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专利名称：四探针测试仪校准夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及四探针测试仪技术领域，特别是一种四探针测试仪校准夹具。
背景技术：
如

图1所示，直流四探针法是将位于同一直线上、用间隔都是约Imm的四根探针7 同时压在半导体硅料8的平整表面上，当利用恒流源5给外侧两根探针通以电流时测量出跨越中间两根探针的电位，其内侧中间两根探针之间的电压差V则视为已被测量以计算样品的电阻率，通过电压表6显示，探针的电流值根据料种厚度设置，硅料的厚度不同(分为 > 4mm和彡4mm,)需要设置不同的电流参数(> 4mm时电流参数为0. 6283mA,彡4mm时可根据电流参数对照表查得)。电阻率值对应于电流值，现有的四探针测试仪上通过指针式电流表9显示的电流值，四探针测试仪的探针测试硅料样块时，显示的电阻率值与标识电阻率值一致，此时指针式电流表9上显示的电流值即为电流参数值。因为目前使用的四探针测试仪的电流值在指针式电流表9上无法精确显示，所以采用查表方式设置电流参数存在偏差。而使用样块设置电流参数，因为样块存在内部损伤，会使硅料样块电阻率值失效但又难以察觉，弓丨起仪器设置电流参数存在偏差。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种四探针测试仪校准夹具，克服采用查表方式设置电流参数存在偏差。而使用样块设置电流参数，因为样块存在内部损伤，会使硅料样块电阻率值失效但又难以察觉，引起仪器设置电流参数存在偏差的缺陷。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种四探针测试仪校准夹具， 包括夹具连接头、导线和数字显示式万用表，万用表的电流输入端通过导线与夹具连接头连接，夹具连接头插装在四探针测试仪的探针插座上连通四探针测试仪恒流源输出端和用表的电流输入端。本实用新型的有益效果是将本四探针测试仪校准夹具插装在四探针测试仪的探针插座上，直接调整输入电流值即电流参数，电流值在万用表中能显示到小数点后3位，设置电流参数更加精确，使得仪器的测量结果更加精确。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；图1是直流四探针法的原理图；图2是本实用新型的结构示意图；图中，1.夹具连接头，2.导线，3.万用表，4.探针插座，5.恒流源，6.电压表，7.探针，8.硅片，9.指针式电流表。
具体实施方式
如图1所示，一种四探针测试仪校准夹具，包括夹具连接头1、导线2和数字显示式万用表3，万用表3的电流输入端通过导线2与夹具连接头1连接，夹具连接头1插装在四探针测试仪的探针插座4上连通四探针测试仪恒流源输出端和用表的电流输入端。
权利要求1. 一种四探针测试仪校准夹具，其特征是包括夹具连接头(1)、导线( 和数字显示式万用表(3)，万用表(3)的电流输入端通过导线( 与夹具连接头(1)连接，夹具连接头 (1)插装在四探针测试仪的探针插座(4)上连通四探针测试仪恒流源输出端和用表的电流输入端。
专利摘要本实用新型涉及四探针测试仪技术领域，特别是一种四探针测试仪校准夹具，包括夹具连接头、导线和数字显示式万用表，万用表的电流输入端通过导线与夹具连接头连接，夹具连接头插装在四探针测试仪的探针插座上连通四探针测试仪恒流源输出端和用表的电流输入端。将本四探针测试仪校准夹具插装在四探针测试仪的探针插座上，直接调整输入电流值即电流参数，电流值在万用表中能显示到小数点后3位，设置电流参数更加精确，使得仪器的测量结果更加精确。
文档编号G01R35/00GK201945679SQ20102069631
公开日2011年8月24日 申请日期2010年12月31日 优先权日2010年12月31日
发明者李建峰 申请人:常州天合光能有限公司