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N. et al. ,Annual Review ofMaterials Science, 1998. 28 :¦Ñ¡¤ 153-184 ÖÐÃèÊöµÄ]¡£±ê×¼Èí¹â¿Ì¼¼ Êõ¿ÉÒÔÓÃÓÚ¸÷ÖÖ¸÷ÑùµÄ²ÄÁÏ£¬ÀýÈç¹èÊ÷Ö¬(ÀýÈç¾Û(¶þ¼×»ù¹èÑõÍé)(PDMS))¡£Í¨³££¬Ä£¿éµÄ ͨµÀºÍ½á¹¹¿ÉÒÔÊ´¿Ì¡¢Ç¶Èë¡¢Ä£ÖÆ»òÆäËû·½Ê½ÐγÉÔÚ»ù×ùµÄÒ»°ë±íÃæÉÏ¡£¸Ã±íÃæÈ»ºó¿ÉÒÔÕ³ ½áµÖ¿¿ÔÚ(against)»ù×ùµÄÁíÒ»°ëÉÏ£¬ÀýÈ磬ÀûÓÃÖîÈçµÈÀë×ÓÌåÖеÄ×ÔÓÉ»ù±íÃæ»î»¯²¢Ëæ ºóÕ³½á¡¢ÈܼÁÕ³½á¡¢¼·Ñ¹Õ³½á»òÑô¼«Õ³½á(anodic bonding)µÄ¼¼Êõ¡£ÓÃÓÚÖÆÔì΢װÖÃµÄÆäËû ³£Ó÷½·¨ºÍ±äÐοÉÒÔÊǺÏÊʵÄ¡£ËùÊö×°ÖÿÉÒÔÓɵ¥²ãÉè¼ÆÖÆ³É£¬»òÓÉÁ½²ã»ò¶à²ãÉè¼ÆÖÆ³É£¬ ÆäÖÐÿ¸ö²ãÌṩÄ£¿éµÄÖÁÉÙÒ»²¿·Ö»òÕßÁ¬½ÓÓÚ¸ÃÄ£¿éµÄͨµÀµÄÖÁÉÙÒ»²¿·Ö¡£¶à²ãÉè¼Æ¿É ÒÔÓÃÓÚ¼õСװÖõıØÒª³ß´ç£¬²¢ÇÒ¿ÉÒÔÀûÓÃÈκκÏÊʵķ½·¨½øÐÐÉè¼ÆºÍÖÆÔ죬ÀýÈ磬ÈçÔÚÃÀ ¹úרÀû¹«¿ª No. 2001/0029983,2001/0033796,2001/0054778,2002/0029814,2003/0019833 ÖÐÃèÊöµÄ·½·¨¡£ËùÊö×°ÖÿÉÒÔÓɾۺÏÎï(ÀýÈç¾Û(¶þ¼×»ù¹èÑõÍé)(PDMS)¡¢¾Û±½ÒÒÏ©¡¢¾Û(¼×»ù±û Ï©Ëá¼×õ¥)(PMMA)ºÍÉúÎï¾ÛºÏÎïÈçÏËάµ°°×Ô­¡¢½ºÔ­¡¢²ãÕ³Á¬µ°°×ÒÔ¼°ËüÃǵÄ×éºÏ)¡¢²£Á§¡¢ °ëµ¼Ìå(ÀýÈ磬¹è»òÉ黯ïØ)¡¢½ðÊô¡¢ÌÕ´ÉÒÔ¼°ËüÃǵÄ×éºÏÖÆ³É¡£ËùÊö×°ÖÿÉÒÔÓÉÉúÎï¿É½µ 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