超声波检查装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种除去残存在载置被检测体的试样台的下表面的气泡，能进行效率好的检查的透过式超声波检查装置。超声波检查装置(100)具有：收放水(5)的水槽(19)；配置在水槽(19)内并载置被检测体(1)的试样台(2)；以及第一超声波探触件(3)及第二超声波探触件(4)，其在上下方向对置地配置，该第一超声波探触件(3)向被检测体(1)照射超声波，该第二超声波探触件(4)接收透过了被检测体的超声波，在试样台(2)的下表面(23)侧形成亲水性覆膜。
【专利说明】超声波检查装置
【技术领域】
[0001] 本发明涉及超声波检查装置，尤其涉及利用超声波在作为超声波传送用介质的水 中以非破坏测定被检测体内部，显示有关该被检测体的探查影像等、或判断是否存在内部 缺陷的超声波检查装置。
【背景技术】
[0002] 超声波检查装置在反复向被检测体照射超声波，接收从被检测体反射或透过的超 声波的状态下进行扫描，将接收的超声波的强弱图像化。超声波检查装置利用由于被检测 体的各部的声音阻抗而使从被检测体反射或透过的超声波的强弱不同的性质，能以非破坏 检查被检测体内部的状态。
[0003] 超声波具有难以在气体中传播的性质，因此，在超声波检查装置中，一般作为超声 波传输用介质使用水，将被检测体及超声波探触件浸在水中进行检查。
[0004] 作为本【技术领域】的【背景技术】，具有日本特开2002-296247号公报（专利文献1)。 在该公报中，记载了 "使金属带通过在水槽内对置配置的超声波发送件及超声波接收件之 间，借助于该金属带，在超声波发送件及超声波接收件之间进行超声波束的收发，检测金属 带的内部缺陷…"（参照说明书摘要）。
[0005] 现有技术文献
[0006] 专利文献1 :日本特开2002-296247号公报
[0007] 由于超声波具有难以在气体中传播的性质，因此，当气泡附着在被检测体上时，存 在无法检查气泡附着部的被检测体内部之类的问题。另外，当在超声波检查后在检查结果 中确认气泡时，需要在除去气泡后再次实施检查，存在效率非常差之类的问题。
[0008] 为了解决该问题，专利文献1所记载的技术在检测金属带的内部缺陷时，朝向金 属带与超声波发送件之间的间隙、以及金属带与超声波接收件的间隙的各个供给除去气泡 了的。由此，由于排除了气泡的影响，因此能正确地进行利用超声波探伤的内部缺陷的检 测。
[0009] 但是，在使超声波透过被检测体而进行检查的透过式超声波检查装置中，在将载 置被检测体的试样台配置在水槽内的构造的场合，产生以下问题。S卩，在将被检测体或试样 台浸渍在水中时卷入空气，气泡有可能残留在试样台的下表面。在该场合，残存在试样台 的下表面的气泡即使由于水流而飞散，也有可能马上再次附着在试样台的下表面的其他部 位，并且，在气泡小的场合，难以随水流飞走，因此难以除去。因此，存在由于残存在试样台 的下表面的气泡，无法接收透过被检测体的超声波之类的问题。
【发明内容】
[0010] 本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供除去残存在载置被检测体的试 样台的下表面的气泡，能够进行效率好的检查的透过式超声波检查装置。
[0011] 为了解决上述课题，本发明的超声波检查装置具有收放水的水槽、配置在上述水 槽内并载置被检测体的试样台、在上下方向对置地配置且向被检测体照射超声波的第一超 声波探触件及接收透过了被检测体的超声波的第二超声波探触件，在上述试样台的下表面 侧形成亲水性覆膜。
[0012] 本发明的效果如下。
[0013] 根据本发明，能够提供能够去除残存在载置被检测体的试样台的下表面的气泡， 进行效率好的检查的透过式超声波检查装置。
【专利附图】
【附图说明】
[0014] 图1是局部剖切本发明的第一实施方式的超声波检查装置而示意地表示的外观 立体图。
[0015] 图2是图1所示的试样台的局部放大纵剖视图。
[0016] 图3是局部剖切本发明的第二实施方式的超声波检查装置而示意地表示的外观 立体图。
[0017] 图4是图3所示的喷嘴附近的放大立体图。
[0018] 图5是用于说明喷嘴的移动的外观立体图。
[0019] 图6是示意地表示本发明的第三实施方式的超声波检查装置的纵剖视图。
[0020] 图7是用于说明喷嘴的移动的纵剖视图。
[0021] 图8是示意地表示吸引用的喷嘴与喷出用的喷嘴能连动地移动的超声波检查装 置的纵剖视图。
[0022] 图9是用于说明吸引用的喷嘴及喷出用的喷嘴的移动的纵剖视图。
[0023] 图10是局部剖切本发明的第四实施方式的超声波检查装置而示意地表示的外观 立体图。
[0024] 图11是图10所示的喷嘴附近的放大立体图。
[0025] 图12是用于说明喷嘴的移动的外观立体图。
[0026] 图13是示意地表示本发明的第五实施方式的超声波检查装置的纵剖视图。
[0027] 图14是用于说明刷子的移动的外观立体图。
[0028] 图15(a)?（f)是表示刮水器的例子的放大图。
[0029] 图16是局部剖切本发明的第六实施方式的超声波检查装置而示意地表示的外观 立体图。
[0030] 图17是图16所示的喷嘴附近的放大立体图。
[0031] 图18是局部剖切本发明的第六实施方式的变形例的超声波检查装置而示意地表 示的外观立体图。
[0032] 图19是局部剖切本发明的第七实施方式的变形例的超声波检查装置而示意地表 示的外观立体图。
[0033] 图20是局部剖切本发明的第七实施方式的变形例的超声波检查装置而示意地表 示的外观立体图。
[0034] 图中：1 一被检测体，2-试样台，3-第一超声波探触件，4一第二超声波探触件， 5-水，6-喷出用的喷嘴（喷出部），10-吸引用的喷嘴（吸引部），13-刷子（刮水器）， 15-搔落部件（刮水器），17-喷出用的喷嘴（第二喷出部），19一水槽，22-亲水性覆膜， 23-下表面，29-检查区域，30、30a?30d-吸引用的喷嘴（吸引部），100-超声波检查装 置。
【具体实施方式】
[0035] 适当参照附图详细地说明本发明的实施方式。
[0036] 另外，在以下所示的附图中，对相同的部件或相当的部件标注相同的参照符号，并 适当省略重复的说明。另外，部件的尺寸及形状为了方便说明，具有变形或夸张而示意地表 不的场合。
[0037] (第一实施方式）
[0038] 首先，参照图1及图2说明本发明的第一实施方式的超声波检查装置100。
[0039] 图1是局部剖切本发明的第一实施方式的超声波检查装置而示意地表示的外观 立体图。图2是图1所示的试样台的局部放大纵剖视图。
[0040] 如图1所示，本发明的第一实施方式的超声波检查装置100是利用超声波在作为 超声波传输用介质的水5中以非破坏测定被检测体1内部，显示对该被检测体1的探查影 像等或判断是否存在内部缺陷的超声波检查装置。
[0041] 超声波检查装置100具有收放水5的水槽19、配置在水槽19内且载置被检测体1 的试样台2、在上下方向（Z方向）对置地配置的第一超声波探触件3及第二超声波探触件 4。第一超声波探触件3向被检测体1照射超声波，第二超声波探触件4接收透过了被检测 体1的超声波。被检测体1、试样台2、第一超声波探触件3及第二超声波探触件4在超声 波检查时，浸渍在水槽19内的水5中。
[0042] 试样台2呈平板形状，在水槽19内由未图示的支撑部件支撑，并水平地配置。第一 超声波探触件3及第二超声波探触件4以将被检测体1夹入中间的方式在上下分别配置， 利用未图示的驱动装置，能成为一体地在水平方向上移动。试样台2的形状未限于矩形板 形状，例如可以为圆板形状。另外，水槽19的形状未限定于矩形箱，例如可以为有底圆筒形 状。
[0043] 如图2所示，试样台2具备基板21与亲水性覆膜22。即，在试样台2的下表面23 侧形成比基板21亲水性高的亲水性覆膜22。基板21的厚度设定为能够确保在载置了被检 测体1的场合稳定地支撑的刚性的厚度、例如2?10mm左右的厚度。另一方面，亲水性覆 膜22只要表面具有亲水性即可，因此，其厚度未特别地限定。在此，亲水性覆膜22优选表 面的水接触角为90度以下，更优选60度以下。
[0044] 作为试样台2的基板21的材料，在此使用丙烯等树脂，但未限定于此，例如可以使 用玻璃、金属等。另外，作为亲水性覆膜22,在此使用硅石类的玻璃制膜，但未限定于此，例 如，可以使用硝化纤维素、醋酸纤维素（CA)、聚酰胺（PA)等覆膜。作为亲水性覆膜22的形 成方法，具有涂敷表面涂层剂的方法、粘贴膜的方法、利用真空蒸镀涂敷氧化钛的方法、利 用氧等离子体使表面氧化的方法等，但无论哪种方法，都能得到同样的效果。
[0045] 接着，对如上述那样构成的超声波检查装置100的作用进行说明。
[0046] 首先，成为检查对象的被检测体1利用手动或自动载置在配置于水槽19内的水5 中的试样台2上。并且，为了被检测体1内部的检查，第一超声波探触件3及第二超声波探 触件4相对于试样台2水平移动，在被检测体1上进行扫描。
[0047] 超声波检查装置100利用被检测体1的各部的声音阻抗，利用透过被检测体1后 的超声波的强弱不同的性质，将接收的超声波的强弱图像化。由此，能够以非破坏检查被检 测体1内部的状态。
[0048] 在本实施方式中，由于在试样台2的下表面23侧形成亲水性覆膜22,因此例如利 用用于被检测体1内部的检查的第一超声波探触件3及第二超声波探触件4的移动动作， 搅拌水槽19内的水5,即使气泡残存在试样台2的下表面23,也能容易地去除。这是因为， 通过形成亲水性覆膜22,试样台2的下表面23相对于水5的湿润性变好，气泡难以残存。 由此,能够避免无法检查气泡附着部的被检测体1内部之类的事态。
[0049] 即，根据本实施方式，能够提供能去除残存在载置被检测体1的试样台2的下表面 23的气泡，进行效率好的检查的超声波检查装置100。
[0050] 另外，可以在试样台2的上表面24侧也形成亲水性覆膜。根据这种结构，残存在 试样台2的上表面24的气泡也容易除去。
[0051] (第二实施方式）
[0052] 接着，参照图3及图4,以与上述第一实施方式的不同点为中心说明本发明的第二 实施方式的超声波检查装置，适当省略共同的方面的说明。图3是局部剖切本发明的第二 实施方式的超声波检查装置而示意地表示的外观立体图。图4是图3所示的喷嘴附近的放 大立体图。
[0053] 如图3所示，第二实施方式的超声波检查装置具有向试样台2的下表面23侧喷出 水5的作为喷出部的喷嘴6。另外，第二实施方式的超声波检查装置具备用于使水槽19内 的水5循环的泵8、调整输送到喷嘴6的水5的压力的压力调整器9。水槽19内与泵8通过 配管25连接，泵8与喷嘴6通过配管26连接。压力调整器9例如设置在配管26的途中。
[0054] 如图4所示，喷嘴6呈前端侧被封闭的圆管形状，具有圆筒面61。在圆筒面61上 形成在喷嘴6的轴向排列的多个喷出孔7。喷出孔7形成在能够向试样台2的下表面23侧 喷出水5的位置，具体地，形成在相对于圆筒面61的顶部62沿圆周方向以角度(喷出 角度Θ J向图3中的X方向右侧、即试样台2侧倾斜的角度位置。
[0055] 在这种第二实施方式中，通过使泵8进行动作，从设在喷嘴6上的喷出孔7喷出水 5。通过将水5向试样台2的下表面23喷出，产生沿试样台2的下表面23的水流，能够更 有效地吹飞残存在下表面23上的气泡并除去。并且，在试样台2的下表面23侧与第一实 施方式相同地形成有亲水性覆膜22,因此，吹飞的气泡难以再次附着在试样台2上。并且， 在喷嘴6的动作后，为了被检测体1内部的检查，第一超声波探触件3及第二超声波探触件 4相对于试样台2水平移动，在被检测体1上进行扫描。
[0056] 另外，水的喷出角度Θ i、喷出孔7的直径D、间距P及个数N、试样台2的下表面23 与喷嘴6的上下方向（Z方向）的间隔d、喷嘴6的全长L只要设定为实验上最适值即可，未 特别限定。另外，来自喷嘴6的水5的喷出速度也能利用喷出孔7的直径D调整，但也能利 用压力调整器9进行调整。
[0057] 如图3所示，喷嘴6在此相对于试样台2在进深方向（Y方向）平行地配置，但未 限定于此，可以在横向（X方向）平行地配置。
[0058] 另外，喷嘴6可以构成为可相对于试样台2移动。根据这种结构，能够在试样台2 的下表面23的宽范围可靠地喷出水5,能更有效地吹飞残存在下表面23的气泡并除去。
[0059] 图5是用于说明喷嘴的移动的外观立体图。如图5所不，在喷嘴6移动时，第一超 声波探触件3及第二超声波探触件4例如水平移动到试样台2的端部的规定的退避位置。 由此，能够避免喷嘴6与第一超声波探触件3及第二超声波探触件4的干涉。
[0060] 另外，在图5中，喷嘴6构成为在进深方向（Y方向）平行地配置，能够固定上下方 向（Z方向）位置地在横向（X方向）滑动移动，但并未限定于此。例如，喷嘴6可以构成为 在横向（X方向）平行地配置，能固定上下方向位置地在进深方向（Y方向）上滑动移动。另 夕卜，可以构成为能使喷嘴6移动到任意的位置。另外，可以在向试样台2的上表面24侧喷 出水5的位置追加地设置喷嘴6。根据这种结构，也能够吹飞附着在试样台2的上表面24 或被检测体1上的气泡并除去。
[0061] (第三实施方式）
[0062] 接着，参照图6,以与上述的第二实施方式不同点为中心说明本发明的第三实施方 式的超声波检查装置，适当省略共同点的说明。图6是示意地表示本发明的第三实施方式 的超声波检查装置的纵剖视图。
[0063] 如图6所示，第三实施方式的超声波检查装置在还具有作为吸引位于试样台2的 下表面23侧的流体的吸引部的喷嘴10这点与图3所示的第二实施方式的超声波检查装置 不同，其他相同。
[0064] 根据这种第三实施方式，从喷嘴6喷出水5并产生水流11，通过与水5 -起从吸引 用喷嘴10吸引利用水流11吹飞的气泡，能够更可靠地从试样台2的下表面23除去气泡。
[0065] 另外，喷嘴6构成为可相对于试样台2移动。在该场合，如图7所示，在喷嘴6移 动时，第一超声波探触件3及第二超声波探触件4水平移动到能避免喷嘴6与第一超声波 探触件3及第二超声波探触件4干涉的退避位置。
[0066] 如图6及图7所示，吸引用的喷嘴10设置在试样台2的端部，在试样台2的端部 吸引被水流11吹飞的气泡。但是，如图8所示，可以以使喷出用的喷嘴6与吸引用的喷嘴 10对置的方式接近地配置，吸引用的喷嘴10能相对于试样台2与喷出用的喷嘴6连动地移 动。根据这种结构，能够马上吸引被水流11吹飞的气泡，能更可靠地将气泡从试样台2的 下表面23除去。
[0067] 在该场合，如图9所示，在喷嘴6及喷嘴10移动时，第一超声波探触件3及第二超 声波探触件4水平移动到能避免喷嘴6及喷嘴10与第一超声波探触件3及第二超声波探 触件4干涉的退避位置。
[0068](第四实施方式）
[0069] 接着，参照图10及图11，以与上述第一实施方式不同点为中心说明本发明的第四 实施方式的超声波检查装置，适当省略共同点的说明。图10是局部剖切本发明的第四实施 方式的超声波检查装置而示意地表示的外观立体图。图11是图10所示的喷嘴附近的放大 立体图。
[0070] 如图10所示，第四实施方式的超声波检查装置具有作为吸引位于试样台2的下表 面侧的流体的吸引部的喷嘴30。另外，第四实施方式的超声波检查装置具备用于使水槽19 内的水5循环的泵8、调整来自喷嘴30的水5的压力的压力调整器9。水槽19内与泵8通 过配管25连接，泵8与喷嘴30通过配管26连接。压力调整器9设置在例如配管26的途 中。
[0071] 如图11所示，喷嘴30呈前端侧封闭的圆管形状，具有圆筒面31。在圆筒面31上 形成长度方向与喷嘴30的轴向平行的大致长方形的吸引孔32。吸引孔32形成在能够吸引 位于试样台2的下表面23侧的流体的位置、具体地，形成在相对于圆筒面31的顶部33沿 圆周方向以角度θ 2(吸引角度θ2)向图10中的X方向右侧、即试样台2侧倾斜的角度位 置。
[0072] 在这种第四实施方式中，通过使泵8进行动作，从设在喷嘴30上的吸引孔32吸引 作为位于试样台2的下表面23侧的流体的气泡及水5。通过从吸引孔32吸引气泡，能更 有效地除去残留在下表面23上的气泡。并且，由于在试样台2的下表面23侧与第一实施 方式相同地形成亲水性覆膜22,因此从下表面23离开的气泡难以再次附着在试样台2上。 并且，在喷嘴30的动作后，为了被检测体1内部的检查，第一超声波探触件3及第二超声波 探触件4相对于试样台2水平移动，在被检测体1上进行扫描。
[0073] 另外，吸引角度θ2、吸引孔32的宽度W及长度L1、试样台2的下表面23与喷嘴 30的上下方向（Ζ方向）的间隔d、喷嘴30的全长L只要设定为在试验上最适的值即可，未 特别限定。
[0074] 如图10所示，喷嘴30在此相对于试样台2在进深方向（Y方向）平行地配置，但 并未限定于此，也可以在横向（X方向）平行地配置。
[0075] 另外，喷嘴30可以构成为能相对于试样台2移动。根据这种结构，能够在试样台 2的下表面23的宽范围可靠地吸引气泡，能更有效地除去残存在下表面23的气泡。
[0076] 图12是用于说明喷嘴的移动的外观立体图。如图12所示，在喷嘴30移动时，第 一超声波探触件3及第二超声波探触件4水平移动到例如试样台2的端部的规定的退避位 置。由此，能够避免喷嘴30与第一超声波探触件3及第二超声波探触件4干涉。
[0077] 另外，第四实施方式将喷嘴30用作吸引用的喷嘴这方面与将喷嘴6作为喷出用的 喷嘴使用的第二实施方式不同，其他为相同的结构。在此，代替第四实施方式的图11的呈 大致长方形的吸引孔32,可以形成第二实施方式的图4所示的多个孔。另一方面，代替第 二实施方式的图4的多个喷出孔7,可以形成第四实施方式的图11所示的呈大致长方形的 孔。
[0078](第五实施方式）
[0079] 接着，参照图13?图15,以与上述第一实施方式的不同点为中心说明本发明的第 五实施方式的超声波检查装置，适当省略共同点的说明。图13是示意地表示本发明的第五 实施方式的超声波检查装置的纵剖视图。图14是用于说明刷子的移动的外观立体图。图 15是表示刮水器的例子的放大图。
[0080] 如图13所示，第五实施方式的超声波检查装置具有能与试样台2的下表面23接 触地移动的作为刮水器的刷子13。如图13及图15(a)所示，刷子13在呈圆柱形状的杆部 件20的上部沿轴向排列地坚立设置。作为刷子13的材料，在此使用尼龙等树脂，但并未限 定于此，例如可以使用动物的毛等。
[0081] 在这种第五实施方式中，通过使刷子13与试样台2的下表面23直接接触，使杆部 件20相对于试样台2平行地水平移动，能够掸除气泡而除去。并且，由于在试样台2的下 表面23侧与第一实施方式相同地形成亲水性覆膜22,因此，被掸除的气泡难以再次附着在 试样台2上。并且，在带刷子13的杆部件20的动作后，为了被检测体1内部的检查，第一 超声波探触件3及第二超声波探触件4相对于试样台2水平移动，在被检测体1上进行扫 描。
[0082] 如图13所示，带刷子13的杆部件20在进深方向（与图13的纸面垂直的方向）平 行地配置，能固定上下方向（Z方向）位置地沿横向（X方向）滑动移动，但并未限定于此。 例如，可以构成为带刷子13的杆部件20在横向（X方向）平行地配置，能固定上下方向（Z 方向）位置地沿进深方向滑动移动。
[0083] 如图14所示，在带刷子13的杆部件20移动时，第一超声波探触件3及第二超声 波探触件4水平移动到例如试样台2的端部的规定的退避位置。由此，能够避免带刷子13 的杆部件20与第一超声波探触件3及第二超声波探触件4干涉。
[0084] 接着，对刮水器的变形例进行说明。
[0085] 如图15 (b)所示，作为刮水器，代替刷子13,可以在杆部件20的上部坚立设置例如 橡胶制的搔落部件15。利用这种结构也能得到相同的效果。
[0086] 另外，如图15(c)所示，可以在吸引用的喷嘴30a的上部坚立设置能与试样台2的 下表面23接触的刷子13。图15 (c)所示的吸引用的喷嘴30a呈前端侧封闭的圆管形状，具 有圆筒面31。在圆筒面31上沿喷嘴30a的轴向形成吸引孔14。吸引孔14可以是长度方 向与喷嘴30a的轴向平行的大致长方形的一个孔，也可以是在喷嘴30a的轴向上排列的多 个孔。根据这种结构，能够马上吸引被刷子13掸除的气泡，能更可靠地从试样台2的下表 面23除去气泡。
[0087] 另外，如图15(d)所示，刷子13坚立设置在吸引用的呈圆管形状的喷嘴30b的上 部，在喷嘴30b的圆筒面31上的圆周方向的刷子13的两侧分别形成吸引孔14a。根据这 种结构，由于在利用刷子13掸除气泡的一侧形成吸引孔14a，因此能更可靠地从吸引孔14a 吸引气泡。
[0088] 另外，如图15(e)所示，刷子13坚立设置在吸引用的呈四角管形状的喷嘴30c的 上表面34上，在喷嘴30c的上表面34上的圆周方向的刷子13的两侧分别形成吸引孔14b。 根据这种结构，由于吸引孔14b与试样台2的下表面23接近，因此能更可靠地从吸引孔14b 吸引气泡。
[0089] 另外，如图15(f)所示，刷子13坚立设置在形成于吸引用的呈四角管形状的喷嘴 30d的上表面34的凹部35内，在喷嘴30d的上表面34上的圆周方向的刷子13的两侧分别 形成吸引孔14c。根据这种结构，由于吸引孔14c更接近试样台2的下表面23,因此，能更 可靠地从吸引孔14c吸引气泡。
[0090] (第六实施方式）
[0091] 接着，参照图16及图17,以与上述第二实施方式的不同点为中心说明本发明的第 六实施方式的超声波检查装置，适当省略共同点的说明。图16是局部剖切本发明的第六实 施方式的超声波检查装置而示意地表示的外观立体图。图17是图16所示的喷嘴附近的放 大立体图。
[0092] 如图16所示，第六实施方式的超声波检查装置具有进行从试样台2的气泡的去除 的气泡除去区域28、在超声波检查时作为试样台2移动的移动目的地的检查区域29。试样 台2例如支撑在导轨（未图示）上，通过手动或自动，能沿C方向从气泡除去区域28移动 到检查区域29。
[0093] 另外，第六实施方式的超声波检查装置具有作为向试样台2的下表面23侧喷出水 5的喷出部的喷嘴6,在第六实施方式中，喷嘴6配置在气泡除去区域28的检查区域29侧。
[0094] 如图17所示，形成在喷嘴6的圆筒面61上的喷出孔7相对于圆筒面61的顶部 62,沿圆周方向以角度θ 3(喷出角度θ3)向图16中的X方向左侧、即固定在气泡除去区域 28的试样台2侧倾斜的角度位置。
[0095] 在这种第六实施方式中，通过使泵8进行动作，从设在喷嘴6的喷出孔7喷出水5。 通过将水5向固定在气泡除去区域28的试样台2的下表面23喷出，产生沿试样台2的下 表面23的水流，能更有效地吹飞残存在下表面23的气泡而除去。此时，由于将喷嘴6配置 在气泡除去区域28的检查区域29侧，因此，能够向与检查区域29相反侧吹飞气泡，不会对 检查区域29的超声波检查带来不良影响。并且，由于在试样台2的下表面23侧与第一实 施方式相同地形成亲水性覆膜22,因此，吹飞的气泡难以再次附着在试样台2上。
[0096] 并且，在喷嘴6的动作后，载置了被检测体1的试样台2沿C方向移动到检查区域 29。接着，第一超声波探触件3朝向移动到检查区域29的试样台2上的被检测体1照射超 声波，为了被检测体1内部的检查，第一超声波探触件3及第二超声波探触件4相对于试样 台2水平移动，在被检测体1上进行扫描。
[0097] 另外，水的喷出角度Θ 3、喷出孔7的直径D、间距Ρ及个数Ν、试样台2的下表面23 与喷嘴6的上下方向（Ζ方向）的间隔d、喷嘴6的全长L只要设定为试验上最适的值即可， 未特别地限定。
[0098] 根据该第六实施方式，在检查区域29的超声波检查的实施中，能够在气泡除去区 域28实施下一个被检测体1的气泡除去作业。另外，载置在被除去了气泡的试样台2上的 被检测体1不会从作为超声波传输用介质的水5中向外露出地在水5中移动到检查区域 29,因此，能非常有效地实施超声波检查。
[0099] 如图16所示，喷嘴6在此相对于试样台2在进深方向（Y方向）平行地配置，但并 未限定于此，也可以在横向（X方向）平行地配置。
[0100] 另外，喷嘴6可以构成为能相对于试样台2移动。例如在图16的场合，喷嘴6在 进深方向（Y方向）平行地配置，能固定上下方向（Z方向）位置地在横向（X方向）上滑动 移动。并且，喷嘴6在从气泡除去区域28的检查区域29侧（初期位置）移动到图16中的 X方向左侧并除去了气泡后，返回初期位置。根据这种结构，能向固定在气泡除去区域28的 试样台2的下表面23的宽范围，可靠地喷出水5,能更有效地将残存在下表面23的气泡向 与检查区域29相反侧吹飞并除去。
[0101]另外，在第六实施方式的气泡除去区域28中，作为从试样台2的下表面23除去气 泡的结构，可以应用从上述第一实施方式到第五实施方式的任一结构。
[0102] 图18是局部剖切本发明的第六实施方式的变形例的超声波检查装置而示意地表 示的外观立体图。
[0103] 在图18所示的第六实施方式的变形例中，喷嘴6配置在气泡除去区域28的与检 查区域29侧相反侧。并且，形成在喷嘴6的圆筒面61上的喷出孔7与图16所示的超声波 检查装置相同，形成在相对于圆筒面61的顶部沿圆周方向以角度Θ 3(参照图17)向图18 中的X方向左侧（在图18中，与试样台2相反侧）倾斜的角度位置。
[0104] 在第六实施方式的变形例的场合，喷嘴6在进深方向（Y方向）平行地配置，能够 固定上下方向（Z方向）位置地在横向（X方向）滑动移动。并且，喷嘴6在从气泡除去区 域28的与检查区域29相反侧（初期位置）向图16中的X方向右侧移动，并进行气泡的除 去后，返回初期位置。即使利用这种第六实施方式的变形例，也能向固定在气泡除去区域28 的试样台2的下表面23的宽范围可靠地喷出水5,能更有效地将残存在下表面23的气泡向 与检查区域29相反侧吹飞并除去。
[0105] (第七实施方式）
[0106] 接着，参照图19,以与上述第六实施方式的不同点为中心说明本发明的第七实施 方式的超声波检查装置，适当省略共同点的说明。图19是局部剖切本发明的第七实施方式 的超声波检查装置而示意地表示的外观立体图。
[0107] 如图19所示，第七实施方式的超声波检查装置还具有作为向载置在试样台2上之 前的被检测体1喷出水的第二喷出部的喷嘴17这一点与图16所示的第六实施方式的超声 波检查装置不同。喷嘴17与向试样台2的下表面23侧喷出水5的喷出用的喷嘴6单独地 设置，但其结构与喷嘴6相同。喷嘴17通过配管27与泵8连接，在配管27的途中设置压 力调整器9。
[0108] 在第七实施方式中，由于使被检测体从空气中浸渍到水5中时卷入而附着在被检 测体1上的气泡通过从单独设置的喷出用的喷嘴17喷出水产生水流而除去后，将被检测体 1载置在试样台2上。
[0109] 根据这种第七实施方式，不仅能够减少附着在被检测体1的气泡，还能减少附着 在试样台2上的气泡。另外，通过事先单独设置用于除去气泡的喷嘴17,能够减轻在上述第 一实施方式至第六实施方式中说明的试样台2的气泡除去作业自身。另外，通过与从第一 实施方式至第六实施方式的各结构组合地使用喷嘴17,能更可靠地除去气泡。
[0110] 图20是局部剖切本发明的第七实施方式的变形例的超声波检查装置而示意地表 示的外观立体图。
[0111] 图20所示的第七实施方式的变形例相对于图18所示的第六实施方式的变形例， 增加了向载置在试样台2之前的被检测体1喷出水的作为第二喷出部的喷嘴17。即使在该 第七实施方式的变形例中，由于在使被检测体1从空气中浸渍到水5中时卷入而附着在被 检测体1上的气泡通过从单独设置的喷出用喷嘴17喷出水产生水流而除去后，载置在试样 台2上。因此，能够不仅减少附着在被检测体1上的气泡，还能减少附着在试样台2上的气 泡。
[0112] 以上，根据实施方式对本发明进行了说明，但本发明并未限定于上述实施方式或 变形例，包括多种变形例。例如，上述实施方式为了使本发明容易明白而详细地进行了说 明，但不限于必须包括全部的结构。另外，能将一方的实施方式的结构的一部分置换为另一 方的实施方式的结构，并且，也能在一方的实施方式的结构上追加另一方的实施方式的结 构。另外，能对各实施方式的结构的一部分进行其他结构的追加、删除、置换。
[0113] 例如，第一超声波探触件3及第二超声波探触件4的设置位置可以上下颠倒。另 夕卜，也能以通过使试样台2相对于第一超声波探触件3及第二超声波探触件4水平移动，第 一超声波探触件3及第二超声波探触件4在被检测体1上进行扫描的方式构成。
【权利要求】
1. 一种超声波检查装置，其特征在于， 具有： 收放水的水槽； 配置在上述水槽内并载置被检测体的试样台；以及 第一超声波探触件及第二超声波探触件，其在上下方向对置地配置，该第一超声波探 触件向被检测体照射超声波，该第二超声波探触件接收透过了被检测体的超声波， 在上述试样台的下表面侧形成亲水性覆膜。
2. 根据权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于， 具有向上述试样台的下表面喷出水的喷出部。
3. 根据权利要求2所述的超声波检查装置，其特征在于， 上述喷出部构成为能相对于上述试样台移动。
4. 根据权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于， 具有吸引位于上述试样台的下表面侧的流体的吸引部。
5. 根据权利要求2所述的超声波检查装置，其特征在于， 具有吸引位于上述试样台的下表面侧的流体的吸引部。
6. 根据权利要求3所述的超声波检查装置，其特征在于， 具有吸引位于上述试样台的下表面侧的流体的吸引部。
7. 根据权利要求4所述的超声波检查装置，其特征在于， 上述吸引部构成为能相对于上述试样台移动。
8. 根据权利要求6所述的超声波检查装置，其特征在于， 上述吸引部构成为能相对于上述试样台与上述喷出部连动。
9. 根据权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于， 具有能与上述试样台的下表面接触地移动的刮水器。
10. 根据权利要求7所述的超声波检查装置，其特征在于， 能与上述试样台的下表面接触的刮水器设置在上述吸引部。
11. 根据权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于， 具有在检查时上述试样台移动到的检查区域， 上述第一超声波探触件向移动到上述检查区域的上述试样台上的被检测体照射超声 波。
12. 根据权利要求11所述的超声波检查装置，其特征在于， 具有向载置在上述试样台之前的被检测体喷出水的第二喷出部。
【文档编号】G01N29/06GK104122334SQ201410171225
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年4月25日 优先权日:2013年4月25日
【发明者】富田隆, 长冈宏和, 北见薰, 高田雅文 申请人:株式会社日立电力解决方案
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