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专利名称：应用于光学系统的检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光学检测装置，尤其涉及一种应用于光学系统的检测装置。
背景技术：
现有的干涉仪主要着眼于单个光学元器件的检测，而对于光学系统的整体检测存在技术空白。比如说，在民用望远镜行业中，现有仪器能够解决民用望远镜中的单一镜片性能数据检测问题，而不能解决望远镜系统性能数据检测的问题。因而，望远镜的整体质量和一致性水平就很难提高。因此，填补检测光学系统的技术空白，提高光学系统整体质量水平成为本领域普通技术人员努力的方向。 发明内容本实用新型提供一种应用于光学系统的检测装置，此检测装置实现了对光学系统综合性能的检测，并进一步排除非光学系统因素所导致的缺陷，从而提高测试数据的可靠性。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是一种应用于光学系统的检测装置，包括菲索型干涉仪，用于产生相干光并接收经不同光程的两路反射光从而形成干涉条纹图像；反光镜，用于将所述光学系统输出的光束沿原光路返回至光学系统和菲索型干涉仪；标准镜，位于所述菲索型干涉仪前端，其接收来自所述菲索型干涉仪的相干光并将其分为透射光束和反射光束；所述光学系统位于所述标准镜和反光镜之间，用于接收来自所述标准镜的透射光束；一半透明的对准部件罩于所述光学系统靠近反光镜侧的右端部，此对准部件中心设置有中心圆孔；一可变光阑罩于所述光学系统靠近标准镜侧的左端部，此可变光阑中心处的孔径大小可调节，其用于控制进入光学系统中光束的光斑大小。上述技术方案进一步改进技术方案如下I.上述方案中，当所述光学系统的入射光平行时；所述标准镜为平面标准镜，所述反光镜为平面反光镜；或者，所述标准镜为平面标准镜，所述反光镜为球面反光镜；当所述光学系统的入射光发散时；所述标准镜为球面标准镜，所述反光镜为平面反光镜；或者，所述标准镜为球面标准镜，所述反光镜为球面反光镜；当所述光学系统的入射光汇聚时；所述标准镜为球面标准镜，所述反光镜为平面反光镜；或者，所述标准镜为球面标准镜，所述反光镜为球面反光镜。[0016]2.上述方案中，所述可变光阑的孔径最大为所述光学系统左端的通光孔径、最小为对准部件的中心圆孔的直径大小。3.上述方案中，所述对准部件的中心圆孔直径为2mm。4.上述方案中，所述对准部件为涂浅色油漆层的有机玻璃或半透明的有机毛玻
3 ο5.上述方案中，所述对准部件为可沿其筒壁方向伸缩移动。由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点本实用新型应用于光学系统的检测装置，利用菲索型干涉仪，将待检测的光学系统位于所述标准镜和反光镜之间，实现了对光学系统综合性能的检测；其次，本实用新型采 用在半透明的对准部件罩于所述光学系统靠近反光镜侧的右端部，可变光阑罩于所述光学系统靠近标准镜侧的左端部，此可变光阑中心处的孔径大小可调节，其进一步排除非光学系统因素所导致的缺陷，从而提高测试数据的可靠性；再次，涂浅色油漆层的有机玻璃或半透明的有机毛玻璃作为对准部件，能及时并有利于对待测的光学系统进行水平校正，从而提高了工作效率。

附图I为本实用新型应用于光学系统的检测装置结构示意图；附图2为本实用新型对准部件中光斑位置示意图；附图3为本实用新型检测装置应用于光学系统示意图一；附图4为本实用新型检测装置应用于光学系统示意图二 ；附图5为本实用新型检测装置应用于光学系统示意图三；附图6为本实用新型检测装置应用于光学系统示意图四；附图7为本实用新型检测装置应用于光学系统示意图五；附图8为本实用新型检测装置应用于光学系统示意图六；附图9为本实用新型检测装置应用于光学系统示意图七；附图10为本实用新型检测装置应用于光学系统示意图八；附图11为本实用新型检测装置应用于光学系统示意图九。以上附图中1、菲索型干涉仪；2、反光镜；3、标准镜；4、光学系统；5、对准部件；
6、中心圆孔；7、可变光阑；8、筒壁。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述实施例一种应用于光学系统的检测装置，如附图所示，包括菲索型干涉仪1，用于产生相干光并接收经不同光程的两路反射光从而形成干涉条纹图像；反光镜2，用于将所述光学系统4输出的光束沿原光路返回至光学系统；标准镜3，位于所述菲索型干涉仪前端，其接收来自所述菲索型干涉仪的相干光并将其分为透射光束和反射光束；所述光学系统4位于所述标准镜3和反光镜2之间，用于接收来自所述标准镜3的透射光束；一半透明的对准部件5罩于所述光学系统4靠近反光镜侧的右端部，此对准部件5中心设置有中心圆孔6 ;一可变光阑7罩于所述光学系统4靠近标准镜侧的左端部，此可变光阑7中心处的孔径大小可调节，其用于控制进入所述光学系统4中光束的光斑大小。当所述光学系统4的入射光平行时；所述标准镜3为平面标准镜，所述反光镜2为平面反光镜；或者，所述标准镜3为平面标准镜，所述反光镜2为球面反光镜；当所述光学系统4的入射光发散时；所述标准镜3为球面标准镜，所述反光镜2为平面反光镜；或者，所述标准镜3为球面标准镜，所述反光镜2为球面反光镜；当所述光学系统4的入射光汇聚时；所述标准镜3为球面标准镜，所述反光镜2为 平面反光镜；或者，所述标准镜3为球面标准镜，所述反光镜2为球面反光镜。上述可变光阑7的孔径最大为所述光学系统左端的通光孔径、最小为对准部件5的中心圆孔的直径大小。上述对准部件5的中心圆孔直径为2mm。上述对准部件5为可沿其筒壁8方向伸缩移动，此对准部件5为涂浅色油漆层的有机玻璃或半透明的有机毛玻璃。I、被检光学系统a.两端口径可以相同(即Φ3 = Φ4)或不同(SP Φ3 > Φ4或Φ3〈 Φ4)；b.机械筒长定长或可变；2、对准部件5 :容易装卸，但不松动a.套在被检光学系统4右端，即远离菲索型干涉仪I 一侧；b.对准部件5的筒壁8可长些或短些，视需求来定；c.对准部件5的中心位置有一直径在2mm左右的中心圆孔6 ；d.对准部件5端面材料的选取或制作原则是如，透明的有机玻璃上涂浅色油漆或不完全透明的有机毛玻璃等。该材料能散射来自干涉仪并通过被检光学系统的激光；从外部可以容易地观测到激光照射在该材料上所形成的光斑。3、可变光阑7 :容易装卸，但不松动a.套在被检光学系统4左端，即靠近菲索型干涉仪I 一侧；b.可变光阑7的口径变化范围最大=被检光学系统4左端的通光孔径、最小彡对准部件5上的中心圆孔6 ；c.当从被检光学系统出来的光呈汇聚状时，可变光阑可取消；d.可变光阑和对准器之间的相对位置可调；对准准则(I)调整可变光阑7 口径大小；( 2 )调整可变光阑7和对准部件5之间的相对位置，通过a.改变被检光学系统机械筒长,或者，e.改变对准部件5的筒壁8长度；(3)直到在对准部件5上可容易地观测到激光光斑，其光斑口径的范围大于对准部件5上的中心圆孔6，远小于被检光学系统右端的通光孔径，如附图2所示，附图2 (a)为光斑水平方向偏离，附图2 (b)为光斑垂直方向偏离，附图2 (c)为光斑水平和垂直方向均偏离，附图2 Cd)为光斑无偏离。 上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种应用于光学系统的检测装置，其特征在于包括 菲索型干涉仪(1)，用于产生相干光并接收经不同光程的两路反射光从而形成干涉条纹图像； 反光镜(2)，用于将所述光学系统(4)输出的光束沿原光路返回至光学系统和菲索型干涉仪； 标准镜(3)，位于所述菲索型干涉仪前端，其接收来自所述菲索型干涉仪的相干光并将其分为透射光束和反射光束； 所述光学系统(4)位于所述标准镜(3)和反光镜(2)之间，用于接收来自所述标准镜(3)的透射光束； 一半透明的对准部件(5)罩于所述光学系统(4)靠近反光镜侧的右端部，此对准部件(5)中心设置有中心圆孔(6)； 一可变光阑(7 )罩于所述光学系统(4 )靠近标准镜侧的左端部，此可变光阑(7 )中心处的孔径大小可调节，其用于控制进入光学系统(4)中光束的光斑大小。
2.根据权利要求I所述的检测装置，其特征在于 当所述光学系统(4)的入射光平行时；所述标准镜(3)为平面标准镜，所述反光镜(2)为平面反光镜；或者，所述标准镜(3)为平面标准镜，所述反光镜(2)为球面反光镜； 当所述光学系统(4)的入射光发散时；所述标准镜(3)为球面标准镜，所述反光镜(2)为平面反光镜；或者，所述标准镜(3)为球面标准镜，所述反光镜(2)为球面反光镜； 当所述光学系统(4)的入射光汇聚时；所述标准镜(3)为球面标准镜，所述反光镜(2)为平面反光镜；或者，所述标准镜(3)为球面标准镜，所述反光镜(2)为球面反光镜。
3.根据权利要求I所述的检测装置，其特征在于所述可变光阑(7)的孔径最大为所述光学系统左端的通光孔径、最小为对准部件(5)的中心圆孔的直径大小。
4.根据权利要求I所述的检测装置，其特征在于所述对准部件(5)的中心圆孔直径为2mm ο
5.根据权利要求I所述的检测装置，其特征在于所述对准部件(5)为涂浅色油漆层的有机玻璃或半透明的有机毛玻璃。
6.根据权利要求I所述的检测装置，其特征在于所述对准部件(5)为可沿其筒壁(8)方向伸缩移动。
专利摘要本实用新型公开一种应用于光学系统的检测装置，包括菲索型干涉仪；反光镜，用于将所述光学系统输出的光束沿原光路返回至光学系统；标准镜，位于所述菲索型干涉仪前端，其接收来自所述菲索型干涉仪的相干光并将其分为透射光束和反射光束；所述光学系统位于所述标准镜和反光镜之间，用于接收来自所述标准镜的透射光束；一半透明的对准部件罩于所述光学系统靠近反光镜侧的右端部，此对准部件中心设置有中心圆孔；一可变光阑罩于所述光学系统靠近标准镜侧的左端部，此可变光阑中心处的孔径大小可调节，其用于控制进入光学系统中光束的光斑大小。本实用新型检测装置实现了对光学系统综合性能的检测，并进一步排除非光学系统因素所导致的缺陷，从而提高测试数据的可靠性。
文档编号G01M11/00GK202720110SQ20122035058
公开日2013年2月6日 申请日期2012年7月19日 优先权日2012年7月19日
发明者韩森 申请人:苏州慧利仪器有限责任公司