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专利名称：具zif连接器的探针卡的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及具ZIF连接器的探针卡，尤指一种适用于半导体测试设备的探针 卡。
背景技术：
现今半导体制备工艺中，当晶片制造完成后，于切割裸晶封装前，会先进行一晶片 测试。然而，晶片测试主要用以测试晶片中每一集成电路是否正常运作。请参阅图1，图1为晶片测试系统的示意图。图中显示有一测试头11，其下方组设 一探针卡12，而探针卡12的下表面设有多个探针121。再且，于图中另显示有在多个探针 121下方置有一待测晶片13，而待测晶片13下方则为一可动承载台14。当欲进行晶片测试 时，测试头11会趋近可动承载台14，直至多个探针121电性接触待测晶片13，便随即进行 测试。而进行测试时，可动承载台14会随着测试的进行而移动，以便探针121接触测试待 测晶片13上每一个集成电路(图中未示出)。请一并参阅图2、及图3A，图2为现有ZIF连接器的前视图，图3A系现有ZIF连接 器固接于探针卡12的剖视图。如图1所示，探针卡12通过一 ZIF连接器15插设于一 ZIF 连接器插槽16，进而组设于测试头11上。其中，现有ZIF连接器15通过铆钉151固设于探 针卡12上。亦即，如图3A所示，当ZIF连接器15以铆钉151固设于探针卡12上时，铆钉 151的尾端152以物理破坏的方式，强制冲压(swage)成型以产生固定的效果。然而，现有 以铆钉151方式固定连接，于冲压铆钉151时必须相当精密的控制施力的大小与方向，一旦 不慎或施力不当，极有可能造成组件的损坏。再者，请参阅图3B，图3B为现有ZIF连接器的铆钉挫曲剖视图。如图中所示，ZIF 连接器15于铆接的过程中，会因成型冲压铆钉151，因需上下皆施加压力F，故铆钉151 主体常会产生挫曲(bulking)，造成铆钉151压迫探针卡12，使探针卡12的内部的电路 122 (trace)损毁，引起铆钉151及电路122互相导通而发生短路(short circuit)的现象； 然，铆接后的探针卡12，外观不易察觉探针卡12内部的铆钉151产生变形，引起短路问题， 故于测试过程中，不易确认电性不良的问题。而且，当欲进行更换、或欲取下ZIF连接器15时，则须再以破坏方式破坏铆钉151， 而此时亦容易破坏下方的布设有精密电路的探针卡12，造成需更换整组探针卡12，耗费惊 人。再者，晶片测试过程中，ZIF连接器15必须经常承受ZIF连接器插槽16反复插拔的操 作、或长久使用所产生的变形，久而久之ZIF连接器15与探针卡12间之间隙及预压力都会 改变，而造成其间的接触焊点接触不良，影响测试效果。此外，一般ZIF连接器15因多采射出成型方式制造而成，难免产生制造公差或多 余射料造成无法平整接触，以及因长久使用或受外力影响常导致ZIF连接器15或探针卡12 在未锁固前已有弯曲变形。然而，现有以铆钉151固接的方式仅能直接破坏拆除，并无法进 行调整其间的余隙、或承压受力。由此可知，如何达成一种简易、可快速拆装、成本低廉、使用寿命长、又可重复使用，且可调整承压受力而达到均压、及确实电性接触的具ZIF连接器的探针卡，实在是产业 上的一种迫切需要。

实用新型内容本实用新型为一种具ZIF连接器之探针卡，其包括一探针卡、多个ZIF连接器、多 个压板、以及多个螺栓。其中，探针卡包括有一上表面、一下表面、以及多个贯穿孔。多个贯 穿孔可呈多列整齐排列，而上表面上更布设有多个第一接点。再者，多个ZIF连接器设置于 探针卡的上表面，每一 ZIF连接器包括有一座部、一上凸部、及多个贯通孔。其座部的下表 面布设有多个第二接点，而上凸部布设有多个接触端子，多个接触端子分别电性连接至座 部的多个第二接点。至于，多个压板中每一压板包括有多个内螺孔。其中，多个螺栓分别穿设于ZIF连接器的多个贯通孔、探针卡的多个贯穿孔并螺 锁于压板的多个内螺孔。而多个ZIF连接器的多个第二接点分别对应电性接触探针卡的多 个第一接点。所述的具ZIF连接器的探针卡，其中，该多个压板分别设置于该探针卡的该下表所述的具ZIF连接器的探针卡，其中，该多个压板分别设置于该多个ZIF连接器的 该上凸部的顶面。所述的具ZIF连接器的探针卡，其中，该多个压板的表面积相等于该多个ZIF连接 器的该上凸部的顶面的表面积。所述的具ZIF连接器的探针卡，其中，该探针卡的该下表面凹设有多个凹陷部，该 多个贯穿孔分别位于该多个凹陷部内。所述的具ZIF连接器的探针卡，其中，还包括有多个辅助压板，每一辅助压板包括 有多个穿孔，该多个辅助压板与该多个压板分别设置于该多个ZIF连接器的该上凸部的顶 面、及该探针卡的该多个凹陷部内，该多个螺栓分别穿设于该多个穿孔、该ZIF连接器的该 多个贯通孔、及该探针卡的该多个贯穿孔并螺锁于该压板的该多个内螺孔。所述的具ZIF连接器的探针卡，其中，每一辅助压板的每一穿孔的直径介于该多 个辅助压板的宽度的二分之一至三分之二之间。所述的具ZIF连接器的探针卡，其中，每一 ZIF连接器的该座部的下表面设置有至 少一定位柱，该探针卡的该上表面开设有至少一定位孔，该至少一定位柱是插设于该至少 一定位孔。所述的具ZIF连接器的探针卡，其中，该探针卡是一圆盘状探针卡，该多个贯穿孔 是朝向该圆盘状探针卡中心并沿其圆周呈多列整齐排列。所述的具ZIF连接器的探针卡，其中，该多个接触端子分别对应布设于该上凸部 相对应的二侧壁。本实用新型的有益效果是，本实用新型能快速且简易地拆装ZIF连接器。此外，本 实用新型成本低廉、使用寿命更长、又可重复使用，更具备可调整承压受力、及余隙的功能， 进而达到均压、及确实电性接触的功效。此外，本实用新型的多个接触端子可分别对应布设 于上凸部相对应的二侧壁，以方便插设、电性接触、及电导通。本实用新型的多个压板可分别设置于探针卡的下表面、或多个ZIF连接器的上凸部的顶面。据此，压板除具备锁附的功效外，更可平均承压受力，达到均压、及确实电性接触 的功效。而且，于锁附过程、或锁固状态下可进一步保护多个ZIF连接器、或探针卡，避免因 锁附力过大造成ZIF连接器、或探针卡损坏或产生扩孔。此外，本实用新型的多个压板的表面积可相等于多个ZIF连接器的上凸部的顶面 的表面积，以使压板与ZIF连接器维持最大的接触面积，增加锁固效果，并且又不会阻碍 ZIF连接器的插设连接。再者，本实用新型的探针卡的下表面可凹设有多个凹陷部，多个贯 穿孔、及压板可分别位于多个凹陷部内，以节省体积。另外，本实用新型其可包括多个辅助压板，而每一辅助压板可包括有多个穿孔。且 多个辅助压板与多个压板分别设置于多个ZIF连接器的上凸部的顶面、及探针卡的多个凹 陷部内。多个螺栓分别穿设于多个穿孔、ZIF连接器的多个贯通孔、及探针卡的多个贯穿孔 并螺锁于压板的多个内螺孔。据此，本实用新型可透过压板、及辅助压板上下夹锁，达到更 佳且更平均的锁附力，且因非直接锁附于ZIF连接器或探针卡上，可保护ZIF连接器或探针 卡，避免因锁附过程损坏、或于锁固状态因长久使用产生扩孔。再且，本实用新型的每一辅助压板的每一穿孔的直径是介于多个辅助压板的宽度 的二分之一至三分之二之间。据此，除可增加锁附效果外，又可增加锁附的便利性。此外， 本实用新型每一 ZIF连接器的座部的下表面可设置有至少一定位柱，而探针卡的上表面可 开设有至少一定位孔。其中，至少一定位柱可插设于至少一定位孔，以方便定位、及防呆组 装。而且，本实用新型之探针卡可为一圆盘状探针卡，而多个贯穿孔是朝向圆盘状探针卡中 心并沿其圆周呈多列整齐排列。

[0025]图1为晶片测试系统的示意图；[0026]图2为现有ZIF连接器的前视图；[0027]图3A为现有ZIF连接器固接于探针卡的剖视图[0028]图3B为现有ZIF连接器的铆钉挫曲剖视图；[0029]图4为本实用新型第--实施例的分解图；[0030]图5为本实用新型第--实施例的剖视图；[0031]图6为本实用新型第--实施例的俯视图；[0032]图7为本实用新型第二二实施例的剖视图；[0033]图8为本实用新型第三三实施例的剖视图。[0034]主要元件符号说明[0035]11测试头12，2探针卡[0036]121探针122电路[0037]13待测晶片14可动承载台[0038]15，3ZIF连接器151铆钉[0039]152尾端16ZIF连接器插槽[0040]21上表面211第一接点[0041]212定位孔22下表面[0042]222凹陷部23贯穿孔[0043]31 座部313定位柱
312第二接点 32上凸部 322接触端子 33贯通孔321 侧壁323 顶面311下表面41内螺孔1锁附头部
4压板 5螺栓
6辅助压板61 穿孔w 宽度
径距度力 直节厚压 d — t FB上表面宽度L 长度
具体实施方式
请同时参阅图4、图5、及图6，图4是本实用新型具ZIF连接器的探针卡第一实施 例的分解图，图5是本实用新型第一实施例的剖视图，图6是本实用新型第一实施例的俯视 图。图中显示有一探针卡2，本实施例中其为一圆盘状探针卡2。而探针卡2包括有一上表 面21、一下表面22、以及多个贯穿孔23。其中，多个贯穿孔23是朝向圆盘状探针卡2中心 并沿其圆周呈多列整齐排列。探针卡2的上表面21上更布设有多个第一接点211，多个第 一接点211是分别沿多个贯穿孔23 二侧成对布设。再者，图中另显示有多个ZIF连接器3，其是设置于探针卡2的上表面21，每一 ZIF 连接器3包括有一座部31、一上凸部32、及多个贯通孔33。其中，多个贯通孔33是成列排 列贯穿座部31、及上凸部32，且相对应于探针卡2上多列整齐排列的多个贯穿孔23。而座 部31的下表面311的相对应二侧成对布设有多个第二接点312，且上凸部32布设有多个接 触端子322。其中，多个接触端子322是分别对应布设于上凸部32相对应的二侧壁321，又分 别电性连接至座部31的多个第二接点312。然而，多个接触端子322是用于当ZIF连接器 3插设于ZIF连接器插槽(图中未示出)时，用以电性接触来进行电源、及相关测试数据传 输。再且多个ZIF连接器3的多个第二接点312并分别对应电性接触探针卡2的多个第一 接点211，同样用以传输电源、或相关测试数据。此外，本实施例中，每一 ZIF连接器3的座部31的下表面311设置有二定位柱313。 另外，在探针卡2的上表面21开设有相对应的定位孔212。定位柱313是插设定位于定位 孔212内，以方便定位、及防呆组装，达到省时省力的功效。另外，图中另显示有多个压板4分别置于探针卡2下方，而每一压板4包括有多个 内螺孔41，其分别对应于探针卡2上多列整齐排列的多个贯穿孔23、及多个ZIF连接器3 上成列排列多个贯通孔33。此外，图中又显示多个辅助压板6，每一辅助压板6包括有多个 穿孔61。而且，每一辅助压板6的每一穿孔61的直径d是介于多个辅助压板的宽度w的二 分之一至三分之二之间。此外，每二穿孔61间的节距I是介于多个辅助压板的长度L的三 分之一至五分之一之间，以配置适当尺寸的螺栓，增加锁附效果。然而，多个辅助压板6分别设置于上凸部32的顶面323，又多个压板4的表面积相等于多个ZIF连接器3的上凸部32的顶面323的表面积。再且，多个压板4的宽度w是介 于ZIF连接器3上表面宽度B的三分之一至五分之一之间。亦即，每一辅助压板6可完全 覆盖上凸部32的顶面323，但又不会超出上凸部32的顶面323，以使压板与ZIF连接器维 持最大的接触面积，增加锁固效果，并且又不会阻碍ZIF连接器的插设连接。又，于本实施例中，每一辅助压板6、及每一压板4的厚度t是介于其本身宽度w的 三分之一至四分之一之间。于此，其压板的结构强度较佳，可提供适当的压持力。另外，图 中亦显示有多个螺栓5，其中，螺栓5的一端设有锁附头部51，而螺栓5分别穿设于辅助压 板6的穿孔61、ZIF连接器3的贯通孔33、及探针卡2的贯穿孔23并螺锁于压板4的多个 内螺孔41。因此，本实施例通过ZIF连接器3上下分设的辅助压板6、及压板4，再通过螺栓5 直接贯穿锁附，除可改进现有以铆接为固接手段的缺点，能快速且简易地拆装ZIF连接器3 外，又可调整控制锁附压力，来抵销制造公差或因弯曲变形所产生的余隙，更能达到确实锁 附固定、均压、及电性接触的功效。请参阅图7，图7为本实用新型具ZIF连接器的探针卡第二实施例的剖视图。第二 实施例与第一实施例主要差异在于，第一实施例是由ZIF连接器3上开始锁附，而第二实施 例则反之。第二实施是将辅助压板6置于探针卡2下方，而具螺孔的压板4则置于ZIF连 接器3的上凸部32的顶面323，于此螺栓5是由探针卡2下方开始锁附。然而，第二实施例 主要用意在于说明本实用新型不限于锁附方式，可由上往下锁，亦可由下往上锁。请参阅图8，图8为本实用新型具ZIF连接器的探针卡第三实施例的剖视图。第三 实施例与前述第一实施例、或第二实施例主要差异在于，本实施例的探针卡2的下表面22 凹设有多个凹陷部222，而多个贯穿孔23是分别位于多个凹陷部222内。据此，如图所示， 压板4直接置于凹陷部222内，在本实施例中，凹陷部222的大小恰等于压板4。因此，通过 凹陷部222的设置，除可节省空间外，亦可方便锁附，节省组装时间，省时省力。上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本实用新型所主张的权利范围自应以申 请专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
权利要求一种具ZIF连接器的探针卡，其特征在于包括一探针卡，包括有一上表面、一下表面、以及多个贯穿孔，该多个贯穿孔呈多列整齐排列，该上表面上还布设有多个第一接点；多个ZIF连接器，设置于该探针卡的该上表面，每一ZIF连接器包括有一座部、一上凸部、及多个贯通孔，该座部的下表面布设有多个第二接点，该上凸部布设有多个接触端子，该多个接触端子分别电性连接至该座部的多个第二接点；多个压板，每一压板包括有多个内螺孔；以及多个螺栓；其中，该多个螺栓分别穿设于该ZIF连接器的该多个贯通孔、该探针卡的该多个贯穿孔并螺锁于该压板的该多个内螺孔，该多个ZIF连接器的该多个第二接点是分别对应电性接触该探针卡的该多个第一接点。
2.如权利要求1所述的具ZIF连接器的探针卡，其特征在于，该多个压板分别设置于该 探针卡的该下表面。
3.如权利要求1所述的具ZIF连接器的探针卡，其特征在于，该多个压板分别设置于该 多个ZIF连接器的该上凸部的顶面。
4.如权利要求1所述的具ZIF连接器的探针卡，其特征在于，该多个压板的表面积相等 于该多个ZIF连接器的该上凸部的顶面的表面积。
5.如权利要求1所述的具ZIF连接器的探针卡，其特征在于，该探针卡的该下表面凹设 有多个凹陷部，该多个贯穿孔分别位于该多个凹陷部内。
6.如权利要求5所述的具ZIF连接器的探针卡，其特征在于，还包括有多个辅助压板， 每一辅助压板包括有多个穿孔，该多个辅助压板与该多个压板分别设置于该多个ZIF连接 器的该上凸部的顶面、及该探针卡的该多个凹陷部内，该多个螺栓分别穿设于该多个穿孔、 该ZIF连接器的该多个贯通孔、及该探针卡的该多个贯穿孔并螺锁于该压板的该多个内螺 孔。
7.如权利要求6所述的具ZIF连接器的探针卡，其特征在于，每一辅助压板的每一穿孔 的直径介于该多个辅助压板的宽度的二分之一至三分之二之间。
8.如权利要求1所述的具ZIF连接器的探针卡，其特征在于，每一ZIF连接器的该座部 的下表面设置有至少一定位柱，该探针卡的该上表面开设有至少一定位孔，该至少一定位 柱是插设于该至少一定位孔。
9.如权利要求1所述的具ZIF连接器的探针卡，其特征在于，该探针卡是一圆盘状探针 卡，该多个贯穿孔是朝向该圆盘状探针卡中心并沿其圆周呈多列整齐排列。
10.如权利要求1所述的具ZIF连接器的探针卡，其特征在于，该多个接触端子分别对 应布设于该上凸部相对应的二侧壁。
专利摘要本实用新型公开了一种具ZIF连接器的探针卡，其包括有一探针卡、多个ZIF连接器、多个压板、多个辅助压板、以及多个螺栓。其中，多个螺栓分别穿设于辅助压板的穿孔、ZIF连接器的贯通孔、及探针卡的贯穿孔并螺锁于压板的多个内螺孔。因此，本实用新型通过ZIF连接器上下分设的辅助压板、及压板，再通过螺栓直接贯穿锁附于压板，能快速且简易地拆装ZIF连接器外，又可调整控制锁附压力，来抵销制造公差或因弯曲变形所产生的余隙，更能达到确实锁附固定、均压、及电性接触的功效。
文档编号G01R1/073GK201654082SQ20102017942
公开日2010年11月24日 申请日期2010年4月20日 优先权日2010年4月20日
发明者张久芳 申请人:京元电子股份有限公司