专利名称：具有线性和旋转地震元件的双轴、抗震旋转速率传感器的制作方法
具有线性和旋转地震元件的双轴、抗震旋转速率传感器本发明涉及根据权利要求1前述部分的微机械旋转速率传感器，且涉及其在机动车中的使用。文档WO 2006070059 Al描述了一种用于测量绕着y轴的旋转运动的旋转速率传感器。其包括两个在驱动模式中关于其重心绕着(与基板成直角的)ζ轴逆相振荡的地震质量块(mass)。在围绕y轴的旋转速率的情况下，两个质量块关于其重心绕着χ轴逆相振荡，即读模式。这种布置相对地抗外界干扰，因为布置的整个重心在驱动模式中保持于静止状态，且传感器由此对于设计影响不敏感。而且，通过其布置，两种模式-驱动模式和读取模式_不能或几乎不能被外部线性刺激或外部旋转刺激直接激发。文档WO 2006113162 Al描述了一种用于测量绕着ζ轴的转子运动的旋转速率传感器。其包括在主运动或驱动模式中在χ方向振荡的四个地震质量块，这样各个直接相邻的质量块逆相移动。在绕着ζ轴的旋转速率的情况下，四个地震质量块在y方向振荡，这样各个直接相邻的质量块逆相移动。这种布置也很能阻抗外部干扰，因为布置的整个重心在主运动期间仍然保持静止状态，且传感器由此对设计影响不敏感。而且，由于这种布置，两种模式_驱动模式和读取模式_不能被外部线性刺激或外部旋转刺激直接激发。文档W02004097432 AU W02008021534 Al、DE102006052522、DE102005051048、US 6892575,EP1832841和W02008051677描述了传感器，其可同时测量绕着χ轴和y轴的旋转运动，也就是说，根据该例子，没有旋转运动与平行于χ和1轴的基板的底面成直角。所提及的传感器原理是单芯片解决方案；也就是说，用于测量正交旋转速率的传感器元件位于同一个单块晶硅片上。而且，它们具有共同的特点，即，对于两个敏感轴都激发单个主运动。 这降低了控制系统复杂性；而且，芯片面积比两个单独传感器的情况下的面积要小。在科里奥利力的情况下，绕着χ或y轴的旋转运动激发具有ζ方向的运动分量的振荡。如果是为了使用这些传感器来测量绕着ζ轴的旋转速率，传感器必须通过构造和连接技术被安装， 也就是说，它们必须被安装为与平面优选方向-晶片平面-成90°角。这导致了额外成本。文档EP1918723提出了一种回转仪，其可同时测量绕着χ和ζ轴的旋转运动。这也是一种具有单个主运动模式或驱动模式的单芯片解决方案。但是，这种传感器具有这样的缺点，即两种读取模式_也被称为第二模式(检测绕着ζ轴的旋转)和第三模式(检测绕着χ轴的旋转)“可被旋转运动直接激发，这会导致传感器对于环境影响引起的干扰变得敏感。文档W09817973A1提供了一种三轴回转仪。在这种情况下，在驱动模式中，每个以 90°偏移的四个质量块在径向上振荡。这种布置可区别所有三个空间方向上的科里奥利力。但是，单个质量块不是直接彼此连接的，其结果是，例如在与基板平面成直角的线性加速的情况下，单个质量块从基板平面被偏移(deflect)。本发明的目的是提供一种微机械旋转速率传感器，其可检测绕着至少两个敏感轴的旋转速率，且其同时被设计为相对地抗干扰。根据本发明，通过权利要求1所请求保护的微机械旋转速率传感器达到该目的。此处描述的发明和根据本发明的旋转速率传感器特别公开了一种方法，其优于通过重复-差异读原理(duplicated-differential read principle)来测量旋转速率的现有技术。本发明的优选方式基于提出一种微机械旋转速率传感器的思想，该传感器包括底面被排列为与笛卡尔坐标系统的x-y平面平行的基板。在这种情况下，旋转速率传感器具有至少一个第一地震质量块和一个第二地震质量块，所述第一地震质量块和第二地震质量块被耦合到至少一个第一驱动装置且被悬置(suspended)，这样第一和第二地震质量块被驱动从而在驱动模式中被逆相偏移，旋转速率传感器被这样设计，其可检测绕着至少两个基本上互相正交的敏感轴的旋转速率。此外，至少第一和第二地震质量块被这样设计和悬置，使得当检测到绕着第一敏感轴的第一旋转速率时，它们在第一读取模式中逆相振荡或被偏移，且第一和第二地震质量块和/或额外的地震质量块被这样设计和悬置，使得当检测到绕着第二敏感轴的第二旋转速率时，它们在第二读取模式中逆相振荡或被偏移，地震质量块与读装置关联，所述读装置针对地震质量块而被设计和布置，这样它们针对第一读取模式和针对第二读取模式检测地震质量块在同相和逆相每种情况下的偏移。在这种情况下，相位和逆相位优选地对应于第一和第二地震质量块和/或额外的地震质量块的偏移或振荡的逆相性质。至少第一和第二地震质量块每个都优选地与两个读装置关联。在优选方式中，术语逆相也优选地指在相反意义上(opposite sense)和在相同的方向上、线性地或在弯曲路径上具有互逆的方向，尤其是在每种情况下针对一对地震质量块来说成对地，尤其优选地是第一和第二地震质量块，以及在每种情况下一对额外的地震质量块。线性偏移或振荡优选地指平移偏移或振荡。相位和逆相每个都被方便地单独检测，尤其是由各个单独的读装置检测。优选地，第一和第二地震质量块通过至少一个耦合弹簧被耦合，耦合弹簧被这样设计，使得这些地震质量块仅被逆相旋转偏移，且同相旋转偏移被抑制，尤其是在每种情况下第一和第二地震质量块被额外地悬置在至少一个锚上，且被悬置在基板上，这样这些地震质量块在任何方向的线性偏移基本上被抑制。至少一个驱动装置和/或至少一个读装置优选地是电容梳状结构或板结构的形式，驱动装置被静电地激发，且读装置静电地进行检测。旋转速率传感器优选地单块地形成或在单个芯片上形成或整体地形成，由此使得两个敏感轴针对彼此，相比于在两个感知绕着不同轴的旋转速率的两个芯片之间分离的情况，被更精确得多地校准，因为轴的校准是由微机械产品定义的，其比传统的构造和连接技术要更精确几个数量级，通过该技术两个单独的传感器可针对彼此被校准。而且，处理可检测绕着两个敏感轴的旋转运动的单芯片传感器元件也比处理两个单独的传感器元件更简单。旋转速率传感器优选地具有单个驱动装置，其驱动旋转速率传感器的所有地震质量块，出于该目的地震质量块被适当地悬置，并直接或间接地耦合到该装置。这导致了控制系统的复杂性要低于具有两个单独驱动单元的两个单独传感器的复杂性，因为驱动振荡或驱动模式(也被称为主振荡)必须在整个操作时间内都被维持，并且对于该目的来说通常需要锁相环和闭环幅度控制。单个驱动装置允许ASIC面积和电流消耗或耗电量的大幅降低，且由此带来更节约成本的信号处理。而且，通过共同使用单个驱动单元也可以节约空间，由此允许更多的传感器位于硅晶片上，由此能更低成本地生产传感器。优选地，旋转速率传感器被这样设计且地震质量块被这样布置，使得整个旋转速率传感器的重心针对驱动模式中地震质量块的偏移基本上保持静止状态。旋转速率传感器优选地被这样设计，使得第一敏感轴位于x-y平面上，也就是说， 在基板的底面上，尤其是第一敏感轴与X轴或是y轴平行，且第二敏感轴与Z轴平行，也就是说，与基板的底面成直角。优选地，旋转速率传感器所有的地震质量块被这样设计、悬置和耦合，使得其被这样悬置以便在驱动模式中针对其各自的偏移、在第一读取模式中针对其各自的偏移(这仅涉及当检测到绕着第一敏感轴的旋转速率时在第一读取模式中振荡的地震质量块)、且在第二读取模式中针对其各自的偏移(这仅涉及当检测到绕着第二敏感轴的旋转速率时在第二读取模式中振荡的地震质量块)而单独地(exclusively)移动，且这些偏移对于在各自模式中振荡的地震质量块来说逆相发生，这些地震质量块针对所有其他偏移被刚性地悬置。优选地，第一和第二地震质量块被这样悬置和驱动，使得它们在旋转驱动模式中逆相振荡，尤其是在绕着ζ轴的旋转驱动模式中。有利地，旋转速率传感器具有额外的地震质量块，尤其是四个额外的地震质量块， 其被针对整个旋转速率传感器的重心而对称地布置和悬置在静止位置。优选地，第一和第二地震质量块被这样悬置和/或耦合，使得其可单独地执行绕着ζ轴和绕着X轴的逆相旋转偏移，且额外的地震质量块特别优选地被这样悬置和/或耦合，使得其可在χ轴方向和y轴方向单独地执行线性偏移。有利地，每个额外的地震质量块至少部分地悬置在分别关联的框架上，尤其在每种情况下在框架的内部区域，该框架在每种情况下耦合到第一或第二地震质量块，由此特别地用于驱动模式的驱动能量经由各个耦合弹簧元件从第一和第二地震质量块被传输到框架和至少部分地悬置在其上的额外地震质量块。在这种情况下，框架可以是开口的或是闭合的。优选地，框架被这样悬置，使得其可在χ轴方向单独地执行线性偏移。有利地，一对额外的地震质量块在每种情况下通过耦合梁而耦合，这样它们可针对第二读取模式仅执行逆相偏移，尤其是在y方向。如果执行偏移或振荡的能力是受限的或变得受限，例如通过“单独地”或“唯一地”，有利地是没有其他运动是可能的。例如，如果仅在y方向的线性偏移是可能的，所有的旋转偏移形式以及在χ或ζ方向的所有偏移是不可能的。地震元件优选地是指地震质量块。有利地，针对驱动模式和针对驱动能量的传输，框架和额外的地震质量块的偏移和相位角对应于在耦合弹簧或耦合弹簧元件处的第一或第二地震质量块的自由端的X方向中的偏移分量，其在每种情况下位于第一或第二地震质量块和各个框架之间。有利地，在一种读取模式中振荡的地震质量块的偏移以重复(duplicated)和差异(differential)的方式被检测，在每种情况下针对用于相位和逆相的逆相偏移而检测两种相对的偏移，也就是说，在一种读取模式中振荡的地震质量块整体地与至少四个读装置关联。在这种情况下，该四个读装置尤其以重复和差异的方式被评估。本发明还涉及一种用于制造微机械旋转速率传感器的方法。本发明还涉及旋转速率传感器在机动车中的使用，尤其是用于检测偏航率(yaw rate)，也就是说，绕着机动车的垂直轴的旋转，以及用于检测侧倾率(roll rate)或俯仰率 (pitch rate)。此外，或者可替代地，这种布置优选地被用于同时测量车辆中的偏航旅和侧倾率、偏航率和俯仰率，或者侧倾率和俯仰率。这种信息用来检测和监视ESP中的运动动态情况、乘员保护和舒适控制系统。用于该领域的传感器必须提供高度的旋转速率测量精确性，以及尽可能低的信噪比。对于这些传感器的进一步要求是对于外界干扰，诸如机械振动和冲击，有较好的抗阻性。此处提出的传感器优选地被这样设计，使得其可符合所有这些要求，尤其是振动抗阻性。进一步的优选实施例将从以下参考附图的示例性实施例的描述中变得明显，附图中示出了示例性的、示意性的形式
图1示出了双轴旋转速率传感器的透视图，图2示出了双轴旋转速率传感器的平面图，图3示出了诸如这样的具有读单元的旋转速率传感器的主要模式或驱动模式，图4示出了诸如这样的没有读单元的旋转速率传感器的主要模式或驱动模式，图5示出了当检测到绕着第二敏感轴的第二旋转速率时该旋转速率传感器的第二模式或第二读模式，图6示出了当检测到绕着第一敏感轴的第一旋转速率时该旋转速率传感器的第三模式或第一读模式，图7示出了诸如这样的旋转速率传感器的寄生模式的例子，以及图8示出了具有驱动、驱动监视和饰板(trim)结构的旋转速率传感器的示意性实施例。图1和图2示出了旋转速率传感器的例子，其可以检测绕着作为第二敏感轴的ζ 轴和绕着作为第一敏感轴的y轴的旋转速度两者。该传感器包括两个质量块1，作为第一和第二地震质量块，其通过弹簧元件2、4连接到锚3并彼此连接，这样它们可以实现绕着ζ轴的旋转移动，第一和第二地震质量块1在驱动模式、驱动振动或主要模式期间逆相移动，见图3和图4。第一和第二地震质量块1的悬置还允许绕着χ轴转动，耦合弹簧4在该振荡中也提供两个质量块1之间的耦合。因此存在一种模式，作为第一读模式，其中地震质量块1 绕着y轴逆相或以相反方向振荡，见图6。除了绕着χ和ζ轴的相互逆相旋转，地震质量块 1，作为第一和第二地震质量块，不能执行任何移动。框架6经由耦合弹簧元件5连接到地震质量块1，从而框架6可以在y方向上独立于质量块1而自由移动，但是，这样框架6在χ方向上的偏移对应于地震质量块1在弹簧元件5的耦合点处的自由端的偏移。框架6转而通过弹簧元件7连接到锚8，从而它们基本上只能在χ轴方向上移动。沿着其他自由度的偏移被抑制。耦合弹簧元件5确保地震质量块 1的旋转运动被转化为框架6的线性移动。两个框架6通过耦合弹簧元件5连接到两个地震质量块1中的每一个，从而框架6在χ方向上以相同偏移逆相移动，作为用于额外的地震质量块10的驱动模式。这些框架6不能在χ方向上同相移动。额外的地震质量块10通过弹簧元件9连接到框架6，这样第一和第二地震质量块
71的自由端在χ方向上的偏移通过框架6被一对一地传递。同时，额外的地震质量块10额外地具有y方向上的由于弹簧9而变得可能的自由度。四个额外的地震质量块10中的两个每个通过弹簧元件11、13和耦合梁12互相连接并连接到锚14，从而它们只可以在y方向上以相同的偏移逆相移动。耦合梁12在该情形下通过弹簧元件13连接到锚14，从而，耦合梁基本上只可能绕着ζ轴旋转。弹簧元件11允许额外的地震质量块10的线性移动，以及耦合梁12的同时旋转运动，并将耦合梁的自由端在y方向上的偏移传递到额外的地震质量块10。根据该例子，旋转速率传感器共有三种自然模式主要或驱动模式、第二或第二读模式以及第三或第一读模式。为了测量旋转速度，传感器必须首先以主要模式或驱动模式运行，如图4。其特征在于第一和第二地震质量块1绕着ζ轴互相逆相旋转；同时，框架6 在Χ方向上与额外的地震质量块10 —起线性地移动，框架6和质量块10的线性偏移和相位角对应于质量块1的自由端在耦合弹簧元件5位置处的自由端的偏移的χ分量。整个布置的重心在主要移动期间保持静止。作为示例，主要模式可以在电容梳状结构的帮助下通过静电激发来驱动。在传感器绕着作为第二敏感轴的ζ轴转动的情形下，表观力(apparent force) 作用在移动的质量块上。在该情形下，具有相同幅度但不同相位角的科里奥利力作用在额外的地震质量块10上，也就是说，发生了逆相偏移。相位关系从主要移动期间的额外地震质量块10的速度的相位角中导出的；科里奥利力由此引起第二模式被激发，见图5。由质点m针对相对于移动坐标系统以速度!；移动的惯性系统的旋转石引起的科里奥利力为
Fcor = 2mvxQ。当传感器绕着y轴旋转时，表观力作用在移动质量块上。在这种情况下，科里奥利力作用在第一和第二地震质量块1上，从而作为第一读模式的第三模式被激发，见图6。作为第二读模式的第二模式以及作为第一读模式的第三振荡的偏移，在科里奥利力的情形下尤其与产生它们的旋转速度02或0丨成比例。作为示例，偏移可以被电容元件检测到，该电容元件将力学上的偏移转化为电容信号。读装置19、20、21和22检测额外的地震质量块10在y方向上的偏移，并被连接从而读装置19和20的电容改变之和与读装置21和22的电容改变之和之间的差值被用作输出信号。该类型的重复-差异读取仅检测第二模式或第二读模式，并且对其他自然模式不敏感，在这些模式中，额外的质量块10在y轴方向上移动，见图7的左右上角和左下角。梳状结构的其他布置以及适应的信号评估也是可能的。读装置15、16、17和18检测第一和第二地震质量块1在ζ方向上的偏移，并被连接从而读装置15和18的电容改变之和与读装置16和17的电容改变之和之间的差值被用作输出信号。该类型的重复_差异读取仅检测第三模式或第一读模式，并且对地震质量块 1绕着χ轴的同相旋转不敏感，见图7的右下角。图8示出了具有额外装置的旋转速率传感器的一个示例性实施例。其只有一个驱动装置23，在图1到图7中没有示出。如图所示，驱动装置23作用在旋转悬置的第一和第二地震质量块1之间的连接上(在该情形下该连接是耦合弹簧4)，或者(未示出)，可替代地作用在地震质量块1自身上，或者(同样未示出)，作用在线性振荡框架6上。通常， 驱动监视结构24被用来监视主要振动或驱动模式，并且，类似于驱动装置23，可以作用在旋转地悬置的质量块1之间的耦合弹簧4上，或者(同样未示出)，可以作用在质量块1自身上或线性振荡框架6上。图8中的旋转速率传感器还包括额外的致动器单元，作为与用于第二读模式的额外地震质量块10关联的梳状结构25，并作为与用于第一读模式的第一和第二地震质量块1关联的电极26。这些额外的致动器单元使得能够裁剪寄生信号(“正交”(quadrature))，和/或影响频率，和/或重置关于读模式的偏移(“力反馈”)。根据该示例，电极形式的读设备15、16、17和18被布置在地震质量块1上面，且电极26被类似地布置在地震质量块1上面在侧面作为额外的致动器单元，被这样布置使得它们略微重叠而不接触。
权利要求
1.一种微机械旋转速率传感器，包括基板，其底面被校准为与笛卡尔坐标系统(χ，y， ζ)的X-y平面平行，旋转速率传感器具有至少一个第一和一个第二地震质量块(1)，所述地震质量块耦合到至少一个第一驱动装置(23)且被悬置(3，4)，使得第一和第二地震质量块 (1)被驱动，这样它们在一个驱动模式中逆相偏移，旋转速率传感器被这样设计，使得其可检测绕着至少两个基本上互相正交的敏感轴(z，y)的旋转速率，其特征在于至少第一和第二地震质量块(1)被这样设计和悬置，使得当检测绕着第一敏感轴(y) 的第一旋转速率时它们在第一读取模式中逆相振荡，且第一和第二地震质量块(1)和/或额外的地震质量块(10)被这样设计和悬置(5，7，9，11)，使得当检测绕着第二敏感轴(ζ) 的第二旋转速率时它们在第二读取模式中逆相振荡，地震质量块(1，10)与读装置(15，16， 17,18,19,20,21,22)关联，所述读装置针对地震质量块(1，10)被这样设计和布置，使得它们针对第一和针对第二读模式检测地震质量块(1，10)在同相和逆相每种情况下的偏移。
2.如权利要求1所述的旋转速率传感器，其特征在于第一和第二地震质量块(1)通过至少一个耦合弹簧(4)而耦合，耦合弹簧(4)被这样设计，使得这些地震质量块(1)仅逆相旋转偏移，且同相旋转偏移被抑制，特别是在每种情况下第一和第二地震质量块(1)被额外地悬置在至少一个锚(3)上，这样这些地震质量块(1)在任何方向(x，y，z)的线性偏移基本上被抑制。
3.如权利要求1或2所述的旋转速率传感器，其特征在于旋转速率传感器具有单个驱动装置(23)，其驱动旋转速率传感器的所有地震质量块(1，10)，出于该目的地震质量块 (1,10)被恰当地悬置(4，5，9)且被直接或间接耦合到该驱动装置(23)。
4.如权利要求1到3中的至少一个所述的旋转速率传感器，其特征在于旋转速率传感器被这样设计且地震质量块(1，10)被这样布置，使得整个旋转速率传感器的重心在驱动模式中针对地震质量块(1，10)的偏移基本上处于静止状态。
5.如权利要求1到4中至少一个所述的旋转速率传感器，其特征在于旋转速率传感器被这样设计，使得第一敏感轴(y)位于χ-y平面上，也就是基板的底面上，尤其在于第一敏感轴与χ轴或y轴平行，且在于第二敏感轴(ζ)与ζ轴平行，也就是与基板的底面成直角。
6.如权利要求1到5中的至少一个所述的旋转速率传感器，其特征在于旋转速率传感器的所有地震质量块(1,10)被这样设计、悬置(3,5,6,7,9,11)和耦合(4，12)，使得它们被悬置，这样它们可在驱动模式中针对其各自的偏移、在第一读取模式中针对其各自的偏移-这仅涉及当检测绕着第一敏感轴(y)的旋转速率时在第一读取模式中振荡的地震质量块(1)、且在第二读取模式针对其各自的偏移-这仅涉及当检测绕着第二敏感轴(ζ)的旋转速率时在第二读取模式中振荡的地震质量块(10)，而单独地移动，且在于对于在各自模式中振荡的地震质量块(1，10)来说这些偏移逆相发生，地震质量块(1，10)针对所有其他的偏移而被刚性地悬置。
7.如权利要求1到6中的至少一个所述的旋转速率传感器，其特征在于第一和第二地震质量块被这样悬置(3，4)和驱动(23)，使得它们在旋转驱动模式中，特别是在绕着ζ轴的旋转驱动模式中，逆相振荡。
8.如权利要求1到7中的至少一个所述的旋转速率传感器，其特征在于旋转速率传感器具有额外的地震质量块(10)，特别是四个额外的地震质量块(10)，其针对整个旋转速率传感器的中心被对称地布置和悬置在静止位置。
9.如权利要求8所述的旋转速率传感器，其特征在于第一和第二地震质量块(1)被这样悬置和/或耦合，使得它们可绕着ζ轴和χ轴单独地执行逆相旋转偏移，且在于额外的地震质量块(10)被这样悬置和/或耦合，使得它们可在χ轴和y轴的方向单独地执行线性偏移。
10.如权利要求8或9所述的旋转速率传感器，其特征在于每个额外的地震质量块 (10)至少部分地被悬置(9)在分别关联的框架(6)上，在每种情况下尤其是在框架的内部区域，所述框架在每种情况下耦合(5)到第一或第二地震质量块(1)，通过该方式尤其地， 用于驱动模式的驱动能量经由各自的耦合弹簧元件(5)从第一和第二地震质量块(1)被传递到框架(6)以及传递到至少部分悬置在其上的额外的地震质量块。
11.如权利要求10所述的旋转速率传感器，其特征在于框架(6)被这样悬置，使得它们可在χ轴方向上单独地执行线性偏移。
12.如权利要求8到11中的至少一个所述的旋转速率传感器，其特征在于每种情况下一对额外的地震质量块(10)通过耦合梁(12)耦合，这样它们可针对第二读取模式仅执行逆相偏移。
13.如权利要求1到12中的至少一个所述旋转速率传感器，其特征在于在一种读取模式中振荡的地震质量块(1，10)的偏移是以重复和差异的方式被检测，在每种情况下两种相对的偏移针对用于相位和逆相的逆相偏移被检测，也就是说在一种读取模式中振荡的地震质量块(1，10)总体上与至少四个读装置(15，16，17，18，19，20，21，22)关联。
14.如权利要求1到13中的至少一个所述的旋转速率传感器在机动车中的使用，特别是用于检测偏航率，也就是说绕着车辆的垂直轴的旋转，且用于检测车辆的侧倾率或俯仰率。
全文摘要
一种微机械旋转速率传感器，包括基板，其底面被校准为与笛卡尔坐标系统(x，y，z)的x-y平面平行，旋转速率传感器具有至少一个第一和一个第二地震质量块(1)，所述地震质量块耦合到至少一个第一读装置(23)且被悬置(3，4)，使得第一和第二地震质量块(1)被驱动，这样它们在一个驱动模式中逆相偏移，旋转速率传感器被这样设计，使得其可检测绕着至少两个基本上互相正交的敏感轴(z，y)的旋转速率，其中至少第一和第二地震质量块(1)被这样设计和悬置，使得当检测绕着第一敏感轴(y)的第一旋转速率时它们在第一读取模式中逆相振荡，且第一和第二地震质量块(1)和/或额外的地震质量块(10)被这样设计和悬置(5，7，9，11)，使得当检测绕着第二敏感轴(z)的第二旋转速率时它们在第二读取模式中逆相振荡，地震质量块(1，10)与读装置(15，16，17，18，19，20，21，22)关联，所述读装置针对地震质量块(1，10)被这样设计和布置，使得它们针对第一和第二读取�？榧觳獾卣鹬柿靠�(1，10)在同相和逆相每种情况下的偏移。
文档编号G01C19/5712GK102483328SQ201080040102
公开日2012年5月30日 申请日期2010年9月9日 优先权日2009年9月9日
发明者B·施密德, S·根特纳 申请人:大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司
专业数控铣床产品供应商
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