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一种真空烧结炉的真空测量系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空烧结炉的真空测量系统，包括：麦氏真空计（1）、电阻规（2）和电离规（3），所述麦氏真空计（1）设置在真空烧结炉的抽真空管道（4）上，所述电阻规（2）和所述电离规（3）并联地与所述麦氏真空计（1）相连接，所述电阻规（2）和所述电离规（3）与所述麦氏真空计（1）之间设置有连接转换开关（5）。本实用新型通过同时设置电阻规和电离规，使得该真空测量系统既可以测量高真空度的状态，也可以测量低真空度的状态，这样，测量的精确性更高。
【专利说明】 一种真空烧结炉的真空测量系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及钽铌合金加工设备【技术领域】，更具体地说，涉及一种真空烧结炉的真空测量系统。
【背景技术】
[0002]目前，钽铌合金的烧结工艺有两个发展方向，一是气氛控制烧结，另一是真空加压烧结，在国内的生产企业，通常都采用真空加压烧结的方式加工钽铌合金。真空烧结是钽铌合金生产加工中的关键工序，烧结的工艺控制关系到合金的品质，对产品的最终质量具有决定性的作用。
[0003]采用真空烧结所使用的真空烧结炉，具有承受高温高压的性能，在烧结炉开启之前需要将烧结炉炉内抽成真空。在抽真空的过程中需要实时地测量真空的状态，现有的测量系统不能实时地测量真空度。
实用新型内容
[0004]本实用新型要解决的技术问题针对现有真空烧结炉真空度测量不准确的问题，提供一种真空烧结炉的真空测量系统。
[0005]本实用新型的技术方案如下所述:一种真空烧结炉的真空测量系统，所述真空测量系统包括:麦氏真空计、电阻规和电离规，所述麦氏真空计设置在真空烧结炉的抽真空管道上，所述电阻规和所述电离规并联地与所述麦氏真空计相连接，所述电阻规和所述电离规与所述麦氏真空计之间设置有连接转换开关。
[0006]所述电阻规通过第一连接管道与所述麦氏真空计相连通，所述电离规通过第二连接管道与所述麦氏真空计相连通，所述第一连接管道和所述第二连接管道管径相等。
[0007]所述连接转换开关开设有一个与所述第一连接管道和所述第二连接管道孔径相等的通孔，所述通孔可移动地与所述第一连接管道或者所述第二连接管道相通。
[0008]本实用新型通过同时设置电阻规和电离规，使得该真空测量系统既可以测量高真空度的状态，也可以测量低真空度的状态，这样，测量的精确性更高。
【专利附图】

【附图说明】
[0009]图1为本实用新型实施例真空测量系统的结构示意图；
[0010]图2为本实用新型实施例连接转换开关的简要结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图以及实施方式对本实用新型进行进一步的描述。
实施例
[0012]本实施例提供了一种真空烧结炉的真空测量系统，请结合参考图1和图2，该真空测量系统包括:麦氏真空计1、电阻规2和电离规3，麦氏真空计I设置在真空烧结炉的抽真空管道4上，电阻规2和电离规3并联地与麦氏真空计I相连接，电阻规2和电离规3与麦氏真空计I之间设置有连接转换开关5。
[0013]电阻规2通过第一连接管道21与麦氏真空计I相连通，电离规3通过第二连接管道31与麦氏真空计I相连通，第一连接管道21和第二连接管道31管径相等。
[0014]连接转换开关5开设有一个与第一连接管道21和第二连接管道31孔径相等的通孔51，通孔51可移动地与第一连接管道21或者第二连接管道31相通。
【权利要求】
1.一种真空烧结炉的真空测量系统，其特征在于，所述真空测量系统包括:麦氏真空计(I)、电阻规(2)和电离规(3)，所述麦氏真空计(I)设置在真空烧结炉的抽真空管道(4)上，所述电阻规(2)和所述电离规(3)并联地与所述麦氏真空计(I)相连接，所述电阻规(2)和所述电离规(3 )与所述麦氏真空计(I)之间设置有连接转换开关(5 ); 所述电阻规(2)通过第一连接管道(21)与所述麦氏真空计(I)相连通，所述电离规(3)通过第二连接管道(31)与所述麦氏真空计(I)相连通，所述第一连接管道(21)和所述第二连接管道(31)管径相等； 所述连接转换开关(5)开设有一个与所述第一连接管道(21)和所述第二连接管道(31)孔径相等的通孔(51)，所述通孔(51)可移动地与所述第一连接管道(21)或者所述第二连接管道(31)相通。
【文档编号】G01L21/04GK203745131SQ201420014079
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2014年1月10日 优先权日:2014年1月10日
【发明者】蔡海成 申请人:炎陵县今成钽铌有限公司