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温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法
【专利摘要】本发明涉及MEMS加速度传感器的标定校准技术，具体是一种温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法。本发明解决了现有MEMS加速度传感器标定校准技术标定校准过程繁琐、标定校准效率低的问题。温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法，该方法是采用如下步骤实现的：1）将MEMS加速度传感器安装于翻转试验台上，将翻转试验台放置于振动试验台上，将翻转试验台和振动试验台一起放置于温湿度试验箱内；2）PC机对温湿度试验箱的参数进行设置，并启动温湿度试验箱；3）PC机对振动试验台的参数进行设置，并启动振动试验台；4）待振动试验结束后，PC机对翻转试验台的参数进行设置，并启动翻转试验台。
【专利说明】温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法

【技术领域】
[0001]本发明涉及MEMS加速度传感器的标定校准技术，具体是一种温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法。

【背景技术】
[0002]MEMS加速度传感器因其具有体积小、重量轻、成本低、可靠性好、功耗低、测量范围大等一系列优点，而被广泛应用于汽车电子、无线通信、生物医学、航空航天、工业、农业等领域。MEMS加速度传感器无论在研制后还是使用前，均需要进行性能参数的标定校准，以保证MEMS加速度传感器在实际应用中的精度。根据不同的标定校准要求，MEMS加速度传感器通常要进行振动试验、静态翻滚试验、温湿度试验等。其中，振动试验是指通过振动试验台在MEMS加速度传感器的敏感轴方向上测试其各项动态特性，由此标定MEMS加速度传感器的参数。静态翻滚试验是指通过翻转试验台对MEMS加速度传感器进行模拟试验，由此标定MEMS加速度传感器的参数。温湿度试验是指通过温湿度试验箱对MEMS加速度传感器进行模拟试验，由此显示MEMS加速度传感器在不同温湿度环境下的状态。在现有技术条件下，振动试验、静态翻滚试验、温湿度试验均只能按顺序单独进行，而无法同步进行，由此导致MEMS加速度传感器的标定校准过程繁琐、标定校准效率低。基于此，有必要发明一种全新的MEMS加速度传感器标定校准技术，以解决现有MEMS加速度传感器标定校准技术标定校准过程繁琐、标定校准效率低的问题。


【发明内容】

[0003]本发明为了解决现有MEMS加速度传感器标定校准技术标定校准过程繁琐、标定校准效率低的问题，提供了一种温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法。
[0004]本发明是采用如下技术方案实现的:温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法，该方法是采用如下步骤实现的:
O分别选取温湿度试验箱、振动试验台、翻转试验台、数据采集模块、PC机；将MEMS加速度传感器安装于翻转试验台上，将翻转试验台放置于振动试验台上，将翻转试验台和振动试验台一起放置于温湿度试验箱内，将MEMS加速度传感器的输出端与数据采集模块的输入端连接，将数据采集模块的输出端与PC机的输入端连接，将PC机的输出端分别与温湿度试验箱的输入端、振动试验台的输入端、翻转试验台的输入端连接；
2)PC机对温湿度试验箱的参数进行设置，并启动温湿度试验箱，温湿度试验箱内的温度和湿度由此按照时序函数进行变化；
3)PC机对振动试验台的参数进行设置，并启动振动试验台，振动试验台由此在温度和湿度均变化的环境下驱动MEMS加速度传感器进行振动试验；在振动试验过程中，数据采集模块实时获取MEMS加速度传感器的输出数据，并将MEMS加速度传感器的输出数据实时发送至PC机，PC机根据MEMS加速度传感器的输出数据实时标定MEMS加速度传感器在不同温湿度环境下的参数； 4)待振动试验结束后，PC机对翻转试验台的参数进行设置，并启动翻转试验台，翻转试验台由此在温度和湿度均变化的环境下驱动MEMS加速度传感器进行翻转试验；在翻转试验过程中，数据采集模块实时获取MEMS加速度传感器的输出数据，并将MEMS加速度传感器的输出数据实时发送至PC机，PC机根据MEMS加速度传感器的输出数据实时标定MEMS加速度传感器在不同温湿度环境下的参数。
[0005]与现有MEMS加速度传感器标定校准技术相比，本发明所述的温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法通过对温湿度试验箱、振动试验台、翻转试验台、数据采集模块、PC机进行集成，并通过对温湿度试验箱、振动试验台、翻转试验台进行一体化控制，实现了同步进行振动试验、静态翻滚试验、温湿度试验，由此有效简化了 MEMS加速度传感器的标定校准过程，有效提高了 MEMS加速度传感器的标定校准效率。
[0006]本发明有效解决了现有MEMS加速度传感器标定校准技术标定校准过程繁琐、标定校准效率低的问题，适用于MEMS加速度传感器的标定校准。

【具体实施方式】
[0007]温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法，该方法是采用如下步骤实现的:
O分别选取温湿度试验箱、振动试验台、翻转试验台、数据采集模块、PC机；将MEMS加速度传感器安装于翻转试验台上，将翻转试验台放置于振动试验台上，将翻转试验台和振动试验台一起放置于温湿度试验箱内，将MEMS加速度传感器的输出端与数据采集模块的输入端连接，将数据采集模块的输出端与PC机的输入端连接，将PC机的输出端分别与温湿度试验箱的输入端、振动试验台的输入端、翻转试验台的输入端连接；
2)PC机对温湿度试验箱的参数进行设置，并启动温湿度试验箱，温湿度试验箱内的温度和湿度由此按照时序函数进行变化；
3)PC机对振动试验台的参数进行设置，并启动振动试验台，振动试验台由此在温度和湿度均变化的环境下驱动MEMS加速度传感器进行振动试验；在振动试验过程中，数据采集模块实时获取MEMS加速度传感器的输出数据，并将MEMS加速度传感器的输出数据实时发送至PC机，PC机根据MEMS加速度传感器的输出数据实时标定MEMS加速度传感器在不同温湿度环境下的参数；
4)待振动试验结束后，PC机对翻转试验台的参数进行设置，并启动翻转试验台，翻转试验台由此在温度和湿度均变化的环境下驱动MEMS加速度传感器进行翻转试验；在翻转试验过程中，数据采集模块实时获取MEMS加速度传感器的输出数据，并将MEMS加速度传感器的输出数据实时发送至PC机，PC机根据MEMS加速度传感器的输出数据实时标定MEMS加速度传感器在不同温湿度环境下的参数。
【权利要求】
1.一种温湿度可变环境下振动、翻转测试装置的控制方法，其特征在于:该方法是采用如下步骤实现的: O分别选取温湿度试验箱、振动试验台、翻转试验台、数据采集模块、PC机；将MEMS加速度传感器安装于翻转试验台上，将翻转试验台放置于振动试验台上，将翻转试验台和振动试验台一起放置于温湿度试验箱内，将MEMS加速度传感器的输出端与数据采集模块的输入端连接，将数据采集模块的输出端与PC机的输入端连接，将PC机的输出端分别与温湿度试验箱的输入端、振动试验台的输入端、翻转试验台的输入端连接； 2)PC机对温湿度试验箱的参数进行设置，并启动温湿度试验箱，温湿度试验箱内的温度和湿度由此按照时序函数进行变化； 3)PC机对振动试验台的参数进行设置，并启动振动试验台，振动试验台由此在温度和湿度均变化的环境下驱动MEMS加速度传感器进行振动试验；在振动试验过程中，数据采集模块实时获取MEMS加速度传感器的输出数据，并将MEMS加速度传感器的输出数据实时发送至PC机，PC机根据MEMS加速度传感器的输出数据实时标定MEMS加速度传感器在不同温湿度环境下的参数； 4)待振动试验结束后，PC机对翻转试验台的参数进行设置，并启动翻转试验台，翻转试验台由此在温度和湿度均变化的环境下驱动MEMS加速度传感器进行翻转试验；在翻转试验过程中，数据采集模块实时获取MEMS加速度传感器的输出数据，并将MEMS加速度传感器的输出数据实时发送至PC机，PC机根据MEMS加速度传感器的输出数据实时标定MEMS加速度传感器在不同温湿度环境下的参数。
【文档编号】G01P21/00GK104459207SQ201410835446
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年12月29日 优先权日:2014年12月29日
【发明者】石云波, 郭涛, 唐军, 马宗敏, 丑修建, 张斌珍, 邹坤, 焦佳伟, 赵赟, 于春华 申请人:苏州中盛纳米科技有限公司