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专利名称：一种铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种铬版膜针孔微观缺陷高速自动捡查仪。
背景技术：
目前，国内对铬版膜针孔微观缺陷的检査， 一般是使用显微镜，用肉眼进 行观察，劳动强度大，可靠性差，效率低。国外已有铬版膜针孔微观缺陷自动
检查的专用设备，效率和可靠性高，实现精度2um大小的针孔，65OK550mm大 小铬版面检测时间60min，但结构复杂，体积大(一般多为2500* 2000*1500 mm)， 价格昂贵(RMB1500余万元/台)。

实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种结构简单，操作方便，检査速度快，效率 高的铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪。
本实用新型的技术方案是其包括机架、固定于机架上的台板，台板上固 定有透明玻璃基板，透明玻璃基板下方设有LED双点光源；台板上装有XY轴机 器人，XY轴机器人的Y轴上装有悬臂和微调装置，双点光源装在悬臂上，微调 装置顶部设有两套CCD成像系统，所述CCD成像系统由可调镜头和最高分辨率 > 1920 X 1080 CCD相机构成，所述XY轴机器人与ROBOT及PLC控制器连接；所 述ROBOT及PLC控制器通过1/0与工控PC机连接，并与台板上的声光报警装置 和操控盒连接，CCD相机电缆通过拖链与工控PC机上的高速图像采集卡连接， 工控PC机与LCD显示器连接；明玻璃基板旁边设有铬板承载装置。
所述XY轴机器人宜选用±0. 01mm高精度洁净室专用XY轴机器人。所述可 调镜头宜选用3. 5倍到22. 5倍可调3mm F. F镜头。所述最高分辨率^ 1920 X 1080 CCD相机可选用高速31fps200万像素最高分辨率1920X 1080的CCD相机。所述 高速图像采集卡宜选用高速800Mbps/S、 IEE1394DACM图像采集卡。
为便于调节台板的水平度，减少地面震动对仪器工作时的负面影响，机架下 部宜安装水平调节减震装置。为方便仪器移动，机架下部宜安装脚轮。本实用新型结构紧凑，稳定性好，维修方便，兼容性强，操作简单；取像 的精度高，效果好，缺陷的检査精度可以达到2iim，大幅提高了可靠性；检査 速度快，效率高；设备价格仅为进口同类产品的1/15左右。


图1是本实用新型一实施例的主视图； 图2是图1所示实施例的俯视图； 图3是图1所示实施例的左视图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
参照附图，本实施例包括机架l、固定于机架1上的台板2，台板2上固定 有透明的玻璃基板12,玻璃基板12下方设有LED点光源I 13-1和LED点光源 II13-2;台板2上还装有由Robot X轴5和Robot Y轴6组成的XY轴机器人， X轴5和Y轴6成90。角叠加，XY轴机器人的有效运动行程能覆盖整个最大铬 板宽幅，Y轴6上装有微调装置I 8-1、微调装置I18-2、水平微调装置III8-3 和悬臂11，微调装置I 8-1上部设有3. 5倍到22. 5倍可调镜头I 9-1和高速 31fps200万像素最高分辨率1920 X 1080的CCD相机I 10-1，微调装置I18-2上 部设有3.5倍到22.5倍可调镜头I19-2和高速31fps200万像素最高分辨 1920X1080的CCD相机II10-2，水平微调装置I118-3设于微调装置底板上，微 调装置I 8-1可对CCD相机I 10-1的位置进行上下微调，微调装置I18-2可对 CCD相机II10-2的位置进行上下微调，微调装置IIl8-3可对CCD相机10-2的位 置进行左右微调，以满足对不同规格和厚度铬版的兼容；LED点光源I 13-1和 LED点光源II13-2安装在悬臂11上，LED点光源I13-1、点光源I113-2位置可 以微调，使得LED点光源I 13-1、 LED点光源I113-2分别与CCD相机I 10-1、 CCD相机II10-2上下对应，并可同歩移动；XY轴机器人与ROBOT及PLC控制器 16连接；ROBOT及PLC控制器16通过I/O (信号转化器)与工控PC机17连接， 并与台板2上的声光报警装置15和操控盒14连接，CCD相机I 10-1和CCD相 机II10-2的电缆通过拖链7分别与工控PC机17上的两个高速图像采集卡(800Mbps/S、 IEE1394DACM图像采集卡)连接，工控PC机17带有键盘19;工控PC机17与LCD显示器18连接；机架1下部装有水平调节减震装置3及方便移动的脚轮4;透明玻璃基板12旁设有铬板承载装置20。
工作时，将待检査铬板置于CCD相机I 10-1、 CCD相机II 10-2和LED点光源I 13-1、 1113-2之间的透明玻璃基板12旁的铬板承载装置20上，并靠在紧铬板承载装置20的左上角两侧，以保证位置准确，版面右下角垫上尼龙垫块，以保证版面平稳并于台板2平行。XY轴机器人可带着镜头I9-1、镜头II9-2，CCD相机I 10-1、 CCD相机II 10-2与LED点光源I 13-1、 LED点光源II 13-2配对同步移动。
两套CCD成像系统根据铬板有效区域扫描行数为奇数或偶数，参考版面物理中心线确定2tfCCD相机I110-2成像系统位置，调整中心距，将整个铬板有效区域划分为两个扫描区域，两套CCD成像系统同时扫描成像，最终形成整个完整的版面图像，使得整个版面扫描时间节省一半，使得铬版检测时间可以《25min。
通过操控盒14输入程序代码，选定版面型号，ROBOT及PLC控制器16根据不同规格的版面计算出有效检査区域，并建立运行数据库，PLC控制器16接受操控盒14发出开始运行信号，铬版膜针孔微观缺陷高速自动检査仪自动开始运行，XY轴机器人系统搭载镜头I9-1、镜头II9-2和CCD相机110-1、 CCD相机II10-2构成的CCD成像系统运行到第一行起始点张照片中心位置时，XY轴机器人给出拍照的点位位置信号给PLC控制器16，并通过I/O (信号转化器)传达给PC控制器17向CCD成像系统发出拍照信号，CCD成像系统根据自己的时钟以3. 7mm*2. 08mm的视野范围定时对固定在台板上的铬板进行逐行拍照取像；当X轴5到达一行最后一张中心位置后，给出CCD成像系统停止拍照信号，同时Y轴移动到达下一行起始张中心位置，再次给出CCD成像系统拍照信号，X轴则反方向线性运动，直至整个铬板版面扫描拍照完毕。
当XY轴机器人发生故障时和整个版面扫描完毕时，声光报警装置15会发出声光报警信号。
权利要求1、一种铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪，包括机架、固定于机架上的台板，其特征在于，台板上固定有透明玻璃基板，透明玻璃基板下方设有LED双点光源；台板上装有XY轴机器人，XY轴机器人的Y轴上装有悬臂和微调装置，双点光源装在悬臂上，微调装置顶部设有两套CCD成像系统，所述CCD成像系统由3.5倍到22.5倍可调镜头和最高分辨率≥1920×1080 CCD相机构成，所述XY轴机器人与ROBOT及PLC控制器连接；所述ROBOT及PLC控制器通过I/O与工控PC机连接，并与台板上的声光报警装置和操控盒连接，CCD相机电缆通过拖链与工控PC机上的高速图像采集卡连接，工控PC机与LCD显示器连接；明玻璃基板旁边设有铬板承载装置。
2、 根据权利要求l所述的铬版膜针孔微观缺陷高速自动检査仪，其特征在 于，所述XY轴机器人为士0.01mm高精度洁净室专用XY轴机器人；所述最高 分辨率^1920xl080 CCD相机为高速31*s200万像素最高分辨1920x1080的 CCD相机；所述图像采集卡为高速800Mbps/S IEE1394DACM图像采集卡。
3、 根据权利要求1或2所述的铬版膜针孔微观缺陷高速自动检査仪，其特 征在于，机架下部装有水平调节减震装置。
4、 根据权利要求1或2所述的铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪，其特 征在于，机架下部还装有方便移动的脚轮。
5、 根据权利要求3所述的铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪，其特征在 于，机架下部还装有方便移动的脚轮。
专利摘要一种铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪，其包括机架、固定于机架上的台板，其特征在于，台板上固定有透明玻璃基板，透明玻璃基板下方设有LED双点光源；台板上装有XY轴机器人，XY轴机器人的Y轴上装有悬臂和微调装置，双点光源装在悬臂上，微调装置顶部设有两套CCD成像系统，所述CCD成像系统由3.5倍到22.5倍可调镜头和最高分辨率≥1920×1080CCD相机构成，所述XY轴机器人与ROBOT及PLC控制器连接；所述ROBOT及PLC控制器通过I/O与工控PC机连接，并与台板上的声光报警装置和操控盒连接，CCD相机电缆通过拖链与工控PC机上的高速图像采集卡连接，工控PC机与LCD显示器连接；明玻璃基板旁边设有铬版承载装置。本实用新型结构简单，操作方便，检查铬版膜针孔微观缺陷速度快，效率高。
文档编号G01N21/894GK201402250SQ20092006519
公开日2010年2月10日 申请日期2009年4月30日 优先权日2009年4月30日
发明者朱有为, 健 王, 武 陈 申请人:湖南通源机电科技有限公司;王 健