专利名称：电子元件的测试装置的制作方法
技术领域：
电子元件的测试装置技术领域[0001]本实用新型涉及一种测试装置，尤其涉及一种用于半导体圆片等电子元件的测I式装置。
背景技术：
[0002]当半导体圆片制造完成之后，必须一一经过测试之后，以确保其电气特性、平 坦度等重要性质是否符合要求；因此，便开发出许多种含有探针的测试装置，这类的测 试装置主要结构包括一电路基板、一上定位板(upper die)、一下定位板(lower die)、 介于该上定位板与下定位板之间的一隔板(spacer)、及用于将前述上定位板、下定位板及 隔板一起锁固于电路基板上的一连接板(jig)；其中电路基板上具有多个电气接点以与探 针的一端进行电性接触，上定位板与下定位板分别设有供探针穿过的针孔，借此探针的 二端可以分别凸伸出上定位板及下定位板而电性接触电气接点及一待测圆片，借此对该 待测圆片进行测试。[0003]然而，由于探针具有导电性且用以传递电气信号，所以供探针定位及穿出的上 定位板与下定位板则须以绝缘材质制成方能避免探针与二者之间发生短路而影响测试结 果；因此，业界多以陶瓷或塑料材料来制作上定位板及下定位板，并借由一金属隔板， 使上定位板及下定位板分别锁固于金属隔板的上下表面而增加整体的固定强度。[0004]然而，由于下定位板是由陶瓷或塑料材料制成，而隔板是由金属材料制成，二 者材料上的差异会导致螺丝锁固时的紧固力不同；另外，下定位板是位于隔板的下方且 最接近待测圆片，而螺丝是从下定位板锁入隔板中，因此在长期测试过程中，位于下定 位板内的螺丝可能因为震动或摇晃而逐渐松动，加上重力的吸引，导致螺丝向下旋松而 凸出碰触到待测圆片，严重者甚至有螺丝掉落的问题。[0005]由于电子元件的薄型化，圆片及探针的尺寸也日益缩�。兀糜诙ㄎ惶� 针的上定位板及下定位板的尺寸也必须跟着缩减；如此一来，欲在尺寸较小的上定位板 及下定位板之间达到相同或足够的螺丝紧固效果则越发困难，因为有时候螺丝锁入隔板 内的力量已超过上定位板及下定位板本身材料所能承受的最大应力，因而导致上定位板 及下定位板的破裂。[0006]因此，如何解决上述的问题点，即成为本实用新型所改进的目标。 实用新型内容[0007]本实用新型的一目的，在于提供一种电子元件的测试装置，其能够有效防止螺 丝松动而碰触到欲测试的电子元件，以维持探针测试过程的质量及整个测试装置的结构 强度。[0008]为了达到上述的目的，本实用新型提供一种电子元件的测试装置，包括一基 板，布设有多个电气接点；一连接板，固定在该基板，该连接板在对应该多个电气接点 位置设有一开口； 一承载板，固接于该连接板，该承载板在对应该开口位置开设有呈阶梯状的一第一槽孔及一第二槽孔；一绝缘构件，具有一平板及自该平板延伸出的一定位 凸块，该平板跨接在该第一槽孔，该定位凸块则穿接该第二槽孔，该定位凸块开设有多 个针孔；以及多个探针，每一该探针的一端电性连接该电气接点，另一端则穿出该针孔 以与所述电子元件电性连接。[0009]上述的电子元件的测试装置，其中，该承载板于该第一槽孔内设有多个螺孔， 该绝缘构件的平板周缘设有与该多个螺孔相互对齐的多个穿接孔。[0010]上述的电子元件的测试装置，其中，该绝缘构件还包含一定位板，该定位板叠 置于该平板上且与该平板一起锁固于该承载板，该定位板设有供该多个探针的顶端朝上 穿出的多个探针孔，该定位板的周缘设有与该多个穿接孔相互对齐的多个埋头透孔。[0011]上述的电子元件的测试装置，其中，每一该探针是由一上探针段、一下探针段 及延伸于该上探针段及该下探针段之间的一侧向连接段所组成，该上探针段朝上延伸而 穿出该多个探针孔，该下探针段朝下延伸而穿出该多个针孔，该多个探针孔与该多个针 孔之间具有一侧向偏移量。[0012]上述的电子元件的测试装置，其中，该定位板在与该平板接触的表面成型有一 凹槽，该平板在与该定位板接触的表面成型有一凹穴，该凹槽及该凹穴共同提供该多个 探针定位及弯折所需的空间。[0013]上述的电子元件的测试装置，其中，该基板为金属材料件，其上具有一印刷电 路板，该多个电气接点形成于该印刷电路板上，该基板具有围绕该多个电气接点的多个 组装孔。[0014]上述的电子元件的测试装置，其中，该连接板为金属材料件，该连接板具有对 应该多个组装孔的多个通孔，每一该通孔均为一埋头通孔，该连接板的该开口周缘成型 有供该承载板固接的一定位槽，该定位槽上环设有多个固定孔及二定位柱。[0015]上述的电子元件的测试装置，其中，该承载板为金属材料件，该承载板具有对 应该多个固定孔的多个穿孔，该承载板另外具有供该二定位柱嵌入的二限位孔，该承载 板的每一该穿孔均为一埋头穿孔。[0016]相较于现有技术，本实用新型具有以下功效[0017]由于本实用新型的绝缘构件是用以供探针定位并穿出，且该绝缘构件的平板是 跨接于承载板呈阶梯状的第一槽孔上，且定位凸块穿接承载板的第二槽孔，所以即使绝 缘构件上的螺丝发生松动，也不会碰触到位于承载板下方的待测试的电子元件，借此可 以维持探针测试过程的质量以及整个测试装置的结构强度。[0018]
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新 型的限定。
[0019]图1为本实用新型的分解立体图；[0020]图2为本实用新型的组合立体图；[0021]图3为沿着图2的直线3-3所作的组合剖面图；[0022]图4为本实用新型处于工作状态下的组合剖面图。[0023]其中，附图标记[0024]1测试装置[0025]10基板[0026]11印刷电路板[0027]111电气接点[0028]12组装孔[0029]20连接板[0030]21通孔[0031]22开口[0032]23定位槽[0033]231固定孔[0034]232定位柱[0035]30承载板[0036]31穿孔[0037]32限位孔[0038]33第一槽孔[0039]34第二槽孔[0040]35螺孔[0041]40绝缘构件[0042]41平板[0043]411定位凸块[0044]412针孔[0045]413穿接孔[0046]414凹穴[0047]42定位板[0048]421探针孔[0049]422埋头透孔[0050]423凹槽[0051]50探针[0052]51上探针段[0053]52侧向连接段[0054]53下探针段[0055]100螺丝[0056]110螺丝[0057]120螺丝[0058]200电子元件具体实施方式
[0059] 有关本实用新型的详细说明及技术内容，将配合图式说明如下，然而所附图式 仅作为说明用途，并非用于局限本实用新型。[0060]请参考图1至图4，为本实用新型的立体分解图，本实用新型提供一种电子元件 的测试装置(以下简称为“测试装置1”)，其包括一基板10、一连接板20、一承载 板30、一绝缘构件40、及多个探针50。[0061]基板10为金属材料制成且呈圆盘状，其上具有一印刷电路板11，此印刷电路板 上布设有与探针50的一端电性接触的多个电气接点111，另外，在该印刷电路板11周围 设有多个组装孔12。[0062]连接板20为金属材料制成且呈圆环状，用以固定在基板10，连接板20具有对应 组装孔12的多个通孔21，利用螺丝100穿接通孔21及组装孔12，就可以将连接板20锁 固于基板10的底面；为了防止螺丝100的头部凸出于通孔21下方，所以通孔21被制作 成埋头通孔，以便使螺丝100的头部能够埋入连接板20的底面；连接板20的中央在对应 电气接点111位置设有一开口 22，该开口 22的周缘成型有一定位槽23，定位槽23上环 设有多个固定孔231及二定位柱232。[0063]承载板30为金属材料制成且呈圆盘状，用以固接于连接板20，承载板30具有对 应固定孔231的多个穿孔31及供定位柱232嵌入的限位孔32 ；借由螺丝110从下方穿接 承载板30的穿孔31及连接板20的固定孔231，就可以将承载板30锁固于连接板20的 底面；为了防止螺丝110的头部凸出于承载板30的底面，所以穿孔31也被制作成一埋头 穿孔；承载板30的中央在对应连接板20的开口 22的位置设有呈阶梯状的一第一槽孔33 及一第二槽孔34，第一槽孔33的周围环设有多个螺孔35。[0064]绝缘构件40为陶瓷或塑料材料制成，其安装于承载板30上，绝缘构件40具有 一平板41及自该平板41延伸出的一定位凸块411，平板41是跨接在承载板30的第一槽 孔33，定位凸块411则穿接第二槽孔34;绝缘构件40另外包含叠置于平板41上的一定 位板42，在图1所示的实施例中，定位板42的周缘轮廓等于平板41且均为圆盘状；定 位板42的中央设有供探针50穿过的多个探针孔421，定位板42的周缘设有多个埋头透 孔422以防止螺丝120的头部露出定位板42的上表面，定位板42与平板41的接触面成 型有一凹槽423;定位凸块411的中央设有供探针50穿过的多个针孔412，平板41的周 缘设有多个穿接孔413;要特别说明的是，埋头透孔422及穿接孔413分别对齐承载板30 的螺孔35，所以能够利用螺丝120从上到下依序穿过埋头透孔422及穿接孔413而锁固于 螺孔35内，以便将定位板42及平板41依序锁固于承载板30上。[0065]特别要说明的是，如图3所示，探针50并非呈一直线，而是具有一段侧向弯折 的偏移量，也就是说，每一探针50是由一上探针段51、及一侧向连接段52、及一下探针 段53所组成，其中上探针段51朝上延伸而穿出定位板42的探针孔421，以便与基板10 的电气接点111产生电性接触；下探针段53朝下延伸而穿出平板41的针孔412，以便与 电子元件200产生电性接触(图4)，由于上探针段51与下探针段53之间具有一侧向偏 移，所以探针孔421与针孔412之间也具有相同的侧向偏移量而并非彼此对齐。[0066]为了让所有探针50能够确实弯折并定位于构件40内，所以平板41与定位板42 接触的该表面成型有一凹穴414(图幻，所以，定位板42底面的凹槽423及平板41上表 面的凹穴414共同提供探针50定位及弯折所需的足够空间。[0067]虽然在本实施例中，探针50的定位是由绝缘构件40中的平板41搭配上方的定 位板42而达到，但是但对于本领域技术人员来说仍可以轻易构思出其它等效置换手段而达到本实用新型的相同的功效；例如，仅利用平板41并将探针50焊接固定于凹穴414 内，则可以不需要额外设置定位板42;或者，缩小定位板42的尺寸，使其成为覆盖平板 41的凹穴414上的一盖板，而定位板42上仍设有供上探针段51穿出的探针孔，如此一 来，也得以达到本实用新型构件的相同功效。[0068] 当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质 的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但 这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
权利要求1.一种电子元件的测试装置，其特征在于，包括一基板，布设有多个电气接点；一连接板，固定在该基板，该连接板在对应该多个电气接点位置设有一开口；一承载板，固接于该连接板，该承载板在对应该开口位置开设有呈阶梯状的一第一 槽孔及一第二槽孔；一绝缘构件，具有一平板及自该平板延伸出的一定位凸块，该平板跨接在该第一槽 孔，该定位凸块则穿接该第二槽孔，该定位凸块设有多个针孔；以及多个探针，每一该探针的一端电性连接该电气接点，另一端则穿出该针孔以与所述 电子元件电性连接。
2.根据权利要求1所述的电子元件的测试装置，其特征在于，该承载板于该第一槽孔 内设有多个螺孔，该绝缘构件的平板周缘设有与该多个螺孔相互对齐的多个穿接孔。
3.根据权利要求2所述的电子元件的测试装置，其特征在于，该绝缘构件还包含一定 位板，该定位板叠置于该平板上且与该平板一起锁固于该承载板，该定位板设有供该多 个探针的顶端朝上穿出的多个探针孔，该定位板的周缘设有与该多个穿接孔相互对齐的 多个埋头透孔。
4.根据权利要求3所述的电子元件的测试装置，其特征在于，每一该探针是由一上探 针段、一下探针段及延伸于该上探针段及该下探针段之间的一侧向连接段所组成，该上 探针段朝上延伸而穿出该多个探针孔，该下探针段朝下延伸而穿出该多个针孔，该多个 探针孔与该多个针孔之间具有一侧向偏移量。
5.根据权利要求4所述的电子元件的测试装置，其特征在于，该定位板在与该平板接 触的表面成型有一凹槽，该平板在与该定位板接触的表面成型有一凹穴，该凹槽及该凹 穴共同提供该多个探针定位及弯折所需的空间。
6.根据权利要求5所述的电子元件的测试装置，其特征在于，该基板为金属材料件， 其上具有一印刷电路板，该多个电气接点形成于该印刷电路板上，该基板具有围绕该多 个电气接点的多个组装孔。
7.根据权利要求6所述的电子元件的测试装置，其特征在于，该连接板为金属材料 件，该连接板具有对应该多个组装孔的多个通孔，每一该通孔均为一埋头通孔，该连接 板的该开口周缘成型有供该承载板固接的一定位槽，该定位槽上环设有多个固定孔及二 定位柱。
8.根据权利要求7所述的电子元件的测试装置，其特征在于，该承载板为金属材料 件，该承载板具有对应该多个固定孔的多个穿孔，该承载板另外具有供该二定位柱嵌入 的二限位孔，该承载板的每一该穿孔均为一埋头穿孔。
专利摘要一种电子元件的测试装置，包括基板、连接板、承载板、绝缘构件及多个探针；基板布设有电气接点，连接板固定在基板且设有开口，承载板固接于连接板且在对应开口位置设有第一槽孔及第二槽孔，绝缘构件具有平板及自平板延伸出的定位凸块，平板跨接在第一槽孔，定位凸块则穿接第二槽孔，定位凸块开设有针孔，每一探针的一端电性连接电气接点，另一端则穿出针孔以与电子元件电性连接；借由将绝缘构件承托于承载板上，能够有效防止承载板下方的螺丝松动而碰触到欲测试的电子元件，以维持探针测试过程的质量及整个测试装置的结构强度。
文档编号G01R1/04GK201812003SQ201020512490
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月1日 优先权日2010年9月1日
发明者何震宏, 蔡丽文 申请人:景美科技股份有限公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
