专利名称：液态氯硅烷在线取样装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种液态氯硅烷在线取样装置。
技术背景半导体工业对于多晶硅的产品质量要求十分严格，在使用改良西门子法生产多晶 硅工艺中，对氯硅烷的组分、杂质含量分析就格外重要。目前，现有的氯硅烷取样分析方式 主要有两种一种是打开阀门将氯硅烷直接放出至取样瓶。该方式在取样过程中氯硅烷 始终与大气接触，置换流出的氯硅烷直接排放在大气中，不能回收。因氯硅烷是一种易燃易 爆、有强腐蚀性液体，故该取样方式的取样操作过程十分危险，且因氯硅烷遇到空气中的水 分水解会严重影响样品分析结果。另一种是使用取样柜(专利号=200820061953. 9)，其原 理是利用管路内流体自身压力，将氯硅烷引出管外冷凝、置换、管外回收并取样，再使用氮 气吹扫管路。该方式的不足之处在于结构复杂，零配件、外接接管较多；取样柜占地面积 大，且不可移动；取样冷却装置难以发挥作用；取样管线过长需较长时间置换，导致氯硅烷 损失较多；整个取样操作流程比较复杂，对取样操作人员操作熟练度要求较高；因整个取 样装置设置复杂，所需管线、阀门、接头较多，导致该套取样装置价格昂贵。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单的氯硅烷在线取样装置。解决上述技术问题的技术方案是液态氯硅烷在线取样装置，包括取样瓶，管线， 三通阀，截止阀，其特征在于取样瓶至少有一个输入口和一个输出口，输入口那一端连接 有输入装置，输出口那一端连接输出装置。输入装置末端与调节阀压力较高的那一端的氯硅烷管道连接，输出装置末端与调 节阀压力较低的那一端的氯硅烷管道连接；输入装置和输出装置通道上，分别至少连接有 一个三通阀和一个截止阀。进一步的是取样瓶，管线，三通阀，截止阀以及取样点之间的连接为法兰连接。作为上述技术方案的优选方式是，连接法兰是快速接头法兰。进一步的是，取样管线为透明软管、取样瓶带有石英玻璃视窗。本实用新型的有益效果是液态氯硅烷在线取样装置，整个取样瓶的输入口和输 出口上连接有输入装置和输出装置，结构简单；输入装置、输出装置附属在氯硅烷管道上， 占地�。⊙掏耆τ诿芊庾刺⊙踩Ｖと∥锏姆治鲋柿浚夜钩杀救⊙� 置的部件少，各部件间采用法兰连接，操作方便，成本低廉，对操作人员的技术要求低。
图1为本实用新型液态氯硅烷在线取样装置的示意图。图中标记为取样瓶1，管线2，三通阀3，截止阀4，氯硅烷管道5，调节阀6，氯硅烷 管道7。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步的说明。本实用新型的液态氯硅烷在线取样装置，是取样瓶1输入口上的输入装置连接在 调节阀6压力较高的那一端的氯硅烷管道5上，输出口上的输出装置连接在调节阀6压力 较低的那一端的氯硅烷管道7上的取样装置进行取样。所述的输入、输出装置，可以是简单 的管线，这种方式取样时，有很多不便，如取样完成后取下取样瓶时需要人工切断输入、输 出管线，置换吹扫过程也存在取样瓶瓶口敞开的缺点。解决上述问题的最好方法是在输入、 输出装置上设置截止阀和三通阀。参看图1的液态氯硅烷在线取样装置，包括一个取样瓶1，取样瓶1上至少有一个 取样输入口和至少一个取样输出口 ；输入口和输出口上通过管线2分别连接有由至少一个 三通阀3和至少一个截止阀4组成的输入装置和输出装置，在输入装置和输出装置中，三通 阀位于靠近取样瓶那一端，截止阀位于另一端；输入装置的不与取样瓶连接的那一端连接 在调节阀6压力较高的氯硅烷管道5那一侧，输出装置的不与取样瓶连接的那一端连接在 调节阀6压力较低的氯硅烷管道7那一侧。此时输入、输出装置上的三通阀2、截止阀3均 处于关闭状态，开始取样前打开三通阀的两个开关，保证通入取样瓶的通道畅通，再打开截 止阀，因氯硅烷管道5与氯硅烷管道7之间的压力差，氯硅烷样品进入取样瓶，达样取样数 量后关闭截止阀3和三通阀2，从三通阀2处(包括三通阀2)拆下取样开瓶，取样完成。为了便于取样瓶可以用于多个取样点时的拆卸方便，整套装置均采用法兰连接。 进一步的为了操作简单，管线2均采用快速接头，拆卸时不需要专用工具，这样一个人便可 以完成取样，对操作人员的要求也不高。为了便于对整个取样过程的观察，保证样品的数量和质量，在取样瓶1上设置有 石英玻璃视窗，管线2全部采用透明管线。这样在取样过程中便可以随时观察到取样的情 况。
权利要求液态氯硅烷在线取样装置，包括取样瓶(1)，管线(2)，三通阀(3)，截止阀(4)，其特征在于取样瓶(1)至少有一个输入口和一个输出口，输入口那一端连接有输入装置，输出口那一端连接有输出装置。
2.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于输入装置末端与调 节阀(6)压力较高的那一端的氯硅烷管道(5)连接，输出装置末端与调节阀(6)压力较低 的那一端的氯硅烷管道(7)连接。
3.根据权利要求2所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于输入装置和输出装 置通道上，分别至少连接有一个三通阀(3)和一个截止阀(4)。
4.根据权利要求3所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于取样瓶(1)，管线 (2)，三通阀(3)，截止阀(4)以及取样点之间的连接为法兰连接。
5.根据权利要求4所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于所述的连接法兰是 快速接头法兰。
6.根据权利要求1 5中任一项所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于管线 (2)为透明软管。
7.根据权利要求6中任一项所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于取样瓶(1) 上设有石英玻璃视窗。
8.根据权利要求1 5中任一项所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于取样 瓶(1)上设有石英玻璃视窗。
专利摘要本实用新型公开了一种液态氯硅烷在线取样装置，所述的取样装置包括取样瓶(1)，管线(2)，三通阀(3)，截止阀(4)，取样瓶(1)至少有一个输入口和一个输出口，输入口那一端连接有输入装置，输出口那一端连接有输出装置。所述的取样装置，结构简单，操作方便，成本低廉。主要运用于氯硅烷组分、杂质含量分析的取样过程。
文档编号G01N1/10GK201555740SQ200920313458
公开日2010年8月18日 申请日期2009年10月28日 优先权日2009年10月28日
发明者唐前正, 张新, 李钊, 王璜, 郭勇 申请人:乐山乐电天威硅业科技有限责任公司
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