及其装置。可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法是恒频驱动信号相对于参考频率源具有恒定的频率，通过相位差检测得到恒频驱动信号与驱动模态输出信号的相位差信号，利用相位差信号来反馈控制得到调谐信号，将调谐信号施加于可调谐微机械陀螺的调谐结构上，调整可调谐微机械陀螺驱动模态的谐振频率，使驱动模态的谐振频率锁定在恒频驱动信号的频率上。方法的具体步骤如下
1)交流驱动信号产生�？楦莘群拖辔惶崛∧？槭涑龅姆刃藕爬床涣髑藕牛痹夭ㄐ藕挪？椴夭ㄐ藕牛涣髑藕庞朐夭ㄐ藕啪嗉雍蟛涣餍藕牛涣餍藕攀淙肭藕挪？椋藕挪？楦菔淙氲慕涣餍藕藕湍？樽陨淼闹绷髌美床藕牛淙胫量傻餍澄⒒低勇莸那藕攀淙攵艘圆驳缜辞傻餍澄⒒低勇菡穸蓖瓿稍夭ǖ髦疲�
2)调谐信号产生�？楦莘群拖辔惶崛∧？槭涑龅南辔恍藕爬床餍承藕牛淙胫量傻餍澄⒒低勇莸牡餍承藕攀淙攵死吹髡⒒低勇莸男痴衿德剩�3)信号检测�？榧觳饪傻餍澄⒒低勇菟婢驳缌ψ饔枚恼穸藕牛穸藕抛怀煽刹饬康牡缪剐藕牛蓖瓿啥缘髦菩藕诺慕獾鳎�
4)幅度和相位提取模块对信号检测�？槭涑龅牡缪剐藕沤蟹群拖辔惶崛。玫较辔恍藕藕头刃藕牛辔恍藕攀淙胫恋餍承藕挪？椋刃藕攀淙胫两涣髑藕挪？�。所述调谐信号产生模块是将如步骤4)所述的相位信号与驱动模态谐振时的参考相位进行对比，得到误差信号，将误差信号通过控制器控制来自适应地产生调谐信号，调谐信号加上偏置量后输入至可调谐微机械陀螺的调谐结构上，用以补偿可调谐微机械陀螺谐振频率的变化，保持如步骤4)所述的相位信号恒定。
所述交流驱动信号产生�？槭墙绮街�4)所述的幅度信号与驱动模态谐振时的参考幅度进行对比，得到误差信号，将误差信号通过控制器控制来自适应地改变交流驱动信号的幅度，保持如步骤4)所述的幅度信号恒定。可调谐微机械陀螺的恒频驱动装置包括可调谐微机械陀螺、驱动信号产生电路、
电容/电压转换电路、调谐信号放大电路、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转
换器和现场可编程门阵列芯片，可调谐微机械陀螺的输出端与电容/电压转换电路的输入
端连接，电容/电压转换电路的输出端与模/数转换器的输入端连接，模/数转换器的输出
端与现场可编程门阵列芯片的输入端连接，现场可编程门阵列芯片的第一输出端与第一数
/模转换器的输入端连接，现场可编程门阵列芯片的第二输出端与第二数/模转换器的输
入端连接，第一数/模转换器的输出端与驱动信号产生电路的输入端连接，第二数/模转换
器的输出端与调谐信号放大电路的输入端连接，驱动信号产生电路的输出端与可调谐微机
械陀螺的驱动信号输入端连接，调谐信号放大电路的输出端与可调谐微机械陀螺的调谐信
号输入端连接；所述的现场可编程门阵列芯片内部完成载波产生/同步解调、幅度和相位
提取、交流驱动信号产生、载波信号产生、调谐信号产生、交流驱动信号与载波信号相加的
功能，现场可编程门阵列芯片的第一输出端输出交流驱动信号与载波信号之和，交流驱动
信号与载波信号之和经第一数/模转换器和驱动信号产生电路后输入可调谐微机械陀螺，
现场可编程门阵列芯片的第二输出端输出调谐信号，调谐信号经第二数/模转换器和调谐
信号放大电路后输入可调谐微机械陀螺，可调谐微机械陀螺的输出信号经电容/电压转换
电路转换成电压信号，电压信号经模/数转换器输入现场可编程门阵列芯片的输入端进行
信号处理，可调谐微机械陀螺的谐振频率随时间的漂移可通过调谐电压的自动调整实现补
偿，可调谐微机械陀螺驱动幅度随时间的漂移可通过交流驱动信号幅度的自动调整实现补m
\-ΖΧ ο所述的驱动信号产生电路为输入信号分别与第一电阻R1和第十二电阻R12的一端连接，第一电阻R1的另一端与第一运算放大器的负输入端连接，第一运算放大器的正输入端与第三电阻R3的一端连接，第三电阻R3的另一端接地，第一运算放大器的负输入端与第二电阻R2的一端连接，第二电阻R2的另一端与第一运算放大器的输出端连接，第一运算放大器的输出端与第七电阻R7的一端连接，第七电阻R7的另一端与第二运算放大器的负输入端连接，第二运算放大器的正输入端与第九电阻R9的一端连接，第九电阻的另一端接地，第五电阻R5的一端接电源，第五电阻R5的另一端分别与第四电阻R4、第六电阻R6和第十三电阻R13的一端连接，第四电阻R4的另一端接地，第六电阻R6的另一端与第二运算放大器的负输入端连接，第二运算放大器的负输入端与第八电阻R8的一端连接，第八电阻R8的另一端与第二运算放大器的输出端连接，第十二电阻R12的另一端与第三运算放大器的正输入端连接，第三运算放大器的负输入端分别与第十电阻Rltl和第十一电阻R11的一端连接，第十电阻Rltl的另一端接地，第十一电阻R11的另一端与第三运算放大器的输出端连接，第三运算放大器的输出端与第十四电阻R14的一端连接，第十四电阻R14的另一端与第四运算放大器的负输入端连接，第十三电阻R13的另一端与第四运算放大器的负输入端连接，第四运算放大器的正输入端与第十六电阻R16的一端连接，第十六电阻R16的另一端接地，第四运算放大器的负输入端与第十五电阻R15的一端连接，第十五电阻R15的另一端与第四运算放大器的输出端连接。所述的电容/电压转换电路为可调谐微机械陀螺的两组差分敏感电容CjP C2的一端分别与第二运算放大器和第四运算放大器的输出端连接，两组差分敏感电容CdP C2的公共端与第五运算放大器的负输入端连接，第五运算放大器的正输入端接地，第五运算 放大器的负输入端分别与第三电容C3和第十七电阻R17的一端连接，第三电容C3和第十七电阻R17的另一端均与第五运算放大器的输出端连接。所述的调谐信号放大电路为输入信号与第二i 电阻R21的一端连接，第二i电阻R21的另一端与第六运算放大器的负输入端连接，第六运算放大器的正输入端与第二十三电阻R23的一端连接，第二十三电阻R23的另一端接地，第十九电阻R19的一端接电源，第十九电阻R19的另一端分别与第十八电阻R18和第二十电阻R2tl的一端连接，第十八电阻R18的另一端接地，第二十电阻R2tl的另一端与第六运算放大器的负输入端连接，第六运算放大器的负输入端与第二十二电阻R22的一端连接，第二十二电阻R22的另一端与第六运算放大器的输出端连接。本发明与现有技术相比具有的有益效果是
I)本发明可在简化控制电路的基础上提高微机械陀螺系统的稳定性。2)本发明可避免微机械陀螺系统中与频率相关的�？槎韵低澄榷ㄐ源吹挠跋欤岣呶⒒低勇菹低车奈榷ㄐ�。3)本发明能使驱动模态的振动信号的频率和幅度保持恒定，并且该信号与交流驱动信号的相位差也保持恒定，可简化微机械陀螺系统的信号处理，同时进一步提高微机械陀螺系统的稳定性。
图I是可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法的原理 图2是本发明的调谐信号产生示意 图3是本发明的交流驱动信号产生示意 图4是可调谐微机械陀螺的恒频驱动装置的电路框 图5是本发明的驱动信号产生电路 图6是本发明的电容/电压转换电路 图7是本发明的调谐信号放大电路图。
具体实施方式
可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法是恒频驱动信号相对于参考频率源具有恒定的频率，通过相位差检测得到恒频驱动信号与驱动模态输出信号的相位差信号，利用相位差信号来反馈控制得到调谐信号，将调谐信号施加于可调谐微机械陀螺的调谐结构上，调整可调谐微机械陀螺驱动模态的谐振频率，使驱动模态的谐振频率锁定在恒频驱动信号的频率上。如图I所示，可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法的具体步骤如下
1)交流驱动信号产生�？楦莘群拖辔惶崛∧？槭涑龅姆刃藕爬床涣髑藕牛痹夭ㄐ藕挪？椴夭ㄐ藕牛涣髑藕庞朐夭ㄐ藕啪嗉雍蟛涣餍藕牛涣餍藕攀淙肭藕挪？椋藕挪？楦菔淙氲慕涣餍藕藕湍？樽陨淼闹绷髌美床藕牛淙胫量傻餍澄⒒低勇莸那藕攀淙攵艘圆驳缜辞傻餍澄⒒低勇菡穸蓖瓿稍夭ǖ髦疲夭ㄐ藕藕徒涣髑藕诺牟诰咛迨凳┦笨赏ü晷旨扑慊惴ɑ蚴侵苯邮质狡德屎铣傻确椒ɡ词迪郑�
2)调谐信号产生�？楦莘群拖辔惶崛∧？槭涑龅南辔恍藕爬床餍承藕牛淙胫量傻餍澄⒒低勇莸牡餍承藕攀淙攵死吹髡⒒低勇莸男痴衿德剩弧�
3)信号检测�？榧觳饪傻餍澄⒒低勇菟婢驳缌ψ饔枚恼穸藕牛穸藕抛怀煽刹饬康牡缪剐藕牛蓖瓿啥缘髦菩藕诺慕獾鳎�
4)幅度和相位提取�？槎孕藕偶觳饽？槭涑龅牡缪剐藕沤蟹群拖辔惶崛。玫较辔恍藕藕头刃藕牛辔恍藕攀淙胫恋餍承藕挪？椋刃藕攀淙胫两涣髑藕挪？椋群拖辔惶崛≡诰咛迨迪质笨刹捎米晷旨扑慊惴�。如图2所示，所述调谐信号产生�？槭墙绮街�4)所述的相位信号与驱动模态谐振时的参考相位进行对比，得到误差信号，将误差信号通过控制器控制来自适应地产生调谐信号，调谐信号加上偏置量后输入至可调谐微机械陀螺的调谐结构上，用以补偿可调谐微机械陀螺谐振频率的变化，保持如步骤4)所述的相位信号恒定，所述的控制器在具体实施时可采用比例-积分控制器。如图3所示，所述交流驱动信号产生�？槭墙绮街�4)所述的幅度信号与驱动模态谐振时的参考幅度进行对比，得到误差信号，将误差信号通过控制器控制来自适应地改变交流驱动信号的幅度，保持如步骤4)所述的幅度信号恒定，所述的控制器在具体实施时可采用比例-积分控制器。如图4所示，可调谐微机械陀螺的恒频驱动装置包括可调谐微机械陀螺、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、调谐信号放大电路、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换器和现场可编程门阵列芯片，可调谐微机械陀螺的输出端与电容/电压转换电路的输入端连接，电容/电压转换电路的输出端与模/数转换器的输入端连接，模/数转换器的输出端与现场可编程门阵列芯片的输入端连接，现场可编程门阵列芯片的第一输出端与第一数/模转换器的输入端连接，现场可编程门阵列芯片的第二输出端与第二数/模转换器的输入端连接，第一数/模转换器的输出端与驱动信号产生电路的输入端连接，第二数/模转换器的输出端与调谐信号放大电路的输入端连接，驱动信号产生电路的输出端与可调谐微机械陀螺的驱动信号输入端连接，调谐信号放大电路的输出端与可调谐微机械陀螺的调谐信号输入端连接；所述的现场可编程门阵列芯片内部完成载波产生/同步解调、幅度和相位提取、交流驱动信号产生、载波信号产生、调谐信号产生、交流驱动信号与载波信号相加的功能，现场可编程门阵列芯片的第一输出端输出交流驱动信号与载波信号之和，交流驱动信号与载波信号之和经第一数/模转换器和驱动信号产生电路后输入可调谐微机械陀螺，现场可编程门阵列芯片的第二输出端输出调谐信号，调谐信号经第二数/模转换器和调谐信号放大电路后输入可调谐微机械陀螺，可调谐微机械陀螺的输出信号经电容/电压转换电路转换成电压信号，电压信号经模/数转换器输入现场可编程门阵列芯片的输入端进行信号处理，可调谐微机械陀螺的谐振频率随时间的漂移可通过调谐电压的自动调整实现补偿，可调谐微机械陀螺驱动幅度随时间的漂移可通过交流驱动信号幅度的自动调整实现补偿。如图5所示，所述的驱动信号产生电路为输入信号分别与第一电阻R1和第十二电阻R12的一端连接，第一电阻R1的另一端与第一运算放大器的负输入端连接，第一运算放大器的正输入端与第三电阻R3的一端连接，第三电阻R3的另一端接地，第一运算放大器的负输入端与第二电阻R2的一端连接，第二电阻R2的另一端与第一运算放大器的输出端连接，第一运算放大器的输出端与第七电阻R7的一端连接，第七电阻R7的另一端与第二运算放大器的负输入端连接，第二运算放大器的正输入端与第九电阻R9的一端连接，第九电阻 的另一端接地，第五电阻R5的一端接电源，第五电阻R5的另一端分别与第四电阻R4、第六电阻R6和第十三电阻R13的一端连接，第四电阻R4的另一端接地，第六电阻R6的另一端与第二运算放大器的负输入端连接，第二运算放大器的负输入端与第八电阻R8的一端连接，第八电阻R8的另一端与第二运算放大器的输出端连接，第十二电阻R12的另一端与第三运算放大器的正输入端连接，第三运算放大器的负输入端分别与第十电阻Rltl和第十一电阻R11的一端连接，第十电阻Rltl的另一端接地，第十一电阻R11的另一端与第三运算放大器的输出端连接，第三运算放大器的输出端与第十四电阻R14的一端连接，第十四电阻R14的另一端与第四运算放大器的负输入端连接，第十三电阻R13的另一端与第四运算放大器的负输入端连接，第四运算放大器的正输入端与第十六电阻R16的一端连接，第十六电阻R16的另一端接地，第四运算放大器的负输入端与第十五电阻R15的一端连接，第十五电阻R15的另一端与第四运算放大器的输出端连接，第二运算放大器和第四运算放大器输出端输出的信号可同时用于驱动可调谐微机械陀螺产生振动和对振动信号进行调制。如图6所示，所述的电容/电压转换电路为可调谐微机械陀螺的两组差分敏感电容(^和(2的一端分别与第二运算放大器和第四运算放大器的输出端连接，两组差分敏感电容C1和C2的公共端与第五运算放大器的负输入端连接，第五运算放大器的正输入端接地，第五运算放大器的负输入端分别与第三电容C3和第十七电阻R17的一端连接，第三电容C3和第十七电阻R17的另一端均与第五运算放大器的输出端连接，第五运算放大器的输出端输出的信号已实现了两组差分敏感电容的差分相减。如图7所示，所述的调谐信号放大电路为输入信号与第二十一电阻R21的一端连接，第二十一电阻R21的另一端与第六运算放大器的负输入端连接，第六运算放大器的正输入端与第二十三电阻R23的一端连接，第二十三电阻R23的另一端接地，第十九电阻R19的一端接电源，第十九电阻R19的另一端分别与第十八电阻R18和第二十电阻R2tl的一端连接，第十八电阻R18的另一端接地，第二十电阻R2tl的另一端与第六运算放大器的负输入端连接，第六运算放大器的负输入端与第二十二电阻R22的一端连接，第二十二电阻R22的另一端与第六运算放大器的输出端连接。
权利要求
1.一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法，其特征在于恒频驱动信号相对于参考频率源具有恒定的频率，通过相位差检测得到恒频驱动信号与驱动模态输出信号的相位差信号，利用相位差信号来反馈控制得到调谐信号，将调谐信号施加于可调谐微机械陀螺的调谐结构上，调整可调谐微机械陀螺驱动模态的谐振频率，使驱动模态的谐振频率锁定在恒频驱动信号的频率上。
2.如权利要求I所述的一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法，其特征在于方法的具体步骤如下 1)交流驱动信号产生模块根据幅 度和相位提取�？槭涑龅姆刃藕爬床涣髑藕牛痹夭ㄐ藕挪？椴夭ㄐ藕牛涣髑藕庞朐夭ㄐ藕啪嗉雍蟛涣餍藕牛涣餍藕攀淙肭藕挪？椋藕挪？楦菔淙氲慕涣餍藕藕湍？樽陨淼闹绷髌美床藕牛淙胫量傻餍澄⒒低勇莸那藕攀淙攵艘圆驳缜辞傻餍澄⒒低勇菡穸蓖瓿稍夭ǖ髦疲� 2)调谐信号产生�？楦莘群拖辔惶崛∧？槭涑龅南辔恍藕爬床餍承藕牛淙胫量傻餍澄⒒低勇莸牡餍承藕攀淙攵死吹髡⒒低勇莸男痴衿德剩� 3)信号检测�？榧觳饪傻餍澄⒒低勇菟婢驳缌ψ饔枚恼穸藕牛穸藕抛怀煽刹饬康牡缪剐藕牛蓖瓿啥缘髦菩藕诺慕獾鳎� 4)幅度和相位提取�？槎孕藕偶觳饽？槭涑龅牡缪剐藕沤蟹群拖辔惶崛。玫较辔恍藕藕头刃藕牛辔恍藕攀淙胫恋餍承藕挪？椋刃藕攀淙胫两涣髑藕挪？�。
3.根据权利要求2所述的一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法，其特征在于所述调谐信号产生�？槭墙绮街�4)所述的相位信号与驱动模态谐振时的参考相位进行对比，得到误差信号，将误差信号通过控制器控制来自适应地产生调谐信号，调谐信号加上偏置量后输入至可调谐微机械陀螺的调谐结构上，用以补偿可调谐微机械陀螺谐振频率的变化，保持如步骤4)所述的相位信号恒定。
4.根据权利要求2所述的一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法，其特征在于所述交流驱动信号产生�？槭墙绮街�4)所述的幅度信号与驱动模态谐振时的参考幅度进行对t匕，得到误差信号，将误差信号通过控制器控制来自适应地改变交流驱动信号的幅度，保持如步骤4)所述的幅度信号恒定。
5.一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动装置，其特征在于包括可调谐微机械陀螺、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、调谐信号放大电路、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换器和现场可编程门阵列芯片，可调谐微机械陀螺的输出端与电容/电压转换电路的输入端连接，电容/电压转换电路的输出端与模/数转换器的输入端连接，模/数转换器的输出端与现场可编程门阵列芯片的输入端连接，现场可编程门阵列芯片的第一输出端与第一数/模转换器的输入端连接，现场可编程门阵列芯片的第二输出端与第二数/模转换器的输入端连接，第一数/模转换器的输出端与驱动信号产生电路的输入端连接，第二数/模转换器的输出端与调谐信号放大电路的输入端连接，驱动信号产生电路的输出端与可调谐微机械陀螺的驱动信号输入端连接，调谐信号放大电路的输出端与可调谐微机械陀螺的调谐信号输入端连接；所述的现场可编程门阵列芯片内部完成载波产生/同步解调、幅度和相位提取、交流驱动信号产生、载波信号产生、调谐信号产生、交流驱动信号与载波信号相加的功能，现场可编程门阵列芯片的第一输出端输出交流驱动信号与载波信号之和，交流驱动信号与载波信号之和经第一数/模转换器和驱动信号产生电路后输入可调谐微机械陀螺，现场可编程门阵列芯片的第二输出端输出调谐信号，调谐信号经第二数/模转换器和调谐信号放大电路后输入可调谐微机械陀螺，可调谐微机械陀螺的输出信号经电容/电压转换电路转换成电压信号，电压信号经模/数转换器输入现场可编程门阵列芯片的输入端进行信号处理，可调谐微机械陀螺的谐振频率随时间的漂移可通过调谐电压的自动调整实现补偿，可调谐微机械陀螺驱动幅度随时间的漂移可通过交流驱动信号幅度的自动调整实现补偿。
6.根据权利要求5所述的一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动装置，其特征在于所述的驱动信号产生电路为输入信号分别与第一电阻R1和第十二电阻R12的一端连接，第一电阻R1的另一端与第一运算放大器的负输入端连接，第一运算放大器的正输入端与第三电阻R3的一端连接，第三电阻R3的另一端接地，第一运算放大器的负输入端与第二电阻R2的一端 连接，第二电阻R2的另一端与第一运算放大器的输出端连接，第一运算放大器的输出端与第七电阻R7的一端连接，第七电阻R7的另一端与第二运算放大器的负输入端连接，第二运 算放大器的正输入端与第九电阻R9的一端连接，第九电阻的另一端接地，第五电阻R5的一 端接电源，第五电阻R5的另一端分别与第四电阻R4、第六电阻R6和第十三电阻R13的一端连接，第四电阻R4的另一端接地，第六电阻R6的另一端与第二运算放大器的负输入端连接，第二运算放大器的负输入端与第八电阻R8的一端连接，第八电阻R8的另一端与第二运算放大器的输出端连接，第十二电阻R12的另一端与第三运算放大器的正输入端连接，第三运算放大器的负输入端分别与第十电阻Rltl和第十一电阻R11的一端连接，第十电阻Rltl的另一端接地，第十一电阻R11的另一端与第三运算放大器的输出端连接，第三运算放大器的输出端与第十四电阻R14的一端连接，第十四电阻R14的另一端与第四运算放大器的负输入端连接，第十三电阻R13的另一端与第四运算放大器的负输入端连接，第四运算放大器的正输入端与第十六电阻R16的一端连接，第十六电阻R16的另一端接地，第四运算放大器的负输入端与第十五电阻R15的一端连接，第十五电阻R15的另一端与第四运算放大器的输出端连接。
7.根据权利要求5所述的一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动装置，其特征在于所述的电容/电压转换电路为可调谐微机械陀螺的两组差分敏感电容CjP C2的一端分别与第二运算放大器和第四运算放大器的输出端连接，两组差分敏感电容CdP C2的公共端与第五运算放大器的负输入端连接，第五运算放大器的正输入端接地，第五运算放大器的负输入端分别与第三电容C3和第十七电阻R17的一端连接，第三电容C3和第十七电阻R17的另一端均与第五运算放大器的输出端连接。
8.根据权利要求5所述的一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动装置，其特征在于所述的调谐信号放大电路为输入信号与第二十一电阻R21的一端连接，第二十一电阻R21的另一端与第六运算放大器的负输入端连接，第六运算放大器的正输入端与第二十三电阻R23的一端连接，第二十三电阻R23的另一端接地，第十九电阻R19的一端接电源，第十九电阻R19的另一端分别与第十八电阻R18和第二十电阻R2tl的一端连接，第十八电阻R18的另一端接地，第二十电阻R2tl的另一端与第六运算放大器的负输入端连接，第六运算放大器的负输入端与第二十二电阻R22的一端连接，第二十二电阻R22的另一端与第六运算放大器的输出端连接。
全文摘要
本发明公开了一种可调谐微机械陀螺的恒频驱动方法及其装置，该方法包括驱动信号产生、调谐信号产生、信号检测、幅度和相位提取四个步骤，该装置包括可调谐微机械陀螺、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、调谐信号放大电路、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换器和现场可编程门阵列芯片。本发明通过对交流驱动信号幅度和可调谐微机械陀螺自身谐振频率的自动调节，能使驱动输出信号的频率和幅度保持恒定，并且该信号与交流驱动信号的相位差也保持恒定。本发明实现简单，无需跟踪驱动模态的谐振频率，避免了系统中与频率相关的�？樵谑北淦德氏露韵低炒吹挠跋欤芗蚧低车男藕糯砉蹋商岣呦低澄榷ㄐ�。
文档编号G01C19/56GK102944230SQ20121045578
公开日2013年2月27日 申请日期2012年11月14日 优先权日2012年11月14日
发明者金仲和, 朱辉杰, 胡世昌, 刘义东 申请人:浙江大学
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
