专利名称：Spr传感器元件和spr传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种SPR传感器元件(sensor cell)和SPR传感器,详细地说,涉及一种具有光波导路的SPR传感器元件和具有该SPR传感器元件的SPR传感器。
背景技术：
以往，在化学分析和生物化学分析等领域中使用具有光纤的SPR (表面等离子共振Surface Plasmon Resonance)传感器。在具有光纤的SPR传感器中，在光纤的顶端部的外周面形成金属薄膜，并且固定分析样品，向该光纤内导入光。而且，被导入的光中的指定波长的光使表面等离子共振在金属薄膜产生，衰减其光强度。在这种SPR传感器中，使表面等离子共振产生的波长通常由于固定在光纤上的分析样品的折射率等不同而不同。因此，如果在表面等离子共振产生之后测量光强度衰减的波长，就能够指定使表面等离子共振产生了的波长，另外，如果检测出该衰减的波长发生了变化，就能够确认使表面等离子共振产生的波长发生了变化，从而能够确认分析样品的折射率的变化。其结果，这种SPR传感器能够应用于例如样品的浓度的测量、免疫反应的检测等各种化学分析和生物化学分析中。例如，在样品为溶液的情况下，样品(溶液)的折射率取决于溶液的浓度。因此，在使样品(溶液)与金属薄膜接触的SPR传感器中，通过测量样品(溶液)的折射率，就能够检测出样品的浓度，而且，通过确认其折射率发生了变化，就能够确认样品(溶液)的浓度发生了变化。另外，在免疫反应的分析中，例如在SPR传感器中的光纤的金属薄膜上借助电介质膜固定抗体，使检体与抗体相接触，并且使表面等离子共振产生。此时，如果抗体与检体进行免疫反应，该样品的折射率就会发生变化，因此在抗体与检体的接触前后，通过确认样品的折射率发生了变化，就能够判断抗体与检体发生了免疫反应。然而，在包括这种光纤的SPR传感器中，由于光纤的顶端部呈细小的圆筒形状，因此存在金属薄膜的形成、分析样品的固定比较困难这样的不良情况。为了解决这样的不良情况，例如提出有一种SPR传感器元件，该SPR传感器元件包括透光的芯和覆盖该芯的包层，在该包层的规定位置上直至芯的表面形成贯通口，在芯的表面与该贯通口相对应的位置形成了金属薄膜(例如，参照下述专利文献I)。采用该SPR传感器元件，容易在芯表面形成用于使表面等离子共振产生的金属薄膜以及容易在该表面固定分析样品。专利文献I :日本特开2000-19100号公报然而，在上述专利文献I所述的SPR传感器元件中，在芯的面对包层的贯通口的上表面形成有金属薄膜，在这样的状态下，检测分析样品的浓度、变化等的灵敏度存在极限。
发明内容
本发明的目的在于提供一种检测灵敏度优异的SPR传感器元件和SPR传感器。本发明的SPR传感器兀件是一种包括与样品相接触的光波导路的SPR传感器兀件，其特征在于，上述光波导路包括下包层；芯层，其以至少一部分从上述下包层暴露的方式设置在上述下包层；以及金属颗粒层，其覆盖从上述下包层暴露的上述芯层并与上述样品相接触。另外，在本发明的SPR传感器元件中，优选的是，上述金属颗粒层覆盖从上述下包层暴露的上述芯层的表面积的15% 60%。另外，在本发明的SPR传感器元件中，优选的是，形成上述金属颗粒层的金属颗粒的平均粒径为5nm 300nm。另外，在本发明的SPR传感器元件中，优选的是，上述光波导路还具有以围绕与上述金属颗粒层相接触的样品的方式形成在上述下包层上的上包层。。·另外，本发明的SPR传感器的特征在于，包括上述的SPR传感器元件。根据本发明的SPR传感器元件和SPR传感器，能够谋求检测灵敏度的提高。
图I是表不本发明的SPR传感器兀件的一实施方式的立体图。图2是图I所示的SPR传感器元件的剖视图。图3是用于说明设置在图I所示的SPR传感器元件的金属颗粒层的说明图。图4是表示图I所示的SPR传感器元件的制造方法的工序图，(a)是表示在基材上形成芯层的工序，(b)是表示在基材上以覆盖芯层的方式形成下包层的工序，(c)是表示从芯层和下包层剥离基材的工序，(d)是表示在由于剥离基材而暴露的芯层和下包层的表面上形成保护层的工序，(e)是表示在保护层的表面上形成上包层的工序，(f)是表示在从上包层暴露的保护层的表面以覆盖芯层的方式形成金属颗粒层的工序。图5是表不本发明的SPR传感器的一实施方式的概略侧剖图。
具体实施例方式图I是表示本发明的SPR传感器元件的一实施方式的立体图。图2是图I所示的SPR传感器元件的剖视图。如图I和图2所示，SPR传感器元件I形成为俯视呈大致矩形的有底框形状，其包括有光波导路2。在SPR传感器元件I上配置要利用SPR传感器11 (后述)进行分析的样品。另外，在SPR传感器元件I上根据需要能够设置用于支承光波导路2的支承构件(未图示)。此外，在以下的SPR传感器元件I的说明中，涉及方向时以将样品配置在SPR传感器元件I时的状态作为上下的基准。即，在图I中，以纸面上侧为上侧，以纸面下侧为下侧。光波导路2在本实施方式中就是SPR传感器元件1，其包括下包层3、芯层4、保护层5、以及上包层6。
下包层3形成为在上下方向上具有规定厚度的俯视呈大致矩形平板状。芯层4形成为在与下包层3的宽度方向(与厚度方向相正交的方向，以下相同)和厚度方向这两个方向都正交的方向上延伸的大致棱柱形状(详细而言，在宽度方向上扁平的截面矩形状)，其埋设于下包层3的宽度方向大致中央部的上端部。此外，在以下的SPR传感器元件I的说明中，以芯层4延伸的方向作为光在光波导路2内传播的传播方向。另外，芯层4以其传播方向两面与下包层3的传播方向两面平齐、并且其上表面与下包层3的上表面平齐的方式配置。即，芯层4的上表面从下包层3暴露。芯层4以其上表面与下包层3的上表面平齐的方式埋设在下包层3，就能够在形成有金属颗粒层8 (后述)时，将金属颗粒10 (后述)高效地只配置在芯层4的上侧。另外，在芯层4的传播方向两端部，将光源12 (后述)和光测量器13 (后述)光连接。
保护层5根据需要以全部覆盖下包层3和芯层4的上表面的方式形成为俯视与下包层3呈相同的形状的薄层。若形成有保护层5，则能够例如在样品为液状的情况下，防止芯层4因样品而膨润的情况。上包层6在保护层5上以其外周俯视为与下包层3的外周大致相同的方式形成为俯视矩形的框形状。由此，光波导路2形成为以形成在下包层3和芯层4上的保护层5作为底壁、以上包层6作为侧壁的有底框形状。而且，由保护层5和上包层6围绕的部分被划分为用于容纳样品的样品容纳部7。而且，在这种光波导路2中，在样品容纳部7设有金属颗粒层8。如图2和图3所示，金属颗粒层8以均匀地覆盖保护层5的方式形成在样品容纳部7内。即，金属颗粒层8以均匀地覆盖芯层4的上表面的方式形成。图4是表示图I所示的SPR传感器元件的制造方法的工序图。接着，参照图4说明该SPR传感器元件I的制造方法。在该方法中，首先，如图4的(a)所示，准备平板状的基材9，然后，在该基材9上形成芯层4。基材9由例如硅、玻璃等陶瓷材料、例如铜、铝、不锈钢、铁合金等金属材料、例如聚酰亚胺、玻璃-环氧树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等树脂材料等形成。优选地，由陶瓷材料形成。基材9的厚度为例如10 μ m 5000 μ m,优选为10 μ m 1500 μ m。作为形成芯层4的材料，例如能够列举出聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、有机硅树月旨、环氧树脂、丙烯酸树脂、或上述树脂的氟化改性体、氘化改性体以及芴改性体等树脂材料。上述树脂材料优选与光敏剂相混合作为感光性树脂使用。为了形成芯层4，例如调制上述的树脂的清漆(树脂溶液)，以上述的图案将该清漆涂敷于基材9的表面之后，使其干燥，根据需要使其固化。另外，在使用感光性树脂的情况下，在基材9的整个表面涂敷清漆，干燥之后，隔着光掩模进行曝光，根据需要，曝光后进行了加热之后，通过显影形成图案，接着进行加热。这样形成的芯层4的厚度为例如5 μ m 100 μ m,宽度为例如5 μ m 100 μ m。另夕卜，芯层4的折射率为例如I. 44 I. 65。
接着，在该方法中，如图4的(b)所示，在基材9上以上述的图案、以覆盖芯层4的方式形成下包层3。作为形成下包层3的材料，例如能够列举出将与上述相同的树脂材料调整为折射率低于芯层4的折射率而成的树脂材料。为了将下包层3形成在基材9上，例如调制上述的树脂的清漆(树脂溶液)，利用例如浇铸、旋转涂敷器等将该清漆以覆盖芯层4的方式涂敷于基材9上之后，干燥，根据需要进行加热。此外，在使用感光性树脂的情况下，清漆的涂敷和干燥之后，隔着光掩模进行曝光，根据需要，曝光后进行了加热之后，显影，接着进行加热。这样形成的下包层3的、自芯层4的表面起的厚度为例如5 μ m 200 μ m。另外，下包层3的折射率设定得比芯层4的折射率低，例如为I. 42以上且低于I. 55。由此，在与基材9相接触的下表面，下包层3和芯层4平齐地形成。·
接着，在该方法中，如图4的(C)所示，从下包层3和芯层4剥离基材9，使下包层3和芯层4上下翻转。于是，下包层3和芯层4的、与基材9相接触的面作为上表面暴露。接着，在该方法中，如图4的(d)所示，在下包层3和芯层4上形成保护层5。作为形成保护层5的材料，能够列举出例如二氧化硅、氧化铝等，优选的是，能够列举出将上述材料调整为折射率低于芯层4的折射率而成的材料。作为形成保护层5的方法，例如能够列举出溅射法、蒸镀法等方法，优选的是，能够列举出溅射法。这样形成的保护层5的厚度例如为Inm IOOnm,优选为5nm 20nm。另外,保护层5的折射率设定得比芯层4的折射率低，例如为I. 25以上且低于I. 55。接着，在该方法中，如图4的(e)所示，以上述的图案在保护层5上形成上包层6。作为形成上包层6的材料，使用与上述的下包层3相同的树脂材料。为了形成上包层6，例如另外由上述的材料形成俯视呈矩形框形状的薄片，以该薄片作为上包层6而层叠在保护层5上。此外，在保护层5上层叠上包层6时，能够预先在保护层5的表面上进行硅烷偶联剂等的公知的底涂剂(primer)的处理之后再进行层叠。如果利用上述的底涂剂对保护层5的表面进行处理，就能够在形成了金属颗粒层8时，使金属颗粒10 (后述)牢固地固定在保护层5上。作为硅烷偶联剂，能够列举出Y-氨基丙基三乙氧基硅烷等含氨基硅烷偶联剂。在进行作为底涂剂的硅烷偶联剂的处理时，例如将硅烷偶联剂的酒精溶液涂敷于保护层5上，然后进行加热处理。另外，为了形成上包层6，例如调制上述的树脂的清漆(树脂溶液)，将该清漆以上述的图案涂敷于保护层5的表面上后，使其干燥，根据需要还能够使其固化。另外，在使用感光性树脂的情况下，将清漆涂敷于保护层5的整个表面上，在干燥之后，隔着光掩模进行曝光，根据需要，还能够在曝光后进行了加热之后，通过显影形成图案，接着进行加热。这样形成的上包层6的厚度例如为5 μ m 200 μ m,优选为25 μ m 100 μ m。另夕卜，上包层6的折射率设定得比芯层4的折射率低，例如设定得与下包层3的折射率相同。此外，在保护层5的折射率低于芯层4的折射率的情况下，上包层6的折射率也可以不用必须低于芯层4的折射率。另外，在这种上包层6中，样品容纳部7的大小和形状并不被特别限定，根据样品的种类、用途适当确定。在谋求SPR传感器元件I的小型化的情况下，优选的是，使样品容纳部7形成得较小。接着，在该方法中，如图4的(f)所示，在样品容纳部7内以覆盖芯层4的方式形成金属颗粒层8。作为形成金属颗粒层8的金属颗粒10，能够列举出例如由金、银、铜、铝、白金等金属构成的颗粒、例如二氧化硅、炭黑等无机颗粒的表面被上述的金属覆盖而成的颗粒、以及例如树脂等有机颗粒的表面被上述的金属覆盖而成的颗粒等。优选的是，能够列举出由金属构成的颗粒，更优选的是，能够列举出金颗粒。金属颗粒10的平均粒径是例如作为通过电子显微镜进行了观察的任意的100个颗粒的平均值而被计算出的，金属颗粒10的平均粒径为例如5nm 300nm,优选为IOnm 150nmo若金属颗粒10的平均粒径小于5nm，则有时信号强度(透过了 SPR传感器元件I的光的强度)降低。另外，若金属颗粒10的平均粒径超过300nm，则有时检测灵敏度降低。为了形成金属颗粒层8，例如使上述的金属颗粒10分散在公知的溶媒中来调制颗粒分散液，将该颗粒分散液涂敷于保护层5上，使其干燥。此外，在市场上销售有作为金属颗粒10的金颗粒所分散而成的金颗粒分散液，例如能够列举出 EMGC 系列(BritishBioCell International Ltd.制)等。在这样形成的金属颗粒层8中，优选的是，各个金属颗粒10并不在厚度方向上互相层叠，而作为单颗粒层形成。另外，各个金属颗粒10以互相不接触的方式略微隔开间隔分别独立配置。而且，俯视看，金属颗粒层8覆盖从下包层3暴露的芯层4的表面积中的例如15% 60%，优选为20% 50% (参照图3放大图)。若金属颗粒层8以上述的比例(覆盖率)覆盖从下包层3暴露的芯层4，则金属颗粒层8形成为几乎所有的金属颗粒10都独立配置的单颗粒层，因而能够更高精度地检测出样品的浓度、变化等。此外，金属颗粒层8对样品容纳部7的内表面积的覆盖率也与上述相同。另外，若金属颗粒层8以低于上述的比例(覆盖率)覆盖从下包层3暴露的芯层4，则有时信号强度降低。另外，若金属颗粒层8以超过上述的比例(覆盖率)覆盖从下包层3暴露的芯层4，则将金属颗粒层8形成为金属颗粒10独立配置而成的单颗粒层比较困难，有时检测灵敏度降低。如此，能够制造SPR传感器元件I。在该SPR传感器元件I中，通过将样品容纳(配置)在样品容纳部7中，从而金属颗粒层8与样品相接触。即，样品在样品容纳部7内被上包层6所包围。采用这种SPR传感器元件1，能够高精度地检测出样品的浓度、变化等。另外，上包层6以围绕与金属颗粒层8相接触的样品的方式形成，因而能够容易地将样品配置在金属颗粒层8的表面上，因此能够谋求作业性的提高。图5是表不本发明的SPR传感器的一实施方式的概略侧剖图。
接着，参照图5说明具有SPR传感器元件I的SPR传感器11。如图5所示，SPR传感器11包括有光源12、光测量器13、以及上述的SPR传感器元件I。光源12是例如白色光源、单色光光源等公知的光源，其经由光源侧光连接器14与光源侧光纤15相连接，该光源侧光纤15经由光源侧光纤�？�16与SPR传感器元件I (芯层4)的传播方向一侧端部相连接。另外，在SPR传感器元件I (芯层4)的传播方向另一侧端部上借助测量器侧光纤�？�17连接有测量器侧光纤18，该测量器侧光纤18经由测量器侧光连接器19与光测量器13相连接。虽未图示，但是光测量器13与公知的计算处理装置连接，能够进行数据的显示、累积以及加工。另外，在这种SPR传感器11中，SPR传感器元件I被公知的传感器元件固定装置(未图示)固定。传感器元件固定装置(未图示)能够沿着规定方向(例如，SPR传感器元件I的宽度方向)移动，由此，SPR传感器元件I可以配置在任意的位置上。另外，光源侧光纤15固定在光源侧光纤固定装置20上，测量器侧光纤18固定在测量器侧光纤固定装置21上。光源侧光纤固定装置20和测量器侧光纤固定装置21固定在公知的6轴移动台(未图不)上，能够在光纤的传播方向、宽度方向(与传播方向和水平方向正交的方向)、以及厚度方向(与传播方向和铅垂方向正交的方向)和以上述各个方向(3方向)为轴的旋转方向(3方向)上运动。采用这种SPR传感器11，能够将光源12、光源侧光纤15、SPR传感器元件I (芯层4)、测量器侧光纤18、以及光测量器13配置在一个轴线上，能够以透过光源侧光纤15、SPR传感器元件I (芯层4)、测量器侧光纤18的方式从光源12导入光。而且，在该SPR传感器11中，由于使用上述的SPR传感器元件1，因此能够高精度地检测出样品的浓度、变化等。以下，说明该SPR传感器11的一个使用技术方案。在该技术方案中，例如，首先，将样品容纳(配置)在图5所示的SPR传感器元件I的样品容纳部7中，使样品和金属颗粒层8相接触。然后，将规定的光从光源12经由光源侧光纤15导入到SPR传感器元件I (芯层4)内(参照图5所示的箭头L I)。被导入到SPR传感器元件I (芯层4)的光在芯层4内重复进行全反射并透过SPR传感器元件I (芯层4)，并且一部分光在芯层4的上表面经由保护层5入射到金属颗粒层8，由于表面等离子共振而被衰减。之后，透过了 SPR传感器元件I (芯层4)的光经由测量器侧光纤18导入到光测量器13内(参照图5所示的箭头L2)。S卩，在该SPR传感器11中，被导入到光测量器13内的光的使表面等离子共振在芯层4上产生了的波长的光强度被衰减。由于使表面等离子共振产生的波长依赖于容纳(配置)在SPR传感器元件I内的样品的折射率等，因此通过检测出导入到光测量器13内的光的、光强度的衰减，从而能够检测出样品的折射率的变化。
更具体来说，例如，在作为光源12使用白色光源的情况下，利用光测量器13测量光强度透过SPR传感器元件I之后衰减的波长(使表面等离子共振产生的波长)，如果检测出该衰减的波长发生了变化，就能够确认样品的折射率的变化。另外，例如，在作为 光源12使用单色光光源的情况下，利用光测量器13测量透过SPR传感器元件I之后的、单色光的光强度的变化(衰减程度)，如果检测出其衰减程度发生了变化，就能够与上述相同地确认使表面等离子共振产生了的波长发生了变化，从而能够确认样品的折射率的变化。因此，在这种SPR传感器11中，根据样品的折射率的变化，能够应用于例如样品的浓度的测量、免疫反应的检测等各种化学分析和生物化学分析。更具体来说，例如，在样品为溶液的情况下，由于样品(溶液)的折射率取决于溶液的浓度，因此在使该样品(溶液)与金属颗粒层8接触的SPR传感器11中，如果检测出样品(溶液)的折射率，就能够测量该样品的浓度。另外，检测出样品(溶液)的折射率发生了变化，就能够确认样品(溶液)的浓度发生了变化。另外，在免疫反应的检测中，例如，将抗体借助电介质膜固定在SPR传感器元件I的金属颗粒层8上，使检体与抗体相接触。此时，如果抗体与检体进行免疫反应，样品的折射率就会发生变化，因此通过检测出在抗体与检体的接触前后样品的折射率发生变化，就能够判断其抗体与检体进行了免疫反应。而且，采用这种SPR传感器元件I和SPR传感器11，能够通过简单的结构谋求检测灵敏度的提高。此外，在上述的实施方式中，在SPR传感器元件I中形成了 I个芯层4，但是芯层4的数量并不特别限制，也能够在宽度方向上互相隔开间隔形成多个。在光波导路2包括多个芯层4的情况下，由于能够利用具有该SPR传感器元件I的SPR传感器11同时多次分析样品，因此能够提高分析效率。另外，在上述的实施方式中，使芯层4形成为大致棱柱形状，但是作为芯层4的形状，并不特别限制，能够使芯层4形成为例如截面呈大致半圆形状(半圆柱形状)、截面呈大致凸形状(凸柱形状)等任意的形状。另外，在上述的实施方式中，在样品容纳部7内以完全覆盖保护层5的方式形成了金属颗粒层8，但是也能够以至少覆盖芯层4的方式只在芯层4的上侧形成金属颗粒层8。另外，在上述的实施方式中，SPR传感器元件I的上端部开放，但是在SPR传感器元件I的上端部也能够设置覆盖样品容纳部7的盖。由此，能够防止测量中样品与外部气体相接触。另外，在覆盖样品容纳部7的盖上也能够设置用于向样品容纳部7内注入样品(液状)的注入口和用于从样品容纳部7排出样品的排出口，从注入口注入样品，使其经过样品容纳部7内而从排出口排出。由此，能够使样品在样品容纳部7内流动的同时连续测量样品的物理属性。以下示出了实施例和比较例，进一步具体说明本发明，但是本发明并不限定于任何实施例和比较例。实施例I使用感光性环氧树脂在硅基板(基材)上形成了厚度50 μ m、宽度50 μ m的呈大致棱柱形状的芯层(参照图4的(a))。然后，使用折射率比用于形成芯层的感光性环氧树脂的折射率低的感光性环氧树脂以覆盖芯层的方式在硅基板上形成自芯层的上表面起的厚度为100 μ m的下包层(参照图4的(b))。接着，从下包层和芯层剥离硅基板(参照图4的(C))，使下包层和芯层上下翻转。接着，利用溅射法在下包层和芯层上形成了厚度IOnm的二氧化硅薄膜(参照图4的(d))作为保护层。接着，将Y-氨基丙基三乙氧基硅烷(硅烷偶联剂)的3质量％乙醇溶液涂敷于保护层，然后，用100°c的温度进行了 2小时的加热处理。接着,另外准备形成了具有宽度方向长度1mm、传播方向长度6mm的开口的娃橡胶片，将其作为上包层层叠在保护层上(参照图4的(e))。由此，划分出宽度方向长度1mm、传·播方向长度6mm的样品容纳部。接着，将下述表I中记载的金颗粒分散液(EMGC系列，British BioCellInternational Ltd.制)调整为规定的浓度,涂敷于样品容纳部内的保护层上,使其之后，为了去除未附着于保护层的金颗粒，用乙醇清洗样品容纳部内的保护层，而在保护层上形成了金属颗粒层(参照图4的(f ))。如此，获得了 SPR传感器元件。下述表I中记载了金颗粒的平均粒径和覆盖率(从下包层暴露的芯层的表面积之中，俯视看来金属颗粒层所覆盖的比例。)。实施例2 25除了将下述表I所示的金颗粒分散液涂敷于样品容纳部内的保护层之外，与上述的实施例I相同地，获得了 SPR传感器元件。下述表I中记载了在各个实施例中的金颗粒的平均粒径和覆盖率。比较例除了取代涂敷金颗粒分散液、通过蒸镀金而在样品容纳部内的保护层上形成了厚度50nm的薄膜之外，与上述的实施例I相同地获得了 SPR传感器元件。Mn将根据各个实施例和各个比较例所获得的SPR传感器元件固定在SPR传感器(参照图5)上。然后，向SPR传感器元件的样品容纳部投入50 μ L的作为样品的浓度不同的5种乙二醇水溶液(浓度I质量％ (折射率1.33389)、5质量％ (折射率I. 33764)、10质量％(折射率1. 34245),20质量％ (折射率1. 35231),30质量％ (折射率:1. 36249))，在实施例I 16中，从芯层的一端入射波长为633nm的光,测量了从另一端出射的光的强度,在实施例17 25中，从芯层的一端入射波长为700nm的光,测量了从另一端出射的光的强度。而且，将在没有乙二醇水溶液的状态下的光的强度设为100%时，求出了透射率
(%)o而且，以乙二醇水溶液的折射率为X轴，以透射率为Y轴，将它们的关系标示在XY坐标上，制作检量线，求出了其倾斜度的绝对值和相关系数。在表I示出其值。此外，显现出如下内容倾斜度越大，检测灵敏度越高，另外，相关系数越近似于1，检测灵敏度越高。魁
表权利要求
1.一种SPR传感器元件，其具有与样品相接触的光波导路，其特征在于， 上述光波导路具有 下包层； 芯层，其以至少一部分从上述下包层暴露的方式设置在上述下包层；以及 金属颗粒层，其覆盖从上述下包层暴露的上述芯层并与上述样品相接触。
2.根据权利要求I所述的SPR传感器元件，其特征在于， 上述金属颗粒层覆盖从上述下包层暴露的上述芯层的表面积的15% 60%。
3.根据权利要求2所述的SPR传感器元件，其特征在于， 形成上述金属颗粒层的金属颗粒的平均粒径为5nm 300nm。
4.根据权利要求I至3中的任一项所述的SPR传感器元件，其特征在于， 上述光波导路还具有以围绕与上述金属颗粒层相接触的样品的方式形成在上述下包层上的上包层。
5.—种SPR传感器，其具有SPR传感器元件，其特征在于， 上述SPR传感器元件包括与样品相接触的光波导路， 上述光波导路具有 下包层； 芯层，其以至少一部分从上述下包层暴露的方式设置在上述下包层；以及 金属颗粒层，其覆盖从上述下包层暴露的上述芯层并与上述样品相接触。
全文摘要
本发明提供一种SPR传感器元件和SPR传感器。SPR传感器元件是一种具有与样品相接触的光波导路的SPR传感器元件。光波导路包括下包层；芯层，其以至少一部分从下包层暴露的方式设置在下包层；以及金属颗粒层，其覆盖从下包层暴露的芯层并与样品相接触。
文档编号G01N21/27GK102939530SQ201180029880
公开日2013年2月20日 申请日期2011年6月2日 优先权日2010年6月15日
发明者绀谷友广 申请人:日东电工株式会社
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
