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专利名称：液体浓度检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型有关一种液体浓度检测装置，特别是指一种用以检测液体中的微粒或 金属离子浓度的液体浓度检测装置。
背景技术：
按，湿式制程为目前半导体及印刷电路板制造中不可或缺的一环(如应用于湿蚀 刻或清洗等用涂)，由于湿式制程主要牵涉到化学反应，反应过程中，湿式制程溶液中的化 学成分不断变化(如浓度、微粒数等)，而将影响到湿式制程溶液的制程环境。类似反应过程中有一个共同的特点，不管是清洗晶圆表面或是要将晶圆表面的某 些物质去除掉，这些被清洗或是被去除掉的物质(微粒或金属离子)会累积在湿式制程溶 液中，进而影响制程精确度。因此，如何能够有效侦测出湿式制程溶液的微粒浓度，并且及时回报与控制管理 系统做流量的对应变化，便成为湿式制程溶液供给系统一个非常重要的课题。

实用新型内容本实用新型所解决的技术问题在于提供一种可快速侦测液体所含微粒或金属离 子浓度的液体浓度检测装置。本实用新型的技术方案为一种液体浓度检测装置，包括有一透光容器，用以盛 装受检测的液体；一光束产生器，用以产生足以通过第受测液体的激光束；一第一光电组 件，设于透光容器其中一侧的壁面处，并具备光穿透性，用以接收该光束产生器所产生的光 束触发进而产生一第一启动讯号；一第二光电组件，设于该透光容器相对设有第一光电组 件的另一侧壁面处，用以接收该光束产生器所产生的光束触发进而产生一第二启动讯号； 一讯号处理器，供依照不同液体特性输入相关的比对数据，并与该光束产生器、该第一光电 组件、该第二光电组件电性连接，用以控制光束产生器的动作，并接收第一光电组件及第二 光电组件受光束触发而所产生的讯号之后，进一步计算出光束通过受测液体内部液体的时 间，并经与其内建的数据换算比对之后，显示用以表示受测液体浓度状态的数值。其中，该透光容器透过一第一电磁阀与连接至受测液体源头的输入管路相衔接， 该透光容器底部透过一第二电磁阀与一排放管路相衔接。该讯号处理器内建有一运算单元用以接收来自第一光电组件及第二光电组件的 启动讯号；内建有一运算单元用以计算出其接收到第二启动讯号及第一启动讯号的时间 差，并与内建的数据换算比对；内建有一变频单元供依照受测对象的不同而调变该光束产 生器的电压/电流强度。该讯号处理器进一步设有一显示单元，用以供操作者选择、设定相关的操作模式， 并显示相关的运作状态及显示用以表示受测液体浓度状态的数值。该讯号处理器进一步整合有一讯号输出单元，使得以透过该讯号输出单元将所测 得以的数值回授至受测液体来源的供给系统。[0011]该讯号处理器进一步设有一显示单元，用以供操作者选择、设定相关的操作模式， 并显示相关的运作状态及显示用以表示受测液体浓度状态的数值；该讯号处理器进一步整 合有一讯号输出单元，使得以透过该讯号输出单元将所测得以的数值回授至受测液体来源 的供给系统。本实用新型的有益效果为本实用新型的液体浓度检测装置包含有一透光容器、 一光束产生器、一第一光电组件、一第二光电组件，以及一讯号处理器；其中，第一光电组件 具备光穿透性，其与第二光电组件设分别于透光容器的两个相对应侧；至于该讯号处理器 用以控制光束产生器的动作，并接收第一光电组件及第二光电组件受光束触发而所产生的 讯号。本实用新型的液体浓度检测装置于使用时，主要利用光束产生器所产生的光束依 序通过第一光电组件、透光容器液所盛装的液体，再到达第二光电组件的路径照射，使得以 在第一光电组件受光束触发而产生一第一启动讯号，并在光束通过液体之后触发第二光电 组件使第二光电组件产生一第二启动讯号，再该讯号处理器依照其接收到第二启动讯号及 第一启动讯号的时间差，计算出光束通过受测液体的时间，并与内建的数据换算比对之后， 即可快速取得用以表示透光容器内部液体的微粒或金属离子浓度状态的数值。

图1为本实用新型的液体浓度检测装置组成架构方块示意图。图2为本实用新型的液体浓度检测装置使用配置参考图。图号说明:10透光容器；20光束产生器；31第一光电组件；32第二光电组件；40 讯号处理器；41讯号接收单元；42运算单元；43变频单元；44显示单元；45讯号输出单元； 51第一电磁阀；52第二电磁阀；61输入管路；62排放管路；70反应槽。
具体实施方式
如图1本实用新型的液体浓度检测装置组成架构方块示意图、图2本实用新型的 液体浓度检测装置使用配置参考图所示；本实用新型的液体浓度检测装置基本上包含有 一透光容器10、一光束产生器20、一第一光电组件31、一第二光电组件32，以及一讯号处理 器40 ；其中该透光容器10以由玻璃或石英所制成，主要用以盛装受检测的液体。该光束产生器20用以产生足以通过第受测液体的激光束，以及可以利用改变电 压/电流强度的方式，控制其所产生的激光束波长。该第一光电组件31设于透光容器10其中一侧的壁面处，并具备光穿透性，主要用 以接收该光束产生器20所产生的光束触发进而产生一第一启动讯号。该第二光电组件32设于该透光容器10相对设有第一光电组件31的另一侧壁面 处，主要用以接收该光束产生器20所产生的光束触发进而产生一第二启动讯号。至于，该讯号处理器40供依照不同液体特性输入相关的比对数据，并与该光束产 生器20、该第一光电组件31、该第二光电组件32电性连接，主要用以控制光束产生器20的 动作，并接收第一光电组件31及第二光电组件32受光束触发而所产生的讯号之后，进一步 计算出光束通过受测液体10内部液体的时间，并与其内建的数据换算比对之后，显示用以表示受测液体浓度状态的数值。具体而言，本实用新型的液体浓度检测装置于使用时，主要利用光束产生器20所 产生的光束依序通过第一光电组件31、透光容器液10所盛装的受测液体，再到达第二光电 组件32，使得以在第一光电组件31受光束触发而产生一第一启动讯号之后，继续通过受测 液体，并且落于第二光电件32上，藉以触发第二光电组件32产生一第二启动讯号，再由该 讯号处理器40依照其接收到第二启动讯号及第一启动讯号的时间差，计算出光束通过受 测液体的时间，并与内建的数据换算比对之后，即可快速取得用以表示透光容器内部液体 的微粒或金属离子浓度状态的数值。于实施时，该透光容器10的上方可透过一第一电磁阀51与连接至受测液体源头 的输入管路61相衔接，该透光容器10底部则可透过一第二电磁阀52供与一排放管路62 相衔接，使得以经由自动控制第一电磁阀51及第二电磁阀52开启或关闭的方式更换透光 容器10内部的受测液体。俾可进一步将输入管路61接续至应用于半导体及印刷电路板湿式制程中的反应 槽70，使得以依照所设定的模式，自动监测反应槽63内部的湿式制程溶液浓度，有助于掌 控湿式制程的加工质量。再者，本实用新型中的讯号处理器40基本上内建有一运算单元41用以接收来自 第一光电组件31及第二光电组件32的启动讯号；内建有一运算单元42用以计算出其接收 到第二启动讯号及第一启动讯号的时间差，并与内建的数据换算比对；内建有一变频单元 43供依照受测对象的不同而调变该光束产生器20的电压/电流强度，以供控制该光束产生 器20所产生的激光束波长(500 900)。以及，该讯号处理器40可以进一步设有一显示单元44，用以供操作者选择、设定 相关的操作模式，并显示相关的运作状态及显示用以表示受测液体浓度状态的数值。甚至 于，该讯号处理器40可进一步整合有一讯号输出单元45，使得以透过该讯号输出单元45将 所测得以的数值回授至受测液体来源的供给系统，使以供实时调整受测液体的浓度。
权利要求1.一种液体浓度检测装置，其特征在于，包括有一透光容器，用以盛装受检测的液体；一光束产生器，用以产生足以通过第受测液体的激光束；一第一光电组件，设于透光容器其中一侧的壁面处，并具备光穿透性，用以接收该光束 产生器所产生的光束触发进而产生一第一启动讯号；一第二光电组件，设于该透光容器相对设有第一光电组件的另一侧壁面处，用以接收 该光束产生器所产生的光束触发进而产生一第二启动讯号；一讯号处理器，供依照不同液体特性输入相关的比对数据，并与该光束产生器、该第一 光电组件、该第二光电组件电性连接，用以控制光束产生器的动作，并接收第一光电组件及 第二光电组件受光束触发而所产生的讯号之后，进一步计算出光束通过受测液体内部液体 的时间，并经与其内建的数据换算比对之后，显示用以表示受测液体浓度状态的数值。
2.如权利要求1所述的液体浓度检测装置，其特征在于，该透光容器透过一第一电磁 阀与连接至受测液体源头的输入管路相衔接，该透光容器底部透过一第二电磁阀与一排放 管路相衔接。
3.如权利要求1所述的液体浓度检测装置，其特征在于，该讯号处理器内建有一运算 单元用以接收来自第一光电组件及第二光电组件的启动讯号；内建有一运算单元用以计算 出其接收到第二启动讯号及第一启动讯号的时间差，并与内建的数据换算比对；内建有一 变频单元供依照受测对象的不同而调变该光束产生器的电压/电流强度。
4.如权利要求1或3所述的液体浓度检测装置，其特征在于，该讯号处理器进一步设有 一显示单元，用以供操作者选择、设定相关的操作模式，并显示相关的运作状态及显示用以 表示受测液体浓度状态的数值。
5.如权利要求1或3所述的液体浓度检测装置，其特征在于，该讯号处理器进一步整合 有一讯号输出单元，使得以透过该讯号输出单元将所测得以的数值回授至受测液体来源的 供给系统。
6.如权利要求1或3所述的液体浓度检测装置，其特征在于，该讯号处理器进一步设有 一显示单元，用以供操作者选择、设定相关的操作模式，并显示相关的运作状态及显示用以 表示受测液体浓度状态的数值；该讯号处理器进一步整合有一讯号输出单元，使得以透过 该讯号输出单元将所测得以的数值回授至受测液体来源的供给系统。
专利摘要本实用新型的液体浓度检测装置,主要提供一种可快速侦测液体所含微粒或金属离子浓度的液体浓度检测装置。所述的液体浓度检测装置利用光束通过液体之前，先行触发一第一光电组件使其产生一第一启动讯号，并在光束通过液体之后触发一第二光电组件使其产生一第二启动讯号；再由一讯号处理器依照其接收到第二启动讯号及第一启动讯号的时间差，计算出光束通过受测液体的时间，并与内建的数据换算比对，即可快速取得用以表示液体浓度状态的数值。
文档编号G01N21/17GK201844971SQ20102061147
公开日2011年5月25日 申请日期2010年11月18日 优先权日2010年11月18日
发明者池桓壮, 许吉昌, 郑文锋 申请人:先丰通讯股份有限公司