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[0001]±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ò»Ö־߸÷×Ôº¬Óйᴩ¿×µÄµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£µÄ²âÊÔ²å×ù£¬ÇÒÌØ±ðÊÇÓйØÓھߵ¼µçÐÔ¿ÅÁ£µÄ²âÊÔ²å×ù£¬Æä¿É¼õÉÙÒòƵ·±Óë´ý²âÊÔÔª¼þµÄÖն˽Ӵ¥µÄÄ;ÃÐÔÁÓ»¯£¬ÇÒÓйØÓÚËùÊö²âÊÔ²å×ùµÄÖÆÔì·½·¨¡£
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[0002]Ò»°ãÀ´Ëµ£¬ÔÚ²âÊÔ´¦ÀíÖÐʹÓòâÊÔ²å×ùÒÔÅж¨ËùÖÆÔìµÄ´ý²âÊÔÔª¼þÊÇ·ñÊÇÓÐȱÏݵġ£»»¾ä»°Ëµ£¬½øÐÐÔ¤¶¨µÄµçÐÔ²âÊÔÒÔÅж¨ËùÖÆÔìµÄ´ý²âÊÔÔª¼þµÄȱÏÝÐÔ¡£ÔÚÕâÑù×öʱ£¬´ý²âÊԵIJâÊÔÔª¼þ¼°ÓÃÓÚ²âÊԵIJâÊÔÆ÷е²¢²»±Ë´ËÖ±½Ó½Ó´¥£¬µ«»á¾ÓɲâÊÔ²å×ù¶ø±Ë´Ë¼ä½ÓÁ¬½Ó¡£ÕâÊÇÒòΪÓÃÓÚ²âÊԵIJâÊÔÆ÷еÊÇÏà¶Ô°º¹óµÄ£¬ÇÒÒò´Ëµ±²âÊÔÆ÷еÒòƵ·±Óë´ý²âÊÔÔª¼þ½Ó´¥¶øÄ¥Ëð»òËð»µÊ±£¬Öû»²âÊÔÆ÷еÊÇÀ§ÄѵÄÇÒÖû»·ÑÓÃÊǸߵġ£Òò´Ë£¬²âÊÔ²å×ù¿ÉÖû»µØ±»ÌṩÔÚ²âÊÔÆ÷еµÄÉϲ࣬ÇÒ´ý²âÊÔÔª¼þ½Ó´¥²âÊÔ²å×ù¶ø·Ç²âÊÔÆ÷е£¬´Ó¶ø´ý²âÊÔÔª¼þµçÐÔÁ¬½ÓÖÁ²âÊÔÆ÷е¡£Òò´Ë£¬´Ó²âÊÔÆ÷еÊä³öµÄ²âÊÔÐźžÓɲâÊÔ²å×ù¶ø´«ÊäÖÁ´ý²âÊÔÔª¼þ¡£
[0003]Èçͼ1¼°Í¼2ËùÏÔʾ£¬²âÊÔ²å×ù(100)±»°²ÖÃÔÚ´ý²âÊÔÔª¼þ(140)Óë²âÊÔÆ÷е(130)Ö®¼ä£¬ÒÔ½«´ý²âÊÔÔª¼þ(140)µÄÖÕ¶Ë(141)¼°²âÊÔÆ÷е(130)µÄ½Óµæ(131)±Ë´ËµçÐÔÁ¬½Ó¡£²âÊÔ²å×ù(100)°üÀ¨¶à¸öµ¼µç²¿(110)¼°¶à¸ö¾øÔµÖ§³Å²¿(120)¡£µ¼µç²¿(110)°²ÖÃÔÚ¶ÔÓ¦ÓÚ´ý²âÊÔÔª¼þ(140)µÄÖÕ¶Ë(141)µÄ¸÷¸öλÖô¦£¬ÇÒÔÚºñ¶È·½ÏòÉϾßÓе¼µçÐÔ¡£µ¼µç²¿(110)ÖеÄÿһ¸ö¾ßÓаüº¬ÓÚµ¯ÐÔ¾øÔµ²ÄÁÏÖеĶà¸öµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£(111)¡£
[0004]Óɲå¼þ(δÏÔʾ)³ÐÔØµÄ´ý²âÊÔÔª¼þ½Ó´¥²âÊÔ²å×ùµÄµ¼µç²¿²¢½Ó×ű»ÖÃÓÚ²âÊÔ²å×ùÉÏ¡£½Ó×Å£¬µ±²âÊÔÆ÷еʩ¼ÓÔ¤¶¨µÄµç×ÓÐźÅʱ£¬ÐźžÓɲâÊÔ²å×ù±»´«ÊäÖÁ´ý²âÊÔÔª¼þ£¬ÇÒÒò´Ë½øÐÐÔ¤¶¨µÄµçÐÔ²âÊÔ¡£
[0005]ÈçÉÏËùÊö£¬²âÊÔ²å×ùµÄµ¼µç²¿¾ÉèÖÃΪµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£±»°üº¬ÓÚ¾øÔµ²ÄÁÏÖС£´ý²âÊÔÔª¼þµÄÖÕ¶ËÆµ·±µØ½Ó´¥µ¼µç²¿¡£Òò´Ë£¬µ±´ý²âÊÔÔª¼þµÄÖÕ¶ËÆµ·±µØ½Ó´¥µ¼µç²¿Ê±£¬·Ö²¼ÔÚ¾øÔµ²ÄÁÏÖеĵ¼Ìå¿ÉÄÜÒ×ÓÚ©³öÖÁÍⲿ¡£ÌرðµØËµ£¬ÒòΪµ¼ÌåΪÇòÐΣ¬ÇÒÇòÐε¼Ìå¿ÉÒ×ÓÚ´Ó¾øÔµ²ÄÁÏ©³ö¡£Òò´Ë£¬µ±µ¼Ì婳öÖÁÍⲿʱ£¬¿ÉÄÜÁÓ»¯ÕûÌåµÄµ¼µçÐÔÄÜ£¬ÇÒÒò´Ë¿ÉÄÜÓ°ÏìÕûÌåµÄ¿É¿¿¶È¡£
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[0006]·¢Ã÷½â¾öµÄ¿ÎÌâ
[0007]±¾·¢Ã÷ÌṩһÖÖ²âÊÔ²å×ù£¬ÆäÖе¼µçÐÔ¿ÅÁ£Îȹ̵ر»±£³ÖÔÚµ¼µç²¿ÖУ¬ÇÒ±¾·¢Ã÷ÌṩһÖÖËùÊö²âÊÔ²å×ùµÄÖÆÔì·½·¨¡£
[0008]½â¾ö¿ÎÌâµÄ¼¼ÊõÊÖ¶Î
[0009]¸ù¾Ý±¾·¢Ã÷µÄһ̬Ñù£¬Ò»Ö־ߺ¬Óйᴩ¿×µÄµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£µÄ²âÊÔ²å×ù£¬ËùÊö²âÊÔ²å×ù±»°²ÖÃÔÚ´ý²âÊÔÔª¼þÓë²âÊÔÆ÷е֮¼ä£¬ÒÔµçÐÔÁ¬½Ó´ý²âÊÔÔª¼þµÄÖն˼°²âÊÔÆ÷еµÄ½Óµæ£¬ËùÊö²âÊÔ²å×ù°üÀ¨:°²ÖÃÔÚ¶ÔÓ¦ÓÚ´ý²âÊÔÔª¼þµÄÖն˵ÄλÖô¦ÇÒÔÚºñ¶È·½ÏòÉϾßÓе¼µçÐԵĶà¸öµ¼µç²¿£¬¶à¸öµ¼µç²¿ÖеÄÿһ¸öÖеĵ¼µçÐÔ¿ÅÁ£Êǰüº¬ÓÚµ¯ÐÔ¾øÔµ²ÄÁÏÖУ»ÒÔ¼°Ö§³Å¶à¸öµ¼µç²¿ÖеÄÿһ¸ö²¢Ê¹¶à¸öµ¼µç²¿ÖеÄÿһ¸ö¾øÔµµÄ¶à¸ö¾øÔµÖ§³Å²¿¡£µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£ÖеÄÿһ¸ö¾Ìṩ¾ßÓйᴩ¿×£¬¹á´©¿×´©Í¸ÈÎÒ»±íÃæ¼°³ýÁËËùÊö±íÃæÍâµÄÁíÒ»±íÃæ£¬ÇÒµ¯ÐÔ¾øÔµ²ÄÁÏÌîÂúËù¹á´©¿×¡£
[0010]µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£ÖеÄÿһ¸ö¿É¾ßÓйᴩ¿×ÐγÉÔÚµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£ÖÐÐĵÄÔ²ÅÌÐΡ£
[0011]¹á´©¿×¿É¾ßÓÐÔ²½ØÃæ¡¢ÀàÐÇÐνØÃæ¡¢»ò¶à±ßÐνØÃæÖеÄÈÎÒ»¸öµÄÐÎ×´¡£
[0012]¿ÉÌṩÓÐÖÁÉÙÁ½¸ö¹á´©¿×¡£
[0013]µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£ÖеÄÿһ¸ö¿É¾ßÓС°C¡±ÐΡ£
[0014]µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£ÖеÄÿһ¸ö¿É°üÀ¨Ò»¸ö²à²¿¡¢ÁíÒ»²à²¿¡¢ÒÔ¼°Á¬½ÓËùÊöÒ»¸ö²à²¿ÓëËùÊöÁíÒ»²à²¿µÄÁ¬½Ó²¿£¬ËùÊöÒ»¸ö²à²¿¼°ËùÊöÁíÒ»²à²¿µÄÖÜΧ±ßÔµ×ÔÁ¬½Ó²¿Í»³ö£¬Çҹᴩ¿×¿É¾ÉèÖÃÒÔ´©Í¸ËùÊöÒ»¸ö²à²¿µÄÖÐÐIJ¿¼°ËùÊöÁíÒ»²à²¿µÄÖÐÐIJ¿¡£
[0015]µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£ÖеÄÿһ¸ö¿É¾ßÓÐÔÚµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£µÄÖÐÐÄÐγÉÓйᴩ¿×µÄÔ²ÅÌÐΣ¬ÇÒÐγÉÈñ½ÇµÄÀâ±ß(angled edge)¿É±»ÐγÉÔÚµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£µÄÍâÖܱßÉÏ¡£
[0016]¸ù¾Ý±¾·¢Ã÷µÄÁíһ̬Ñù£¬ÉÏÊö²âÊÔ²å×ùµÄÖÆÔì·½·¨°üÀ¨:(a)ÖÆ±¸»ù°å£»(b)ÔÚ»ù°åÉÏÐγɷ⽺²ã£»(C)½åÓÉÒÆ³ýÖÁÉÙ²¿·ÖµÄ·â½º²ãÒÔÔڷ⽺²ãÖÐÌṩ¾ßÓжÔÓ¦ÓÚµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£ÖеÄÿһ¸öµÄÐÎ×´µÄÐÎ×´µÄ¼ä϶£»ÒÔ¼°(d)½åÓÉÔÚËùÊö¼ä϶ÖÐÐγɶƲãÒÔÌṩµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£¡£
[0017]ÔÚ(c)ÌṩËùÊö¼ä϶ÖУ¬¿É½åÓɹâ΢Ӱ´¦Àí(Photo-lithography process)»òѹӡ´¦Àí(Imprinting process)ÐγÉËùÊö¼ä϶¡£
[0018]·¢Ã÷Ч¹û
[0019]ÈçÉÏËùÊö£¬ÔÚ¸ù¾Ý±¾·¢Ã÷µÄ²âÊÔ²å×ùÖУ¬ÔÚ°²ÖÃÔÚµ¼µç²¿Öеĵ¼µçÐÔ¿ÅÁ£ÖеÄÿһ¸öÖÐÐγɹᴩ¿×£¬ÇÒÒÔ¾øÔµ²ÄÁÏÌîÂú¹á´©¿×ÒÔʹµÃ¹á´©¿×ÓëÖÜΧµÄ¾øÔµ²ÄÁÏÒ»Ì嵨Ðγɡ£Òò´Ë£¬ÔÚÓë´ý²âÊÔÔª¼þµÄÖն˽Ӵ¥µÄ´¦ÀíÆÚ¼ä£¬µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£¿É²»Òש³öÖÁÍⲿ¡£
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[0020]ͼ1ÊÇÀýʾÐÔÏÔʾÏÖÓвâÊÔ²å×ùµÄ½ØÃæÍ¼¡£
[0021]ͼ2ÏÔʾͼ1µÄ²âÊÔ²å×ùµÄ²Ù×÷¡£
[0022]ͼ3ÀýʾÐÔÏÔʾ¸ù¾Ý±¾·¢Ã÷µÄ²âÊÔ²å×ùµÄ½ØÃæÍ¼¡£
[0023]ͼ4ÏÔʾͼ3µÄ²âÊÔ²å×ùÖеĵ¼µçÐÔ¿ÅÁ£µÄʵÀýµÄ͸ÊÓͼ¡£
[0024]ͼ5ÏÔʾͼ4µÄµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£µÄÖÆÔì·½·¨µÄʵÀý¡£
[0025]ͼ6ÖÁͼ12ÏÔʾ¸ù¾Ý±¾·¢Ã÷µÄÆäËûʵʩÀýµÄµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£µÄÆäËûʵÀý¡£
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[0026]ÓÃÓÚÏÔʾ±¾·¢Ã÷µÄʾ·¶ÊµÊ©ÀýµÄ¸½¼Óͼʽ±»ÓÃÀ´Ôö¼Ó±¾·¢Ã÷¡¢±¾·¢Ã÷µÄÓŵ㡢ÒÔ¼°Óɱ¾·¢Ã÷µÄʵʩËù´ï³ÉµÄÄ¿µÄµÄ×ã¹»Àí½âÐÔ¡£ÏÂÎÄÖУ¬½«½åÓɲÎÕÕ¸½¼Óͼʾ˵Ã÷ʾ·¶ÊµÊ©ÀýÒÔÏêϸµØÃèÊö±¾·¢Ã÷¡£Í¼Ê½ÏàËÆµÄÔª¼þ·ûºÅ±êʾÏàËÆµÄÔª¼þ¡£
[0027]ͼ3ÊÇÀýʾÐÔÏÔʾ¸ù¾Ý±¾·¢Ã÷ʵʩÀýµÄ²âÊÔ²å×ùµÄ½ØÃæÍ¼¡£Çë²ÎÕÕͼ3£¬¸ù¾Ý±¾·¢Ã÷µÄ²âÊÔ²å×ù(10)±»°²ÖÃÔÚ´ý²âÊÔÔª¼þ(40)Óë²âÊÔÆ÷е(50)Ö®¼ä£¬ÒÔµçÐÔÁ¬½Ó´ý²âÊÔÔª¼þ(40)µÄÖÕ¶Ë(41)¼°²âÊÔÆ÷е(50)µÄ½Óµæ(51)¡£²âÊÔ²å×ù(10)°üÀ¨µ¼µç²¿(20)¼°¾øÔµÖ§³Å²¿(30)¡£
[0028]ÔÚ¶ÔÓ¦ÓÚ´ý²âÊÔÔª¼þ(40)µÄÖÕ¶Ë(41)µÄ¸÷λÖô¦Ìṩ¶àÊý¸öµ¼µç²¿(20)£¬ÇÒµ¼µç²¿(20)ÔÚºñ¶È·½ÏòÉϾßÓе¼µçÐÔ£¬ÇÒµ¼µç²¿(20)ÔÚ´¹Ö±ÓÚºñ¶È·½ÏòµÄ±íÃæ·½ÏòÉϲ»¾ßÓе¼µçÐÔ¡£ÔÚµ¼µç²¿(20)ÖУ¬¶à¸öµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£(21)°üº¬ÓÚµ¯ÐÔ¾øÔµ²ÄÁÏÖС£
[0029]µ¯ÐÔ¾øÔµ²ÄÁÏ¿ÉΪ¾ßÓÐÇŽӽṹµÄ¸ß·Ö×Ó²ÄÁÏ¡£¾ßÓÐÐí¶àÖÖ²ÄÁÏÓÃÓÚÐγɿɹ̻¯¸ß·Ö×Ó²ÄÁÏÒԵõ½µ¯ÐÔ²ÄÁÏ¡£×ÐϸµØËµ£¬¿ÉʹÓÃÏÂÁÐÎïÖÊ:¹²éî¶þÏ©ÐÍÏ𽺣¬ÀýÈçÊǾ۶¡¶þÏ©Ï𽺡¢ÌìÈ»Ï𽺡¢¾ÛÒìÎì¶þÏ©Ï𽺡¢±½ÒÒÏ©-¶¡¶þÏ©¹²¾ÛÎïÏ𽺡¢±ûÏ©ëæ-¶¡¶þÏ©¹²¾ÛÎïÏ𽺵ÈÒÔ¼°ÆäÇâÌí¼Ó¼Á£»¶Î¹²¾ÛÎïÏð½º(block copolymer rubber),ÀýÈçÊDZ½ÒÒÏ©-¶¡¶þÏ©-¶þÏ©¶Î¹²¾ÛÎïÏ𽺡¢±½ÒÒÏ©-ÒìÎì¶þÏ©¹²¾ÛÎïÏ𽺵ÈÒÔ¼°ÆäÇâÌí¼Ó¼Á£»Âȶ¡¶þÏ©Ï𽺣»°·õ¥Ïð½º(urethane rubber);¾Ûõ¥ÐÍÏ𽺣»±íÂÈ´¼Ï𽺣»ÍÞͪÏ𽺣»ÑÇÒÒÏ©-ÑDZûÏ©¹²¾ÛÎïÏ𽺣»ÑÇÒÒÏ©-ÑDZûÏ©-¶þÏ©¹²¾ÛÎïÏ𽺡£
[0030]ÔÚÒÔÉÏÃèÊöÖУ¬µ±ËùµÃµ½µÄµ¼µç²¿(20)ÐèÒªÌìÆø¿¹ÐÔʱ£¬¿ÉʹÓù²éî¶þÏ©ÐÍÏð½ºÖ®ÍâµÄ²ÄÁÏ£¬ÌرðµØËµ£¬¿ÉʹÓÃËܽº¼Ó¹¤ÐÔ¼°µçÐÔÌØÕ÷·½ÃæµÄ¹èͪÏ𽺡£
[0031]¿É½åÓÉÇŽӻòÄý½áÒºÌå¹èͪÏð½ºÀ´µÃµ½¹èͪÏ𽺡£ÔÚ·Ö½âËÙ¶ÈΪKT1Ãëʱ£¬ÒºÌå¹èͪÏ𽺿ɾßÓÐ15²´»ò¸üµÍµÄð¤¶È£¬ÇÒ¿ÉΪËõºÏÐÍ¡¢¼Ó³ÉÐÍÒÔ¼°°üº¬ÒÒÏ©»ù»òôÇ»ù×ÔÓÉ»ùµÄÖеÄÈÎÒ»¸ö¡£ÏêϸµØËµ£¬ÒºÌå¹èͪÏ𽺿ÉΪ¶þ¼×»ù¹èÌìÈ»Ï𽺡¢¼×»ùÒÒÏ©»ù¹èÌìÈ»Ï𽺡¢ÒÒÏ©»ù¹è¼×»ù±½»ùÌìÈ»Ï𽺵ȡ£
[0032]ʹÓþßÓдÅÐԵĵ¼µçÐÔ¿ÅÁ£×÷Ϊµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£(21)¡£×÷Ϊµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£(21)µÄÏêϸʵÀý£¬´æÔÚÓÐÏÂÁÐÎïÖÊ:¾ßÓдÅÐԵĽðÊô(ÀýÈçÊÇÌú¡¢îÜ¡¢»òÄø)µÄ¿ÅÁ££»»ò¾ßÓдÅÐԵĽðÊôµÄºÏ½ðµÄ¿ÅÁ££»»ò°üº¬½ðÊôµÄ¿ÅÁ££»»ò½åÓÉʹÓÃÕâЩ¿ÅÁ£×÷ΪºËо¿ÅÁ£µÄ¿ÅÁ££¬ºËо¿ÅÁ£µÄ±íÃæ±»¶ÆÓоßÓÐÓÅÒìµ¼µçÐԵĽðÊô(ÀýÈçÊǽð¡¢Òø¡¢îÙ¡¢»òîî)£»»òʹÓ÷ǴÅÐÔ½ðÊô¿ÅÁ£¡¢ÎÞ»ú²ÄÁÏ¿ÅÁ£(ÀýÈç²£Á§Öé)¡¢»ò¸ß·Ö×Ó¿ÅÁ£×÷ΪºËо¿ÅÁ£ÇÒºËо¿ÅÁ£µÄ±íÃæ¶ÆÓдŵ¼ÐÔ½ðÊô(ÀýÈçÄø»òîÜ)µÄ¿ÅÁ£¡£
[0033]ÔÚÒÔÉÏ¿ÅÁ£ÖУ¬¿ÉʹÓÃÒÔÄø×÷ΪºËоÇÒºËоµÄ±íÃæ¶ÆÓоßÓÐÓÅÒìµ¼µçÐԵĽðµÄÒ»¸ö¡£
[0034]Ìṩ¹á´©¿×(21a)ÓÚµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£(21)ÖеÄÿһ¸öÖУ¬ÒÔ´©Í¸ÆäÈÎÒ»±íÃæ¼°³ýÁËËùÊö±íÃæÖ®ÍâµÄ±íÃæ¡£ÒÔµ¯ÐÔ¾øÔµ²ÄÁÏÌîÂú¹á´©¿×(21a)£¬ÒÔʹµÃµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£(21)¿ÉÒ»Ì嵨ñî½ÓÖÁ¾øÔµ²ÄÁÏ¡£»»¾ä»°Ëµ£¬Ëæ×ŵ¼µçÐÔ¿ÅÁ£(21) ¡ªÌ嵨ñî½ÓÖÁµ¯ÐÔ¾øÔµ²ÄÁÏ£¬µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£(21)¿ÉÎȹ̵ر»°²ÖÃÔÚµ¯ÐÔ¾øÔµ²ÄÁÏÖС£µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£(21)ÖеÄÿһ¸ö»ù±¾ÉϾßÓÐÅÌÐÎ(Èçͼ4ËùÏÔʾ)£¬ÆäÖйᴩ¿×(21a)¿É´©Í¸Ò»±íÃæµÄÖÐÐļ°ÁíÒ»±íÃæµÄÖÐÐÄ¡£¹á´©¿×(21a)´óÖÂÉϿɾßÓÐÔ²½ØÃæ¡£
[0035]¾øÔµÖ§³Å²¿(30)Ö§³Åµ¼µç²¿(20)¼°Í¬Ê±Ê¹µ¼µç²¿(20)¾øÔµÒÔ·ÀÖ¹µçÔÚµ¼µç²¿
(20)Ö®¼äÁ÷¶¯¡£¾øÔµÖ§³Å²¿(30)¿ÉÓÉÓ뵯ÐÔ¾øÔµ²ÄÁÏÏàͬµÄ²ÄÁÏÐγɡ£ÏêϸµØËµ£¬¿ÉʹÓùèͪÏð½ºÓÚ¾øÔµÖ§³Å²¿(30)¡£
[0036]ÒÔϲÎÕÕͼ5£¬½«ÃèÊöÉÏÊö¸ù¾Ý±¾·¢Ã÷µÄ²âÊÔ²å×ùÖеĵ¼µçÐÔ¿ÅÁ£µÄÖÆÔì·½·¨¡£
[0037]Ê×ÏÈ£¬Çë²ÎÕÕͼ5(a)£¬ÖƱ¸»ù°å(60)¡£Èçͼ5(b)ËùÏÔʾ£¬ÔÚ»ù°å(60)Éϰ²Ö÷⽺²ã(61)¡£¿ÉʹÓùèͪÏ𽺲ÄÁÏÓڷ⽺²ã(61)£¬µ«±¾·¢Ã÷²¢²»ÊÜÏÞÓÚ´Ë¡£½Ó×Å£¬Èçͼ5(c)ËùÏÔʾ£¬½åÓÉÒÆ³ýÖÁÉÙ²¿·ÖµÄ·â½º²ã¡é1)À´ÐγɾßÓжÔÓ¦ÓÚ¸÷µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£µÄÐÎ×´µÄÐÎ×´µÄ¼ä϶(62)¡£ÏêϸµØËµ£¬ÒÔÔ¤¶¨¼ä϶µÄ·½Ê½À´Ðγɷ⽺²ã(61)£¬ËùÊöÔ¤¶¨¼ä϶ÊǽåÓÉʹÓÃÕÖÄ»¡¢×ÏÍâ¹â·øÉ䡢ʴ¿ÌµÈµÄ¹â΢Ӱ´¦Àí»òѹӡ´¦ÀíÐγɣ¬ËùÊöѹӡ´¦Àí½åÓÉʹÓþßÓÐ͹ÆðµÄËùÐèͼ°¸µÄÄ£¾ßÀ´Ñ¹·â½º²ã¡é1)¶øÐγÉÔ¤¶¨¼ä϶¡£½Ó×Å£¬Èçͼ5(d)ËùÏÔʾ£¬½åÓÉÔÚ¼ä϶
(62)ÖÐÐγɶƲã(21')À´Ìṩµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£¡£
[0038]ËäÈ»²¢Î´ÏÔʾ£¬µ±ÖƱ¸µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£Ê±£¬½åÓɽ«µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£×¢ÈëÖÁÒºÌå¹èͪÏð½ºÖÐÀ´ÖÆÔìÒºÌå·â½º²ÄÁÏ¡£½Ó×Å£¬½«ÒºÌå·â½º²ÄÁÏǶÈë¾ßÓÐÔ¤¶¨ÐÎ×´µÄÄ£¾ß(δÏÔʾ)ÖУ¬ÇÒÊ©¼Ó´Å³¡ÓÚ½«ÒªÐγɵ¼µç²¿µÄ¸÷λÖã¬ÒԹ̻¯ÒºÌå·â½º²ÄÁÏ¡£Òò´Ë£¬Íê³É²âÊÔ²å×ùµÄÖÆÔì¡£ÓÉÓÚ²¢Î´ÏÔʾµÄÖÆÔì´¦ÀíÒѾÊÇÊìÖªµÄ¼¼Êõ£¬ÔÚ´ËÊ¡ÂÔÏêϸµÄÃèÊö¡£
[0039]¸ù¾Ý±¾·¢Ã÷ʵʩÀýµÄ¾ßÓÐÒÔϲÙ×÷¼°Ð§¹û¡£
[0040]Ê×ÏÈ£¬ÔÚ²âÊÔ²å×ùÖÃÓÚ²âÊÔÆ÷еÉÏÖ®ºó£¬½«´ý²âÊÔÔª¼þÖÃÓÚ²âÊÔ²å×ùÉÏ¡£±»´ý²âÊÔÔª¼þµÄÖÕ¶ËËùѹ×ŵIJâÊÔ²å×ùµÄµ¼µç²¿ÎªµçÐÔµ¼Í¨µÄ״̬¡£Ëæ×ŲâÊÔÆ÷еʩ¼ÓÔ¤¶¨µÄµç×ÓÐźţ¬µç×ÓÐźžÓɵ¼µç²¿±»´«ÊäÖÁ´ý²âÊÔÔª¼þµÄÖÕ¶Ë£¬ÇÒÒò´Ë¿É½øÐÐÔ¤¶¨µÄ²âÊÔ¡£
[0041]ÔÚ¸ù¾Ý±¾ÊµÊ©ÀýµÄ²âÊÔ²å×ùÖУ¬ÔÚµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£ÖеÄÿһ¸öÖÐÐγɹᴩ¿×£¬ÇÒͨ¹ý¹á´©¿×²åÖÃÐγɵ¼µç²¿µÄµ¯ÐÔ¾øÔµ²ÄÁÏ¡£ÒòΪµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£Ó뵯ÐÔ¾øÔµ²ÄÁÏÊÇÒ»ÌåÐγɵ쬼´Ê¹µ±´ý²âÊÔÔª¼þµÄÖÕ¶ËÆµ·±µØ½Ó´¥µ¼µç²¿Ê±£¬µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£ÖеÄÿһ¸ö¿É½ÏÉٵشӵ¼µç²¿Â©³ö¡£Òò´Ë£¬ÓÉÓÚµ¼µçÐÔ¿ÅÁ£¿ÉÁ¬½ÓµØ±»¹Ì³ÖÔÚµ¼µç²¿ÖУ¬¾¡¹Ü³¤Ê±¼äµÄʹÓÃËü£¬µ¼µç²¿µÄµ¼µçÐÔÒ²²»»áÁÓ»¯£¬ÇÒ¿Éά³ÖÕûÌå²âÊԵĿɿ¿¶È¡£
[0042]¸ù¾Ý±¾ÊµÊ©ÀýµÄ²âÊÔ²å×ù¿É±äÐÎΪÏÂÁи÷ÖÖ¡£
[0043]Ê×ÏÈ£¬ËäÈ»ÔÚÒÔÉÏÃèÊöÖУ¬µ¼µçÐÔ¿ÅÁ£ÖеÄÿһ¸ö¾ßÓк¬¹á´©¿×ÔÚÆäÖÐÐĵÄÔ²ÅÌÐΣ¬±¾·¢Ã÷²¢²»ÊÜÏÞÓÚ´Ë¡£
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