专利名称：电容式加速度检波器中间可动电极的制作方法
技术领域：
本发明涉及电容式加速度检波器，具体说是一种电容式加速度检波器中间可动电极。
背景技术：
我们知道，现有的电容式加速度检波器中间可动电极，如美国专利局1997年7月 29日公布的专利号为5652384，名称为L形支撑梁结构的传感器，中间可动电极设有质量 块，质量块四个侧边上下对应设有L形支撑梁，上下两层八条L形支撑梁连接边框内侧中 部，质量块上设有金属极板。这种电容式加速度检波器中间可动电极，由于质量块四个侧边 上下对应设有L形支撑梁，L形支撑梁有90°拐角，制造工艺复杂，成本高，制作过程中容易 形成应力集中，影响支撑梁的强度，容易造成变形断裂，使电容量一致性差，噪声大，性能不 稳定，波形失真大，甚至毁坏检波器。
发明内容本发明解决的技术问题是，解决L形支撑梁制造工艺复杂，成本高，制作过程中容 易形成应力集中，影响支撑梁的强度，容易造成变形断裂，使电容量一致性差，噪声大，性能 不稳定，波形失真大，甚至毁坏检波器的问题，提供一种制造工艺简单，成本低，制作过程中 不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声�。阅芪榷ǎㄐ问д� 小的电容式加速度检波器中间可动电极。 本发明的技术方案是，设有质量块，质量块上均布支撑梁，支撑梁连接边框内侧，
质量块上设有金属极板，主要结构特点是，支撑梁为直形支撑梁。 本发明支撑梁位于质量块边角，垂直于质量块与边框。 本发明支撑梁位于质量块侧边中间，垂直于质量块与边框。 本发明支撑梁位于质量块尖角与边框内角上。 本发明支撑梁位于质量块边角，平行于质量块侧边和边框。 本发明支撑梁为单层支撑梁。 本发明与边框、质量块、支撑梁相对应平行设有下边框、下质量块、下支撑梁，边框
与下边框贴合成整体，为整体边框，质量块与下质量块贴合成整体，为整体质量块，支撑梁
和下支撑梁形成双层支撑梁。 本发明支撑梁和下支撑梁并列对齐。 本发明支撑梁和下支撑梁交错分布。 本发明的有益效果是，由于支撑梁为直形支撑梁，制造工艺简单，成本低，制作过 程中不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声小，性能稳定，波形 失真小。本发明适用于电容式加速度检波器。
图1、图2是本发明的一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图1是主视图， 图2是图1的A-A剖视图； 图3、图4是本发明的又-图，图4是图3的B-B剖视图； 图5、图6是本发明的又-图，图6为图5的C-C剖视图； 图7、图8是本发明的又-图，图8为图7的D-D剖视图； 图9、图10是本发明的又 图，图10为图9的E-E剖视图； 图11、图12是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图ll是主 视图，图12为图11的F-F剖视图； 图13、图14是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图13是主 视图，图14为图13的G-G剖视图； 图15、图16是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图15是主 视图，图16为图15的H-H剖视图； 图17、图18、图19、图20是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意 图，图17是主视图，图18是图17的J-J剖视图，图19是图18的K-K剖视图，图20为图17
的I-I剖视图； 实施方式 实施例1 : 如图1、图2所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块l，质量块1上 均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑 梁，支撑梁2位于质量块1边角，垂直于质量块1与边框3，制造工艺简单，成本低，制作过程 中不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声�。阅芪榷ǎㄐ问� 真小。 实施例2 : 如图3、图4所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块l，质量块1上 均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑 梁，支撑梁2位于质量块1侧边中间，垂直于质量块1与边框3内侧，制造工艺简单，成本 低，制作过程中不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声�。阅� 稳定，波形失真小。 实施例3 : 如图5、图6所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块l，质量块1上 均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑 梁，支撑梁2位于质量块1尖角与边框3内角上，制造工艺简单，成本低，制作过程中不容易 形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声�。阅芪榷ǎㄐ问д嫘�。 实施例4 :
-种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图3是主视 -种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图5是主视 -种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图7是主视 一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图9是主视[0031] 如图7、图8所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块l，质量块1上 均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑 梁，支撑梁2位于质量块1边角，平行于质量块1侧边和边框3，从图中可看出，支撑梁2较 长，灵敏度高，制造工艺简单，成本低，制作过程中不容易形成应力集中，不容易造成变形断 裂，电容量一致性好，噪声�。阅芪榷ǎㄐ问д嫘�。 实施例5 : 如图9、图10所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块l，质量块1 上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支 撑梁，支撑梁2位于质量块1边角，垂直于质量块1与边框3，与边框3、质量块1、支撑梁2 相对应平行设有下边框7、下质量块6、下支撑梁5，边框3与下边框7贴合成整体，为整体边 框，质量块1与下质量块6贴合成整体，为整体质量块，支撑梁2和下支撑梁5形成双层支 撑梁，支撑梁2和下支撑梁5并列对齐，质量块振动稳定，波形失真�。逯柿靠橹柿看螅�
灵敏度高。 实施例6 : 如图11、图12所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块l，质量块1 上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支 撑梁，支撑梁2位于质量块1侧边中间位置，垂直于质量块1与边框3内侧，与边框3、质量 块1、支撑梁2相对应平行设有下边框7、下质量块6、下支撑梁5，边框3与下边框7贴合成 整体，为整体边框，质量块1与下质量块6贴合成整体，为整体质量块，支撑梁2和下支撑梁 5形成双层支撑梁，支撑梁2和下支撑梁5并列对齐，质量块振动稳定，波形失真�。逯� 量块质量大，灵敏度高。 实施例7 : 如图13、图14所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块l，质量块1 上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支 撑梁，支撑梁2位于质量块1尖角与边框3内角上，与边框3、质量块1、支撑梁2相对应平 行设有下边框7、下质量块6、下支撑梁5，边框3与下边框7贴合成整体，为整体边框，质量 块1与下质量块6贴合成整体，为整体质量块，支撑梁2和下支撑梁5形成双层支撑梁，支撑 梁2和下支撑梁5并列对齐，质量块振动稳定，波形失真�。逯柿靠橹柿看螅槊舳雀�。 实施例8 : 如图15、图16所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块l，质量块1 上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支 撑梁，支撑梁2位于质量块1边角，平行于质量块1侧边和边框3，与边框3、质量块1、支撑 梁2相对应平行设有下边框7、下质量块6、下支撑梁5，边框3与下边框7贴合成整体，为整 体边框，质量块1与下质量块6贴合成整体，为整体质量块，支撑梁2和下支撑梁5形成双 层支撑梁，支撑梁2和下支撑梁5并列对齐，质量块振动稳定，波形失真�。逯柿靠橹柿� 大，灵敏度高。 实施例9 : 如图17、图18、图19、图20所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块 l，质量块1上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁
52为直形支撑梁，支撑梁2位于质量块1边角，平行于质量块1侧边和边框3，与边框3、质量 块1、支撑梁2相对应平行设有下边框7、下质量块6、下支撑梁5，边框3与下边框7贴合成 整体，为整体边框，质量块1与下质量块6贴合成整体，为整体质量块，支撑梁2和下支撑梁 5形成双层支撑梁，从图中可以看出，支撑梁2和下支撑梁5平行于质量块1、下质量块6、边 框3、下边框7，支撑梁2和下支撑梁5可以设计的较长，支撑梁2和下支撑梁5交错分布， 从图中可以看出，支撑梁2和下支撑梁5交错90°分布，可以稳定支撑质量块，整体质量块 质量大，同时支撑梁数量相对较少，有利于提高灵敏度和动态范围，波形失真小。
权利要求一种电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块，质量块上均布支撑梁，支撑梁连接边框内侧，质量块上设有金属极板，其特征是支撑梁为直形支撑梁。
2. 根据权利要求1所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是所说的支撑 梁位于质量块边角，垂直于质量块与边框。
3. 根据权利要求1所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是所说的支撑 梁位于质量块侧边中间，垂直于质量块与边框。
4. 根据权利要求1所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是所说的支撑 梁位于质量块尖角与边框内角上。
5. 根据权利要求1所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是所说的支撑 梁位于质量块边角，平行于质量块侧边和边框。
6. 根据权利要求1或2或3或4或5所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是所说的支撑梁为单层支撑梁。
7. 根据权利要求1或2或3或4或5所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是所说的边框、质量块、支撑梁相对应平行设有下边框、下质量块、下支撑梁，边框与下边框贴合成整体，为整体边框，质量块与下质量块贴合成整体，为整体质量块，支撑梁和下 支撑梁形成双层支撑梁。
8. 根据权利要求7所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是所说的支撑梁和下支撑梁并列对齐。
9. 根据权利要求7所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是所说的支撑梁和下支撑梁交错分布。
专利摘要一种电容式加速度检波器中间可动电极，涉及电容式加速度检波器，设有质量块，质量块上均布支撑梁，支撑梁连接边框内侧，质量块上设有金属极板，支撑梁为直形支撑梁，制造工艺简单，成本低，制作过程中不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声�。阅芪榷ǎㄐ问д嫘。视糜诘缛菔郊铀俣燃觳ㄆ�。
文档编号G01P15/125GK201444162SQ20092002912
公开日2010年4月28日 申请日期2009年6月26日 优先权日2009年6月26日
发明者唐晓刚, 张丽霞, 杨仲华, 牛德芳 申请人:威海双丰电子集团有限公
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