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专利名称：一种用于扫描电镜分析的样品座的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种样品座，特别涉及一种适用于扫描电镜非规则样品分析的专用样品座。
背景技术：
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。可进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量， 晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量等。在进行扫描电镜形貌观察及能谱分析时，所需的样品台为不同直径的圆台，此圆台通过螺杆安装在扫描电镜样品室上的底座上。由于此圆台为一平面，因此在对一些非规则样品进行扫描电镜分析时，只能依靠导电胶等将样品固定在样品台上。由于在分析的过程中，导电胶的粘性逐渐降低，其固定作用逐渐减弱，尤其是在对样品进行X、Y、Z各个方向的移动时，样品会有明显的晃动，这对扫描电镜形貌观察非常不利。为了有效地对此类非规则样品进行扫描电镜分析，提高成像质量，克服现有样品台的不足，本发明技术提供了一种用于扫描电镜分析的专用样品座，该样品座安装于扫描电镜的圆台上。

实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种用于扫描电镜分析的专用样品座，主要解决现有样品座对于非规则试样固定不牢固的技术问题。该样品座可对非规则的的样品进行扫描电镜分析，操作简单、快捷，且成像质量高。本实用新型是这样实现的一种用于扫描电镜分析的专用样品座，包括有底座，其特征是，所述底座为凹型座，其中底面中心有一螺孔，配有连接扫描电镜样品台的螺杆，两侧面中部位置各开有至少一个螺孔，配有用于固定样品的螺杆。当检测片状试样时，底座底面靠近边部位置配有起固定作用的螺旋弹簧片。本实用新型的有益效果是本实用新型采用底座、螺杆和弹簧片组合固定样品的构造形式，可以通过多种方式对不同形状的非规则样品进行固定，操作简单，取用快捷，拆卸方便，解决了扫描电镜分析过程中因样品晃动造成成像质量差的难题。

图1为本实用新型主视图。图2为本实用新型俯视图。图中1-底座，2-固定样品的螺杆，3-连接扫描电镜样品台的螺杆，4-螺旋弹簧片。
具体实施方式
参见图1、图2，一种用于扫描电镜分析的样品座，包括底座1，所述底座1为凹型座，其中底面中心有一螺孔，配有连接扫描电镜样品台的螺杆3，两侧面中部位置各开有2 个螺孔，配有用于固定样品的螺杆2。当检测片状试样时，底座底面靠近边部位置配有起固定作用的螺旋弹簧片4。用于扫描电镜分析的样品座，通过固定样品的螺杆2和螺旋弹簧片4对不同类型的样品进行固定。如对于冷轧板断口试样，只要将样品夹入螺旋弹簧片内即可。对于不规则的失效分析用样品，可将其置于底座1上，利用两侧面的4个固定样品的螺杆2对样品进行固定。本实用新型可对不同形状、不同规格的样品进行固定，结构简单，取用快捷，有效地解决了扫描电镜分析时因进行X、Y、Z轴的移动而引起的样品晃动导致成像质量差的问题。
权利要求1. 一种用于扫描电镜分析的专用样品座，包括有底座，其特征是，所述底座为凹型座， 其中底面中心有一螺孔，配有连接扫描电镜样品台的螺杆，两侧面中部位置各开有至少一个螺孔，配有用于固定样品的螺杆，底座底面靠近边部位置配有起固定作用的螺旋弹簧片。
专利摘要本实用新型涉及一种样品座，特别涉及一种适用于扫描电镜非规则样品分析的专用样品座。主要解决现有样品座对于非规则试样固定不牢固的技术问题。该样品座可对非规则的样品进行扫描电镜分析，操作简单、快捷，且成像质量高。本实用新型是这样实现的一种用于扫描电镜分析的专用样品座，包括有底座，其特征是，所述底座为凹型座，其中底面中心有一螺孔，配有连接扫描电镜样品台的螺杆，两侧面中部位置各开有至少一个螺孔，配有用于固定样品的螺杆。当检测片状试样时，底座底面靠近边部位置配有起固定作用的螺旋弹簧片。本实用新型主要用于非规则样品进行扫描电镜分析。
文档编号G01N23/225GK201936840SQ20102064084
公开日2011年8月17日 申请日期2010年12月2日 优先权日2010年12月2日
发明者刘学伟, 周丽萍, 胡恒法, 范建冬, 赵楠 申请人:上海梅山钢铁股份有限公司