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[0001] ±¾·¢Ã÷Éæ¼°MEMS (΢»úµçϵͳ£©´«¸ÐÆ÷ÁìÓòÖеļÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷¼°ÆäÖÆÔì·½·¨£¬¾ß ÌåÉæ¼°Ò»ÖÖ»ùÓÚÑô¼«¼üºÏ·â×°µÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷¼°ÆäÖÆÔì·½·¨¡£ (¶þ£©
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[0002] MEMS¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷ÓÉÓÚÌå»ýС¡¢ÖÊÁ¿Çá¡¢³É±¾µÍ¡¢¿É¿¿ÐԸߵÈÓŵ㣬ÔÚº½¿Õº½Ìì¡¢»· ¾³¼à²â¡¢¾üÊ¡¢Æû³µµÈÁìÓò±¸ÊܹØ×¢£¬ÓÈÆä¶ÔÆ÷¼þÌå»ý¡¢ÖÊÁ¿¼°¿É¿¿ÐÔÓкܸßÒªÇóµÄº½¿Õº½ Ìì¼°±øÆ÷¿ÆÑ§ÁìÓòÓкܴóµÄÓ¦ÓÃǰ¾°¡£MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ìå»ýС£¬ÆµÂÊ·¶Î§¿í£¬²â Á¿¼ÓËٶȵķ¶Î§Ò²¿í£¬Ö±½ÓÊä³öµçѹÐźţ¬Ïà±ÈµçÈÝʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷£¬²»ÐèÒª¸´Ôӵĵç·½Ó ¿Ú£¬´óÅúÁ¿Éú²úʱ¼Û¸ñµÍÁ®£¬¿ÉÖØ¸´Éú²úÐԺ㬿ÉÖ±½Ó²âÁ¿Á¬ÐøµÄ¼ÓËٶȺÍÎÈ̬¼ÓËÙ¶È¡£È» ¶ø£¬Ó¦Óû·¾³µÄ¸´ÔӺͶñÁÓµ¼ÖÂMEMS¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄ¿É¿¿ÐÔÖð½¥³ÉΪÆ÷¼þÉè¼ÆÊ±Ö÷Òª¿¼ ÂǵÄÎÊÌâÖ®Ò»£¬´«¸ÐÆ÷³¤ÆÚÎȶ¨ÐԺͿɿ¿ÐÔ¶ÔÓÚÆ÷¼þÓ¦ÓÃÀ´Ëµ·Ç³£ÖØÒª¡£»ùÓÚ´Ë£¬ÓбØÒª·¢ Ã÷Ò»ÖÖMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷оƬ£¬ÒÔ±£Ö¤¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷ÔÚÓ¦ÓÃʱµÄÎȶ¨ÐÔÓë¿É¿¿ÐÔ¡£ (Èý£©
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[0003] ±¾·¢Ã÷µÄÄ¿µÄÊÇÌṩһÖÖ»ùÓÚÑô¼«¼üºÏ·â×°¼¼Êõ¡¢±íÃæÎ¢¼Ó¹¤¡¢Ìå΢¼Ó¹¤¹¤ÒÕµÄ MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷оƬ£¬ÒÔ±£Ö¤¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷ÔÚÓ¦ÓÃʱµÄ¿É¿¿ÐÔ¡£
[0004] ΪʵÏÖÉÏÊöÄ¿µÄ£¬±¾·¢Ã÷²ÉÓÃÈçϼ¼Êõ·½°¸£º
[0005] -ÖÖ»ùÓÚÑô¼«¼üºÏ·â×°µÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷£¬ËùÊöµÄ´«¸ÐÆ÷¾ßÓеÚÒ»¼ü ºÏ²£Á§-¹è»ù-µÚ¶þ¼üºÏ²£Á§ÈýÃ÷Öνṹ£»ËùÊöµÄ¹è»ùÄÚ²¿ÐγÉÓÐѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ðü ±ÛÁº£¬¹è»ùµÄÕýÃæÐγÉÓÐѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄѹ×èÇøÓò£¬ËùÊöѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄѹ ×èÇøÓòλÓÚѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ðü±ÛÁºµÄÉϱíÃæ¸ù²¿£¬²¢ÇÒ×¢ÈëÓеÅðÐγÉ4¸ùµÅðÀ©É¢ ѹ×裬ͬʱµÅðÀ©É¢Ñ¹×èµÄÄÚ²¿×¢ÈëÓÐŨÅðÐγÉŨÅðÅ·Ä·½Ó´¥Çø£¬ËùÊöѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸Ð Æ÷ѹ×èÇøÓòµÄÉÏ·½³Á»ýÓжþÑõ»¯¹è²ã£¬¶þÑõ»¯¹è²ãÉÏ·½³Á»ýÓеÚÒ»µª»¯¹è²ã£¬ËùÊöµÄ¶þÑõ »¯¹è²ãºÍµÚÒ»µª»¯¹è²ãÒ»Æð×÷Ϊ¾øÔµ¶Û»¯²ã£¬ËùÊöµÄ¾øÔµ¶Û»¯²ã¿ªÓÐÒýÏ߿ף¬ÀûÓýðÊôµ¼ ÏßÁ¬Í¨Ñ¹×èÇøÓò£¬²¢ÇÒѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷ѹ×èÇøÓòµÄ4¸ùµÅðÀ©É¢Ñ¹×èͨ¹ý½ðÊôµ¼Ïß¹¹ ³É»Ý˹¶ÙÈ«ÇÅÁ¬½Ó£¬ËùÊö½ðÊôµ¼ÏßµÄÉÏ·½³Á»ýÓеڶþµª»¯¹è²ã£¬ËùÊöµÚ¶þµª»¯¹è²ãµÄÉÏ·½ ³Á»ýÓзǾ§¹è£¬²¢ÇÒ£¬ÀûÓ÷Ǿ§¹è×÷Ϊ̨½×£¬ËùÊöµÄ·Ç¾§¹èÓëµÚÒ»¼üºÏ²£Á§¼üºÏºóÐγÉÒ»¸ö Õæ¿ÕÇ»Ì壬ËùÊö¹è»ùµÄÕýÃæ»¹ÐγÉÓÐŨÅðµ¼Ïߣ¬ËùÊöŨÅðµ¼ÏßµÄÉÏ·½Á¬½ÓÓнðÊô¹Ü½Å£¬Å¨Åð µ¼Ïß½«´«¸ÐÆ÷¹¤×÷ÇøÓë½ðÊô¹Ü½ÅÁ¬Í¨£¬ËùÊö¹è»ùµÄ±³ÃæÓëµÚ¶þ¼üºÏ²£Á§Ñô¼«¼üºÏ¡£
[0006] ±¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷£¬ÓÅÑ¡ËùÊöµÄ¹è»ùΪ¦ÇÐÍ£¨100)¹èƬ£»ÓÅÑ¡ËùÊö µÚ¶þµª»¯¹è²ãµÄÉÏ·½³Á»ýµÄ·Ç¾§¹èµÄºñ¶ÈΪ2?4 ¦Ì m¡£
[0007] ±¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄ¹¤×÷ÔÀíÈçÏ£º±¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´« ¸ÐÆ÷Ö÷Òª»ùÓÚÅð²ôÔÓºóµ¥¾§¹èµÄѹ×èÌØÐÔ£¬Ñ¹×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ðü±ÛÁºÉϵĵÅðÀ©É¢Ñ¹×è Êܵ½Á¦µÄ×÷Óú󣬵ç×èÂÊ·¢Éú±ä»¯£¬Í¨¹ý»Ý˹¶ÙÈ«ÇÅ¿ÉÒԵõ½Õý±ÈÓÚÁ¦±ä»¯µÄµçÐźÅÊä³ö£¬ ͨ¹ý²âÁ¿µçÐźÅÊä³ö¾ÍÄÜÖªµÀËù²âÎïÀíÁ¿µÄ´óС¡£±¾·¢Ã÷ÖÐÎÒÃÇÏòNÐÍ£¨100)¾§Ïò¹èƬע ÈëÅðÀ´ÊµÏÖPÐÍѹ×裬ÀûÓÃPN½áʵÏÖѹ×èµÄ¸ô¾ø£¬ÓÉÓÚѹ×èµÄѹ×èϵÊýµÄ¸÷ÏòÒìÐÔ£¬²»Í¬·½ ÏòµÄÓ¦Á¦¶Ôѹ×èÓв»Í¬µÄÓ°Ï죬ΪÁ˾¡¿ÉÄÜÔö¼ÓÁéÃô¶È£¬±¾·¢Ã÷ËùÊöµÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È ´«¸ÐÆ÷ѹ×èÇøÓòµÄµÅðÀ©É¢Ñ¹×èµÄÅŲ¼·½Ê½Îª£º×ÝÏòÑØ¹è»ùµÄ£¨1£¬1£¬©–)¾§Ïò·½Ïò¡¢ºáÏòÑØ ¹è»ùµÄ£¨1£¬_1£¬©–)¾§Ïò·½Ïò·Ö²¼£¬×ÝÏòѹ×èϵÊý¡¢ºáÏòѹ×èϵÊý·Ö±ðΪ71. 8,-66. 3¡£
[0008] ±¾·¢Ã÷ËùÊöµÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ϊ˫Ðü±ÛÁºÉè¼Æ£¬ËùÊöѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´« ¸ÐÆ÷ѹ×èÇøÓòµÄµÅðÀ©É¢Ñ¹×èΪ4×飬ÿ×éÓÉÁ½¸öƽÐеĵÅðÀ©É¢Ñ¹×è×é³É£¬ÆäÖÐÁ½×é¶Ô Çű۵ÅðÀ©É¢Ñ¹×è¶Ô³Æ·Ö²¼ÔÚÐü±ÛÁºÉϱíÃæ¸ù²¿µÄÓ¦Á¦¼¯ÖÐÇøÓò£¬ÁíÍâÁ½×éµÅðÀ©É¢Ñ¹×è ¶Ô³Æ·Ö²¼ÔÚÁãÓ¦Á¦Çø¡£µ±È»£¬¸ù¾Ý²»Í¬µÄÁéÃô¶ÈÐèÒªÒ²¿ÉÒÔ²ÉÓò»Í¬µÄÐü±ÛÁº½á¹¹£¬Èçµ¥±ß µ¥Áº¡¢Ë«±ßË«Áº¡¢Ë«±ßËÄÁº¡¢ËıßËÄÁº¡¢Ëı߰ËÁºµÈ¡£²¢ÇÒ£¬ËùÊöµÄµÅðÀ©É¢Ñ¹×èÒ²¿ÉÒÔ²ÉÓà ²»Í¬µÄ·Ö²¼·½Ê½£¬4×éµÅðÀ©É¢Ñ¹×裨¿ÉÒÔÊÇ4¸ù£¬Ò²¿ÉÒÔ8¸ù¶ÔÕÛÐ͵ȣ©Í¨¹ý½ðÊôµ¼ÏßÁ¬ ½Ó¹¹³É»Ý˹¶ÙÈ«ÇÅ£¬±¾·¢Ã÷ѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷½ðÊô¹Ü½ÅµÄÒ»ÖÖÁ¬½Ó·½Ê½Îª£ºµÚÒ»¹Ü½Å½Ó ѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Êä³ö¸º£¬µÚ¶þ¹Ü½Å½ÓµØ£¬µÚÈý¹Ü½Å½Óѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Êä³öÕý£¬µÚËÄ ¹Ü½Å½ÓµçÔ´Õý¼«¡£
[0009] ±¾·¢Ã÷»¹ÌṩÁËÒ»ÖÖËùÊöµÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄÖÆÔì·½·¨£¬ËùÊöµÄÖÆÔì ·½·¨°´Èçϲ½Öè½øÐУº
[0010] a)È¡¹èƬ×÷Ϊ¹è»ù£¬Ë«ÃæÅ׹⣬ÇåÏ´£¬ÕýÃæÈÈÑõ³¤Ò»²ã¶þÑõ»¯¹è±£»¤²ã£¬ÕýÃæ¹â¿Ì ½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³öѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄѹ×èÇøÓò£¬È»ºóÔÚѹ×èÇøÓò×¢ÈëµÅð£¬ÐγɵÅðÀ© ɢѹ×裬ȥ³ý¹â¿Ì½º£»
[0011] b)ÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³öŨÅðµ¼ÏßÇøÓò£¬²¢ÔÚµÅðÀ©É¢Ñ¹×èÇøÓò¹â¿Ì³öŨÅðÅ· Ä·½Ó´¥Çø£¬È»ºó×¢ÈëŨÅð£¬Ðγɹè»ùÄÚ²¿µÄŨÅðµ¼Ïߣ¬²¢ÔÚµÅðÀ©É¢Ñ¹×èÄÚ²¿ÐγÉŨÅðÅ·Ä· ½Ó´¥Çø£¬È¥³ý¹â¿Ì½º£¬ÍË»ð£»
[0012] c)ÏÈË«Ãæ³Á»ý¶þÑõ»¯¹è²ã£¬ÔÙË«Ãæ³Á»ýµª»¯¹è²ã£¬ÕýÃæµÄ¶þÑõ»¯¹è²ãºÍµª»¯¹è²ã Ò»Æð×÷Ϊ¾øÔµ¶Û»¯²ã£»
[0013] d)ÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³öÒýÏ߿ף¬¸É·¨·´Ó¦Àë×Ó¿ÌÊ´£¨RIE)¿ÌÊ´¾øÔµ¶Û»¯²ãÖÁ ¹è»ù¶¥Ã棬ȥ³ý¹â¿Ì½º£¬ÐγÉÒýÏ߿ף»
[0014] e)ÕýÃæ³Á»ý½ðÊôµ¼Ï߲㣬ÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³ö½ðÊôµ¼Ïß¼°¹Ü½ÅͼÐΣ¬¸¯Ê´Ã» Óйâ¿Ì½º¸²¸ÇÇøÓòµÄ½ðÊô£¬È¥³ý¹â¿Ì½º£¬ºÏ½ð»¯´¦Àí£¬ÐγɽðÊôµ¼Ïß¼°½ðÊô¹Ü½Å£»
[0015] f)ÕýÃæ³Á»ýÒ»²ãµª»¯¹è¸²¸Ç½ðÊôµ¼Ïߣ¬¸ô¾øÍâ½çÓëµç·£¬±£»¤Ð¾Æ¬µçѧÐÔÄÜ£»
[0016] g)ÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³ö·ÖƬ²ÛͼÐΣ¬¸É·¨RIE¿ÌÊ´µª»¯¹è²ã¡¢¶þÑõ»¯¹è²ãÖÁ ¹è»ù¶¥Ã棬ȥ³ý¹â¿Ì½º£»
[0017] h)ÕýÃæ³Á»ýÒ»²ã·Ç¾§¹è£¬ÔÚ·ÖÆ¬²ÛÇøÓò·Ç¾§¹èÓë¹è»ù¶¥ÃæÖ±½Ó½Ó´¥£»
[0018] i)ÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³ö´«¸ÐÆ÷¹¤×÷ÇøÓòÒÔ¼°½ðÊô¹Ü½ÅÇøÓòͼÐΣ¬RIE¿ÌÊ´·Ç ¾§¹èÖÁµª»¯¹è²ã£¬È¥³ý¹â¿Ì½º£»
[0019] j)ÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³ö½ðÊô¹Ü½ÅÇøÓòͼÐΣ¬RIE¿ÌÊ´µª»¯¹èÖÁ½ðÊô¹Ü½Å²ã£¬ È¥³ý¹â¿Ì½º£»
[0020] k)±³Ãæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³ö¸¯Ê´¹è´°¿Ú£¬RIE¿ÌÊ´µª»¯¹è¡¢¶þÑõ»¯¹èÖÁ¹è»ùµ×Ãæ£¬ È¥³ý¹â¿Ì½º£»
[0021] 1)µª»¯¹è¡¢¶þÑõ»¯¹è²ã×÷ÑÚĤʪ·¨¸¯Ê´¹è»ùÐγÉѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷±³Ç»£»
[0022] m)¸É·¨RIE¿ÌÊ´±³ÃæÊ£ÓàµÄµª»¯¹è¡¢¶þÑõ»¯¹èÖÁ¹è»ùµ×Ãæ£¬±³Ãæ½øÐйè-²£Á§Ñô¼« ¼üºÏ£»
[0023] ¦Ç)ÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³öÐü±ÛÁºÊÍ·ÅͼÐΣ¬Éî¶È·´Ó¦Àë×Ó¿ÌÊ´£¨DRIE)¿Ì´©µª »¯¹è¡¢¶þÑõ»¯¹è¡¢¹è»ùÐγÉѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ðü±ÛÁº½á¹¹£¬È¥³ý¹â¿Ì½º£»
[0024] ©–)ÕýÃæ½øÐзǾ§¹è-²£Á§Ñô¼«¼üºÏ£»
[0025] p)»®Æ¬£¬ÊµÏÖµ¥¸öоƬµÄ·â×°£¬»®Æ¬·ÖÁ½´ÎÍê³É£ºµÚÒ»´Î»®Æ¬£¬È¥³ý½ðÊô¹Ü½ÅÉÏ·½ ²£Á§£»µÚ¶þ´Î»®Æ¬»®È¥·ÖƬ²ÛÖнṹ£¬·ÖÀëµ¥¸öоƬ£¬Íê³É·â×°¡£
[0026] ±¾·¢Ã÷ËùÊöµÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄÖÆÔì·½·¨£¬²½Öèm)ÖУ¬±³Ãæ½øÐйè-²£ Á§Ñô¼«¼üºÏµÄ¹¤ÒÕ²ÎÊýΪ£ºµçѹ300?500V£¬µçÁ÷15?20mA£¬Î¶È300?400¡ãC£¬Ñ¹Á¦ 2000 ?3000N£¬Ê±¼ä 5 ?lOmin¡£
[0027] ±¾·¢Ã÷ËùÊöµÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄÖÆÔì·½·¨£¬²½Öè©–)ÖУ¬ÍƼöÕýÃæ½øÐÐ·Ç ¾§¹è-²£Á§Ñô¼«¼üºÏµÄ¹¤ÒÕ²ÎÊýΪ£ºµçѹ450?1000V£¬µçÁ÷15?25mA£¬Î¶È300?400¡ãC£¬ ѹÁ¦2©–00?3©–OON£¬Ê±¼äI5?25min¡£
[0028] ±¾·¢Ã÷ËùÊöµÄÑô¼«¼üºÏ¼¼ÊõÊÇÒ»ÖÖÏÖÓм¼Êõ£¬¸Ã¼¼ÊõÊDZ¾ÁìÓò¼¼ÊõÈËÔ±ËùÊìÖª µÄ£¬Æä¹¤×÷ÔÀíΪ£º½«Ö±Á÷µçÔ´Õý¼«½Ó¹èƬ£¬¸º¼«½Ó²£Á§Æ¬£¬ÓÉÓÚ²£Á§ÔÚÒ»¶¨¸ßÎÂϵÄÐÔ ÄÜÀàËÆÓÚµç½âÖÊ£¬¶ø¹èƬÔÚζÈÉý¸ßµ½300¡ãC?400¡ãCʱ£¬µç×èÂʽ«Òò±¾Õ÷¼¤·¢¶ø½µÖÁ 0. 1¦¸ ¡¤¦Ð¦É£¬´Ëʱ²£Á§Öеĵ¼µçÁ£×Ó£¨ÈçNa+)ÔÚÍâµç³¡×÷ÓÃÏÂÆ¯ÒƵ½¸ºµç¼«µÄ²£Á§±íÃæ£¬¶ø ÔÚ½ôÁÚ¹èÆ¬µÄ²£Á§±íÃæÁôϸºµçºÉ£¬ÓÉÓÚNa+µÄÆ¯ÒÆÊ¹µç·ÖвúÉúµçÁ÷Á÷¶¯£¬½ôÁÚ¹èÆ¬µÄ²£ Á§±íÃæ»áÐγÉÒ»²ã¼«±¡µÄ¿í¶ÈԼΪ¼¸Î¢Ã׵ĿռäµçºÉÇø£¨»ò³ÆºÄ¾¡²ã£©¡£ÓÉÓںľ¡²ã´ø¸º µçºÉ£¬¹èƬ´øÕýµçºÉ£¬ËùÒÔ¹èÆ¬Óë²£Á§Ö®¼ä´æÔÚ׎ϴóµÄ¾²µçÎüÒýÁ¦£¬Ê¹Á½Õß½ôÃܽӴ¥£¬²¢ ÔÚ¼üºÏÃæ·¢ÉúÎïÀí»¯Ñ§·´Ó¦£¬ÐγÉÀι̽áºÏµÄSi-¦¯¹²¼Û¼ü£¬½«¹èÓë²£Á§½çÃæÀι̵ØÁ¬½ÓÔÚ Ò»Æð¡£
[0029] ¸ù¾ÝËùÊöµÄÔÀí£¬Ñô¼«¼üºÏ¼¼Êõ²¢²»ÊʺÏÔÚ×¢ÈëÅðµÄ¦ÇÐ͹èÓë²£Á§µÄ¼üºÏÖÐʹ Óã¬ÔÒòÔÚÓÚ£º×¢ÈëÅðµÄ¦ÇÐ͹èʵÖÊÉÏÊǸö¦±¦½á£¬ÔÚÑô¼«¼üºÏ¹ý³ÌÖÐÇ¿µçѹÔÚͨ¹ý¹è»ùµÄͬ ʱѹÇá¶øÒ×¾Ù¾ÍÄܽ«Æä·´Ïò»÷´©£¬µ¼ÖÂÆä©µç£¬ÆÆ»µÆ÷¼þµÄµçѧÐÔÄÜ¡£ÔÚ¹è-²£Á§¼üºÏÃæ¸½ ½ü´æÔÚ¦±¦½á»òÆäËû¶Ô¸ßѹ±È½ÏÃô¸ÐµÄµç·½á¹¹Ê±£¬¼üºÏ¹ý³ÌÖÐ500?1500VµÄ¸ßѹÈÝÒ×»÷ ´©MEMSÆ÷¼þÖÐÓÈÆäÊǼüºÏÇøÓò¸½½üµÄµç·£¬Ó°ÏìÆ÷¼þµÄÐÔÄÜ¡£Õë¶ÔÉÏÊöÏÖÓеÄÑô¼«¼üºÏ¼¼ ÊõÖдæÔÚµÄÎÊÌ⣬±¾·¢Ã÷µÚ¶þ´Î¼üºÏ¹¤ÒÕÀûÓ÷Ǿ§¹è×÷Ϊ¹è»ù¡¢²£Á§Ö®¼äµÄµ¼Í¨²ã£¬Ê¹¼üºÏ µçÁ÷¾¡¿ÉÄܵÄÑØ¹è-·Ç¾§¹è-²£Á§·½Ïòͨ¹ý£¬Ê¹ËùÊöPN½á±Ü¿ªÇ¿µç³¡£¬×îÖÕʵÏÖÉϲã·Ç¾§ ¹èÓë²£Á§µÄÑô¼«¼üºÏ£¬ÊµÑéÖ¤Ã÷£¬ÕâÖַǾ§¹è-²£Á§Ñô¼«¼üºÏÒÀ¾ÉÄܱ£Ö¤½Ó½ü¹è-²£Á§µÄ¼ü ºÏÇ¿¶ÈºÍÆøÃÜÐÔ¡£
[0030] ËùÊö»ùÓÚÑô¼«¼üºÏ·â×°µÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄ·â×°ÐèÒª¾¹ýÁ½´ÎÑô¼«¼ü ºÏ£¬µÚÒ»´Î¼üºÏÊDZ³Ãæ¹è-²£Á§Ñô¼«¼üºÏ£¬Ïà¶Ô±È½ÏÈÝÒ×ʵÏÖ£¬µÚ¶þ´Î¼üºÏÊÇÕýÃæ·Ç¾§¹èÓë ²£Á§µÄÑô¼«¼üºÏ£¬Ïà¶Ô±È½ÏÀ§ÄÑ£¬¿ÉÒÔÊʵ±¼ÓÇ¿¼üºÏµçѹ£¬Ôö¼Ó¼üºÏʱ¼ä¡£±¾·¢Ã÷ÖУ¬ÀûÓÃ·Ç ¾§¹èÓë²£Á§¼üºÏ»¹ÓÐÒ»¸ö·Ç³£´óµÄÓŵ㣬ËùÊö¼üºÏ·½·¨±ÜÃâÁ˲£Á§Óë¹èµÄÖ±½Ó½Ó´¥£¬¶Å¾ø Á˱¾À´²£Á§Óë¹è¼üºÏ±íÃæ¿ÉÄÜ»á²úÉúµÄNa+µÈÀë×ÓµÄÎÛȾ¡£
[0031] ±¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷½á¹¹ÖУ¬ÕýÃæ·Ç¾§¹è-²£Á§¼üºÏ¹ý³ÌÖУ¬ÀûÓÃ·Ç ¾§¹è×÷Ϊ̨½×ÐγɼÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Õæ¿ÕÇ»Ì壬ÕâÖÖÉè¼ÆÊ¹Éϲ£Á§°å²»ÐèÒª½øÐпª²Û¼Ó¹¤Ö±½Ó ¾ÍÄܽøÐмüºÏ£¬½ÚÔ¼Á˼üºÏ³É±¾¡£±¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷½á¹¹ÖУ¬ÉÏÕæ¿ÕÇ»ÌåµÄ ºñ¶ÈÖ±½ÓÈ¡¾öÓڷǾ§¹è³Á»ýµÄºñ¶È£¬ÓÉÓڷǾ§¹è³Á»ýµÃ¹ýºñÆäÖÂÃܶȡ¢Õ³¸½ÐÔ¶¼»áÊܵ½Ó° Ï죬²¢ÇÒ»á¼Ó´óϲ½¹â¿ÌµÄÄѶȣ¬ËùÒÔΪÁ˱ÜÃâÔÚ¼üºÏ¹ý³ÌÖв£Á§Ó뵪»¯¹èÖ±½Ó¼üºÏ£¬Í¬Ê± ±£Ö¤·Ç¾§¹èÁ¼ºÃµÄÐÔÄÜ£¬±¾·¢Ã÷´«¸ÐÆ÷ÖеķǾ§¹èºñ¶È¿ÉÒÔÈ¡2?4¦Ì m¡£
[0032] ±¾·¢Ã÷ÊÇÀûÓÃÑô¼«¼üºÏ·â×°µÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷£¬¸Ã´«¸ÐÆ÷¾ßÓеÚÒ»¼ü ºÏ²£Á§-¹è»ù-µÚ¶þ¼üºÏ²£Á§ÈýÃ÷Öνṹ£¬ÍƼöÓæÇÐÍ£¨100)¹èƬ×÷¹è»ù£¬²ÉÓñíÃæÎ¢¼Ó¹¤ ¼¼ÊõÓëÌå΢¼Ó¹¤¼¼ÊõÖÆÔì´øÓеÅðÀ©É¢Ñ¹×èµÄÐü±ÛÁº×÷Ϊ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷½á¹¹£¬²¢ÇÒÀûÓöþ ´ÎÑô¼«¼üºÏ¼¼Êõ½øÐÐԲƬ¼¶·â×°£¬µÚÒ»´ÎÑô¼«¼üºÏ²ÉÓùè-²£Á§Ñô¼«¼üºÏ£¬µÚ¶þ´ÎÑô¼«¼ü ºÏÀûÓ÷Ǿ§¹è²ã×÷ΪÖмä²ãʹ¼üºÏµçÁ÷²»Í¨¹ý¦±¦½á£¬±£»¤´«¸ÐÆ÷¦±¦½á£¬ÊµÏַǾ§¹è-²£Á§ Ñô¼«¼üºÏ¡£ÀûÓ÷Ǿ§¹è-²£Á§Ñô¼«¼üºÏ¼¼ÊõµÄ·â×°½â¾öÁË´«Í³¹è-²£Á§Ñô¼«¼üºÏ¹ý³ÌÖÐÈÝ Ò×»÷´©¹è±íÃæ¦±¦½áºÍ²úÉúÀë×ÓÎÛȾµÈȱµã¡£±¾·¢Ã÷´«¸ÐÆ÷½á¹¹ÐÂÓ±¡¢ÖØÁ¿Çá¡¢Ìå»ýС¡¢Îȶ¨ ÐԺᢿ¹ÎÛȾÄÜÁ¦Ç¿¡¢¿É¿¿ÐԺᣱ¾·¢Ã÷´«¸ÐÆ÷ÔÚº½¿Õº½Ìì¡¢¾üÊ¡¢Æû³µ¡¢»·¾³¼à²âµÈÁìÓò¾ß ÓÐÒ»¶¨µÄÓ¦ÓÃǰ¾°¡£ (ËÄ£©¡¾×¨Àû¸½Í¼¡¿
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[0033] ͼ1Ϊ±¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄÆÊÃæ½á¹¹Ê¾Òâͼ£»
[0034] ͼ2Ϊ±¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄ¸©ÊÓͼ£»
[0035] ͼ3?ͼ18Ϊ±¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄÖÆÔ칤ÒÕÁ÷³ÌÆÊÃæÊ¾Òâͼ£º
[0036] ͼ3ΪÐγÉѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷ѹ×èÇøÓòµÄµÅðÀ©É¢Ñ¹×èµÄʾÒâͼ£»
[0037] ͼ4ΪÐγÉŨÅðÅ·Ä·½Ó´¥ÇøºÍŨÅðÄÚ²¿µ¼ÏßµÄʾÒâͼ£»
[0038] ͼ5ÎªË«Ãæ³Á»ý¶þÑõ»¯¹è¡¢µª»¯¹è¾øÔµ¶Û»¯²ãµÄʾÒâͼ£»
[0039] ͼ6ΪÔÚ¾øÔµ¶Û»¯²ãÉÏÐγÉÒýÏ߿׵ÄʾÒâͼ£»
[0040] ͼ7ΪÐγɽðÊôµ¼ÏߺͽðÊô¹Ü½ÅµÄʾÒâͼ£»
[0041] ͼ8Ϊ³Á»ýµª»¯¹è²ã£¬¸ô¾øÍâ½çÓëµç·µÄʾÒâͼ£»
[0042] ͼ9Ϊ¿ÌÊ´³ö·ÖƬ²ÛÇøÓòµÄʾÒâͼ£»
[0043] ͼ10ΪÕýÃæ³Á»ý·Ç¾§¹èµÄʾÒâͼ£»
[0044] ͼ11Ϊ¿ÌÊ´·Ç¾§¹è£¬Ðγɴ«¸ÐÆ÷¹¤×÷ÇøÓòÒÔ¼°½ðÊô¹Ü½ÅÇøÓòµÄʾÒâͼ£»
[0045] ͼ12Ϊ¿ÌÊ´³ö½ðÊô¹Ü½ÅµÄʾÒâͼ£»
[0046] ͼ13Ϊ±³ÃæÐγɸ¯Ê´¹è´°¿ÚµÄʾÒâͼ£»
[0047] ͼ14ΪÐγÉѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷±³Ç»µÄʾÒâͼ£»
[0048] ͼ15Ϊ±³Ãæ½øÐйè-²£Á§Ñô¼«¼üºÏµÄʾÒâͼ£»
[0049] ͼ16ΪÐγÉѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ðü±ÛÁº½á¹¹µÄʾÒâͼ£»
[0050] ͼ17ΪÕýÃæ½øÐзǾ§¹è-²£Á§Ñô¼«¼üºÏµÄʾÒâͼ£»
[0051] ͼ18Ϊ»®Æ¬Íê³É·â×°µÄʾÒâͼ¡£
[0052] ͼ1?ͼ18ÖУº1 Ò»ÕýÃæ¶þÑõ»¯¹è²ã¡¢¦£ Ò»±³Ãæ¶þÑõ»¯¹è²ã¡¢2 -ÕýÃæµÚÒ»µª»¯¹è ²ã¡¢2' Ò»±³Ã浪»¯Í޲㡢3 -ÕýÃæµÚ¶þµª»¯Í޲㡢4 Ò»½ðÊôµ¼Ïß¡¢5 -µÚÒ»¼üºÏ²£Á§¡¢6 -·Ç¾§ ÍÞ¡¢7 -ŨÅðµ¼Ïß¡¢8 -½ðÊô¹Ü½Å¡¢9 Ò»ÍÞ»ù¡¢10 -µÚ¶þ¼üºÏ²£Á§¡¢11 Ò»Õæ¿ÕÇ»Ìå¡¢12 -ѹ×è ʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ðü±ÛÁº¡¢13 -µÅðÀ©É¢Ñ¹×èÄÚ²¿µÄŨÅðÅ·Ä·½Ó´¥Çø¡¢14 Ò»µÅðÀ©É¢Ñ¹×è¡¢ 15 -·ÖƬ²Û£¬²¢ÇÒ£¬Í¼2ÖÐ8a?8dÒÀ´Î±í²»µÚÒ»?µÚËĹܽţ»
[0053] ͼ19Ϊ±¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄ¹Ü½Å¶¨Ò壻
[0054] ͼ19ÖйܽŶ¨Ò壺¢ÙÒ»µÚÒ»¹Ü½Å½Óѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Êä³ö¸º¡¢¢ÚÒ»µÚ¶þ¹Ü½Å½Ó µØ¡¢¢ÛÒ»µÚÈý¹Ü½Å½Óѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Êä³öÕý¡¢¢ÜÒ»µÚËĹܽŽӵçÔ´Õý¼«£»
[0055] ͼ20(a)Ϊ±¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷ËùʹÓõĵ¥±ßË«Áº½á¹¹¼°Ñ¹×è·Ö²¼ ʾÒâͼ£»
[0056] ͼ20 (b)?20 (f)Ϊ±¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷¿É²ÉÓÃµÄÆäËüÐü±ÛÁº½á¹¹ ʾÒâͼ£»
[0057] ͼ20(b)Ϊµ¥±ßµ¥ÁºÊ¾Òâͼ£»
[0058] ͼ20(c)Ϊ˫±ßË«ÁºÊ¾Òâͼ£»
[0059] ͼ20(d)Ϊ˫±ßËÄÁºÊ¾Òâͼ£»
[0060] ͼ20 (e)ΪËıßËÄÁºÊ¾Òâͼ£»
[0061] ͼ20(f)ΪËı߰ËÁºÊ¾Òâͼ¡£ (Î壩¡¾¾ßÌåʵʩ·½Ê½¡¿
[0062] ÒÔϽáºÏ¸½Í¼¶Ô±¾·¢Ã÷×÷½øÒ»²½ÃèÊö£¬µ«±¾·¢Ã÷µÄ±£»¤·¶Î§²¢²»½öÏÞÓÚ´Ë¡£
[0063] Èçͼ1Ëùʾ£¬ËùÊö»ùÓÚÑô¼«¼üºÏ·â×°µÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷£¬²ÉÓÃÁ˵ÚÒ»¼ü ºÏ²£Á§-¹è»ù-µÚ¶þ¼üºÏ²£Á§ÈýÃ÷Öνṹ£¬ËùÊöµÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ö÷Òª°üÀ¨£º¹è »ù£¨9)¡¢ÓÃÓÚ²âÁ¿µ¥Öá¼ÓËٶȵÄѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ðü±ÛÁº£¨12)¡¢Å¨Åðµ¼Ïߣ¨7)¡¢½ðÊô¹Ü½Å (8)¡¢Óë¹è»ùÑô¼«¼üºÏµÄµÚ¶þ¼üºÏ²£Á§£¨10)ÒÔ¼°Óë·Ç¾§¹è£¨6)½øÐÐÑô¼«¼üºÏµÄµÚÒ»¼üºÏ²£ Á§£¨5)¡£
[0064] ÆäÖУ¬ÓÃÓÚ²âÁ¿µ¥Öá¼ÓËٶȵÄѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ðü±ÛÁº£¨12)µÄÉϱíÃæ¸ù²¿×¢ ÈëÁ˵Åð×÷Ϊѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄµÅðÀ©É¢Ñ¹×裨14)£¬²¢ÔÚµÅðÀ©É¢Ñ¹×èÄÚ²¿×¢ÈëŨÅð ÐγÉŨÅðÅ·Ä·½Ó´¥Çø£¨13)£¬Ñ¹×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄѹ×èÇøÓòÉÏ·½³Á»ýÓжþÑõ»¯¹è²ã£¨1)Óë µÚÒ»µª»¯¹è²ã£¨2)×÷Ϊ¾øÔµ¶Û»¯²ã£¬¾øÔµ¶Û»¯²ãÉÏ¿ªÓÐÒýÏ߿ײ¢ÀûÓýðÊôµ¼Ïߣ¨4)Á¬Í¨Ñ¹ ×èÇøÓò£¬½ðÊôµ¼ÏßÉÏ·½³Á»ýÓеڶþµª»¯¹è²ã£¨3)ÓÃÀ´¸ôÀëÍâ½çÓëµç·£¬Ìá¸ßµç·µÄ¿É¿¿ÐÔ¡£ ѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄѹ×èÇøÓò°üº¬4×éµÅðÀ©É¢Ñ¹×裨14)£¬Ã¿×éÓÉÁ½¸öƽÐеĵÅðÀ©É¢ ѹ×è×é³É£¬Á½×é¶ÔÇű۵ÅðÀ©É¢Ñ¹×è¶Ô³Æ·Ö²¼ÔÚÐü±ÛÁºÉϱíÃæ¸ù²¿µÄÓ¦Á¦¼¯ÖÐÇøÓò£¬ÁíÍâ Á½×é¶Ô³Æ·Ö²¼ÔÚÁãÓ¦Á¦Çø£¬²¢Í¨¹ý½ðÊôµ¼Ïߣ¨4)¹¹³É»Ý˹¶ÙÈ«ÇÅÁ¬½Ó£¬µ±´æÔÚÒ»¸ö´¹Ö±ÓÚ Æ÷¼þ±íÃæµÄ¼ÓËٶȺó£¬Ñ¹×èʽ¼ÓËÙ¶ÈÐü±ÛÁºÍäÇú£¬Î»ÓÚѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ðü±ÛÁºÉϱíÃæ ¸ù²¿Ó¦Á¦¼¯ÖÐÇøÓòµÄ2×éѹ×èÊܵ½Á¦µÄ×÷Ó㬵ç×èÂÊ·¢Éú±ä»¯£¬Èçͼ2ËùʾλÓÚѹ×èʽ¼ÓËÙ ¶È´«¸ÐÆ÷Ðü±ÛÁºÉϱíÃæ¸ù²¿Ó¦Á¦¼¯ÖÐÇøÓòµÄ2×éѹ×èλÓÚ»Ý˹¶ÙÈ«ÇŵĶÔÇÅ£¬Í¨¹ý»Ý˹¶Ù È«ÇÅ¿ÉÒԵõ½Õý±ÈÓÚÁ¦±ä»¯µÄµçÐźÅÊä³ö£¬Í¨¹ý²âÁ¿µçÐźÅÊä³ö¾ÍÄÜÖªµÀ¼ÓËٶȵĴóС¡£ ÀûÓûÝ˹¶ÙÈ«ÇŵÄÉè¼ÆÌá¸ßÁ˱¾·¢Ã÷MEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄÁéÃô¶È²¢ÇÒÄܱ£Ö¤Á¼ºÃ µÄÏßÐÔ¡£
[0065] оƬµÄ·â×°²ÉÓöþ´ÎÑô¼«¼üºÏ¼¼Êõ¡£µÚÒ»´ÎÑô¼«¼üºÏÊÇоƬ±³ÃæµÚ¶þ¼üºÏ²£Á§ (10)Óë¹è»ù£¨9)µÄ¹è-²£Á§Ñô¼«¼üºÏ£»µÚ¶þ´ÎÑô¼«¼üºÏ²ÉÓ÷Ǿ§¹è²ã×÷ΪÖмä²ãʹ¼üºÏµç Á÷²»Í¨¹ýPN½á£¬±£»¤´«¸ÐÆ÷PN½á£¬ÊµÏÖÕýÃæ·Ç¾§¹è£¨6)ÓëµÚÒ»¼üºÏ²£Á§£¨5)µÄÑô¼«¼üºÏ£¬ µÚ¶þ´ÎÑô¼«¼üºÏûÓвÉÓùè-²£Á§¼üºÏµÄÔÒòÔÚÓÚ£º¹è-²£Á§Ñô¼«¼üºÏµÄ¼üºÏÃæÉÏ´æÔÚ×Å PN½á£¬¼üºÏʱµÄÇ¿µçѹÈÝÒ×»÷´©PN½á£¬ÆÆ»µµç·µÄµçѧÐÔÄÜ¡£
[0066] ΪÁ˱ÜÃâ·Ç¾§¹è£¨6)ÓëµÚÒ»¼üºÏ²£Á§£¨5)¼üºÏÃæµÄ²»Æ½ÕûÐÔ£¬±£Ö¤·â×°µÄÆøÃÜÐÔ£¬ ËùÊöµÄ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷²¢Ã»ÓвÉÓýðÊôµ¼ÏßÁ¬½ÓоƬ¹¤×÷ÇøÓë½ðÊô¹Ü½Å£¬¶øÊÇÀûÓÃŨÅðµ¼Ïß (7)×÷ΪÄÚ²¿µ¼Ïß½«´«¸ÐÆ÷¹¤×÷ÇøÓë½ðÊô¹Ü½ÅÏàÁ¬¡£
[0067] Èçͼ3?ͼ18Ëùʾ£¬±¾·¢Ã÷ËùÊöµÄ»ùÓÚÑô¼«¼üºÏ·â×°µÄMEMSѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸Ð Æ÷µÄÖÆÔ칤ÒÕ°üÀ¨Èçϲ½Ö裺
[0068] a)Èçͼ3Ëùʾ£ºÈ¡¹èƬ×÷Ϊ¹è»ù£¨9)£¬Ë«ÃæÅ׹⣬ÇåÏ´£¬ÕýÃæÈÈÑõ³¤Ò»²ã±¡µÄ¶þÑõ»¯ ¹è×÷ΪעÈëǰµÄ±£»¤²ã£¬ÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³öѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄѹ×èÇøÓò£¬È»ºó ½øÐÐÅðÀë×Ó×¢È루µÅ𣩣¬ÐγÉѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄµÅðÀ©É¢Ñ¹×裨14)£¬È¥³ý¹â¿Ì½º£»Ëù ÊöµÄÍÞ»ùΪ¦ÇÐÍ£¨100)ÍÞÆ¬£»
[0069] b)Èçͼ4Ëùʾ£ºÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³öŨÅðµ¼ÏßÇøÓò£¬²¢ÔÚѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸Ð Æ÷µÄµÅðÀ©É¢Ñ¹×裨14)ÇøÓò¹â¿Ì³öŨÅðÅ·Ä·½Ó´¥ÇøÓò£¬È»ºó½øÐÐÅðÀë×Ó×¢È루ŨÅ𣩣¬ÐÎ ³É¹è»ùÄÚ²¿µÄŨÅðµ¼Ïߣ¨7)ÒÔ¼°ÐγɵÅðÀ©É¢Ñ¹×èÄÚ²¿µÄŨÅðÅ·Ä·½Ó´¥Çø£¨13)£¬È¥³ý¹â¿Ì ½º£¬ÍË»ð£»
[0070] c)Èçͼ5Ëù²»£ºÃ×ÓõÍѹ»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý£¨LPCVD)ÏÈË«Ãæ³Á»ý0. 8 ¦Ì mºñµÄ¶þÑõ»¯ ¹è²ã£¨1)¡¢£¨¦£ )£¬ÔÙÓÃLPCVDË«Ãæ³Á»ý0. 2 ¦Ì mºñµÄµª»¯¹è²ã£¨2)¡¢£¨2'£©£¬¶þÑõ»¯¹è²ã£¨1)ºÍ µª»¯¹è²ã£¨2) -Æð×÷Ϊ¾øÔµ¶Û»¯²ã£»
[0071] d)Èçͼ6Ëùʾ£ºÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³öÒýÏß¿×ͼÐΣ¬¸É·¨RIE¿ÌÊ´¾øÔµ¶Û»¯²ã ÖÁ¹è»ù£¨9)¶¥Ã棬ȥ³ý¹â¿Ì½º£¬ÐγÉÒýÏ߿ף»
[0072] e)Èçͼ7Ëùʾ£ºÕýÃæ½¦Éä1 ¦Ì mºñµÄÂÁ£¬ÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³ö½ðÊôµ¼Ïߢȼ° ½ðÊô¹Ü½Å£¨8)ͼÐΣ¬¸¯Ê´Ã»Óйâ¿Ì½º¸²¸ÇÇøÓòµÄÂÁ£¬È¥³ý¹â¿Ì½º£¬ºÏ½ð»¯´¦Àí£¬ÐγɽðÊôÂÁ µ¼Ïߢȼ°½ðÊô¹Ü½Å£¨8);
[0073] f)Èçͼ8Ëùʾ£ºÕýÃæ²ÉÓõÈÀë×ÓÌåÔöÇ¿ÐÍ»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý·¨£¨PECVD)³Á»ýÒ»²ã 0. 2 ¦Ì mºñµÄµª»¯¹è£¨3)¸²¸ÇÂÁµ¼Ïߣ¨4)£¬±£»¤Ð¾Æ¬µçѧÐÔÄÜ£»
[0074] g)Èçͼ9Ëùʾ£ºÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³ö·ÖƬ²ÛͼÐΣ¬¸É·¨RIE¿ÌÊ´µª»¯¹è£¨2)¡¢ (3)£¬¶þÑõ»¯¹è£¨1)ÖÁ¹è»ù£¨9)¶¥Ã棬ȥ³ý¹â¿Ì½º£»
[0075] h)Èçͼ10Ëùʾ£ºÕýÃæ³Á»ýÒ»²ã3 ¦Ì mºñµÄ·Ç¾§¹è£¨6)£¬ÔÚ·ÖÆ¬²ÛÇøÓò·Ç¾§¹è£¨6)Óë ¹è»ù£¨9)¶¥ÃæÖ±½Ó½Ó´¥£»
[0076] i)Èçͼ11Ëùʾ£ºÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³ö´«¸ÐÆ÷¹¤×÷ÇøÓòÒÔ¼°½ðÊô¹Ü½Å¢ÇÇø ÓòͼÐΣ¬RIE¿ÌÊ´·Ç¾§¹è£¨6)ÖÁµª»¯¹è²ã£¨3)£¬È¥³ý¹â¿Ì½º£»
[0077] j)Èçͼ12Ëùʾ£ºÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³ö½ðÊô¹Ü½Å¢ÇÇøÓòͼÐΣ¬RIE¿ÌÊ´µª»¯ ¹è¢ÇÖÁ½ðÊô¹Ü½Å¢Ç²ã£¬È¥³ý¹â¿Ì½º£»
[0078] k)Èçͼ13Ëùʾ£º±³Ãæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³ö¸¯Ê´¹è´°¿Ú£¬RIE¿ÌÊ´µª»¯¹è£¨2'£©¡¢¶þ Ñõ»¯¹è£¨¦£ )ÖÁ¹è»ù£¨9)µ×Ãæ£¬È¥³ý¹â¿Ì½º£»
[0079] 1)Èçͼ14Ëùʾ£ºµª»¯¹è£¨2'£©¡¢¶þÑõ»¯¹è£¨¦£ )²ã×÷ÑÚĤ£¬40wt% ¦ª0¦§Ë®ÈÜҺʪ·¨ ¸¯Ê´¹è»ù£¨9)ÐγÉѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷±³ÃæÇ»Ì壻
[0080] m)Èçͼ15Ëùʾ£º¸É·¨RIE¿ÌÊ´±³ÃæÊ£ÓàµÄµª»¯¹è£¨2'£©¡¢¶þÑõ»¯¹è£¨¦£ )ÖÁ¹è»ù (9)µ×Ãæ£¬±³Ãæ½øÐйè-²£Á§Ñô¼«¼üºÏ£»
[0081] ¦Ç)Èçͼ16Ëùʾ£ºÕýÃæ¹â¿Ì½º×÷ÑÚĤ¹â¿Ì³öÐü±ÛÁº£¨12)ÊÍ·ÅͼÐΣ¬DRIE¿Ì´©µª»¯ ¹è£¨2)¡¢£¨3)£¬¶þÑõ»¯¹è£¨1)£¬¹è»ù£¨9)Êͷųöѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷Ðü±ÛÁº½á¹¹£¬È¥³ý¹â¿Ì½º£»
[0082] ©–)Èçͼ17Ëùʾ£ºÕýÃæ½øÐзǾ§¹è-²£Á§Ñô¼«¼üºÏ£»
[0083] ¦Ñ)Èçͼ18Ëùʾ£º»®Æ¬£¬ÊµÏÖµ¥¸öоƬµÄ·â×°£¬»®Æ¬·ÖÁ½´ÎÍê³É£ºµÚÒ»´Î»®Æ¬£¬È¥³ý ½ðÊô¹Ü½Å£¨8)ÉÏ·½²£Á§£¨5);µÚ¶þ´Î»®Æ¬»®È¥·ÖƬ²ÛÖнṹ£¬·ÖÀëµ¥¸öоƬ£¬Íê³É·â×°¡£
[0084] ½øÒ»²½µØ£¬ÎªÁ˱£Ö¤Á½´ÎÑô¼«¼üºÏµÄÖÊÁ¿£¬Í¨¹ý¶à´ÎÊÔÑ飬±¾·¢Ã÷¸ø³öÁËËùÊöMEMS ѹ×èʽ¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷µÄ×îÓżüºÏ²ÎÊý£¬Èç±í1£¬2Ëùʾ¡£
[0085] ±í1µÚÒ»´ÎÑô¼«¼üºÏ£¨¹è-²£Á§£©²ÎÊý
[0086]
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