非接触式间隙、断差光学测量设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型适用于激光测量【技术领域】,提供了一种非接触式间隙、断差光学测量设备,旨在解决如何自动检测产品LOGO间隙和断差的问题。该测量设备包括机柜、工控系统、X/Z轴运动组件和Y轴送料组件,还包括将待测产品固定安装于Y轴送料组件上的定位夹具组件、安装于X/Z轴运动组件上以抓取待测产品轮廓并识别LOGO位置的CCD影像组件和用于测量LOGO间隙和断差的激光测量组件,控制系统接收CCD影像组件提供的LOGO位置信息。该测量设备采用CCD影像组件与激光测量组件配合使用自动测量待测产品LOGO的间隙值和断差值,提高了检测效率及精度。
【专利说明】非接触式间隙、断差光学测量设备
【技术领域】
[0001]本实用新型属于激光测量【技术领域】,尤其涉及一种非接触式间隙、断差光学测量设备。
【背景技术】
[0002]电子产品及配件、精密机械零件、玻璃、液晶屏等涉及到的电子行业、玻璃加工行业、机械加工制造业、精密仪器量具行业,在生产过程中需要对工件进行高度差、缝宽检测,如果用传统人工检测,肉眼观察、规尺量,或者用操作维护模块(Operation MaintenanceModule, 0ΜΜ)、原始设备生产商(Original Equipment Manufacturer, OEM)专用测量仪器,效率低,精确度低,结果数据一致性差,对人员素质的要求也很高,人为因素造成的误差也比较大,还会对产品造成刮伤、变形、扭曲导致产品报废,甚至无法得到产品的真实测量值,有些大的笨重的产品及工件无法人工测量。
[0003]随着各行业的迅速发展,质量控制越显突出,用工成本也不断提高,对产品上Logo间隙、断差进行自动化检测的需求就越来越强烈。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于提供一种非接触式间隙、断差光学测量设备,利用工控系统控制CXD影像组件和激光测量组件,旨在解决如何自动检测产品LOGO间隙和断差的问题。
[0005]本实用新型是这样实现的,一种非接触式间隙、断差光学测量设备,用于测量待测产品的LOGO间隙和断差,包括具有显示器的机柜及安装于所述机柜内的工控系统、X/Z轴运动组件和Y轴送料组件,所述Y轴送料组件受所述工控系统的控制相对于所述机柜沿前后方向移动,所述X/Z轴运动组件横跨设置于所述Y轴送料组件上方并受所述工控系统的控制相对于所述机柜沿左右方向和竖直方向移动,所述非接触式间隙、断差光学测量设备还包括将所述待测产品固定安装于所述Y轴送料组件上的定位夹具组件、安装于所述X/Z轴运动组件上以抓取所述待测产品轮廓并识别所述LOGO位置的CCD影像组件和用于测量所述LOGO间隙和断差的激光测量组件。
[0006]进一步地,所述工控系统接收所述CXD影像组件提供的所述LOGO位置信息,并包括驱动所述Y轴送料组件和X/Z轴运动组件移动的运动控制卡、驱动所述CCD影像组件进行检测的CCD影像组件控制器以及驱动所述激光测量组件进行测量的激光测量控制器。
[0007]进一步地,所述Y轴送料组件包括设置于所述机柜上且用于固定安装所述定位夹具组件的第一伺服平台,所述X/Z轴运动组件包括固定安装于所述机柜上的第二伺服平台、第三伺服平台、安装于所述第二伺服平台和所述第三伺服平台之间以连同第三伺服平台相对第二伺服平台沿左右方向移动的连接部件以及滑动连接于所述第三伺服平台并用于安装所述CCD影像组件和所述激光测量组件以连同所述CCD影像组件和所述激光测量组件相对第三伺服平台沿竖直方向移动的滑台底板,所述CCD影像组件和所述激光测量组件左右并排安装于所述滑台底板上并位于第一伺服平台上方。
[0008]进一步地,所述连接部件包括安装于所述第二伺服平台上的第一连接板、固定安装于所述第一连接板上方的第一支撑板以及固定安装于所述第一连接板和所述第一支撑板侧边以固定安装所述第三伺服平台的第一连接底板。
[0009]进一步地,所述C⑶影像组件包括固定安装于所述滑台底板上的第一固定底板、固定安装于所述第一固定底板上的相机调整架和光源调整架、安装于所述相机调整架上以获取待测产品位置信息的CCD相机、安装于所述光源调整架上的CCD光源以及连接于所述CCD相机与所述CCD光源之间的远心镜头,所述光源调整架在竖直方向上位于所述相机调整架和所述第一伺服平台之间。
[0010]进一步地,所述激光测量组件包括活动安装于所述滑台底板上的调节滑台、固定安装于所述调节滑台上的第二固定底板、固定安装于所述第二固定底板上以检测所述待测产品LOGO间隙和断差的激光测距仪以及安装于所述第二固定底板侧边的保护罩。
[0011]进一步地,所述非接触式间隙、断差光学测量设备还包括安装于所述机柜上的安全光幕组件,所述安全光幕组件包括并排设置于各所述第一伺服平台相对两侧的光幕安装板以及固定设置于所述光幕安装板上的安全光幕。
[0012]进一步地,所述定位夹具组件包括固定安装于所述第一伺服平台上的第二连接板、一对固定安装于所述第二连接板两相对侧边的第二支撑板、固定安装于所述第二连接板上并位于所述第二支撑板之间的背光源以及固定安装于所述第二支撑板上以夹紧所述待测产品的夹具部件。
[0013]进一步地,所述夹具部件包括固定安装于所述第二支撑板上并盖设于所述背光源上方以放置所述待测产品的第二连接底板以及可移动安装于所述第二连接底板并具有固定柱的拉料部件,所述第二连接底板设有与所述固定柱配合的滑动空间以及定位所述待测产品的定位柱。
[0014]进一步地,所述拉料部件包括驱动所述固定柱沿所述滑动空间相对所述第二连接底板滑动的夹具气缸、固定安装于所述第二连接板上以固定所述夹具气缸的安装板、固定安装于所述安装板上的滑轨、滑动连接于所述滑轨并设有所述固定柱的滑动板、穿过所述滑动板上的通孔以与所述夹具气缸配合的拉杆以及弹性连接于所述拉杆与所述滑动板之间的复位弹簧。
[0015]本实用新型提供的非接触式间隙、断差光学测量设备采用CCD影像组件抓取固定于定位夹具组件上所述待测产品的位置信息并传送至所述工控系统,工控系统根据影像组件提供的LOGO位置信息,利用运动控制卡驱动Y轴送料组件和X/Z轴运动组件移动至检测位置,采用CXD影像组件对待测产品LOGO的位置和轮廓进行检测,并采用激光测量组件测量待测产品LOGO的间隙值和断差值,从而进行评定。该测量设备采用CXD影像组件与激光测量组件配合使用自动测量待测产品LOGO的间隙值和断差值,提高了检测效率及精度。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1是本实用新型提供的非接触式间隙、断差光学测量设备的立体图。
[0017]图2是本实用新型提供的非接触式间隙、断差光学测量设备的主视图。
[0018]图3是本实用新型提供的非接触式间隙、断差光学测量设备的主视图,在机架上设有上罩面板。
[0019]图4是本实用新型提供的非接触式间隙、断差光学测量设备的侧视图。
[0020]图5是本实用新型提供的定位夹具组件的立体图。
[0021]图6是本实用新型提供的拉料部件的立体图。
[0022]图7是本实用新型提供的待测产品坐标系的建立示意图。
[0023]图8是本实用新型提供的LOGO点位坐标的示意图。
【具体实施方式】
[0024]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
[0025]请参照图1,本实用新型实施例提供的非接触式间隙、断差光学测量设备,用于测量待测产品的LOGO (未图示)间隙值和断差值,包括机柜I及安装于所述机柜I内的工控系统2、X/Z轴运动组件3和Y轴送料组件4,所述Y轴送料组件4受所述工控系统2的控制相对于所述机柜I沿前后方向移动,所述X/Z轴运动组件3横跨设置于所述Y轴送料组件4上方并受所述工控系统2的控制相对于所述机柜I沿左右方向和竖直方向移动,该测量设备还包括将所述待测产品固定安装于所述Y轴送料组件4上的定位夹具组件5、安装于所述X/Z轴运动组件3上以抓取所述待测产品轮廓并识别所述LOGO位置的CCD影像组件6和用于测量所述LOGO间隙和断差的激光测量组件7。该测量设备采用Y轴送料组件4带动定位夹具组件5和安装于所述定位夹具组件5上的所述待测产品相对于所述机柜I沿前后方向移动至相应的检测位置,采用X/Z轴运动组件3带动CCD影像组件6和激光测量组件7相对于机柜I沿左右方向和竖直方向移动,该(XD影像组件6抓取固定于定位夹具组件5上所述待测产品LOGO的位置信息并传送至所述工控系统2,工控系统2驱动Y轴送料组件4和X/Z轴运动组件3移动至检测位置,采用CXD影像组件6对待测产品LOGO的位置和轮廓进行检测,并采用激光测量组件7测量待测产品LOGO的间隙值和断差值,从而进行评定。该测量设备采用CCD影像组件6与激光测量组件7配合使用自动测量待测产品LOGO的间隙值和断差值,提高了检测效率及精度。
[0026]请参照图3,可以理解地,该机柜I整体上为一个桌式结构,包括起支撑作用的机架U、用于安装Y轴送料组件4和X/Z轴运动组件3并设置于机架11上方的工作台12以及固定安装于所述工作台12上以用于固定安装显示器21的上罩面板13,在上罩面板13上设有开关以及控制操作按钮。可选地,工作台12由大理石或者其他材料制成。更优地,该机柜I还包括设置于所述机架11底部四个角以便于移动的脚轮14。
[0027]进一步地,所述工控系统2接收所述CXD影像组件提供的所述LOGO位置信息,并包括驱动所述Y轴送料组件4和X/Z轴运动组件3移动的运动控制卡(未图示)、驱动所述CXD影像组件6进行检测的CXD影像组件控制器(未图示)以及驱动所述激光测量组件7进行测量的激光测量控制器(未图示)。该工控系统2根据CXD影像组件6提供的LOGO位置信息,由运动控制卡驱动Y轴送料组件4和X/Z轴运动组件3移动至检测位置,由CCD影像组件控制器驱动CXD影像组件6检测待测产品LOGO的轮廓以及由激光测量控制器驱动激光测量组件7测量LOGO的间隙值和断差值,以实现自动测量,提高了检测效率和精度。[0028]可以理解地,该工控系统2还包括用于安装软件系统以进行算法分析处理的工业计算机(未图示)、与所述工业计算机电连接并用于显示测量结果的显示器21(如图3所示)以及与所述工业计算机电连接的输入终端22 (如图2所示),更优地,该输入终端22为键盘和鼠标。
[0029]请参照图4,进一步地,所述Y轴送料组件4包括设置于所述机架11上且用于固定安装所述定位夹具组件5的第一伺服平台41,所述X/Z轴运动组件3包括固定安装于所述机架11上的第二伺服平台31、第三伺服平台32、安装于所述第二伺服平台31和所述第三伺服平台32之间以连同第三伺服平台32相对第二伺服平台31沿左右方向移动的连接部件33以及滑动连接于所述第三伺服平台32并用于安装所述CCD影像组件6和所述激光测量组件7以连同所述CXD影像组件6和所述激光测量组件7相对第三伺服平台32沿竖直方向移动的滑台底板34,所述CCD影像组件6和所述激光测量组件7左右并排安装于所述滑台底板34上并位于第一伺服平台41上方。可选地,第一伺服平台41的数量为2个,且平行设置于机架11上,使用时,当对其中一个第一伺服平台41上的待测产品进行检测时,可以将已完成测量的产品从另一第一伺服平台41上取下并将下一待测产品通过定位夹具组件5安装在另一第一伺服平台41上,提高加工效率。可以理解地,该第二伺服平台31横跨设置于所述第一伺服平台41上方,通过工控系统2控制第三伺服平台32带动CXD影像组件6和激光测量组件7相对于第二伺服平台31沿左右方向移动和/或者相对于第一伺服平台41沿竖直方向移动,便于根据待测产品的位置调节C⑶影像组件6和激光测量组件7的位置,从而获得精确的检测结果。可选地,该Y轴送料组件4还包括罩设于所述第一伺服平台41周围的柔性防护罩42,该第一伺服平台41的行程为300mm ;该第二伺服平台31的行程为600mm,该第三伺服平台32的行程为100mm。
[0030]请参照图4,更优地,所述连接部件33包括安装于所述第二伺服平台31上的第一连接板331、固定安装于所述第一连接板331上方的第一支撑板332以及固定安装于所述第一连接板331和所述第一支撑板332侧边以固定安装所述第三伺服平台32的第一连接底板333。通过连接部件33将第三伺服平台32可移动地安装于第二伺服平台31上,结构简单。
[0031]请同时参照图2和图4,更优地,所述CXD影像组件6包括固定安装于所述滑台底板34上的第一固定底板61、固定安装于所述第一固定底板61上的相机调整架62和光源调整架63、安装于所述相机调整架62上以获取待测产品位置信息的CCD相机64、安装于所述光源调整架63上的CXD光源65以及连接于所述CXD相机64与所述CXD光源65之间的远心镜头66,所述光源调整架63在竖直方向上位于所述相机调整架62和所述第一伺服平台41之间。CXD影像组件6安装于滑台底板34上可相对第三伺服平台32沿竖直方向移动,利用CCD相机64获取待测产品的精确位置信息并提供给工控系统2,便于实现自动化检测。
[0032]请参照图2,更优地,所述激光测量组件7包括活动安装于所述滑台底板34上的调节滑台71、固定安装于所述调节滑台71上的第二固定底板72、固定安装于所述第二固定底板72上以检测所述待测产品LOGO间隙和断差的激光测距仪73以及安装于所述第二固定底板72侧边的保护罩74。通过激光测距仪73测量待测产品的LOGO间隙和断差,而且该激光测距仪73通过调节滑台71可移动地安装于滑台底板34上,也就是说,根据CCD影像组件6所检测的待测产品位置信息,利用激光测量控制器控制激光测距仪73相对滑台底板34移动,以获取精确的测量结果。可选地,利用激光测距仪73测量待测产品的LOGO上7个点的间隙值和7个点的断差值,并将该测量信息反馈至工控系统2,由其内设的软件分析系统对测量数据分析计算和处理的,得到LOGO的间隙值和断差值。
[0033]请同时参照图1和图2,更优地,所述非接触式间隙、断差光学测量设备还包括安装于所述机架11上的安全光幕组件8,所述安全光幕组件8包括并排设置于各所述第一伺服平台41相对两侧的光幕安装板81以及固定设置于所述光幕安装板81上的安全光幕82。利用安全光幕组件8以起到安全保护作用。可选地,所述光幕安装板81的数量为3块,间隔设置于所述第一伺服平台41的侧边,安全光幕82的数量为4块,分别设置在光幕安装板81上且位于同一第一伺服平台41两侧的光幕安装板81。
[0034]请同时参照图1和图5,进一步地,所述定位夹具组件5包括固定安装于所述第一伺服平台41上的第二连接板51、一对固定安装于所述第二连接板51两相对侧边的第二支撑板52、固定安装于所述第二连接板51上并位于所述第二支撑板52之间的背光源53以及固定安装于所述第二支撑板52上以夹紧所述待测产品的夹具部件54。利用夹具部件54夹具待测产品,并将背光源53设置于夹持待测产品的夹具部件54下方以便于CCD影像组件6识别待测产品轮廓,提高检测和测量精度。
[0035]请再次参照图4,所述夹具部件54包括固定安装于所述第二支撑板52上并盖设于所述背光源53上方以放置所述待测产品的第二连接底板541以及可移动安装于所述第二连接底板541并具有固定柱5421的拉料部件542,所述第二连接底板541设有与所述固定柱5421配合的滑动空间5411以及定位所述待测产品的定位柱5412。可以理解地,利用定位柱5412定位待测产品,采用吸盘吸附方式将待测产品放置于第二连接底板541上,并通过调节固定柱5421在滑动空间5411中的位置以将待测产品固定安装于第二连接底板541上,可选地,该滑动空间5411可以是滑动空间或者滑动口。使用时,定位柱5412与固定柱5421分布于待测产品的四周以将待测产品夹持于第二连接底板541上。可选地,拉料部件542的数量依实际需求而定,更优地,拉料部件542的数量为2套。
[0036]请参照图5和图6,所述拉料部件542包括驱动所述固定柱5421沿所述滑动空间5411相对所述第二连接底板541滑动的夹具气缸5422、固定安装于所述第二连接板51上以固定所述夹具气缸5422的安装板5423、固定安装于所述安装板5423上的滑轨5424、滑动连接于所述滑轨5424并设有所述固定柱5421的滑动板5425、穿过所述滑动板5425上的通孔(未标示)以与所述夹具气缸5422配合的拉杆5426以及弹性连接于所述拉杆5426与所述滑动板5425之间的复位弹簧(未图示)。利用夹具气缸5422驱动固定柱5421在滑动空间5411内移动,并根据产品外形尺寸的大小调节固定柱5421的位置,即调节固定柱5421与定位柱5412之间的相对距离而达到夹紧待测产品的目的,适合不同的产品进行测量。利用拉杆5426与夹具气缸5422配合以使夹具气缸5422带动滑板沿滑轨5424移动,从而带动固定柱5421沿滑动空间5411移动。利用复位弹簧弹性连接于拉杆5426与滑动板5425之间以使滑动板5425复位,即使固定柱5421复位。
[0037]以下以测量苹果公司某电子产品上的苹果图案的LOGO的间隙和断差为例,对本实用新型提供的非接触式间隙、断差光学测量设备的测量过程进行说明:
[0038]请参照图7,步骤一,建立待测产品坐标系
[0039]S1:利用CCD相机64对安装于第一伺服平台41上的待测产品进行拍照,获取待测产品四周边界处的八个点(分别为1、2、3、4、5、6、7、8),每个边具有两个点,即点I和2位于同一边,点3和4位于同一边并分别与点I和2相对,点5和6位于同一边,点7和8位于同一边并分别与点5和6相对;
[0040]S2:连接点I和点3以组成线段13,连接点2和4组成线段24,连接线段13和线段24的中点生成坐标系的Y轴;
[0041]S3:同样地,连接点5和点7以组成线段57,连接点6和8组成线段68,连接线段57和线段68的中点生成直线L ;
[0042]S4:直线L与坐标系的Y轴的交点定义为坐标原点;
[0043]S5:在坐标原点处作坐标系Y轴的垂直线得到X轴。
[0044]在步骤一种,通过建立待测产品坐标系,则待测产品坐标系与测量设备的第一、二伺服平台的坐标系及CCD相机64的像素坐标系之间的对应关系也同时确定,此处对应关系是指坐标原点和夹具的相对位置。
[0045]请参照图8,步骤二,测量点位坐标,测量LOGO i7fA(A、B、C、D、E、F、G)
[0046]测量点A和点B,其中,A、B为LOGO中叶子的上、下尖点;
[0047]测量点C,通过待测产品中心作与X轴成45度角的直线,该直线与LOGO轮廓的交点为点C ;
[0048]测量点D,通过待测产品中心作与X轴成135度角的直线,该直线与LOGO轮廓的交点为点D ;
[0049]测量点E:Y轴与LOGO轮廓下部的交点为点E ;
[0050]测量点F和G,点F和G分别为苹果图案中缺口的下、上尖点。
[0051]步骤三,实际测量点位
[0052]S1:在步骤一种,计算出实际产品中心与产品边界的X/Y方向距离,比照理论产品中心与产品边界的X/Y方向距离,得出实际产品中心和理论产品中的偏移量(ΛΧ,Λ Y);
[0053]S2:根据该偏移量(ΔΧ, ΔΥ),以及理论上所测量的7个点的坐标,得出实际产品的7个测量位置坐标。
[0054]步骤四,计算间隙值(以D点为例进行说明,其他同理)
[0055]S1:将CXD影像组件6移动至D点区域并进行拍照,得到一段圆弧;
[0056]S2:根据步骤三得到的实际产品的测量点D的精确位置坐标可以计算出精准的D位置坐标点的法向方向的间隙值。
[0057]请再次参照图8,步骤五,计算间隙值(以D点为例进行说明,其他同理)
[0058]激光测距仪73根据CXD相机64的拍照结果自动定位,并运动至LOGO上的D2点,该D2点为在D点圆弧的法向方向且距离D点间隙的内侧边界一定距离(比如0.5mm)的点;再运动至待测产品上的Dl点,Dl点为在D点圆弧的法向方向且距离D点间隙的外侧边界一定距离(比如0.5mm)的点;分别读取Dl和D2点的高度值Hl和H2,则间隙值等于H2与Hl高度差的绝对值。
[0059]在测量过程中,还需要校正产品的倾斜度,以便得到精确的间隙值。具体地,为防止产品因倾斜而影响间隙值的正确性,采用位于LOGO镜面上的7个点建面的方式,自动校正产品倾斜度。
[0060]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种非接触式间隙、断差光学测量设备,用于测量待测产品的LOGO间隙和断差,包括具有显示器的机柜及安装于所述机柜内的工控系统、X/Z轴运动组件和Y轴送料组件,所述Y轴送料组件受所述工控系统的控制相对于所述机柜沿前后方向移动,所述X/Z轴运动组件横跨设置于所述Y轴送料组件上方并受所述工控系统的控制相对于所述机柜沿左右方向和竖直方向移动,其特征在于,还包括将所述待测产品固定安装于所述Y轴送料组件上的定位夹具组件、安装于所述X/Z轴运动组件上以抓取所述待测产品轮廓并识别所述LOGO位置的CXD影像组件和用于测量所述LOGO间隙和断差的激光测量组件。
2.如权利要求1所述的非接触式间隙、断差光学测量设备,其特征在于,所述工控系统接收所述CCD影像组件提供的所述LOGO位置信息,并包括驱动所述Y轴送料组件和X/Z轴运动组件移动的运动控制卡、驱动所述CCD影像组件进行检测的CCD影像组件控制器以及驱动所述激光测量组件进行测量的激光测量控制器。
3.如权利要求2所述的非接触式间隙、断差光学测量设备,其特征在于,所述Y轴送料组件包括设置于所述机柜上且用于固定安装所述定位夹具组件的第一伺服平台,所述X/Z轴运动组件包括固定安装于所述机柜上的第二伺服平台、第三伺服平台、安装于所述第二伺服平台和所述第三伺服平台之间以连同第三伺服平台相对第二伺服平台沿左右方向移动的连接部件以及滑动连接于所述第三伺服平台并用于安装所述CXD影像组件和所述激光测量组件以连同所述CCD影像组件和所述激光测量组件相对第三伺服平台沿竖直方向移动的滑台底板,所述CCD影像组件和所述激光测量组件左右并排安装于所述滑台底板上并位于所述第一伺服平台上方。
4.如权利要求3所述的非接触式间隙、断差光学测量设备,其特征在于,所述连接部件包括安装于所述第二伺服平台上的第一连接板、固定安装于所述第一连接板上方的第一支撑板以及固定安装于所述第一连接板和所述第一支撑板侧边以固定安装所述第三伺服平台的第一连接底板。
5.如权利要求3所述的非接触式间隙、断差光学测量设备,其特征在于,所述CCD影像组件包括固定安装于所述滑台底板上的第一固定底板、固定安装于所述第一固定底板上的相机调整架和光源调整架、安装于所述相机调整架上以获取待测产品位置信息的CCD相机、安装于所述光源调整架上的CCD光源以及连接于所述CCD相机与所述CCD光源之间的远心镜头,所述光源调整架在竖直方向上位于所述相机调整架和所述第一伺服平台之间。
6.如权利要求3所述的非接触式间隙、断差光学测量设备,其特征在于,所述激光测量组件包括活动安装于所述滑台底板上的调节滑台、固定安装于所述调节滑台上的第二固定底板、固定安装于所述第二固定底板上以检测所述待测产品LOGO间隙和断差的激光测距仪以及安装于所述第二固定底板侧边的保护罩。
7.如权利要求3所述的非接触式间隙、断差光学测量设备,其特征在于,还包括安装于所述机柜上的安全光幕组件,所述安全光幕组件包括并排设置于各所述第一伺服平台相对两侧的光幕安装板以及固定设置于所述光幕安装板上的安全光幕。
8.如权利要求3至7任意一项所述的非接触式间隙、断差光学测量设备,其特征在于,所述定位夹具组件包括固定安装于所述第一伺服平台上的第二连接板、一对固定安装于所述第二连接板两相对侧边的第二支撑板、固定安装于所述第二连接板上并位于所述第二支撑板之间的背光源以及固定安装于所述第二支撑板上以夹紧所述待测产品的夹具部件。
9.如权利要求8所述的非接触式间隙、断差光学测量设备,其特征在于,所述夹具部件包括固定安装于所述第二支撑板上并盖设于所述背光源上方以放置所述待测产品的第二连接底板以及可移动安装于所述第二连接底板并具有固定柱的拉料部件,所述第二连接底板设有与所述固定柱配合的滑动空间以及定位所述待测产品的定位柱。
10.如权利要求9所述的非接触式间隙、断差光学测量设备,其特征在于,所述拉料部件包括驱动所述固定柱沿所述滑动空间相对所述第二连接底板滑动的夹具气缸、固定安装于所述第二连接板上以固定所述夹具气缸的安装板、固定安装于所述安装板上的滑轨、滑动连接于所述滑轨并设有所述固定柱的滑动板、穿过所述滑动板上的通孔以与所述夹具气缸配合的拉杆以及弹性连接于所述拉杆与所述滑动板之间的复位弹簧。
【文档编号】G01B11/00GK203518953SQ201320567538
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年9月12日 优先权日:2013年9月12日
【发明者】吴顺柏, 彭玮, 何柳, 赵思, 邱国良, 艾晓国, 仝敬烁, 尹建刚, 高云峰 申请人:深圳市大族激光科技股份有限公司