רÀûÃû³Æ£ºÒ»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒǵÄÖÆ×÷·½·¨
¼¼ÊõÁìÓò£º
±¾·¢Ã÷ÊôÓÚÒ»ÖÖÐÂÐ͵çÀë·øÉä×ܼÁÁ¿²âÁ¿¼¼Êõ¡£ÓÈÆäÊÇÉæ¼°º½ÌìÎÀÓ¦Óá£
ËüÊÇÀûÓÃPMOS³¡Ð§Ó¦¾§Ìå¹Ü(ÒÔϳÆPMOS̽ͷ)Êܵ½µçÀë·øÕÕºó£¬ÆäÕ¤Ñõ»¯²ãÖиÐÉúµÄÑõ»¯ÎïµçºÉºÍ¹è-¶þÑõ»¯¹è½çÃæÌ¬µÄÔö¼Ó½«ÒýÆðÆ÷¼þ±íÃæµçÊÆµÄ±ä»¯£¬²¢ÇÒÕâÖֱ仯ÓëÆäÎüÊյķøÉäÀÛ»ý¼ÁÁ¿ÓнüËÆÏßÐÔ¹ØÏµµÄÔÀí£¬½øÐÐÀÛ»ý·øÉä¼ÁÁ¿µÄ²âÁ¿£¬ÊÇÒ»ÖÖÏà¶Ô·øÉä¼ÁÁ¿²âÁ¿¼¼Êõ£¬PMOS¼ÁÁ¿ÒǵÄÑо¿Ó¦ÓùúÍ⿪չ½ÏÔ磬´Ó80Äê´úÖÁ½ñ£¬¹úÍâ¶à´ÎÔÚÎÀÐÇÉϲÉÓÃPMOS¼ÁÁ¿ÒǽøÐÐÁ˳ɹ¦µÄ´îÔØ·ÉÐÐ̽²âÓ¦Ó㬲¢ÇÒ¿ªÊ¼·¢Õ¹ÓÃÓÚ¸öÈ˼ÁÁ¿¼à²â¡¢Ò½Ó÷ÅÉäÖÎÁƼÁÁ¿¼à²â¡¢ºË¹¤ÒµÉ豸ºÍ·øÉäÏû¶¾¼ÁÁ¿¼à²âµÈÁìÓòµÄһϵÁÐÁéÃô¶È²»Í¬µÄ·øÉä¼ÁÁ¿ÒÇ¡£½üÄêÀ´£¬PMOS¼ÁÁ¿ÒÇÔÚ΢ÐÍ»¯¡¢ÓëÆäËüµç·»ìºÏÉè¼ÆÒÔ¼°ÖÆÔ칤ÒÕ¡¢Ó¦Óü¼Êõ·½Ãæ²»¶ÏÓÐеÄÑо¿½øÕ¹¡£³ÉΪÈËÃǽÏΪ¹Ø×¢µÄÑо¿Ä¿±ê¡£
Ŀǰ£¬ÔÚPMOS̽ͷµÄζÈÌØÐÔ¡¢µçºÉ¼Ç¼³¤¾ÃÎȶ¨ÐÔ¡¢¸ßÁéÃô¶È¡¢ÏìÓ¦ÏßÐÔ¶ÈÒÔ¼°ÏìÓ¦²âÁ¿¼¼ÊõµÈ·½ÃæµÄÓ¦Óü¼Êõ¸Ä½øºÍ̽ͷÖÊÁ¿Ìá¸ßÈÔÔÚ²»¶ÏÉîÈëÑо¿¡£
ÔÚ¹úÄÚ£¬ÎÒÃǶÔPMOS¼ÁÁ¿ÒǵÄÑÐÖÆ¡¢¿ª·¢¹¤×÷Æð²½ÓÚ90Äê´ú³õ¡£ÊǹúÄÚΨһºÍ×îÔç¶Ô¹úÍâ´ËÏî¼¼Êõ½øÐиú×ÙÑо¿µÄµ¥Î»£¬ÓÉÓÚPMOS¼ÁÁ¿ÒÇµÄºÜ¶à¹Ø¼üÓ¦Óü¼ÊõÎÞ·¨´Ó¹úÍâÎÄÏ×ÖлñÈ¡£¬Òò¶ø£¬ÎÒÃÇ´ÓpMOSÆ÷¼þµÄ¹¤ÒÕ±äÁ¿µ½¸÷ÖÖÌõ¼þϵķøÉäÏìÓ¦ÌØÐÔÈëÊÖ£¬½øÐÐÁË´óÁ¿µÄÑо¿·ÖÎö¹¤×÷£¬È¡µÃÁ˺ܶà׿ÓгÉЧµÄ½á¹û¡£¸ù¾Ý»ñµÃµÄÑо¿½á¹û£¬Éè¼ÆÑÐÖÆ³öÁ˺½ÌìÎÀÐÇרÓÃPMOS¼ÁÁ¿Òǵç·£¬²ÉÓúͽ¨Á¢ÁËζȲ¹³¥·½·¨ºÍ±ê¶¨·½·¨¡£
±¾·¢Ã÷µÄÄ¿µÄÔÚÓÚÒ»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒÇ£¬ÆäÓ²¼þÓÉPMOS̽ͷ¡¢·øÕÕÃô¸ÐÎïÀí²ÎÁ¿¡ªãеçÑ¹Æ¯ÒÆµÄ²âÁ¿µç·¡¢PMOS̽ͷµÄ¼ÓÆ«µç·ºÍµçÔ´ËIJ¿·Ö¹¹³É¡£ÆäÈí¼þÓÉPMOS̽ͷµÄζÈÌØÐÔ²âÁ¿¡¢µç·µÄζȲ¹³¥Éè¼Æ¡¢Ì½Í·µÄ·øÕÕÆ«Ö÷½Ê½Ñ¡Ôñ¡¢·øÕÕÏìÓ¦±ê¶¨¼¼ÊõËIJ¿·Ö×é³É¡£
¸Ã¼ÁÁ¿ÒÇÌØµã²âÁ¿µÄʵʱÐÔ¡¢µÍ¹¦ºÄ¡¢²âÁ¿¾«¶È¸ß(¿É´ï10£¥)¡¢Ó²¼þµç·¼òµ¥¡¢¿É΢ÐÍ»¯¡£ÊÇÌØ±ðÊÊÓÃÓÚº½Ìì̽²â¡¢·ÅÉäÒ½ÁÆ¡¢ºË¹¤ÒµµÈÒªÇóÔ¶¾àÀëʵʱ¼à²â×ܼÁÁ¿µÄÁìÓò¡£Ò²ÊǹúÄÚ¿ªÊ¼Ê×´ÎÓ¦ÓÃÓÚº½ÌìÎÀÐÇ»·¾³Ì½²âµÄм¼Êõ¡£Ò²ÊÇÆäËü²âÁ¿·½·¨£¬ÈçCaF2Mn TLD£¬p-i-N¶þ¼«¹Ü£¬ÄáÁú±¡Ä¤µÈÎÞ·¨Ïà±ÈºÍÌæ´úµÄ¡£Í¬Ê±£¬Æä¼ÁÁ¿²âÁ¿¾«¶ÈÒ²²»µÍÓÚÉÏÊö¼¸ÖÖ¹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒÇ¡£
±¾·¢Ã÷ËùÊöÒ»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿£¬ÆäÓ²¼þÓÉPMOS̽ͷ¡¢·øÕÕÃô¸ÐÎïÀí²ÎÁ¿¡ªãеçÑ¹Æ¯ÒÆµÄ²âÁ¿µç·¡¢PMOS̽ͷµÄ¼ÓÆ«µç·ºÍµçÔ´ËIJ¿·Ö¹¹³É¡£ÆäÈí¼þÓÉPMOS̽ͷµÄζÈÌØÐÔ²âÁ¿¡¢µç·µÄζȲ¹³¥Éè¼Æ¡¢Ì½Í·µÄ·øÕÕÆ«Ö÷½Ê½Ñ¡Ôñ¡¢·øÕÕÏìÓ¦±ê¶¨¼¼ÊõËIJ¿·Ö×é³É¡£¸ÃÒÇÆ÷µÄãеçÑ¹Æ¯ÒÆ²âÁ¿µç·°üÀ¨ÁËÓÉÔËËã·Å´óÆ÷¹¹³ÉµÄºãÁ÷»ØÂ·(1)£¬ÓÉÔËËã·Å´óÆ÷¹¹³ÉµÄ²ÉÑù¸ôÀë¸úËæÆ÷(3)£¬ÓÉÔËËã·Å´óÆ÷¹¹³ÉµÄãеçѹ¼°ãеçÑ¹Æ¯ÒÆËã·¨µç·(4)£¬ºÍÓɿɵ÷Èý¶ËÎÈѹÆ÷¹¹³ÉµÄPMOS̽ͷ³õÖµ»ù×¼µçѹµç·(5)£»Ì½Í·¼ÓÆ«µç·(2)ÓÉ¿ª¹ØÓëÌṩºãÁ÷µÄÔËËã·Å´óÆ÷¹¹³É¡£ãеçÑ¹Æ¯ÒÆ²âÁ¿µç·ÊDzÉÓ÷´À¡×ÔÎȶ¨¼¼Êõ£¬ÀûÓÃÔËËã·Å´óÆ÷µÄ¸ß¿ª»·ÔöÒæ£¬ÓëPMOS̽ͷ¹¹³ÉÒ»ºãÁ÷»ØÂ·£¬ÊµÏÖÔÚPMOS̽ͷµÄÔ´-©¼äͨ¹ýһѡȡµÄºã¶¨¹¤×÷µçÁ÷£¬¹¤×÷µçÁ÷Ò»°ãÑ¡10΢°²¡¢20΢°²¡£ãеçÑ¹Æ¯ÒÆËã·¨µç·Äܹ»°üÀ¨ÁíÒ»ÖÖζȲ¹³¥Éè¼Æ£¬¼´ÈÈÃôµç×è×é¼þ¶ÔPMOSãеçѹ³õÖµµÄζȲ¹³¥·¨¡£½«¿Éµ÷Èý¶ËÎÈѹÆ÷¹¹³ÉµÄPMOS̽ͷ³õÖµ»ù×¼µçѹµç·(5)Öеĵ÷ѹµç×è¸ÄΪ·ûºÏÒªÇóBÖµµÄÈÈÃôµç×è×é¼þ£¬¼´ÊµÏÖÁ˶ԼÁÁ¿ÒǵÄζȲ¹³¥Éè¼Æ¡£
¸Ã¼ÁÁ¿ÒÇÈí¼þÖеÄÁãζÈϵÊýµçÁ÷µÄÈ·¶¨ÊÇͨ¹ý¶ÔPMOS̽ͷµÄζÈÌØÐÔ²âÁ¿»ñµÃµÄ£¬Æä·½·¨ÈçÏÂa.ÒÀÕÕPMOS¼ÁÁ¿ÒÇÓ¦Óû·¾³Î¶ȷ¶Î§(ͨ³£Îª-20¡æ-80¡æ)£¬Ñ¡È¡Èý¸öÒÔÉϵÄζÈ(º¬Á½¶ËζÈ)£¬ÔÚ¸÷¸öζÈϲâµÃÒ»×éI-VÇúÏß(I-V²âÁ¿¿É²ÉÓÃרÓÃI-V²âÁ¿ÒÇ»òÈÎÒ»¾ß±¸µçѹɨÃè¡¢µçÁ÷²âÁ¿(×îС¿É²âÁ¿µçÁ÷ÖÁÉÙΪ10-9A)µÄÒÇÆ÷Íê³É)¡£»æ³ö²âµÃµÄI-VÇúÏß×飬ÕÒ³öÇúÏß½»²æµã¶ÔÓ¦µÄµçÁ÷¼´Îª¸Ã²âÁ¿Ì½Í·µÄÁãζÈϵÊýµçÁ÷£»b.ÀûÓÃPMOS¼ÁÁ¿ÒÇãеçÑ¹Æ¯ÒÆ²âÁ¿µç·»òÆäËü¿É²âÁ¿PMOS̽ͷãеçѹµÄͨÓòâÁ¿ÒÇÆ÷£¬Í¨¹ý´Ó10΢°²ÆðÖð½¥Ôö´ó¹¤×÷ºã¶¨µçÁ÷£¬È»ºóÔڱ仯ζȻ·¾³Ï½øÐÐãеçѹ¼à²â£¬ÕÒ³öãеçÑ¹ËæÎ¶ȱ仯×îСµÄ¹¤×÷µçÁ÷¼´ÎªÁãζÈϵÊýµçÁ÷¡£
Èí¼þÖÐÈÈÃôµç×è×é¼þãеçѹ³õÖµµÄζȲ¹³¥·¨ÊÇͨ¹ýÒÔϲ½ÖèÍê³ÉµÄÊ×ÏÈÒÀÕÕPMOS¼ÁÁ¿ÒÇÓ¦Óû·¾³Î¶ȷ¶Î§(ͨ³£Îª-20¡æ-80¡æ)£¬Ñ¡¶¨Èý¸ö¼°ÒÔÉÏζȵã(º¬Á½¶ËζÈ)£¬²â¶¨³öÏàÓ¦µÄPMOS̽ͷ³õʼ(δ·øÕÕ¹ý)ãеçѹ£¬ÀýÈçVT(-20¡æ)¡¢VT(25¡æ)¡¢VT(80¡æ)¡£
Æä´ÎÒÀ¾Ý»ù×¼µçѹµç·(5)µÄÊä³öµçѹ(VR)Óë¿Éµ÷µç×è(RT)µÄ¹ØÏµ£¬VR£½f(Rt)¡£
ÒÔVT´úÈëÉÏʽÖÐVRµÃµ½¸÷ζȵã¶ÔÓ¦µÄµç×è²âµÃµç×è×èÖµR-20¡æ¡¢R25¡æ¡¢R80 ¡æ¡£
È»ºóÔÚ¸ù¾ÝËùµÃµ½µÄ²»Í¬Î¶ȵãµÄµç×è×èÖµR-20¡æ¡¢R25¡æ¡¢R80¡æ¡£¿ÉµÃµ½ËùÐèÈÈÃôµç×è×é¼þµÄBÖµ¡£
¸ù¾ÝËùÐèBÖµµÄÈÈÃôµç×è×é¼þ£¬²¢½«ÆäÌæ´úPMOS¼ÁÁ¿ÒÇ»ù×¼µçѹµç·Öеĵ÷ѹµç×裬¼´Íê³ÉÁ˶ÔPMOS̽ͷµÄζȲ¹³¥´ëÊ©¡£
Èí¼þÖÐPMOS̽ͷµÄ·øÕÕÆ«Ö÷½Ê½Ñ¡ÔñÊǸù¾Ý¼ÁÁ¿ÒÇÉè¼ÆÒªÇóµÄÁéÃô¶È´óС¡¢ÏìÓ¦ÏßÐÔ¶È¡¢¹¦ºÄÏÞÖÆ¡¢Îȶ¨ÐÔÒªÇó¶ø¶¨£¬ÕâÊÇÓÉÓÚ·øÕÕÆ«ÖöÔÉÏÊöÖ¸±êµÄÓ°Ïì¹æÂɲ»Í¬µÄÔÒò¡£Èí¼þÖÐPMOS̽ͷÔÚÓ¦ÓÃǰµÄ±ê¶¨¼¼Êõ°üÀ¨·øÕÕÔ´µÄѡȡ¡¢·øÕÕ¼ÁÁ¿µÄÈ·¶¨ºÍ±ê¶¨·øÕÕ¼ÁÁ¿ÂÊѡȡ¡£ÆäÖ÷ÒªÒÔ1.25MeV¡¢1.17MeVµÄ¦ÃÉäÏßΪ±ê¶¨Ô´¡£²ÉÓõı궨¼ÁÁ¿ÂÊСÓÚijһ¶¨ÖµÊ±£¬ÄܽϺÃÄ£Äâ¿Õ¼äµÍ¼ÁÁ¿ÂÊ·øÉä»·¾³£»·øÕÕ¼ÁÁ¿µÄÈ·¶¨ÓÐÁ½ÖÖÒ»ÊÇÓñ궨¹ýµÄîÜÔ´(Co60¦´)½øÐзøÕÕ£¬·øÕÕ¼ÁÁ¿¿Éͨ¹ý¶Ôʱ¼äµÄ¾«È·²âÁ¿È·¶¨¡£¶þÊÇÓÃX¹âÔ´»òµç×ÓÊøµÈ·øÕÕÔ´±ê¶¨£¬²ÉÓÃÈÈÊÍ¹âÆ¬(TLD)ͬʱ·øÕÕ£¬ÓÃÁ¿ÈÈ¼Æ¶ÔÆä½øÐп̶ȵķ½·¨¡£
²Î¼û¸½1Ϊ±¾·¢Ã÷PMOS¼ÁÁ¿Òǵç·ÔÀí¿ò2Ϊ±¾·¢Ã÷PMOS̽ͷ¼ÓÆ«µç·¼ÁÁ¿ÒÇÓ²¼þÖ÷ÒªÍê³É¶ÔPMOS̽ͷ·øÕÕʱ¼ÓÆ«ÖúͲâÁ¿Ê±²É¼¯ãеçÑ¹Æ¯ÒÆÐźŵŦÄÜ¡£¼ÁÁ¿ÒǵÄÈí¼þÔòÊÇÒÔÍêÉÆPMOS¼ÁÁ¿ÒÇÕû»úÐÔÄÜ£¬ÊµÏÖ¸ßÎȶ¨ÐÔ¡¢¸ß²âÁ¿¾«¶È¡¢µÍζÈЧӦ²¢×îÖÕÈ¡µÃ̽ͷµÄÏìÓ¦±ê¶¨ÇúÏßΪĿµÄ£¬ÒÔ¼°ÔÚ¼ÁÁ¿ÒÇÓ¦ÓÃǰ¶Ô²âÁ¿µç·½øÐй¤×÷״̬µ÷Õû(È·¶¨Ì½Í··øÕÕÆ«Öᢹ¤×÷ºãÁ÷¡¢»ù×¼µçѹ)¡£
ʵʩÀý1Ñ¡Ôñ²ÉÓá°ÁãζÈϵÊýµçÁ÷¡±²¹³¥·¨£¬Ñ¡ÔñVT·øÕÕÆ«ÖÃģʽ¡£
Ê×ÏȲⶨ¡°ÁãζÈϵÊýµçÁ÷¡±£¬½«¼ÁÁ¿Òǹ¤×÷ºãÁ÷µç·(1)µ÷½ÚΪ´ËµçÁ÷¡£¼ÓÆ«µç·(2)µÄ¿ª¹Ø¿ÉÈ¥µô£¬Ö±½Ó½«Ô¿ª¹ØµÄµ¶¶Ë½Óµ½ÒÇÆ÷µçÔ´+12V¶Ë¡£È»ºó½øÐÐPMOS̽ͷµÄ·øÕÕÏìÓ¦ÇúÏ߱궨¡£
Ò»ÊÇÓñ궨¹ýµÄîÜÔ´(Co60¦´)½øÐзøÕÕ£¬·øÕÕ¼ÁÁ¿¿Éͨ¹ý¶Ôʱ¼äµÄ¾«È·²âÁ¿È·¶¨£¬±ê¶¨¿É»ñµÃPMOS̽ͷãеçÑ¹Æ¯ÒÆÓë·øÕÕ¼ÁÁ¿µÄÏìÓ¦¹ØÏµ¡£¶þÊÇÓÃX¹âÔ´»òµç×ÓÊøµÈ·øÕÕÔ´±ê¶¨£¬Ò»°ã²ÉÓÃÈÈÊÍ¹âÆ¬(TLD)ͬʱ·øÕÕ£¬ÓÃÁ¿ÈÈ¼Æ¶ÔÆä½øÐп̶ȵķ½·¨¡£¾ßÌ嵨½²£¬¾ÍÊÇÔڱ궨¹ýµÄîÜÔ´(Co60¦´)·øÕÕÈÈÊÍ¹âÆ¬(TLD)£¬ÓÃÁ¿ÈÈ¼Æ¶ÔÆä½øÐп̶ȣ¬ÔÙÓÃͬÅú´ÎµÄÈÈÊÍ¹âÆ¬(TLD)ºÍPMOS̽ͷͬʱÔÚX¹âÔ´»òµç×ÓÊøÔ´Ï·øÕÕ£¬´Ó¶ø¿É¸ù¾ÝTLDÔÚÁ¿ÈȼƵĶÁÊýÈ·¶¨³ö·øÕÕµÄ×ܼÁÁ¿¡£×îÖÕÒ²¿É»ñµÃPMOSµÄãеçÑ¹Æ¯ÒÆÓë×ܵçÀë¼ÁÁ¿µÄÏìÓ¦¹ØÏµ¡£
½«±ê¶¨¹ýµÄͬÅú´ÎPMOS̽ͷ°´ÏàÓ¦¹Ü½ÅÁª½ÓÔÚ²âÁ¿µç·ÖУ¬´ò¿ª¼ÁÁ¿ÒǵçÔ´£¬ÖøÃ̽ͷÓÚ·øÉä»·¾³ÖÐʱ£¬²âÁ¿µç·»á²âµÃÆäãеçÑ¹Æ¯ÒÆÁ¿¡£¸ÃÆ¯ÒÆÁ¿¼´¶ÔÓ¦ÓÚ²âÁ¿Ê±¿ÌµÄ·øÕÕ×ܼÁÁ¿¡£¼ÁÁ¿Öµ¿É´Ó±ê¶¨µÄÏìÓ¦¹ØÏµÇúÏߵõ½¡£
ʵʩÀý2
²ÉÓÃÈÈÃôµç×èζȲ¹³¥·¨£¬Ñ¡ÔñVT·øÕÕÆ«ÖÃģʽ¡£
½«¿Éµ÷Èý¶ËÎÈѹÆ÷¹¹³ÉµÄPMOS̽ͷ³õÖµ»ù×¼µçѹµç·(5)Öеĵ÷ѹµç×è¸ÄΪ·ûºÏÒªÇóBÖµµÄÈÈÃôµç×è×é¼þ£¬Æä²½ÖèÈçÏÂÊ×ÏÈÒÀÕÕPMOS¼ÁÁ¿ÒÇÓ¦Óû·¾³Î¶ȷ¶Î§(ͨ³£Îª-20¡æ-80¡æ)£¬Ñ¡¶¨Èý¸ö¼°ÒÔÉÏζȵã(º¬Á½¶ËζÈ)£¬²â¶¨³öÏàÓ¦µÄPMOS̽ͷ³õʼ(δ·øÕÕ¹ý)ãеçѹ£¬ÀýÈçVT(-20¡æ)¡¢VT(25¡æ)¡¢VT(80¡æ)¡£
Æä´ÎÒÀ¾Ý»ù×¼µçѹµç·(5)µÄÊä³öµçѹ(VR)Óë¿Éµ÷µç×è(RT)µÄ¹ØÏµ£¬VR£½f(Rt)¡£
ÀýÈç±¾·¢Ã÷ÖÐVR£½1.25(1+Rt/240)·Ö±ð½«VT(-20¡æ)¡¢VT(25¡æ)¡¢VT(80¡æ)´úÈëÉÏʽµÄVRÖУ¬¿ÉËã³öÓëÉÏÊö¸÷ζȵã¶ÔÓ¦µÄµç×è×èÖµR-20¡æ¡¢R25¡æ¡¢R80¡æ¡£
È»ºó¸ù¾ÝÒÔÉϲ½ÖèÖеõ½µÄ²»Í¬Î¶ȵãµÄµç×è×èÖµR-20¡æ¡¢R25¡æ¡¢R80¡æ¡£¿ÉµÃµ½ËùÐèÈÈÃôµç×è×é¼þµÄBÖµ¡£
ÔÙ²ÉÓÃÒ»¶¨µÄ·½·¨¹¹³ÉËùÐèBÖµµÄÈÈÃôµç×è×é¼þ£¬²¢½«ÆäÌæ´úPMOS¼ÁÁ¿ÒÇ»ù×¼µçѹµç·Öеĵ÷ѹµç×裬¼´Íê³ÉÁ˶ÔPMOS̽ͷµÄζȲ¹³¥´ëÊ©¡£È»ºó½øÐÐPMOS̽ͷµÄ·øÕÕÏìÓ¦ÇúÏ߱궨¡£
Ò»ÊÇÓñ궨¹ýµÄîÜÔ´(Co60¦´)½øÐзøÕÕ£¬·øÕÕ¼ÁÁ¿¿Éͨ¹ý¶Ôʱ¼äµÄ¾«È·²âÁ¿È·¶¨£¬±ê¶¨¿É»ñµÃPMOS̽ͷãеçÑ¹Æ¯ÒÆÓë·øÕÕ¼ÁÁ¿µÄÏìÓ¦¹ØÏµ¡£¶þÊÇÓÃX¹âÔ´»òµç×ÓÊøµÈ·øÕÕÔ´±ê¶¨£¬Ò»°ã²ÉÓÃÈÈÊÍ¹âÆ¬(TLD)ͬʱ·øÕÕ£¬ÓÃÁ¿ÈÈ¼Æ¶ÔÆä½øÐп̶ȵķ½·¨¡£¾ßÌ嵨½²£¬¾ÍÊÇÔڱ궨¹ýµÄîÜÔ´(Co60¦´)·øÕÕÈÈÊÍ¹âÆ¬(TLD)£¬ÓÃÁ¿ÈÈ¼Æ¶ÔÆä½øÐп̶ȣ¬ÔÙÓÃͬÅú´ÎµÄÈÈÊÍ¹âÆ¬(TLD)ºÍPMOS̽ͷͬʱÔÚX¹âÔ´»òµç×ÓÊøÔ´Ï·øÕÕ£¬´Ó¶ø¿É¸ù¾ÝTLDÔÚÁ¿ÈȼƵĶÁÊýÈ·¶¨³ö·øÕÕµÄ×ܼÁÁ¿¡£×îÖÕÒ²¿É»ñµÃPMOSµÄãеçÑ¹Æ¯ÒÆÓë×ܵçÀë¼ÁÁ¿µÄÏìÓ¦¹ØÏµ¡£
½«±ê¶¨¹ýµÄͬÅú´ÎPMOS̽ͷ°´ÏàÓ¦¹Ü½ÅÁª½ÓÔÚ²âÁ¿µç·ÖУ¬´ò¿ª¼ÁÁ¿ÒǵçÔ´£¬ÖøÃ̽ͷÓÚ·øÉä»·¾³ÖÐʱ£¬²âÁ¿µç·»á²âµÃÆäãеçÑ¹Æ¯ÒÆÁ¿¡£¸ÃÆ¯ÒÆÁ¿¼´¶ÔÓ¦ÓÚ²âÁ¿Ê±¿ÌµÄ·øÕÕ×ܼÁÁ¿¡£¼ÁÁ¿Öµ¿É´Ó±ê¶¨µÄÏìÓ¦¹ØÏµÇúÏߵõ½¡£
ȨÀûÒªÇó
1.Ò»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒÇ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ÆäÓ²¼þÓÉPMOS̽ͷ¡¢·øÕÕÃô¸ÐÎïÀí²ÎÁ¿¡ªãеçÑ¹Æ¯ÒÆµÄ²âÁ¿µç·¡¢PMOS̽ͷµÄ¼ÓÆ«µç·ºÍµçÔ´ËIJ¿·Ö¹¹³É¡£ÆäÈí¼þÓÉPMOS̽ͷµÄζÈÌØÐÔ²âÁ¿¡¢µç·µÄζȲ¹³¥Éè¼Æ¡¢Ì½Í·µÄ·øÕÕÆ«Ö÷½Ê½Ñ¡Ôñ¡¢·øÕÕÏìÓ¦±ê¶¨¼¼ÊõËIJ¿·Ö×é³É¡£
2.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒÇ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬¸ÃÒÇÆ÷µÄãеçÑ¹Æ¯ÒÆ²âÁ¿µç·°üÀ¨ÁËÓÉÔËËã·Å´óÆ÷¹¹³ÉµÄºãÁ÷»ØÂ·(1)£¬ÓÉÔËËã·Å´óÆ÷¹¹³ÉµÄ²ÉÑù¸ôÀë¸úËæÆ÷(3)£¬ÓÉÔËËã·Å´óÆ÷¹¹³ÉµÄãеçѹ¼°ãеçÑ¹Æ¯ÒÆËã·¨µç·(4)£¬ºÍÓɿɵ÷Èý¶ËÎÈѹÆ÷¹¹³ÉµÄPMOS̽ͷ³õÖµ»ù×¼µçѹµç·(5)£»Ì½Í·¼ÓÆ«µç·(2)ÓÉ¿ª¹ØÓëÌṩºãÁ÷µÄÔËËã·Å´óÆ÷¹¹³É¡£
3.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó2ËùÊöµÄÒ»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒÇ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ãеçÑ¹Æ¯ÒÆ²âÁ¿µç·ÊDzÉÓ÷´À¡×ÔÎȶ¨¼¼Êõ£¬ÀûÓÃÔËËã·Å´óÆ÷µÄ¸ß¿ª»·ÔöÒæ£¬ÓëPMOS̽ͷ¹¹³ÉÒ»ºãÁ÷»ØÂ·£¬ÊµÏÖÔÚPMOS̽ͷµÄÔ´-©¼äͨ¹ýһѡȡµÄºã¶¨¹¤×÷µçÁ÷£¬¹¤×÷µçÁ÷Ò»°ãÑ¡10΢°²¡¢20΢°²¡£
4.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó2ËùÊöµÄÒ»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒÇ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚãеçÑ¹Æ¯ÒÆËã·¨µç·Äܹ»°üÀ¨ÁíÒ»ÖÖζȲ¹³¥Éè¼Æ£¬¼´ÈÈÃôµç×è×é¼þ¶ÔPMOSãеçѹ³õÖµµÄζȲ¹³¥·¨¡£½«¿Éµ÷Èý¶ËÎÈѹÆ÷¹¹³ÉµÄPMOS̽ͷ³õÖµ»ù×¼µçѹµç·(5)Öеĵ÷ѹµç×è¸ÄΪ·ûºÏÒªÇóBÖµµÄÈÈÃôµç×è×é¼þ£¬¼´ÊµÏÖÁ˶ԼÁÁ¿ÒǵÄζȲ¹³¥Éè¼Æ¡£
5.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒÇ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬Èí¼þÖеÄÁãζÈϵÊýµçÁ÷µÄÈ·¶¨ÊÇͨ¹ý¶ÔPMOS̽ͷµÄζÈÌØÐÔ²âÁ¿»ñµÃµÄ£¬Æä·½·¨ÈçÏÂa.ÒÀÕÕPMOS¼ÁÁ¿ÒÇÓ¦Óû·¾³Î¶ȷ¶Î§(ͨ³£Îª-20¡æ-80¡æ)£¬Ñ¡È¡Èý¸öÒÔÉϵÄζÈ(º¬Á½¶ËζÈ)£¬ÔÚ¸÷¸öζÈϲâµÃÒ»×éI-VÇúÏß(I-V²âÁ¿¿É²ÉÓÃרÓÃI-V²âÁ¿ÒÇ»òÈÎÒ»¾ß±¸µçѹɨÃè¡¢µçÁ÷²âÁ¿(×îС¿É²âÁ¿µçÁ÷ÖÁÉÙΪ10-9A)µÄÒÇÆ÷Íê³É)¡£»æ³ö²âµÃµÄI-VÇúÏß×飬ÕÒ³öÇúÏß½»²æµã¶ÔÓ¦µÄµçÁ÷¼´Îª¸Ã²âÁ¿Ì½Í·µÄÁãζÈϵÊýµçÁ÷£»b.ÀûÓÃPMOS¼ÁÁ¿ÒÇãеçÑ¹Æ¯ÒÆ²âÁ¿µç·»òÆäËü¿É²âÁ¿PMOS̽ͷãеçѹµÄͨÓòâÁ¿ÒÇÆ÷£¬Í¨¹ý´Ó10΢°²ÆðÖð½¥Ôö´ó¹¤×÷ºã¶¨µçÁ÷£¬È»ºóÔڱ仯ζȻ·¾³Ï½øÐÐãеçѹ¼à²â£¬ÕÒ³öãеçÑ¹ËæÎ¶ȱ仯×îСµÄ¹¤×÷µçÁ÷¼´ÎªÁãζÈϵÊýµçÁ÷¡£
6.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒÇ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬Èí¼þÖÐÈÈÃôµç×è×é¼þãеçѹ³õÖµµÄζȲ¹³¥·¨ÊÇͨ¹ýÒÔϲ½ÖèÍê³ÉµÄÊ×ÏÈÒÀÕÕPMOS¼ÁÁ¿ÒÇÓ¦Óû·¾³Î¶ȷ¶Î§(ͨ³£Îª-20¡æ-80¡æ)£¬Ñ¡¶¨Èý¸ö¼°ÒÔÉÏζȵã(º¬Á½¶ËζÈ)£¬²â¶¨³öÏàÓ¦µÄPMOS̽ͷ³õʼ(δ·øÕÕ¹ý)ãеçѹ£¬ÀýÈçVT(-20¡æ)¡¢VT(25¡æ)¡¢VT(80¡æ)¡£Æä´ÎÒÀ¾Ý»ù×¼µçѹµç·(5)µÄÊä³öµçѹ(VR)Óë¿Éµ÷µç×è(RT)µÄ¹ØÏµ£¬VR£½f(Rt)¡£ÒÔVT´úÈëÉÏʽÖÐVRµÃµ½¸÷ζȵã¶ÔÓ¦µÄµç×è×èÖµR-20¡æ¡¢R25¡æ¡¢R80¡æ¡£È»ºóÔÙ¸ù¾ÝËùµÃµ½µÄ²»Í¬Î¶ȵãµÄµç×è×èÖµR-20¡æ¡¢R25¡æ¡¢R80¡æ¡£¿ÉµÃµ½ËùÐèÈÈÃôµç×è×é¼þµÄBÖµ¡£¸ù¾ÝËùÐèBÖµµÄÈÈÃôµç×è×é¼þ£¬²¢½«ÆäÌæ´úPMOS¼ÁÁ¿ÒÇ»ù×¼µçѹµç·Öеĵ÷ѹµç×裬¼´Íê³ÉÁ˶ÔPMOS̽ͷµÄζȲ¹³¥´ëÊ©¡£
7.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöÒ»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒÇ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬Èí¼þÖÐPMOS̽ͷµÄ·øÕÕÆ«Ö÷½Ê½Ñ¡ÔñÊǸù¾Ý¼ÁÁ¿ÒÇÉè¼ÆÒªÇóµÄÁéÃô¶È´óС¡¢ÏìÓ¦ÏßÐÔ¶È¡¢¹¦ºÄÏÞÖÆ¡¢Îȶ¨ÐÔÒªÇó¶ø¶¨£¬ÓÉÓÚ·øÕÕÆ«ÖöÔÉÏÊöÖ¸±êµÄÓ°Ïì¹æÂɲ»Í¬µÄÔÒò¡£
8.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒÇ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬Èí¼þÖÐPMOS̽ͷÔÚÓ¦ÓÃǰµÄ±ê¶¨¼¼Êõ°üÀ¨·øÕÕÔ´µÄѡȡ¡¢·øÕÕ¼ÁÁ¿µÄÈ·¶¨ºÍ±ê¶¨·øÕÕ¼ÁÁ¿ÂÊѡȡ¡£ÆäÖ÷ÒªÒÔ1.25MeV¡¢1.17MeVµÄ¦ÃÉäÏßΪ±ê¶¨Ô´¡£²ÉÓõı궨¼ÁÁ¿ÂÊСÓÚijһ¶¨ÖµÊ±£¬ÄܽϺÃÄ£Äâ¿Õ¼äµÍ¼ÁÁ¿ÂÊ·øÉä»·¾³£»·øÕÕ¼ÁÁ¿µÄÈ·¶¨ÓÐÁ½ÖÖÒ»ÊÇÓñ궨¹ýµÄîÜÔ´(Co60¦´)½øÐзøÕÕ£¬·øÕÕ¼ÁÁ¿¿Éͨ¹ý¶Ôʱ¼äµÄ¾«È·²âÁ¿È·¶¨¡£¶þÊÇÓÃX¹âÔ´»òµç×ÓÊøµÈ·øÕÕÔ´±ê¶¨£¬²ÉÓÃÈÈÊÍ¹âÆ¬(TLD)ͬʱ·øÕÕ£¬ÓÃÁ¿ÈÈ¼Æ¶ÔÆä½øÐп̶ȵķ½·¨¡£
È«ÎÄÕªÒª
±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ò»ÖÖÄܶԵçÀë·øÉä×ܼÁÁ¿½øÐвâÁ¿µÄÐÂÐ͹ÌÌå¼ÁÁ¿ÒÇ,ÆäÓ²¼þÓÉPMOS̽ͷ¡¢·øÕÕÃô¸ÐÎïÀí²ÎÁ¿¡ªãеçÑ¹Æ¯ÒÆµÄ²âÁ¿µç·¡¢PMOS̽ͷµÄ¼ÓÆ«µç·ºÍµçÔ´ËIJ¿·Ö¹¹³É¡£ÆäÈí¼þÓÉPMOS̽ͷµÄζÈÌØÐÔ²âÁ¿¡¢µç·µÄζȲ¹³¥Éè¼Æ¡¢Ì½Í·µÄ·øÕÕÆ«Ö÷½Ê½Ñ¡Ôñ¡¢·øÕÕÏìÓ¦±ê¶¨¼¼ÊõËIJ¿·Ö×é³É¡£¸Ã¼ÁÁ¿ÒÇÓ²¼þµç·¼òµ¥¡¢¿É΢ÐÍ»¯¡£ÊÇÌØ±ðÊÊÓÃÓÚº½Ìì̽²â¡¢·ÅÉäÒ½ÁÆ¡¢ºË¹¤ÒµµÈÒªÇóÔ¶¾àÀëʵʱ¼à²â×ܼÁÁ¿µÄÁìÓò¡£Ò²ÊǹúÄÚ¿ªÊ¼Ê×´ÎÓ¦ÓÃÓÚº½ÌìÎÀÐÇ»·¾³Ì½²âµÄм¼Êõ¡£
Îĵµ±àºÅG01T1/02GK1256416SQ9812570
¹«¿ªÈÕ2000Äê6ÔÂ14ÈÕ ÉêÇëÈÕÆÚ1998Äê12ÔÂ7ÈÕ ÓÅÏÈȨÈÕ1998Äê12ÔÂ7ÈÕ
·¢Ã÷Õß·¶Â¡, ÑÏÈÙÁ¼, ÈεÏÔ¶ ÉêÇëÈË:Öйú¿ÆÑ§ÔºÐ½®ÎïÀíÑо¿Ëù