专利名称：一种消除电子摆振的涡流位移检测方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明属于无损检测技术领域，具体涉及涡流无损位移检测技术。
背景技术：
涡流无损检测技术，作为五大无损检测技术之一，在航空航天、轨道交通、石油天 然气管道、清洁能源等的关键零部件的检测与评估中得到日益广泛的应用。位移测量诸如 振动幅度测量、镀层厚度测量等，作为涡流无损检测的重要组成部分，可广泛用于航空航天 器镀层厚度检测、清洁能源关键零部件(水轮机和风力发电机叶片)的振动状态检测以及 高速旋转机械和往复式运动机械的状态分析中。根据涡流检测理论，被测对象表面和探头线圈之间检测距离影响对被测对象中涡 流引起的二级磁场的强度，从而影响耦合的磁感应强度。涡流位移检测技术就是通过上述 原理建立检测距离和耦合磁场强度之间的线性关系，从而完成对机械位移的检测。但是根 据电磁感应原理，被测对象中的涡流强度不仅仅与检测距离有关，也与被测对象的电磁特 性(电导率和磁导率)有关。由于被测对象电磁特性的改变或被测对象电磁特性分布不均勻而引起的检测误 差，称为电子摆振(Electrical Runout :ER0)问题。目前引起电子摆振的因素很多(1)被 测体中存在杂质；(2)不均勻的被测对象磁导率；(3)不均勻的被测对象电导率等。虽然随 着先进制造技术的进一步发展，加工工艺也得到了进一步提高。但是不可避免的在材料加 工过程中掺入其他杂质或产生气泡；一些加工技术特别是表面加工技术，提高了材料的表 面硬度、抗腐蚀性等性能，但也会因为引起材料电磁特性的随机性变化，比如喷丸技术是 在航空航天器的制造中广泛使用的一种加工工艺，它可以提高材料的表面硬度和抗腐蚀性 能，但也同时引入了表面残余应力，从而引起材料电磁特性的变化。从这个意义上说，电子 摆振问题是涡流位移检测技术中亟待解决的问题，解决该问题不仅可以提高涡流位移检测 传感器的检测精度和扩大涡流位移传感器的使用范围，还可以简化涡流位移检测传感器的 标定方法。电子摆振问题是相对于旋转机械振动检测中出现的机械摆振 (MechanicalRunout =MRO)问题提出的。机械摆振是指由于旋转机械中旋转结构的不圆度 (Out-of-roundess)和不完整表面(Imperfect Surface)引起的测量误差。因此机械摆振 问题可以通过提高加工技术和工艺进行改善和消除。而电子摆振是指由于被测对象电磁特 性发生变化而引起的误差信号，表现为一种虚拟的位移。由于造成电子摆振的原因错综复 杂，因此很难完全消除或降低电子摆振对测量结果的影响，故而电子摆振问题成为涡流位 移检测中亟待解决的问题之一。针对涡流位移检测中存在的电子摆振问题，David H. Biggs (1976)提出了一种 消除涡流位移检测技术在机械轴检测中产生的电子摆振的方法和实现机构(美国专利 3986380)。该专利通过在旋转轴表面布点，测试不同点探头输出，从而确定发生最大电子摆 振的位置(位置1)和发生最小电子摆振的位置(位置2)，然后通过冷加工的方法改变位
4置1的电磁特性，再对该点的探头输出进行测量，重复以上步骤，直到该点的测量结果与位 置2的测量结果相比达到期望的最小值。该方法主要通过冷加工的方法对被测对象进行表 面处理，重新分布被测对象表面的电磁特性，从而降低电子摆振对计算结果的影响。但是该 方法存在以下三个主要问题①该专利认为通过冷加工等加工手段可以改变被测对象表面的电磁特性分布，力 求通过局部的表面处理技术使整个表面的电磁特性趋于一个稳定值。但是不同被测对象表 面的电磁特性分布因加工方法和被测材料自身特性的不同而迥然不同，因此依据该专利中 提出的方法，每个被测对象在检测前都需要确定测点的分布方案，而没有形成一个针对所 有被测对象的统一的测点分布方案。因此该方法的通用性较差。②该方法中的期望最小值是在位置2处电子摆振的基础上提出的，然而位置2处 的电子摆振大小却无法准确得知，因此该方法只能相对削弱电子摆振，而无法消除电子摆 振；③该专利中提出方法对电子摆振的削弱程度取决于测点的选择，因此具有一定随 机性。针对以上现有技术中存在的问题，急需针对涡流位移检测技术提出一种通用的、 稳定的且能够彻底消除电子摆振的方法。基于此，本发明提出一种新的方法对涡流位移检 测中的电子摆振进行补偿，该方法具有通用性强/稳定性好且能够彻底消除电子摆振对涡 流位移检测结果的影响。
发明内容
为了克服现有的涡流位移检测装置中电子摆振补偿方法中通用性差、稳定性差、 无法彻底消除涡流位移检测中电子摆振的缺点，提出了 一种消除电子摆振的涡流位移检测 方法及其装置。为了实现上述目的，本发明提供了一种消除电子摆振的涡流位移检测方法，包括 步骤步骤1.产生固定频率的正弦激励信号通过信号发生�？椴壹だ藕挪� 将其输入涡流探头线圈模块；步骤2.磁化被测对象通过选择合适的磁化器和磁化强度，使被测对象达到磁饱 和状态；步骤3.产生响应信号正弦激励信号输入涡流探头线圈后，根据电磁感应原理会 在被测对象和涡流探头线圈之间的空间形成一个耦合的电磁�。糯衅鞣植加诟每占渲� 并探测所在位置的磁感应强度信号的分量复数向量，磁传感器将探测到的分量复数向量转 化成相对应的电压信号，并将该电压信号作为响应信号输入到响应信号采集与滤波�？椋徊街�4.响应信号滤波通过响应信号滤波模块对电压信号进行滤波处理，滤出 电压信号中的杂波电压信号，并将得到的理想电压信号输入到响应信号实部与虚部分离模 块；步骤5.响应信号实部与虚部分离理想电压信号在响应信号实部与虚部分离模 块中分离为两路信号，一路是理想电压信号的实部信号，另一路是理想电压信号的虚部信 号，并将这两路信号送入滤波模块。
步骤6.实部信号和虚部信号滤波将理想电压信号的实部信号和虚部信号通过 滤波�？槁顺挡啃藕藕托椴啃藕旁诓街�(5)中产生的杂波信号，并将滤波后的实部信号 和虚部信号送入模数转换�？椋徊街�7.模数转换对滤波后的实部信号和虚部信号进行模数转换将模拟量转换 为对应的数字量并将其输入到磁感应强度分量复数向量实部和虚部计算�？椋徊街�8.磁感应强度信号的分量复数向量实部和虚部计算通过磁传感器中磁感 应强度和电压的变换关系和步骤(7)中得到的滤波后的实部信号和虚部信号的数字量计 算得到磁感应强度信号的分量复数向量实部和虚部Bimag并将其输入到电子摆振补偿�？椋徊街�9.电子摆振补偿通过实验方法建立不同位移下的多组被测对象的磁感应 强度信号的分量复数向量所在椭圆曲线的长半轴与位移的函数关系；将步骤(8)中得到的 磁感应强度信号的分量复数向量实部和虚部代入椭圆曲线的长半轴与位移的函数关系中 计算得到位移。为了实现上述目的，本发明还提供了一种消除电子摆振的涡流位移检测装置，包 括依次连接的信号发生�？椋糜诓潭ㄆ德实恼壹だ藕挪⒔涫淙胛辛魈酵废呷δ� 块；磁化�？椋糜诖呕徊舛韵蟛⑹贡徊舛韵蟠锏酱疟ズ妥刺幌煊π藕挪？椋糜诓煊π藕挪⒔孟煊π藕哦杂Φ牡缪剐藕抛魑煊� 信号输入到响应信号采集与滤波�？椋幌煊π藕怕瞬？椋糜诙缘缪剐藕沤新瞬ù恚顺龅缪剐藕胖械脑硬ǖ缪� 信号，并将得到的理想电压信号输入到响应信号实部与虚部分离�？椋幌煊π藕攀挡坑胄椴糠掷肽？椋糜诮硐氲缪剐藕旁谙煊π藕攀挡坑胄椴糠掷� 模块中分离为两路信号，一路是理想电压信号的实部信号，另一路是理想电压信号的虚部 信号，并将这两路信号送入滤波模块。实部信号和虚部信号滤波�？橛糜诮硐氲缪剐藕诺氖挡啃藕藕托椴啃藕磐ü� 滤波�？槁顺挡啃藕藕托椴啃藕挪脑硬ㄐ藕牛⒔瞬ê蟮氖挡啃藕藕托椴啃藕潘� 入模数转换�？椋荒Ｊ荒？椋糜诙月瞬ê蟮氖挡啃藕藕托椴啃藕沤心Ｊ唤Ｄ饬孔� 为对应的数字量并将其输入到磁感应强度分量复数向量实部和虚部计算�？椋淮鸥杏η慷刃藕诺姆至扛词蛄渴挡亢托椴考扑隳？椋糜谕ü糯衅髦写鸥� 应强度和电压的变换关系和滤波后的实部信号和虚部信号的数字量计算得到磁感应强度 信号的分量复数向量实部虚部并将其输入到电子摆振补偿�？椋坏缱影谡癫钩ツ？橛糜谕ü笛榉椒ń⒉煌灰葡碌亩嘧楸徊舛韵蟮拇鸥杏� 强度信号的分量复数向量所在椭圆曲线的长半轴与位移的函数关系；将步骤(8)中得到的 磁感应强度信号的分量复数向量实部和虚部代入椭圆曲线的长半轴与位移的函数关系中 计算得到位移。本发明的有益效果本发明将利用具有不同电导率的被测对象(完全磁化)在同 一位移下，磁传感器中磁感应强度信号的分量复数向量的实部和虚部位于同一条椭圆曲线 上；不同位移下的椭圆曲线簇具有相同的转向角且相切于一点的特点，通过椭圆的长半轴计算被测对象的位移。因为位于同一个椭圆曲线上不同被测对象下的磁感应强度信号的分 量复数向量具有相同的位移，因此通过该方法可以消除具有不同电磁特性或者电磁特性分 布不均勻的被测对象在涡流位移检测装置中的电子摆振问题；该方法相对于现有技术，无 需布置测点，因此稳定性更高；该方法充分利用了涡流位移检测装置中的磁传感器中磁感 应强度信号的分量复数向量的实部和虚部椭圆型分布的特点，因此能够更彻底的消除电磁 摆振问题。因此该方法是一种通用性强、稳定性好且能彻底消除被测对象电磁特性不同或 分布不均勻造成的电子摆振问题。提高了涡流位移检测的精度和互换性，简化了补偿涡流 位移检测中电子摆振的程序，减少了检测时间，节约了检测成本。
图1是本发明的方法的主流程图。图2是本发明的装置的主结构示意图。图3是本发明的装置中响应信号产生�？榈慕峁故疽馔�。图4是本发明磁感应强度信号的分量复数向量与被测对象位移的关系模型图。
具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。如图1所示，一种消除电子 摆振的涡流位移检测方法，包括步骤步骤1.产生固定频率的正弦激励信号通过信号发生�？椴壹だ藕臮0 并将其输入涡流探头线圈�？椋琔tl可通过如下公式(1)表达，U0 = A。cos (cot+Φ 0) 公式(1)公式(1)中，U0是正弦激励信号、Atl是正弦激励信号的幅值、ω是角频率、t是时 间变量、Φο是正弦激励信号的初始相位。其中Atl和ω为已知量；(K为可测定量。步骤2 磁化被测对象通过选择合适的磁化器和磁化强度，使被测对象达到磁饱 和状态，在该状态下任何被测对象的相对磁导率等于1 ；本步骤与步骤1同时进行。步骤3.产生响应信号正弦激励信号输入涡流探头线圈后，根据电磁感应原理会 在被测对象和涡流探头线圈之间的空间形成一个耦合的电磁�。糯衅鞣植加诟每占渲� 并探测所在位置的磁感应强度信号的分量复数向量Bij，磁传感器将探测到的分量复数向量 Bij转化成相对应的电压信号V，并将该电压信号V作为响应信号输入到响应信号采集与滤 波�？�。上述过程中，响应信号产生�？榘ㄎ辛魈酵废呷Α⒋糯衅骱鸵丫谏弦徊街� 中被完全磁化的被测对象；磁感应强度信号在一个xyz坐标中为一个空间向量，可以分为χ 分量、y分量和ζ分量，本实施例中选取ζ分量作为磁感应强度信号的分量复数向量Bu，也 可以根据需要选取χ分量或y分量作为磁感应强度信号的分量复数向量，分量复数向量Bij 的复数表达形式的虚部和实部分为Bimag* Breal ；电压信号V = Vz+Vfz，其中Vz为分量复数向 量Bu对应的理想电压信号，Vfz为分量复数向量Bu实际包含的杂波电压信号。步骤4.响应信号滤波通过响应信号滤波�？槎缘缪剐藕臯进行滤波处理，滤出 电压信号V中的杂波电压信号Vfz，并将得到的理想电压信号Vz输入到响应信号实部与虚部 分离模块；
步骤5.响应信号实部与虚部分离理想电压信号Vz在响应信号实部与虚部分离 �？橹蟹掷胛铰沸藕牛宦肥抢硐氲缪剐藕臯z的实部信号v_al，另一路是理想电压信号 Vz的虚部信号Vzimag，并将这两路信号送入滤波�？�。上述分离过程中，由于电路设计的原因会引入新的电压杂波信号，为了保证信号 质量，因此在后续处理过程中可以考虑滤除该电压杂波信号。步骤6.实部信号Vzreal和虚部信号Vzimag滤波将理想电压信号\的实部信号V_al 和虚部信号Vzimag通过滤波�？槁顺挡啃藕藕托椴啃藕旁诓街�(5)中产生的杂波信号，并 将滤波后的实部信号V’ 和虚部信号V’ zimag送入模数转换�？�。本步骤为可选步骤。步骤7.模数转换对滤波后的实部信号V’zreal和虚部信号卩胃进行模数转换将 模拟量转换为对应的数字量并将其输入到磁感应强度分量复数向量实部和虚部计算�？椤２街�8.磁感应强度信号的分量复数向量Bij实部Bral和虚部Bimag计算通过磁传 感器中磁感应强度和电压的变换关系和步骤(7)中得到的滤波后的实部信号V’_al和虚部 信号V’zimag的数字量计算得到磁感应强度信号的分量复数向量Bu实部Breal和虚部Bimag并 将其输入到电子摆振补偿�？椋灰蛭煌糯衅髦写鸥杏η慷群偷缪沟谋浠还叵挡煌⑶艺庵直浠还叵滴� 知，可以参照这种变换关系直接进行计算，因此不再详细描述。步骤9.电子摆振补偿通过实验方法建立不同位移下的多组被测对象的磁感应 强度信号的分量复数向量Bu所在椭圆曲线的长半轴与位移的函数关系；将步骤(8)中得到 的磁感应强度信号的分量复数向量Bu实部BMal和虚部Bimag代入椭圆曲线的长半轴与位移 的函数关系中计算得到位移。本步骤的具体实现过程为步骤91.通过实验方法建立不同位移下的多组被测对象的磁感应强度信号的分 量复数向量BuK在椭圆曲线的长半轴与位移的函数关系。下面对椭圆曲线的长半轴与位移的函数关系建立的理论基础进行详细描述当被 测对象的相对磁导率等于1且当被测对象中的集肤深度小于被测对象厚度时，可以建立如 图4所示的磁感应强度信号的分量复数向量Bu与被测对象的位移关系模型图；图中i和j
均为自然数，其中i的取值范围为1，2，3......η,本实施例中η取值23，j为1，2，3......m，
本实施例中m取值10，i代表实验过程中被测对象电导率在范围0-1000MS—1 (兆西门子分之 一)中所取的组数，j代表实验过程中所取不同位移的组数；代表第j组位移，BU代表在 第j组位移下第i种被测对象下磁传感器中的磁感应强度信号的分量复数向量。在实际状态中，同一材料的被测物体中的电导率分布是不均勻的，被测对象是指 同一被测物体中具有不同电导率的位置点，在理想状态下，同一材料的被测物体中所有位 置的电导率是相同的，此时被测对象即为被测物体。本实施例中，考虑的是实际状态，但是， 如果将不同被测物体内部的电导率都看成是均勻的，本发明还可以通过一次标定测试不同 被测物体的位移，此时被测对象代表了不同的被测物体，此时，对这些不同被测物体的测量 过程仍然在本发明的保护范围内。图4中坐标系中，磁传感器中的磁感应强度信号的分量复数向量Bij实部Breal和虚 部Bimag分别表示横坐标和纵坐标，经过实验，我们发现在同一组位移Ij下具有不同电导率 的i种被测对象的分量复数向量Bij在图4中呈椭圆曲线分布(实际测试过程中只是近似 满足这种线性关系，但在建立该模型和模型计算过程中则认为完全满足这种关系)，即可以
8通过一条椭圆曲线将同一组位移下i种被测对象的分量复数向量Bu连接起来。椭圆曲 线公式如公式(1)所示。从理论上分析，当被测对象的电导率为零时，不同组位移=I1,
I2......Im下形成的椭圆分布相内切于一点A(即图中BJ，该点即为被测对象电导率为零
时磁感应强度信号的分量复数向量Bij对应的点，此时，Blm = B2m = ... =Bm。通过实验，
我们也发现了不同组位移Ij = I1, I2......Im下椭圆曲线相切于一点A且具有相同的椭圆
曲线转向角θ，椭圆曲线转向角θ用以表示椭圆曲线的长轴与横坐标轴的夹角，定义该点
横坐标和纵坐标分别为Bnreal和Bnimag。不同组位移I1,12......Iffl下椭圆曲线的中心点横坐
标和纵坐标分别定义S」和Τ」。[(U^uHA]2 , [(^sin^^gcos^) + 7；]2 …
b/Bifflag和BMal分别表示分量复数向量Bu的虚部和实部，Bj和…为椭圆的长半轴和 短半轴。同时通过试验，我们发现不同组位移I1, I2......Im下椭圆曲线的长半轴…和短
半轴h满足如公式(3)中的线性关系bj = K1Bj^d1 公式(3)公式(3)中，K1为比例系数，Cl1为截距。K1, Cl1在得到不同位移下椭圆曲线的长半 轴…和短半轴…后通过数据拟合方法得到。本实施例中数据拟合方法采用最小二乘法，因 为最小二乘法是现有的数学拟合计算中的常用方法，因此不再详细描述。我们也发现不同组位移I1, I2......Im下椭圆曲线的中心点横轴坐标Sj和纵轴坐
标L满足如公式(4)中的线性关系Tj = K2Sj+d2 公式(4)公式⑷中，K2为比例系数，d2为截距。K2，d2在得到不同位移下椭圆曲线的中心 点横轴坐标Sj和纵轴坐标Tj后通过数据拟合方法得到。本实施例中数据拟合方法采用最 小二乘法，因为最小二乘法是现有的数学拟合计算中的常用方法，因此不再详细描述。从图中可知，位移和椭圆曲线的长半轴a」存在一一对应的关系，即在同一位移 Ij下，具有不同电导率的被测对象的磁感应强度信号的分量复数向量Bu所对应的椭圆曲 线的长半轴a」是相同的，因此可以建立位移Ij和椭圆曲线长半轴…的函数关系。本实施 例中，位移Ij可以取值10组，通过上述公式(2)可以得到10组椭圆曲线长半轴a」，将这10 组位移和椭圆曲线长半轴…数据进行拟合，得到位移和椭圆曲线长半轴…的函数关 系FO，这种函数关系和拟合算法相关，如公式(5)。
权利要求
一种消除电子摆振的涡流位移检测方法，其特征在于，包括步骤1.产生固定频率的正弦激励信号通过信号发生模块产生正弦激励信号并将其输入涡流探头线圈�？椋徊街�2.磁化被测对象通过选择合适的磁化器和磁化强度，使被测对象达到磁饱和状态；步骤3.产生响应信号正弦激励信号输入涡流探头线圈后，根据电磁感应原理会在被测对象和涡流探头线圈之间的空间形成一个耦合的电磁�。糯衅鞣植加诟每占渲胁⑻讲馑谖恢玫拇鸥杏η慷刃藕诺姆至扛词蛄浚糯衅鹘讲獾降姆至扛词蛄孔上喽杂Φ牡缪剐藕牛⒔玫缪剐藕抛魑煊π藕攀淙氲较煊π藕挪杉肼瞬？椋徊街�4.响应信号滤波通过响应信号滤波�？槎缘缪剐藕沤新瞬ù恚顺龅缪剐藕胖械脑硬ǖ缪剐藕牛⒔玫降睦硐氲缪剐藕攀淙氲较煊π藕攀挡坑胄椴糠掷肽？椋徊街�5.响应信号实部与虚部分离理想电压信号在响应信号实部与虚部分离�？橹蟹掷胛铰沸藕牛宦肥抢硐氲缪剐藕诺氖挡啃藕牛硪宦肥抢硐氲缪剐藕诺男椴啃藕牛⒔饬铰沸藕潘腿肼瞬？�。步骤6.实部信号和虚部信号滤波将理想电压信号的实部信号和虚部信号通过滤波�？槁顺挡啃藕藕托椴啃藕旁诓街�(5)中产生的杂波信号，并将滤波后的实部信号和虚部信号送入模数转换�？椋徊街�7.模数转换对滤波后的实部信号和虚部信号进行模数转换将模拟量转换为对应的数字量并将其输入到磁感应强度分量复数向量实部和虚部计算�？椋徊街�8.磁感应强度信号的分量复数向量实部和虚部计算通过磁传感器中磁感应强度和电压的变换关系和步骤(7)中得到的滤波后的实部信号和虚部信号的数字量计算得到磁感应强度信号的分量复数向量实部和虚部Bimag并将其输入到电子摆振补偿模块；步骤9.电子摆振补偿通过实验方法建立不同位移下的多组被测对象的磁感应强度信号的分量复数向量所在椭圆曲线的长半轴与位移的函数关系；将步骤(8)中得到的磁感应强度信号的分量复数向量实部和虚部代入椭圆曲线的长半轴与位移的函数关系中计算得到位移。
2.根据权利要求1所述的一种消除电子摆振的涡流位移检测方法，其特征在于，在步 骤9之后还包括步骤10.位移非线性校正根据椭圆曲线的长半轴与位移的非线性关系，对被测对象 位移进行非线性校正得到精确的位移值。
3.一种消除电子摆振的涡流位移检测装置，其特征在于，包括依次连接的 信号发生�？椋糜诓潭ㄆ德实恼壹だ藕挪⒔涫淙胛辛魈酵废呷δ？椋� 磁化模块，用于磁化被测对象并使被测对象达到磁饱和状态；响应信号产生�？椋糜诓煊π藕挪⒔孟煊π藕哦杂Φ牡缪剐藕抛魑煊π藕� 输入到响应信号采集与滤波�？椋幌煊π藕怕瞬？椋糜诙缘缪剐藕沤新瞬ù恚顺龅缪剐藕胖械脑硬ǖ缪剐藕牛� 并将得到的理想电压信号输入到响应信号实部与虚部分离�？椋幌煊π藕攀挡坑胄椴糠掷肽？椋糜诮硐氲缪剐藕旁谙煊π藕攀挡坑胄椴糠掷肽？� 中分离为两路信号，一路是理想电压信号的实部信号，另一路是理想电压信号的虚部信号，并将这两路信号送入滤波模块。实部信号和虚部信号滤波�？橛糜诮硐氲缪剐藕诺氖挡啃藕藕托椴啃藕磐ü瞬� �？槁顺挡啃藕藕托椴啃藕挪脑硬ㄐ藕牛⒔瞬ê蟮氖挡啃藕藕托椴啃藕潘腿肽� 数转换�？椋荒Ｊ荒？椋糜诙月瞬ê蟮氖挡啃藕藕托椴啃藕沤心Ｊ唤Ｄ饬孔晃� 应的数字量并将其输入到磁感应强度分量复数向量实部和虚部计算�？椋淮鸥杏η慷刃藕诺姆至扛词蛄渴挡亢托椴考扑隳？椋糜谕ü糯衅髦写鸥杏η� 度和电压的变换关系和滤波后的实部信号和虚部信号的数字量计算得到磁感应强度信号 的分量复数向量实部虚部并将其输入到电子摆振补偿�？椋坏缱影谡癫钩ツ？橛糜谕ü笛榉椒ń⒉煌灰葡碌亩嘧楸徊舛韵蟮拇鸥杏η慷� 信号的分量复数向量所在椭圆曲线的长半轴与位移的函数关系；将步骤(8)中得到的磁感 应强度信号的分量复数向量实部和虚部代入椭圆曲线的长半轴与位移的函数关系中计算 得到位移。
4.根据权利要求1所述的一种消除电子摆振的涡流位移检测装置，其特征在于，在电 子摆振补偿�？楹蠡沽佑形灰品窍咝孕Ｕ？椋糜诟萃衷睬叩某ぐ胫嵊胛灰频� 非线性关系，对被测对象位移进行非线性校正得到精确的位移值。
5.根据权利要求3或4所述的一种消除电子摆振的涡流位移检测装置，其特征在于，响 应信号产生�？橛晌辛魈酵废呷�、磁感应器和被测对象组成。
全文摘要
本发明涉及一种消除电子摆振的涡流位移检测方法及其装置，包括依次连接的信号发生�？椋糜诓潭ㄆ德实恼壹だ藕挪⒔涫淙胛辛魈酵废呷δ？椋淮呕？椋糜诖呕徊舛韵蟛⑹贡徊舛韵蟠锏酱疟ズ妥刺幌煊π藕挪？椋糜诓煊π藕挪⒔孟煊π藕哦杂Φ牡缪剐藕抛魑煊π藕攀淙氲较煊π藕挪杉肼瞬？椋幌煊π藕怕瞬？椋糜诙缘缪剐藕沤新瞬ù恚顺龅缪剐藕胖械脑硬ǖ缪剐藕牛⒔玫降睦硐氲缪剐藕攀淙氲较煊π藕攀挡坑胄椴糠掷肽？�。本发明的有益效果是利用涡流位移检测装置中磁传感器中磁感应强度信号的分量复数向量的实部和虚部椭圆分布特点，能够更彻底消除电磁摆振问题，提高了涡流位移检测的精度和互换性。
文档编号G01B7/02GK101975543SQ20101026897
公开日2011年2月16日 申请日期2010年8月31日 优先权日2010年8月31日
发明者于亚婷, 杜平安 申请人:电子科技大学
专业数控铣床产品供应商
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