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专利名称：一种阵列基板检测方法、检测装置及检测系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及阵列基板检测技术领域，特别涉及一种阵列基板检测方法、检测装置及检测系统。
背景技术：
阵列基板是液晶面板的关键部件，在阵列基板上设置有多种金属配线，如在阵列基板上互相平行的栅极线和公共电极线，或互相垂直的栅极线和数据线等；这些金属配线之间的距离一般都比较小，常因微小粉尘或金属残留，导致两条金属配线之间短路，特别是在互相平行的金属配线之间，发生短路的机率最大，严重影响阵列基板的品质。因此，为了提高阵列基板的品质，需要对阵列基板中的金属配线进行检测，判断阵列基板中是否有短 路的金属配线及短路出现位置，从而便于修复阵列基板上的出现短路的金属配线。目前，一般采用阵列基板测试(ArrayTest，以下简称AT)设备来检测阵列基板中是否有短路的金属配线，具体测试方法如下如图1所示，利用AT设备依次测量阵列基板上的相邻或相近的两条金属配线之间的电阻值，当两条金属配线之间的电阻值无限大时，则判定这两条金属配线之间没有短路情况发生；当两条金属配线之间的电阻值小于设定阈值时，如设定值为1千欧，则判定这两条金属配线之间发生短路；不过目前使用AT设备的检测方法只能定位到线，即只能确定发生短路的两条金属配线在阵列基板上排列位置，不能确定在金属配线上短路发生的坐标位置，后续维修过程中只能靠人眼观察的方式进行定位，效率较低。

发明内容
本发明的目的在于提供一种阵列基板检测方法、检测装置及检测系统，用以检测阵列基板上的金属配线之间是否有短路情况发生，井能确定金属配线上短路发生的坐标位置。为了实现上述目的，本发明提供以下技术方案一种阵列基板检测方法，包括获取发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及发生短路的两条金属配线之间的电压值；根据所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。优选地，所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系具体为V^V^Li/L其中，L为发生短路的两条金属配线之间的电压值，V为电源输出的电压值，U为从金属配线一端到短路点的长度，L为金属配线的总长。优选地，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置具体通过依次测量相邻两条金属配线之间的电阻获得，当所述相邻两条金属配线之间的电阻值小于设定阈值时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。优选地，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置具体通过依次测量相邻两条金属配线之间的电压获得，当相邻两条金属配线之间有电压值存在时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。本发明同时还提供了一种阵列基板检测装置，包括获取设备，用于获取发 生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及发生短路的两条金属配线之间的电压值；控制设备，用于根据所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。优选地，所述获取设备用于依次获取相邻两条金属配线之间的电阻值，当相邻两条金属配线之间的电阻值小于设定阈值时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。优选地，所述获取设备用于依次获取相邻两条金属配线之间的电压值，当相邻两条金属配线之间有电压值存在时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。本发明同时还提供了一种阵列基板检测系统，包括短路測量装置，用于确定发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置；电压测量装置，用于测量发生短路的两条金属配线之间的电压值；控制装置，分别与所述短路測量装置和电压测量装置信号连接，用于根据发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。优选地，所述短路測量装置为电阻测量装置，包括两个测量探针，以及与所述两个测量探针信号连接的电阻测量仪。优选地，所述短路測量装置为电压测量装置，包括两个测量探针，与所述两个测量探针信号连接的电压测量仪。在本发明技术方案中，首先检测阵列基板上的金属配线，确定发生短路的金属配线在阵列基板上的排列位置或分布位置；然后检测发生短路的两条金属配线之间的电压值，根据电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。因此，与现有技术相比，利用本发明提供的阵列基板检测方法、装置及系统，可以确定在阵列基板上金属配线上短路发生的坐标位置，从而提高对阵列基板上的出现短路的金属配线进行修复的效率。


图1为现有技术中测量两条金属配线之间电阻值的示意图；图2为本发明实施例中阵列基板检测方法的流程示意图；图3为本发明实施例中測量两条金属配线之间电压值的示意图；图4为图3中两条金属配线之间发生短路的等效电路图。
附图标记10、20、30、40-金属配线;11、21、31、32、41_ 接入端子；1、2_ 导电体。
具体实施例方式现有检测阵列基板上金属配线间是否短路是通过AT设备来完成的，具体为依次测量阵列基板上两条金属配线之间的电阻值，当两条金属配线之间的电阻值无限大时，则判定这两条金属配线之间没有短路情况发生；当两条金属配线之间的电阻值小于设定阈值时，则判定这两条金属配线短路；不过目前使用AT设备的检测方法只能定位到线，即只能确定发生短路金属配线在阵列基板上的排列位置，不能确定在这条线上短路具体坐标位置，不利于后续修复阵列基板上的出现短路的金属配线。有鉴于此，本发明提供了一种阵列基板检测方法，既可确定发生短路金属配线在阵列基板上的排列位置，又可确定在金属配线上短路发生的坐标位置。为了使本领域技术人员更好的理解本发明的技术方案，下面结合说明书附图对本发明实施例进行详细的描述。首先申明，在上文以及下文叙述中提到的“金属配线”具体可为在阵列基板上的栅极线、数据线和公共电极线等，也就是说，金属配线之间的短路包括栅极线-栅极线之间，数据线-数据线之间，栅极线-数据线之间，栅极线-公共电极线之间，以及数据线-公共电极线之间。如图2所示，本发明实施例提供了一种阵列基板检测方法，包括步骤101，获取发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及发生短路的两条金属配线之间的电压值；步骤102，根据所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。在本实施例中，首先依次检测阵列基板上的金属配线，确定任意相邻或相近的两条金属配线之间是否短路，即确定发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置；然后测量发生短路的两条金属配线之间的电压值；最后根据所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。上述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置可通过下面两种方式获得继续參见图1，上述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置具体通过依次測量相邻两条金属配线之间的电阻值获得，当相邻的金属配线10和金属配线20之间的电阻值为无穷大时，则这两条金属配线之间没有发生短路；当相邻的金属配线10和金属配线20之间的电阻小于设定阈值时，则这两条金属配线之间发生短路，从而发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置确定。需要说明的是，设定阈值为导致金属配线10和金属配线20发生短路的导电体1的电阻值，一般是通过实验多次统计算而得到的一个经验值。上述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置是通过依次測量相邻两条金属配线之间的电阻值的方法得到的，也可以通过依次測量相邻两条金属配线之间的电压值的方法得到；參见图3，为本发明实施例中測量两条金属配线之间电压值的示意图。将金属配线30的接入电路，即对金属配线30的两端施加ー个电压值，在金属配线30会有电流流过；检测与金属配线30相邻或相近的金属配线40上是否有电压信号，或者说，測量金属配线3 0和金属配线40之间的电压值，当金属配线30和金属配线40之间的电压值为零吋，则金属配线30和金属配线40之间没有发生短路；当金属配线30和金属配线40之间的电压值大于零时，确定金属配线30和金属配线40之间发生短路，随之确定了发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置。上述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系可以通过下面方式获得參见图4，为图3中两条金属配线之间发生短路的等效电路图。其中金属配线30的两端施加一个电源电压V，在正常情况下，金属配线30上有电流流过，因金属配线30电阻的存在，金属配线30上电压从一端到另一端是逐渐降低的。当金属配线30和金属配线40之间发生短路吋，因金属配线40没有电流流过，因此金属配线30和金属配线40之间电压值' 为短路发生位置的电压值，从而得出关系式V^V^Li/L其中，L为发生短路的两条金属配线之间的电压值，V为电源输出的电压值，U为从金属配线一端到短路点的长度，L为金属配线的总长。基于相同的发明构思，本发明同时还提供了一种阵列基板检测装置，包括获取设备，用于获取发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及发生短路的两条金属配线之间的电压值；控制设备，用于根据所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。优选地，所述获取设备用于依次获取相邻两条金属配线之间的电阻值，当相邻两条金属配线之间的电阻值小于设定阈值时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。优选地，所述获取设备用于依次获取相邻两条金属配线之间的电压值，当相邻两条金属配线之间有电压值存在时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。使用本实例提供的阵列基板检测装置，既可确定发生短路金属配线在阵列基板上的排列位置，又可确定在金属配线上短路发生的坐标位置。本发明同时还提供了一种阵列基板检测系统，包括短路測量装置，用于确定发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置；电压测量装置，用于测量发生短路的两条金属配线之间的电压值；控制装置，分别与所述短路測量装置和电压测量装置信号连接，用于根据发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。优选地，所述短路測量装置为电阻测量装置，包括两个测量探针，以及与所述两个测量探针信号连接的电阻测量仪；继续參见图1，两个测量探针分别与接入端子11和接入端子21连接，在电阻测量仪上将会显示金属配线10和金属配线20之间的电阻值。
优选地，所述短路測量装置为电压测量装置，包括两个测量探针，与所述两个测量探针信号连接的电压测量仪；继续參见图3，两个测量探针分别与接入端子31和接入端子41连接，在电压测量仪上将会显示金属配线30和金属配线40之间的电压值。同理，使用本实例提供的阵列基板检测系统，既可确定发生短路金属配线在阵列基板上的排列位置，又可确定在金属配线上短路发生的坐标位置。综上所述，在本发明技术方案中，首先检测阵列基板上的金属配线，确定发生短路的金属配线在阵列基板上的排列位置；然后检测发生短路的两条金属配线之间的电压值，根据电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。因此，与现有技术相比，利用本发明提供的阵列基板检测方法、装置及系统，可以确定在阵列基板上金属配线上短路发生的坐标位置，从而提高对阵列基板上的出现短路的金属配线进行修复的效率。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围 之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种阵列基板检测方法，其特征在于，包括 获取发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及发生短路的两条金属配线之间的电压值； 根据所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。
2.如权利要求I所述的阵列基板检测方法，其特征在于，所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系具体为V1=V^L1ZL 其中，V1为发生短路的两条金属配线之间的电压值，V为电源输出的电压值，L1为从金属配线一端到短路点的长度，L为金属配线的总长。
3.如权利要求I所述的阵列基板检测方法，其特征在于，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置具体通过依次测量相邻两条金属配线之间的电阻值获得，当所述相邻两条金属配线之间的电阻值小于设定阈值时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。
4.如权利要求I所述的阵列基板检测方法，其特征在于，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置具体通过依次测量相邻两条金属配线之间的电压值获得，当所述相邻两条金属配线之间的电压值大于零时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。
5.一种阵列基板检测装置，其特征在于，包括 获取设备，用于获取发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及发生短路的两条金属配线之间的电压值； 控制设备，用于根据所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。
6.如权利要求5所述的阵列基板检测装置，其特征在于，所述获取设备用于依次获取相邻两条金属配线之间的电阻值，当所述相邻两条金属配线之间的电阻值小于设定阈值时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。
7.如权利要求5所述的阵列基板检测装置，其特征在于，所述获取设备用于依次获取相邻两条金属配线之间的电压值，当所述相邻两条金属配线之间有电压值大于零时，确定所述相邻两条金属配线之间发生短路，所述发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置随之确定。
8.—种阵列基板检测系统，其特征在于，包括 短路测量装置，用于确定发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置； 电压测量装置，用于测量发生短路的两条金属配线之间的电压值； 控制装置，分别与所述短路测量装置和电压测量装置信号连接，用于根据发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。
9.如权利要求8所述的阵列基板检测系统，其特征在于，所述短路测量装置为电阻测量装置，包括两个测量探针，以及与所述两个测量探针信号连接的电阻测量仪。
10.如权利要求8所述的阵列基板检测系统，其特征在于，所述短路测量装置为电压测量装置，包括两个测量探针，与所述两个测量探针信号连接的电压测量仪。
全文摘要
本发明涉及阵列基板检测技术领域，特别涉及一种阵列基板检测方法、检测装置及检测系统，用于检测阵列基板上的金属配线之间是否有短路情况发生，并能确定金属配线上短路发生的坐标位置。所述阵列基板检测方法包括获取发生短路的两条金属配线在阵列基板上的排列位置，以及发生短路的两条金属配线之间的电压值；根据所述电压值与从金属配线一端到短路点的长度的对应关系，确定在金属配线上短路发生的坐标位置。采用本发明提供的阵列基板检测方法、检测装置及检测系统，既可确定发生短路金属配线在阵列基板上的排列位置，又可确定在金属配线上短路发生的坐标位置。
文档编号G01B7/00GK102955097SQ20121041884
公开日2013年3月6日 申请日期2012年10月26日 优先权日2012年10月26日
发明者孙亮, 郭縂傑, 郭会斌, 丁向前 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司