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专利名称：扫描电镜截面观测平台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种扫描电镜截面观测平台。
背景技术：
扫描电子显微镜是一种比较理想的表面分析工具，可以直接观察大块样品的表 面，且样品制备方便。但是现有的扫描电镜观测平台存在截面测量不便，测量平台规格各 异，测量位置难以把握等问题。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是设计一种扫描电镜截面观测平台，克服截面 测量不便，测量平台规格各异，测量位置难以把握的问题。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种扫描电镜截面观测平台， 包括基座，在基座上设置夹持样品的夹具，夹具包括固定块和滑动块，固定块设置在基座 上，滑动块与基座之间设置滑动调节机构。为方便确定测量位置，在基座上设置测量固定块与滑动块之间开口的距离的刻度 尺。具体地，滑动调节机构为螺旋滑动调节机构，包括设置在滑动块上的螺旋纹路和 设置在基座外侧的螺旋扭具。为保证测量效果，同时防止样品被夹碎，对样品进行固定的固定块和滑动块的夹 口两侧设置导电材料。平台为方形。本实用新型的有益效果是截面测量更加方便，测量平台的适应性广，测量位置容 易得到。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明；

图1是本实用新型的平台的俯视图；图2是本实用新型的平台的右视图；其中1.基座，2.固定块，3.滑动块，4.刻度尺，5.螺旋扭具，6.导电材料。
具体实施方式
一种扫描电镜截面观测平台，平台由原来的圆形更改为方形，大小为10mm*10mm 规格，包括基座1，在基座1上设置夹持样品的夹具，夹具包括固定块2和滑动块3，固定块2 设置在基座1上，滑动块3与基座1之间设置滑动调节机构。滑动调节机构为螺旋滑动调节 机构，类似于扳手上，包括设置在滑动块上的螺旋纹路和设置在基座1外侧的螺旋扭具5。 固定块2和滑动块3的滑动距离为8mm，通过滚动螺旋扭具，固定块2和滑动块3构成的夹口可以张开闭合，以对样品进行固定。在方形样品平台侧面设置有刻度尺4。根据测量台开 合程度不同，根据刻度尺上面的值对测量范围进行选择。对样品进行固定的固定块2和滑 动块3的夹口两侧设置导电材料6，可保证测量效果，同时防止样品被夹碎。 测量时，扭开夹具，放入样品，旋动螺旋扭具5闭合夹具，将样品加紧，同时将其旋 入底座，然后安装于扫描电镜上，同时根据侧面的刻度尺对电镜的软件的测量范围进行选 择后，就可以进行观察测量了。
权利要求一种扫描电镜截面观测平台，其特征是包括基座(1)，在基座(1)上设置夹持样品的夹具，夹具包括固定块(2)和滑动块(3)，固定块(2)设置在基座(1)上，滑动块(3)与基座(1)之间设置滑动调节机构。
2.根据权利要求1所述的扫描电镜截面观测平台，其特征是在所述的基座(1)上设 置测量固定块⑵与滑动块⑶之间开口的距离的刻度尺(4)。
3.根据权利要求1所述的扫描电镜截面观测平台，其特征是所述的滑动调节机构为 螺旋滑动调节机构，包括设置在滑动块上的螺旋纹路和设置在基座(1)外侧的螺旋扭具 (5)。
4.根据权利要求1所述的扫描电镜截面观测平台，其特征是所述的对样品进行固定 的固定块(2)和滑动块(3)的夹口两侧设置导电材料(6)。
5.根据权利要求1所述的扫描电镜截面观测平台，其特征是平台为方形。
专利摘要本实用新型涉及一种扫描电镜截面观测平台。它包括基座，在基座上设置夹持样品的夹具，夹具包括固定块和滑动块，固定块设置在基座上，滑动块与基座之间设置滑动调节机构。使用本平台，截面测量更加方便，适应性更广，测量位置容易得到。
文档编号G01N23/225GK201698989SQ20102022319
公开日2011年1月5日 申请日期2010年6月10日 优先权日2010年6月10日
发明者杨文侃, 王庆钱 申请人:常州天合光能有限公司