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专利名称：使用对真空泵排气的气体测量来监控冷冻干燥的制作方法
技术领域：
本发明整体上涉及用于使用真空和低温从产品中移除水分的冷冻干燥工艺。更具体地，本发明涉及在执行冷冻干燥操作之前、期间和之后监控工艺参数的问题。
背景技术：
冷冻干燥是以冰的形式从产品中移除溶剂、典型地为水的工艺。尽管水在本公开中用作示例溶剂，但是其他溶剂例如酒精也在冷冻干燥工艺中使用，并且可以与本公开的方法和仪器一起使用。在冷冻干燥工艺中，产品被冷冻，并且在真空下，冰升华且蒸气流向冷凝器。水或其他溶剂在冷凝器上冷凝为冰，并且在后期阶段中移除。冷冻干燥在制药行业中是特别有用的，因为在冷冻干燥工艺期间保存产品的完整性并且能够在较长的时间段上保证产品的稳定性。冷冻干燥的产品通常为生物品并且通常容纳在小瓶中。如由图I的示例冷冻干燥系统100所示，一批产品112被置于冷冻干燥腔110内的冷冻干燥器搁板121上。冷冻干燥器搁板121是中空的且用于支承产品，并且如工艺所需，向产品传递热量和从产品中传递热量。热传递流体114流过搁板以移除或添加热量。由产品112中的冰的升华生成的水蒸气经过通道115流入冷凝腔120内，冷凝腔120包括维持在冷凝温度以下的冷凝旋管或其他表面122。冷却剂125穿过旋管122以移除热量，从而导致水蒸气在旋管上凝结为冰。冷冻干燥腔110和冷凝腔120在工艺期间通过真空泵150维持在真空下，真空泵150具有连接到冷凝腔120的排放口上的低压入口 151。容纳在腔110、120中的不可凝气体通过真空泵150移除并且在高压出口 152处排出。制药冷冻干燥是需要在冷冻干燥腔110和冷凝腔120内的无菌条件的无菌工艺。冷冻干燥周期可能持续数天，并且在单批次中加工的产品的数量可能代表很大的投资。因此，关键是在周期开始之前且对于周期的持续时间确保冷冻干燥系统是无菌且无泄漏的。在冷冻干燥腔中的搁板和冷凝腔中的旋管均为中空的，并且容纳热传递介质。重要的是一旦发生泄漏就能够检测到那些非无菌流体向加工容器内的任何泄漏。在冷凝器中，所使用的冷却剂介质可能为很低的粘度，并且具有低的蒸气压，从而使泄漏的检测困难。在冷凝回路由制冷剂的直接膨胀进行冷却的情况下，气态制冷剂的泄漏也难以检测并且在冷冻干燥工艺中是不期望的。在冷冻干燥腔中，中空搁板由典型地为很低粘度的硅油之类的热流体进行冲洗。这些硅油也具有很低的蒸气压，从而使检测泄漏很难。由此，存在对在不干扰无菌冷冻干燥工艺的情况下检测泄漏、优选地为实时检测的需求。所述腔和连接通道处于真空下并且由此需要维持穿过它们的壁的高压差。任何经过壁进入无菌腔内的非无菌环境气体的泄漏必须尽可能快和准确地检测到。已经提出了执行二次干燥操作，其中，在最后的干燥阶段通道130临时绕开冷凝腔120以移除小量的残余水分。在二次干燥操作中，来自产品的小量的残余水蒸气穿过真空泵150并且包含在真空泵排气中。二次干燥工艺理论上受到真空泵抽吸水蒸气的容量限制。在执行二次干燥操作中的一个预期问题是充分检测或测量产品中的水分含量以用于监控操作的进程。需要用于在不干扰制药干燥工艺的情况下测量水移除的系统。大多数冷冻干燥器诊断技术是直接的，并且分析干燥腔中的气体的情况。泄漏的直接检查可能因很大的冷冻干燥器而复杂化，其中不能进行手动检查。另外，如果泄漏涉及冷冻干燥周期中的某些时间段，或涉及某些高温或低温，则检测的可能性可能很小。这种原位低压分析技术的示例为使用质谱法的残余气体分析、以及存在很多特定方法的分压气体分析。在这些技术中固有地存在若干缺点。所述测量在低压力下进行，意味着在导致检测困难的低浓度下进行。此外，在冷冻干燥腔和冷凝腔内的气流包括来自干燥工艺的大量的水(99%)，这可能压制其他式样的测量。测量技术可能与干燥工艺相干扰。这些原位低压检测技术在本性上必须对位于冷冻干燥所发生的无菌环境内的气流进行取样。但是，这些技术中的很多涉及不容易消毒的传感器。这些技术中的一些甚至生成副产品例如化学反应式样，这可能以不利的方式影响被干燥的物质。 由此，存在对在不干扰常规工艺程序的情况下有效地监控冷冻干燥工艺的技术的需求。该技术应当易于自动化，应当不将污染物引入工艺内，并且应当以高精度检测工艺中的泄漏或其他异常。

发明内容
本公开通过提供用于分析含有溶剂蒸气的气流的方法来解决上述需求。在所述方法中，所述溶剂蒸气首先从所述气流中移除以产生不可凝气流。所述不可凝气流被压缩以产生压缩气流。随后测量压缩气流中的物质浓度。含有溶剂蒸气的气流可以是来自冷冻干燥腔的排气。所述冷冻干燥腔可以包括含有热传递流体的中空冷冻干燥搁板，在这种情况下，在压缩气流中测量的物质为从搁板中泄漏的热传递流体。所述热传递流体可包括全氟流体，在这种情况下，使用齒素检漏仪测量全氟流体的浓度。从气流中移除溶剂蒸气的步骤可能包括使气流穿过包括冷却的冷凝表面的冷凝腔。在该情况下，所测量的物质可以是泄漏到冷凝腔内的用于冷却所述冷凝表面的介质。所测量的物质可以是在清洁加工腔中使用的残余清洁物质。所述清洁物质可以为过氧化氢(H2O2)或二氧化氯(ClO2)。测量步骤可能包括使用声光谱测定来测量物质的浓度。测量步骤可能包括使用从由多通道腔增强吸收光谱测定(CEAS)和光腔衰荡光谱测定(CRDS)构成的组中选取的测量技术。所述方法的另一实施例是用于使产品冷冻干燥的方法。在该方法中，热量从所述产品中移除以冷冻所述产品中所含的溶剂。所述产品中的所述冷冻溶剂升华以形成包含在远离所述产品流动的低压气态流出物中的溶剂蒸气。所述溶剂蒸气中的至少一些从所述低压气态流出物冷凝，并且使用真空泵压缩所述气态流出物。在真空泵的高压侧测量所述气态流出物中的至少一种痕量物质的浓度。可以使用包括热传递流体的中空冷冻干燥搁板将热量从所述产品中移除。在所述气态流出物中测量的物质可以为从所述搁板中泄漏的热传递流体。所述热传递流体可包括全氟流体，在这种情况下，使用卤素检漏仪测量全氟流体的浓度。溶剂蒸气从所述低压气态流出物的冷凝可包括使所述低压气态流出物穿过包括冷却的冷凝表面的冷凝腔。在这种情况下，在所述气态流出物中测量的物质可以为用于冷却所述冷凝表面的介质。在所述气态流出物中测量的物质可以为在清洁加工腔中使用的残余清洁物质。所述清洁物质可以为过氧化氢(H2O2)或二氧化氯(ClO2)。 本发明的另一实施例是冷冻干燥器系统。所述系统包括用于在冷冻干燥工艺期 间容纳产品的冷冻干燥腔；冷凝腔，该冷凝腔与所述冷冻干燥腔连通且包括用于使来自由所述冷冻干燥腔接收的排放气体的溶剂蒸气冷凝的表面；具有低压入口和高压出口的真空泵，所述真空泵的所述低压入口与所述冷凝腔连通；以及被连接而用于接收来自所述真空泵的所述高压出口的排放气体的测试仪器，所述测试仪器用于测量包含在所述排出气体中的物质的存在。所述冷冻干燥腔可以包括含有热传递流体的中空冷冻干燥搁板。在该情况下，所述测试仪器可以测量来自所述搁板的痕量的热传递流体。所述热传递流体可包括全氟流体，在这种情况下，所述测试仪器可以为卤素检漏仪。用于使溶剂蒸气冷凝在所述冷凝腔中的表面可包括冷却的冷凝表面。在该情况下，所述测试仪器可以测量泄漏到所述冷凝腔内的用于冷却所述冷凝表面的痕量介质。所述测试仪器可以测量用于清洁所述加工腔的痕量的残余清洁物质。所述清洁物质可以为过氧化氢(H202)或二氧化氯(C102)。所述测试仪器可以为声光光谱仪。所述测试仪器可以为多通道腔增强吸收光谱仪(CEAS )和光腔衰荡光谱仪(CRDS )。本发明的又一实施例是用于使产品冷冻干燥的方法。热量从位于冷冻干燥腔中的所述产品中移除以冷冻所述产品中所含的溶剂。所述产品中的所述冷冻溶剂升华以形成包含在远离所述产品流动的低压气态流出物中的溶剂蒸气。使用真空泵压缩所述气态流出物。所述工艺通过在所述真空泵的高压侧上测量所述气态流出物中的溶剂蒸气的浓度而进行监控。


图I是根据本公开的一个实施例的冷冻干燥系统的示意图。图2是现有技术的声光检测系统的示意图。图3是示出了根据本公开的一个方面的方法的流程图。图4是示出了根据本公开的另一方面的方法的流程图。
具体实施例方式本公开描述了用于对特定调节的气流执行排放分析的系统和方法。更具体地，本公开的系统和方法监控冷冻干燥工艺以用于故障，并且核查某些工艺参数。为了监控在排空的加工腔内的情况，使用气体分析设备190 (图I)分析在真空泵的排放侧的压缩气体以确定某些痕量的不可凝气体的存在和浓度。该信息用于检测泄漏的存在和严重性，并且用于测量工艺参数。
现代痕量气体分析设备能够检测甚至为十亿分率(ppb)水平的浓度。这些系统的分辨率容许背景气体与待确定气体之间的极好的区分。本公开提出了一种技术，其中这种痕量气体分析设备在冷冻干燥工艺中布置在真空泵的高压侧。该技术使得用于监控冷冻干燥工艺的若干诊断工具成为可能，包括在二次干燥过程期间检测制冷剂和热传递流体的小泄漏，检测来自大气的真空泄漏，检测残余清洁物质，以及测量水蒸气的水平。气体分析设备的区分特性对于将设备置于真空泵的排放侧上是关键的，其中来自泵的油、以及其他杂质可能另外地压制待检测的痕量气体。这种痕量气体分析设备的一个不例是图2中不意性所不的声光光谱仪200。声光光谱测定是在确定极低浓度的气体中使用的技术。该技术基于通过光能的吸收而产生的声波。来自真空泵的高压出口 152 (图I)且含有靶标物质的气体混合物290经过进入腔220 内的入口 201进行取样。在所述腔中，在中IR区域中的激光器230被选通以击中在所述腔中的物质。当吸收发生时，选通的吸收产生能够由声学麦克风260接收的压力波250。通过将激光器调节至待检测气体的准确的吸收频率，能够以直接的方式测量吸收水平。声光光谱测定的灵敏度为PPb级。测量可以在大气压力下进行，或者在真空泵出口的下游使用真空增压泵(未示出)的情况下，可以在亚大气压力下进行。声光光谱测定目前在农业应用中使用以测量乙烯，乙烯是干扰成熟水果的植物生长素。发明人已经发现，在真空泵的高压侧上进行的气体分析可以用于监控冷冻干燥工艺或相似的工艺。在图3的流程图中所示的技术300实际上是为了诊断的目的而对特定调节的气流的排放分析。气流通过在310首先从气流中移除水蒸气而被调节。在冷冻干燥系统中，该步骤通过冷凝腔执行，冷凝腔将来自气流的水冷凝为冰。在320，剩余的不可凝气体被压缩。在冷冻干燥系统中的压缩通过真空泵执行，真空泵压缩来自冷凝腔的气体。随后在330，通过特定方法分析所调节和压缩的气流。通过图4的流程示了应用到冷冻干燥工艺的方法的示例实施例400。在410，热量从产品中移除以冷冻产品中所含的水。通过迫使热传递流体穿过支承产品的搁板而在冷冻干燥腔中进行热量移除过程。在420，通过使冷冻产品经受真空条件和轻微的温度升高，产品中的冷冻水升华，从而形成水蒸气。水蒸气包含在远离产品流动且流出冷冻干燥腔的低压气态流出物中。在430，在冷凝腔中，气态流出物中的水蒸气冷凝为聚集在冷凝表面上的冰。冷凝表面由冷却剂冷却，冷却剂移除由冷凝过程释放的热量。在一个示例实施例中，表面冷却至-70°C至_90°C的温度。在440，容纳在冷凝腔中的不可凝气体进入真空泵的低压入口，其中不可凝气体被压缩。在450，在真空泵的高压排放口处，测量这些压缩气体中的痕量物质的浓度。从真空泵排出的气体的分析可以使用如上所述的声光光谱测定或通过能够检测大气气体中的痕量物质的任意其他技术进行。例如，可以使用多通道腔增强吸收光谱测定(CEAS)和光腔衰荡光谱测定(CRDS)。在每种情况下，真空泵用作测量仪与无菌腔之间的隔障，从而避免腔的污染以符合制药行业的需求。在一个示例实施例中，系统监控从真空泵的流动是否存在热传递流体，热传递流体在正常情况下容纳在搁板内。该流体在真空泵排气中的即使痕量的存在也可以表明从搁板到冷冻干燥腔内的泄漏。
用作搁板中的热传递流体的硅油、以及在冷凝器旋管中使用的制冷剂油具有与常规真空泵中使用的油的光谱不同的非常独特的光谱。当在真空泵排放口处使用摄谱技术例如声光光谱测定、多通道腔增强吸收光谱测定(CEAS)或光腔衰荡光谱测定(CRDS)时，对于热传递硅油和/或制冷剂油的最重要的吸收峰值的高度的校准容许将这些油彼此区分、与在真空泵中使用的油区分、并且与可能存在于真空泵排气中的任意其他物质区分。热传递油可能是易于经由卤素检漏仪检测的全氟流体。适于在当前所述系统中使用的这样一种卤素检漏仪为由美国纽约州雪城的Inficon出售的D-TEK 选择制冷剂检漏仪。该装置检测样品对红外能量的吸收。如上所述，卤素检漏仪置于真空泵排放口处。全氟流体或者完全用作热传递流体，或者以足以被卤素检漏仪检测的量与硅油相混合。当前所述系统也可以用于检测来自冷凝腔中的冷凝表面和旋管的冷却剂泄漏。冷却剂可以使用如上所述的卤素检漏仪进行检测，或者可以是具有独特光谱的物质，该光谱通过其他气体分析设备进行监控。与产品搁板的热传递流体一样，冷凝器冷却剂可以为全氟的以有利于在真空泵排气中的检测。、在系统的任何位置的真空泄漏可能导致在真空泵排气中的不可凝的污染物。尽管在冷冻干燥腔和冷凝腔中是难以检测的低浓度，但是这些污染物被真空泵压缩和浓缩，并且可以使用本公开的技术进行检测。例如，气体分析设备可以构造为检测可能存在于大气环境下的常见的有机和无机污染物的光谱。这些污染物可以天然地发生或者可以为了通过系统检测而引入环境气体中。可选地，气体分析设备可以构造为检测在所生成的光谱中的、在设备的常规操作期间不会出现的任意峰值。在该情况下，特征谱或基线谱可以在设备的已知的无问题运行期间建立。后面测量的含有新峰值的光谱将被视为不可信。当前所述系统的又一应用是检测从用于冷冻干燥器中的其他功能的物质剩余的痕量气体。例如，气化的过氧化氢(H2O2)或二氧化氯(ClO2)用作在周期之间在冷冻干燥系统中的消毒剂。类似于以上讨论的硅油，H2O2具有在中IR范围内的非常独特的光谱。通过气体分析设备进行的测量由此可以用于确定H2O2的浓度在消毒周期之后对于开始生产而言是否足够低到可接受。随着新型的、更高效一代的干式真空泵的出现，可能的是在不使用冷凝腔的情况下直接通过真空泵从产品中移除一定量的水。例如，二次干燥操作可以在使用冷凝腔将大部分水从产品中移除之后执行。在一个示例中，旁路导管130 (图I)用于绕过冷凝腔120，代之以将气体从干燥腔110直接引导至真空泵150。产品112中的少量剩余水分升华，并且直接被引导通过真空泵150。在该步骤期间，冷凝腔120可再生(即，除冰)以用于一次干燥的下一周期。在二次干燥期间，水蒸气输送的速率很低。置于冷冻干燥仪器的真空部分中的当前使用的测量技术例如可调谐二极管激光吸收光谱(TDLAS)因低浓度而复杂化。通过将气体分析设备置于干式真空泵的排放侧，水蒸气的浓度能够被推导出，并且该信息可以用作在产品瓶中的平均剩余水分含量的指示。在真空泵的大气压力侧进行气体分析的上述系统具有优于当前所用系统的很多优点。减小压力的气体在泵的排放侧上压缩至大气压力。尽管这些气体的浓度可能仍然低于大气压力，但是存在有助于引致可检测水平的特定信号的更多分子，从而容许更宽泛地选取化学分析技术。具体地，可以使用光谱技术。
此外，当在冷冻干燥工艺进行的同时进行分析例如检测搁板泄漏的情况下，待分析的排放气体已经被除去大量的水蒸气，否则该水蒸气将淹没信号。在气流抵达真空泵之前，水蒸气在低压力下冷冻在冷凝器旋管上。真空泵仅压缩不可凝气体，这揭示了冷冻干燥器在干燥期间的情况。由于气体分析设备位于冷冻干燥系统的无菌区外，因此当前的冷冻干燥器的应用可以使用当前所述系统进行改进而不需要冷冻干燥工艺的再生效。用于在诸如制药行业之类的行业中使用的设施由此更快且成本更低。前述详细的说明应当在每个方面均理解为说明性和示例性而非限制性的，并且本文公开的本发明的范围不是由本发明的说明书确定，而是由根据专利法所容许的全面广度解释的权利要求书确定。应当理解的是，本文所示和所述的实施例仅仅是例示本发明的原 理，并且各种变型可以由本领域的技术人员实施而不偏离本发明的范围和精神。
权利要求
1.用于分析含有溶剂蒸气的气流的方法，所述方法包括下述步骤 将所述溶剂蒸气从所述气流中移除以产生不可凝气流； 压缩所述不可凝气流以产生压缩气流；以及 测量在所述压缩气流中的物质的浓度。
2.如权利要求I所述的方法，其中，含有溶剂蒸气的所述气流是来自冷冻干燥腔的排气。
3.如权利要求2所述的方法，其中，所述冷冻干燥腔包括含有热传递流体的中空冷冻干燥搁板，并且在所述压缩气流中测量的物质是从所述搁板泄漏的热传递流体。
4.如权利要求3所述的方法，其中，所述热传递流体包括全氟流体，并且测量物质的浓度的步骤包括使用卤素检漏仪测量全氟流体的浓度。
5.如权利要求I所述的方法，其中，从所述气流中移除所述溶剂蒸气的步骤包括使所述气流穿过包括冷却的冷凝表面的冷凝腔。
6.如权利要求5所述的方法，其中，所测量的物质是泄漏到所述冷凝腔内的、用于冷却所述冷凝表面的介质。
7.如权利要求I所述的方法，还包括下述步骤 使用清洁物质清洁在所述方法中使用的加工腔；并且 其中，所测量的物质是残余清洁物质。
8.如权利要求7所述的方法，其中，所测量的物质包括从包含过氧化氢(H2O2)和二氧化氯(ClO2)的组中选取的物质。
9.如权利要求I所述的方法，其中，测量在所述压缩气流中的物质的浓度的步骤还包括使用声光光谱测定来测量所述物质的浓度。
10.如权利要求I所述的方法，其中，测量在所述压缩气流中的物质的浓度的步骤还包括使用从包含多通道腔增强吸收光谱测定(CEAS)和光腔衰荡光谱测定(CRDS)的组中选取的测量技术。
11.用于使产品冷冻干燥的方法，所述方法包括下述步骤 将热量从所述产品中移除以冷冻所述产品中所含的溶剂； 使所述产品中的所述冷冻溶剂升华以形成包含在远离所述产品流动的低压气态流出物中的溶剂蒸气； 使所述溶剂蒸气中的至少一些从所述低压气态流出物冷凝； 使用真空泵压缩所述气态流出物；以及 在所述真空泵的高压侧上测量在所述气态流出物中的至少一种痕量物质的浓度。
12.如权利要求11所述的方法，其中，使用包括热传递流体的中空冷冻干燥搁板将热量从所述产品中移除。
13.如权利要求12所述的方法，其中，在所述气态流出物中测量的物质是从所述搁板泄漏的热传递流体。
14.如权利要求13所述的方法，其中，所述热传递流体包括全氟流体，并且测量至少一种痕量物质的浓度的步骤包括使用卤素检漏仪测量所述全氟流体的浓度。
15.如权利要求11所述的方法，其中，使所述溶剂蒸气中的至少一些从所述低压气态流出物冷凝的步骤包括使所述低压气态流出物穿过包括冷却的冷凝表面的冷凝腔。
16.如权利要求15所述的方法，其中，在所述气态流出物中测量的物质是用于冷却所述冷凝表面的介质。
17.如权利要求11所述的方法，还包括下述步骤 使用清洁物质清洁在所述方法中使用的加工腔；并且 其中，在所述气态流出物中测量的物质是残余清洁物质。
18.如权利要求17所述的方法，其中，在所述气态流出物中测量的物质包括从包含过氧化氢(H2O2)和二氧化氯(ClO2)的组中选取的物质。
19.如权利要求11所述的方法，其中，在所述真空泵的高压侧上测量在所述气态流出物中的至少一种痕量物质的浓度的步骤还包括使用声光光谱测定来测量所述物质的浓度。
20.如权利要求11所述的方法，其中，在所述真空泵的高压侧上测量在所述气态流出物中的至少一种痕量物质的浓度的步骤还包括使用从包含多通道腔增强吸收光谱测定(CEAS)和光腔衰荡光谱测定(CRDS)的组中选取的测量技术。
21.—种冷冻干燥系统,包括 用于在冷冻干燥工艺期间容纳产品的冷冻干燥腔； 冷凝腔，该冷凝腔与所述冷冻干燥腔连通，且包括用于将来自从所述冷冻干燥腔接收的排放气体的溶剂蒸气冷凝的表面； 具有低压入口和高压出口的真空泵，所述真空泵的低压端与所述冷凝腔连通；以及 被连接而用于从所述真空泵的所述高压出口接收排放气体的测试仪器，所述测试仪器用于测量包含在所述排放气体中的物质的存在。
22.如权利要求21所述的系统，其中，所述冷冻干燥腔包括含有热传递流体的中空冷冻干燥搁板。
23.如权利要求22所述的系统，其中，所述测试仪器测量来自所述搁板的痕量的热传递流体。
24.如权利要求23所述的系统，其中，所述热传递流体包括全氟流体，并且所述测试仪器为卤素检漏仪。
25.如权利要求21的所述的系统，其中，用于使溶剂蒸气在所述冷凝腔中冷凝的表面包括冷却的冷凝表面。
26.如权利要求25所述的系统，其中，所述测试仪器测量泄漏到所述冷凝腔内的、用于冷却所述冷凝表面的痕量介质。
27.如权利要求21所述的系统，其中，所述测试仪器测量用于清洁所述加工腔的痕量的残余清洁物质。
28.如权利要求27所述的系统，其中，所述清洁物质包括从包含过氧化氢(H2O2)和二氧化氯(ClO2)的组中选取的物质。
29.如权利要求21所述的系统，其中，所述测试仪器为声光光谱仪。
30.如权利要求21所述的系统，其中，所述测试仪器为从包含多通道腔增强吸收光谱仪(CEAS)和光腔衰荡光谱仪(CRDS)的组中选取的仪器。
31.用于使产品冷冻干燥的方法，所述方法包括下述步骤 将热量从位于冷冻干燥腔中的所述产品中移除以冷冻所述产品中所含的溶剂； 使所述产品中的冷冻溶剂升华以形成包含在远离所述产品流动的低压气态流出物中的溶剂蒸气； 使用真空泵压缩所述气态流出物； 通过在所述真空泵的高压侧上测量在所述气态流出物中的所述溶剂蒸气的浓度来监控所述冷冻干燥。
全文摘要
通过测量在真空泵排气中的痕量物质来监控冷冻干燥工艺的参数。所述测量使用诸如声光光谱测定、多通道腔增强吸收光谱测定(CEAS)和光腔衰荡光谱测定(CRDS)之类的技术进行。所述技术可以用于诊断诸如在冷冻干燥搁板中的泄漏、在冷凝旋管中的泄漏、大气在所述腔中的泄漏和残余清洁物质的存在之类的问题。所述技术还可以用于监控水蒸气在二次干燥过程的排气中的存在。
文档编号G01N31/00GK102667467SQ200980163073
公开日2012年9月12日 申请日期2009年12月22日 优先权日2009年12月22日
发明者C·J.J.M.·德贝斯特, D·德博, F·W·德玛科, J·A.W.M.·科沃 申请人:Ima生命北美股份有限公司