专利名称：一种气溶胶光度计的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种气溶胶光度计，主要是利用光学散射测量特殊气溶胶浓度的
一种装置。
背景技术：
在洁净房、层流台、生物安全柜、手套箱、HEPA吸尘机、HVAC系统、HEPA过滤器、ULPA过滤器、负压过滤装置手术室、核子过滤系统、汇集保护过滤器等需要用到高效过滤器的地方，都需要对高效过滤器本身和高效过滤器的安装进行过滤效率的检测。现有的高效过滤器检漏的主要方法是用一台激光粒子计数器对高效过滤器上游、下游的粒子数进行分别检测，然后求出高效过滤器的粒子数过滤效率；由于洁净室内颗粒物浓度本身就比较低，所以用该方法进行高效过滤器的检漏需要进行长时间的检测，检测效率低，并且由于只能进行整个高效过滤器的下游检测，无法有效检测出泄露点的位置。
发明内容为了解决现有技术中的问题，本实用新型的目的是提供一种气溶胶光度计。为达到上述目的，本实用新型所采用的技术手段是一种气溶胶光度计，包括激光发生体、散射腔、光电倍增管，所述激光发生体连接散射腔，所述散射腔连接光电倍增管，在所述散射腔上设置有散射腔进气口和散射腔出气口，所述散射腔进气口连接上游进气口和下游进气口。进一步，所述激光发生体包括激光发生器、对称安装在所述散射腔两边的石英片和光阑。进一步的，所述光电倍增管外部设置有屏蔽罩。进一步的，所述散射腔进气口通过四通和高效过滤器连接前级调零气嘴。本实用新型的有益效果在于通过上述结构可完成高浓度的气溶胶检测；与气溶胶发生器配合实现上游气溶胶发生，下游气溶胶检测，进行高效过滤器的检漏，可以快速高效的检测出高效过滤器的泄露点，方便进行重新安装；通过调节光电倍增管增益可以提高光电倍增管输出信号的动态范围，满足高效过滤器检漏的要求。
以下结合附图对本实用新型的技术方案进行说明。
图1为本实用新型的纵向剖面结构示意图。图中1、高效过滤器，2、四通，3、上游进气口，4、下游进气口，5、散射腔入气口，6、散射腔出气口，7、激光发生器，8、石英片，9、光阑，10、散射腔，11、屏蔽罩，12、光电倍增管。
具体实施方式
如图1所示的一种气溶胶光度计，包括激光发生体、散射腔10、光电倍增管12，所述激光发生体连接散射腔，所述散射腔10连接光电倍增管12，在所述散射腔10上设置有散射腔进气口 5和散射腔出气口 6，所述散射腔进气口 5连接上游进气口 3和下游进气口 4。进一步，所述激光发生体包括激光发生器7、对称安装在所述散射腔两边的石英片8和光阑9。进一步的，所述光电倍增管12外部设置有屏蔽罩11。进一步的，所述散射腔进气口 5通过四通2和高效过滤器I连接前级调零气嘴。所述激光发生器7选用长寿命的半导体激光器，根据发生气溶胶的粒径选择与之接近的波长的激光。所述散射腔10采用高强度的不锈钢材料，内部镀有消光涂层可以有效消除由于反射和折射产生的杂散光，所述石英片8采用四级抛光的高纯度石英，并保证对激光有非�：玫耐腹剩也换岵嗟脑由⒐猓龉饫�9用于消除杂光。所述散射腔出气口 6外接气泵。所述光电倍增管12固定在散射腔10的一侧，与激光光束垂直的方向上，确保被气溶胶粒子散射的光束可以被光电倍增管12检测到，根据Mie散射理论可得出，在该测量条件下，气溶胶的质量浓度和散射光强度成线性关系；在散射腔进气口 5连接的四通2，四通2的其余三个进气口分别对应于检测高效过滤器的上游进气口 3、下游进气口 4、调零气嘴，上游进气口 3、下游进气口 4、调零气嘴三路气路均可通过电磁阀调节通断，调零气嘴和四通之间连接有高效过滤器1，这样可以实现上下游的独立检测，并在调零时得到本底信号进行扣除，有效的减小了噪声对检测结果的影响。由于高效过滤器的检漏需要一个很大的动态范围，而光电倍增管本身的特性，由于存在暗电流的影响，达不到所需范围，因此本实用新型采用了调节光电倍增管增益的方式实现所需动态范围，在检测高浓度、高散射光强的时候采用光电倍增管的低增益，在检测低浓度、低散射光强的时候采用光电倍增管的高增益。
权利要求1.一种气溶胶光度计，其特征在于包括激光发生体、散射腔(10)、光电倍增管(12)，所述激光发生体连接散射腔(10)，所述散射腔(10)连接光电倍增管(12)，在所述散射腔(10)上设置有散射腔进气口(5)和散射腔出气口(6)，所述散射腔进气口(5)连接上游进气口(3)和下游进气口(4)。
2.根据权利要求1所述的气溶胶光度计，其特征在于所述激光发生体包括激光发生器(7 )、对称安装在所述散射腔两边的石英片(8 )和光阑(9 )。
3.根据权利要求1所述的气溶胶光度计，其特征在于所述光电倍增管(12)外部设置有屏蔽罩(11)。
4.根据权利要求1所述的气溶胶光度计，其特征在于所述散射腔进气口(5)通过四通(2)和高效过滤器(I)连接前级调零气嘴。
专利摘要本实用新型公开了一种气溶胶光度计，其特征在于包括激光发生体、散射腔(10)、光电倍增管(12)，所述激光发生体连接散射腔(10)，所述散射腔(10)连接光电倍增管(12)，在所述散射腔(10)上设置有散射腔进气口(5)和散射腔出气口(6)，所述散射腔进气口(5)连接上游进气口(3)和下游进气口(4)。本实用新型可完成高浓度的气溶胶检测；与气溶胶发生器配合实现上游气溶胶发生，下游气溶胶检测，进行高效过滤器的检漏，可以快速高效的检测出高效过滤器的泄露点，方便进行重新安装；通过调节光电倍增管增益可以提高光电倍增管输出信号的动态范围，满足高效过滤器检漏的要求。
文档编号G01N21/53GK202886282SQ20122041139
公开日2013年4月17日 申请日期2012年8月20日 优先权日2012年8月20日
发明者王桐, 李玉滨, 李金钟, 高建辉 申请人:青岛众瑞智能仪器有限公司
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