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专利名称：一种用于电镀层表面分析的显微检测仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于电镀层表面分析的显微检测仪。
背景技术：
光学显微镜主要用于鉴定和分析表面结构组织，它是材料学等学科进行物体表面分析的重要仪器，它是研究物质材料微观结构最基本的一种实验技术。在现代显微分析中，使用的主要仪器主要有光学显微镜和电子显微镜两大类。扫描探针显微镜(SPM)具有纳米级高分辨率的优点，并可实时得到空间样品表面的三维图像，可用于具有周期性或不具备周期性的表面结构的研究，这种可实时观察的性能可用于表面扩散等动态过程的研究，可以观察纳米级别的局部表面结构，而不是体相或整个表面的平均性质，因而可直接观察到表面缺陷。综上所述，现有的光学显微镜基本是在微米级领域测量，且其观察测量的放大倍数受物镜和目镜限制，放大倍数越大，其光学效果要求越高，制作工艺也相应要求高，因此不能满足对表面微细结构的分析；而现有扫描探针显微镜(SPM)测量范围有限，并不能快速的确定待测目标并成像，需要不断地扫描图像来寻找目标，从而影响工作进度和效率。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种用于电镀层表面分析的显微检测仪，以克服现有光
学显微镜的放大倍数受物镜和目镜限制，制作工艺较高，不能快速的确定待测目标并成像，工作效率较低的不足。 本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现 —种用于电镀层表面分析的显微检测仪，包括支架、电子控制装置和计算机，电子控制装置通过导线与计算机连接，所述支架的顶部设有CCD摄像装置，CCD摄像装置包括目镜和物镜转换器，物镜转换器的下部设有物镜和SPM探头，所述支架的底部设有步进马达精密调焦装置，步进马达精密调焦装置的上表面设有步进马达二维精密工作台，步进马达二维精密工作台上表面的中部设有三维扫描台，三维扫描台通过导线与电子控制装置连接，所述支架的后部设有垂直照明装置。 本实用新型的有益效果为将光学显微技术的方便性和扫描探针显微镜(SPM)的高分辨率特点相结合，向用户提供了鉴定和测量微小表面结构的完整技术方案，将普通的光学显微镜的分辨能力从微米级升级扩展到纳米级，而与光学显微镜的结合又使SPM的测量速度提高到一个新的水平，可以快速地定位测量部位。可以用光学显微镜来选择样品的细节，使要测量的部位进入视场的中央，然后将SPM探头转至测量位置，对同一区域进行扫
描即可开始高分辨测量，开放式的样品台对样品限制很小，广泛的软件包提供多功能的快捷评估方法，极大地提高了工作效率，成为最实用的表面分析装置。

下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。[0008] 图1是本实用新型实施例所述的一种用于电镀层表面分析的显微检测仪的结构
示意图。
图中 1、支架；2、电子控制装置；3、计算机；4、 CCD摄像装置；5、目镜；6、物镜转换器；7、物镜；8、 SPM探头；9、步进马达精密调焦装置；10、步进马达二维精密工作台；11、三维扫描台；12、垂直照明装置。
具体实施方式如图1所示，本实用新型实施例所述的一种用于电镀层表面分析的显微检测仪，包括支架1、电子控制装置2和计算机3，电子控制装置2通过导线与计算机3连接，所述支架1的顶部设有CCD摄像装置4， CCD摄像装置4包括目镜5和物镜转换器6，物镜转换器6的下部设有物镜7和SPM探头8，旋转物镜转换器6即可实现光学显微镜和SPM的切换，保证SPM探头8与光学物镜中心的误差不超过一微米，这样就实现SPM与光学物镜的观察连续性，所述支架1的底部设有步进马达精密调焦装置9，步进马达精密调焦装置9的上表面设有步进马达二维精密工作台IO，步进马达二维精密工作台IO上表面的中部设有三维扫描台ll，三维扫描台11通过导线与电子控制装置2连接，电子控制装置2将信号转化为图像发送到计算机3，所述支架1的后部设有垂直照明装置12。 在具体使用时，将光学显微技术的方便性和扫描探针显微镜(SPM)的高分辨率特点相结合，实现了光学显微镜在物体表面特征纳米级的分析与测量。将普通光学显微镜分辨能力从微米级扩展到纳米级，广泛应用于物体表面形貌的分析和测量，可以快速地定位及测量待测部位。通过旋转物镜转换器6即可实现光学物镜镜和SPM探头8的切换，实现了SPM与光学物镜的连续性观察，通过光学显微镜来选择样品的细节，使被测部位进入视场的中央，然后将SPM探头转至测量位置，对同一区域进行扫描，即可开始高分辨率测量，极大地提高了工作效率。
权利要求一种用于电镀层表面分析的显微检测仪，包括支架(1)、电子控制装置(2)和计算机(3)，电子控制装置(2)通过导线与计算机(3)连接，其特征在于所述支架(1)的顶部设有CCD摄像装置(4)，CCD摄像装置(4)包括目镜(5)和物镜转换器(6)，物镜转换器(6)的下部设有物镜(7)和SPM探头(8)，所述支架(1)的底部设有步进马达精密调焦装置(9)，步进马达精密调焦装置(9)的上表面设有步进马达二维精密工作台(10)，步进马达二维精密工作台(10)上表面的中部设有三维扫描台(11)，三维扫描台(11)通过导线与电子控制装置(2)连接，所述支架(1)的后部设有垂直照明装置(12)。
专利摘要本实用新型涉及一种用于电镀层表面分析的显微检测仪，包括支架、电子控制装置和计算机，电子控制装置通过导线与计算机连接，所述支架的顶部设有CCD摄像装置，CCD摄像装置包括目镜和物镜转换器，物镜转换器的下部设有物镜和SPM探头，所述支架的底部设有步进马达精密调焦装置，步进马达精密调焦装置的上表面设有步进马达二维精密工作台，步进马达二维精密工作台上表面的中部设有三维扫描台，三维扫描台通过导线与电子控制装置连接。本实用新型的有益效果为可以用光学显微镜来选择样品的细节，使要测量的部位进入视场的中央，然后将SPM探头转至测量位置，对同一区域进行扫描即可开始高分辨测量，极大地提高了工作效率，成为最实用的表面分析装置。
文档编号G01N13/00GK201477021SQ20092017559
公开日2010年5月19日 申请日期2009年8月24日 优先权日2009年8月24日
发明者罗先照, 胡志强 申请人:苏州海兹思纳米科技有限公司