专利名称：样品台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体行业的测试分析技术领域，尤其涉及一种用于俄歇电子能
谱仪的样品台。
背景技术：
俄歇电子能谱仪是通过高能量的电子束(或X射线)照射固体样品表面，与样品的原子发生碰撞，使样品内的原子内壳层电子因电离激发而留下一个空位，这时较外层电子向这一能级跃迁使原子释放能量，在这个过程中可以发射有特征能量的X射线或者也可以将这部分能量交给另外一个外层电子，引起进一步电离，从而发射出具有特征能量的俄歇电子，通过检测俄歇电子的能量与强度可以获得有关表面层化学成分定性或定量信息。[0003] 俄歇电子能谱仪是常用的一种表面分析类仪器，广泛地运用于失效分析，由于其束斑�。砻媪槊舳雀撸诒砻娣治隽煊蚓哂形薹ㄌ娲牡匚�。俄歇电子能谱仪主要通过检测样品表面5-70A深度范围内的俄歇电子来获得样品表面成分信息。 俄歇电子能谱仪的组成部分包括电子光学系统、电子能量分析器、样品安放系统、离子枪和超高真空系统。为了获得尽可能较为准确的俄歇电子信息，分析人员都期望能获得信噪比较高，没有由噪声或者荷电效应所造成干扰的俄歇电子图谱。但是在实际的分析过程中，由于能量分析种类和构造的限制，必须辅助于其他一些手段才能达到此目的。对于采用半球形能量分析器的俄歇电子能谱仪来说(例如VG Microlab350俄歇电子能谱仪)，由于其样品台安装位置的限制，要想获得较好的俄歇电子图谱，必须将样品台倾斜一定的角度以使得俄歇电子垂直进入能量分析器，从而有效的提高俄歇电子的穿透率，获得更好的信噪比。 请参考图1A至图1B，其中图1A为样品台水平放置，即倾斜O度的样品表面所探测到的俄歇电子强度与俄歇电子动能的关系图，图1B为样品台倾斜60度的样品表面所探测到的俄歇电子强度与俄歇电子动能的关系图。由图中可以看出，相比于水平放置的样品，倾斜至60度的样品表面所探测到的俄歇电子信号大为增强，并且当样品水平放置时，荷电效应所造成的谱峰(特别是低能量峰)的扭曲或者位移(图1A中用圆圈标识的部分)会干扰谱图的正常收集和解读，而当样品倾斜一定角度后，荷电效应消失，此时我们得到的谱图就是完全真实可信的。因此倾斜60度角可以很大程度地提高俄歇电子能谱仪的分析效果。[0006] 为了解决这个问题，目前通常是对样品台进行手动制动来达到倾斜的效果。请参考图2，图2是现有样品台的立体图，样品水平放置在样品台载物台11上，再用中间空、边缘只有2mm厚度的环状螺帽压住样品的边缘，确保样品不能移动。这样放置在样品台载物台11上的样品的初始状态是水平的，必须倾斜60度才能使俄歇电子垂直进入能量分析器。但是由于目前对样品台进行倾斜都是通过手动制动的，例如通过样品室内的齿轮联动调整样品台来实现的，因而难免会使操作程序复杂，且重复性不能得到保证。
实用新型内容本实用新型提供一种样品台，以解决在进行俄歇电子能谱仪分析时，样品台的倾斜必须靠手动制动，导致操作程序复杂、重复性不能得到保证的问题。 为解决上述问题，本实用新型提出一种样品台，所述样品台包括底座以及设置于
所述底座上的载物台，其中，所述载物台的载物面与水平面具有一夹角。 可选的，所述载物台的载物面与水平面的夹角范围为45 60度。 可选的，所述载物台的载物面具有刻度线，所述刻度线由水平线和竖直线组成。 可选的，所述载物台的载物面的形状为矩形或圆形。 可选的，所述载物台通过铜胶使样品固定在其载物面上。 可选的，所述载物台通过螺帽使样品固定在其载物面上。 可选的，所述样品台的材质为非磁性材料，其中，所述样品台的材质为非磁性的金属。[0015] 与现有技术相比，本实用新型所提供的样品台包括底座以及设置于所述底座上的载物台，所述载物台的载物面与水平面具有一个夹角，待分析的样品可以放置在所述载物面上，使得进行俄歇电子能谱仪分析时俄歇电子可直接垂直进入能量分析器，简化了操作程序，节约了工作时间，提高了工作效率，同时能够保证样品分析角度的一致性，提高了重复性。
图1A为样品台倾斜0度的样品表面所探测到的俄歇电子强度与俄歇电子动能的关系图； 图1B为样品台倾斜60度的样品表面所探测到的俄歇电子强度与俄歇电子动能的
关系图；[0018][0019][0020][0021][0022]
图2为现有的样品台的立体图3A为本实用新型第一个实施例的立体图图3B为本实用新型第一个实施例的右视图图4A为本实用新型第二个实施例的立体图图4B为本实用新型第二个实施例的右视图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的样品台作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。 本实用新型的核心思想在于，提供一种样品台，以使进行俄歇电子能谱仪分析时，俄歇电子可直接垂直进入能量分析器，简化了操作程序，节约了工作时间，提高了工作效率，同时能够保证样品分析角度的一致性，提高了重复性。 请参考图3A和图3B，其中，图3A为本实用新型第一个实施例所提供的样品台的立体图，图3B为本实用新型第一个实施例所提供的样品台的右视图，如图3A至图3B所示，该样品台包括底座100以及设置于所述底座100上的载物台IIO，所述载物台110的载物面的形状为矩形，其载物面与水平面的夹角为60度，并且所述载物面具有由水平线和竖直线所
组成的刻度线。待分析的样品可依据载物台iio载物面的刻度线通过铜胶粘在载物面的合
适区域，所述放在载物面上的样品在进行俄歇电子能谱仪分析时，可以使俄歇电子直接垂直进入能量分析器，可简化操作程序，节约工作时间，提高工作效率，同时能够保证样品分析角度的一致性，提高重复性。 请继续参考图4A和图4B，其中，图4A为本实用新型第二个实施例所提供的样品台的立体图，图4B为本实用新型第二个实施例所提供的样品台的右视图，如图4A至图4B所示，该样品台包括底座200以及设置于所述底座200上的载物台210，所述载物台210的载物面的形状为圆形，其载物面与水平面的夹角为60度，并且所述载物面具有由水平线和竖直线所组成的刻度线。待分析的样品可依据载物台210载物面的刻度线放置在载物面的合适区域，并通过螺帽锁住样品，使其固定在载物面上，所述放在载物台210载物面上的样品在进行俄歇电子能谱仪分析时，可以使俄歇电子直接垂直进入能量分析器，可简化操作程序，节约工作时间，提高工作效率，同时能够保证样品分析角度的一致性，提高重复性。[0027] 在本实用新型的具体实施例中，所述载物台的载物面与水平面的夹角为60度。然而应该认识到，根据实际需要，所述夹角还可以是其它数值，例如45度 60度之间任一数值均可。 在本实用新型的具体实施例中，所述载物台的载物面的形状为矩形或圆形。然而应该认识到，根据实际需要，所述载物面还可以是其它形状，例如，所述载物面还可以是梯形或正方形。 在本实用新型的具体实施例中，所述底座与所述载物台是一体成型结构，以方便加工制作，当然，所述底座与所述载物台也可以是活动连接。 在上述的具体实施例中，所述样品台是描述成用于在俄歇电子能谱仪分析过程中放置样品的，然而应该认识到，所述样品台还可以用于其它样品需倾斜放置的分析仪器中，例如可作为X射线光电子能谱仪(XPS)的样品台。 综上所述，本实用新型提供了一种样品台，该样品台包括底座以及设置于所述底
座上的载物台，所述载物台的载物面与水平面具有一夹角。使用该样品台进行俄歇电子能
谱仪分析的过程中，俄歇电子可直接垂直进入能量分析器，从而简化了操作程序，节约了工
作时间，提高了工作效率，同时能够保证样品分析角度的一致性，提高了重复性。 显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用
新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及
其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种样品台，其特征在于，包括底座以及设置于所述底座上的载物台，所述载物台的载物面与水平面具有一夹角。
2. 如权利要求l所述的样品台，其特征在于，所述载物台的载物面与水平面的夹角范围为45 60度。
3. 如权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述载物台的载物面具有刻度线，所述刻度线由水平线和竖直线组成。
4. 如权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述载物台的载物面的形状为矩形或圆形。
5. 如权利要求1所述的样品台，其特征在于，样品通过铜胶固定在所述载物台的载物面上。
6. 如权利要求1所述的样品台，其特征在于，样品通过螺帽固定在所述载物台的载物面上。
7. 如权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品台的材质为非磁性材料。
8. 如权利要求7所述的样品台，其特征在于，所述样品台的材质为非磁性的金属材料。
9. 如权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述底座与所述载物台是一体成型结构。
专利摘要本实用新型揭露了一种样品台，所述样品台包括底座以及设置于所述底座上的载物台，所述载物台的载物面与水平面具有一个夹角。使用本实用新型所提供的样品台进行俄歇电子能谱仪分析时可使俄歇电子直接垂直进入能量分析器，简化了操作程序，节约了工作时间，提高了工作效率，同时能够保证样品分析角度的一致性，提高了重复性。
文档编号G01N23/227GK201532929SQ20092021217
公开日2010年7月21日 申请日期2009年11月10日 优先权日2009年11月10日
发明者李明, 杨卫明, 虞勤琴, 齐瑞娟 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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