专利名称：光罩检测设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光罩检测技术，尤其涉及一种光罩检测设备。
背景技术：
随着半导体及液晶显示器(LCD)行业的突飞猛进及技术的飞速发展， 光罩已成为IC、 TFT、 HDI制造中的重要器具，对光罩的数量的需求越来越 大、对光罩的精度和各项性能指标的要求也越来越高，特别是在半导体制方 面，当精度从微米提升到纳米时代，这对光罩制作的品质要求也越来越重要， 精度的提升直接产生的就是线条变�。呖淼目s小使光罩检査面临着更严峻 的挑战。
在传统的光罩检测方案中， 一般存在下述两种检测方案；
一种方案是采用放大镜检测光罩缺陷将光罩放于工作光台上，通过采 用5倍、10倍、或20倍的放大镜进行放大扫描检验，该检査方式容易漏掉 缺陷，并且无法保证光罩表面全部都被扫描到；而且由于线宽的变�。梅� 式也很难适用于现在的光罩检验。
另一种方案是采用类似生物显微镜检测光罩缺陷光学镜头是处于静止 不动，并且光学镜头固定为一个，将光罩放于镜头下，通过镜头成像传导到 目镜人眼中，而对整个光罩表面进行检査，是通过手动对光罩的移动进行， 所以该方式位移速率、位移稳定性，被检光罩的大�。嵊跋斓焦庹直砻�.. 缺陷的检出率，包括该光学镜头相当单一，此种检测方式已无法适用于现在 的光罩检验要求。 '
随着光罩线宽的变�。鹊奶嵘庑┘觳夥桨敢丫嚼丛侥岩约觳� 出光罩缺陷了，光罩缺陷的检验遭遇到极大困扰与阻碍。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种光罩检测设备，该设备可 实现高精度和非常小线宽的光罩缺陷检测，且可以适用于多种精度等级的光为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案 一种光罩检测设备，包括有
由水平面和竖直面构成的支架台，且从所述支架台后方向上延伸出一支 撑臂；
移动操作台，设置在所述支架台的水平面上；
包括有复数个不同倍率的光学镜头的显微镜机构，该显微镜机构通过所 述支撑臂固定在所述移动操作台的上方。 本实用新型的有益效果是
本实用新型的实施例通过设置放置被检测光罩的移动操作台，并采用多 种不同倍率的光学镜头组合检测，从而实现了高精度和非常小线宽的光罩缺 陷检测，且可以适用于多种精度等级的光罩检测。
以下结合附图对本实用新型作进一步的详细描述。
图1是本实用新型提供的光罩检测设备一个实施例的主视图。 图2是本实用新型提供的光罩检测设备一个实施例的侧视图。 .图3是本实用新型提供的光罩检测设备一个实施例的俯视图。
具体实施方式
下面参考图1-图3详细描述本实用新型提供的光罩检测设备的一个实施 例。如图所示，本实施例主要包括有
由水平面11和竖直面12构成的支架台，且从所述支架台后方向上延伸
出一支撑臂2;
移动操作台，设置在支架台的水平面ll上，具体实现时，它可由操作台 300、纵向移动部和横向移动部上下叠合成；
包括有复数个不同倍率的光学镜头的显微镜机构4，该显微镜机构4通 过支撑臂2固定在移动操作台3的上方。
具体实现时，所述纵向移动部和所述横向移动部可分别包括有纵向移动 平台311和横向移动平台321，而纵向移动平台311和横向移动平台321上分 别设置有纵向移动导轨312和横向移动导轨322，纵向移动导轨312和横向 移动导轨322上则设置有分别与其配合的纵向移动滑块313和横向移动滑块
5323，且纵向移动滑块313和横向移动滑块323分别通过丝杆连接到纵向驱动 电机314和横向驱动电机324，并分别与操作台300相连。
具体实现时，横向移动平台321直接设置在水平面11上，纵向移动滑块 313直接设置在操作台300下方，而横向移动滑块323通过连接板301与操 作台300相连，横向移动平台321直接设置在水平面11上，纵向移动平台311 则设置在连接板301上。
另外，本实施例还包括有与驱动电机314、 324相连的控制装置(图中未 示出)，该控制装置包括有用于控制所述移动操作台位移距离与速度的摇杆、 以及用于设置位移参数的触摸屏控制部。
本实施例工作时，将被检测光罩至于操作台300上，通过触摸屏控制部 输入移动参数后，纵向或横向摇动摇杆，当摇杆横向移动时，则横向驱动电 机324工作，从而通过丝杆带动横向移动滑块323沿横向移动导轨322滑动， 使得操作台300在滑块323的带动下沿横向移动；
当摇杆纵向移动时，则纵向驱动电机314工作，从而通过丝杆带动纵向 移动滑块313沿纵向移动导轨312滑动，使得操作台300在滑块313的带动 下沿纵向移动。
具体实现时，所述纵向移动部和横向移动部还可以采用纵向移动在上、 横向移动在下的叠合结构，在这种情况下，横向移动滑块323直接设置在操 作台300下方，而纵向移动滑块313通过连接板301与操作台300相连。
另外，为了使本实施例在,操作过程能保持更好的稳定性、达到更佳的检 测效果考虑，所述支架的后侧和下侧还分别设置有口型的防震支架13和防震 支脚14，防震支架13的截面面积应当大于所述支架台和支撑臂的截面面积 之和。
具体实现时，本实施例还可设置有光源5，该光源5可设置在操作台300 的下方对应显微镜机构投影的位置，因此，操作台300最好采用透光体，如 玻璃板等。
另外，在所述支撑臂上方还设置有一显示器6，当光源5发光时，光学 镜头41将镜头下的光罩图形成像到显示器6或显微镜机构4上，从而检测光 罩图形是否正确。
具体实现时，所述显微镜机构包括有5个不同倍率的光学镜头，采用一组5个倍率不等的镜头，从而使本实施例可适用于多种光罩精度或线宽等级 的光罩检测，而使用的光学镜头倍率越高，则可检测光罩的线宽越细小。
以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的 普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改 进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
权利要求1、一种光罩检测设备，其特征在于，该设备包括有由水平面和竖直面构成的支架台，且从所述支架台后方向上延伸出一支撑臂；移动操作台，设置在所述支架台的水平面上；包括有复数个不同倍率的光学镜头的显微镜机构，该显微镜机构通过所述支撑臂固定在所述移动操作台的上方。
2、 如权利要求1所述的光罩检测设备，其特征在于，所述支架台的后侧 和下侧分别设置有口型的防震支架和防震支脚，且该防震支架的截面面积大 于所述支架台和支撑臂的截面面积之和。
3、 如权利要求1或2所述的光罩检测设备，其特征在于，所述移动操作 台包括有操作台、以及设置在所述操作台下方的纵向移动部和横向移动部。
4、 如权利要求3所述的光罩检测设备，其特征在于，所述纵向移动部和 横向移动部分别包括有纵向移动平台和横向移动平台，而所述纵向移动平台 和横向移动平台上分别设置有纵向移动导轨和横向移动导轨，所述纵向移动 导轨和横向移动导轨上则设置有分别与其配合的纵向移动滑块和横向移动滑块，且所述纵向移动滑块和横向移动滑块分别通过丝杆连接到纵向驱动电机 和横向驱动电机，并分别与所述操作台相连。
5、 如权利要求4所述的光罩检测设备，其特征在于，该设备还包括有与 所述纵向驱动电机和横向驱动电机相连的控制装置，该控制装置包括有用于 控制所述移动操作台位移距离与速度的摇杆、以及用于设置位移参数的触摸 屏控制部。
6、 如权利要求l所述的光罩检测设备，其特征在于，所述操作台为透光 体，且在所述操作台下方对应显微镜机构投影的位置设置有一光源。
7、 如权利要求6所述的光罩检测设备，其特征在于，在所述支撑臂上方 还设置有一显示器。
8、 如权利要求1所述的光罩检测设备，其特征在于，所述显微镜机构包-括有5个不同倍率的光学镜头。
9、 如权利要求4所述的光罩检测设备，其特征在于，所述纵向移动滑块 直接设置在操作台下方，而所述横向移动滑块则通过一连接板与操作台相 连。
10、 如权利要求4所述的光罩检测设备，其特征在于，所述横向移动滑 块直接设置在操作台下方，而所述纵向移动滑块则通过一连接板与操作台相 连。
专利摘要本实用新型公开一种光罩检测设备，包括有由水平面和竖直面构成的支架台，且从所述支架台后方向上延伸出一支撑臂；移动操作台，设置在所述支架台的水平面上；包括有复数个不同倍率的光学镜头的显微镜机构，该显微镜机构通过所述支撑臂固定在所述移动操作台的上方。本实用新型可实现高精度和非常小线宽的光罩缺陷检测，且可以适用于多种精度等级的光罩检测。
文档编号G01N21/88GK201359599SQ20092012952
公开日2009年12月9日 申请日期2009年1月16日 优先权日2009年1月16日
发明者杜武兵 申请人:深圳市路维电子有限公司
专业数控铣床产品供应商
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