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专利名称：除气方法和除气过滤器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种除气过滤器，更具体地涉及用于评估气体吸收场合使用的离子交换器的离子交换基消耗率的设备和方法。
背景技术：
迄今为止，离子型气体吸附过滤器的使用寿命通过下列任何一种方法来管理(1)被过滤器吸附的气体总量定期地从过滤器输入侧的气体浓度和流过过滤器的空气速率积分，然后与一已知的吸附极限进行比较，以判断过滤器的使用寿命。
(2)过滤器输入侧的气体浓度和过滤器输出侧的气体浓度被定期地测量，以证实过滤器除气能力的降低。
(3)确认过滤器输出侧的气体浓度是否是一个管理值或者更低。
通常通过诸如离子色谱的分析仪、用于检测PH变化的检测器、或填充有检测试剂的玻璃管(检波管)来测量气体浓度。所有上述用于控制除气过滤器的使用寿命的方法都是基于气体浓度的测量，如果被测量的气体浓度低于10μg/m3，测量需要依赖于能够分析微量气体的分析仪。尽管这种分析仪具有高的分析精度，但是这种分析仪是昂贵的，并且需要对分析程序熟练的操作员进行操作。

发明内容
本发明的目的是提供一种除气过滤器，它能够在短时间内检测离子交换器的离子交换基消耗率，并且能够容易地检测剩余吸附能力而不需要测量气体浓度。
根据本发明的除气过滤器具有用于吸附气体的离子交换器和设置在离子交换器上的至少一对电阻测量电极。
通过测量设置在离子交换器上的至少一对电阻测量电极之间的电阻变化，可以评估出离子交换器的离子交换基消耗率。离子交换器的离子交换基消耗率可以在短时间内被测量，而且离子交换器的剩余吸附能力可以很容易地知道。
根据本发明的除气方法包括如下步骤将至少一对电极放置在具有离子交换器的除气过滤器上，以测量离子交换器的电阻；用电阻测量装置测量电极之间的电阻；以及从电阻变化评估出离子交换器的离子交换基消耗率，以管理离子交换基的已消耗量。
通过上述方法，可以在短时间内很容易地管理除气过滤器的使用寿命，而不需要分析微量气体的分析仪，诸如离子色谱、气体色谱等。因此，可以容易地管理无尘室等的清洁度。
在根据本发明的一种采用除气过滤器的方法中，当离子交换器的电阻将被测量时，优选地调节离子交换器周围的湿度。特别是当离子交换器周围的湿度被调节到较低时，离子交换器不会受到水分的影响，因此，离子交换器的离子交换基消耗率能够被精确地评估出来。
通过以下结合附图的详细描述，本发明的上述和其它目的、特征以及优点将更加明显，所述附图以示例方式显示了本发明的优选实施例。


图1是一个显示除气过滤器中的离子交换器的离子交换基消耗与除气过滤器的去除效率之间关系的曲线图；图2是包括根据本发明第一实施例的除气过滤器的洁净箱的主视图；图3是根据本发明第一实施例的除气过滤器的平面图；图4是沿着图2的IV-IV线的剖视图；图5是沿着图3的V-V线的剖视图；图6是显示在图4和5中的除气过滤器的剖视图，相关部件也被显示；图7是用于测量包括在洁净箱中的除气过滤器的使用寿命的设备的示意图；图8是根据本发明第二实施例的波纹型除气过滤器的立体图；图9是显示在图8中的波纹型除气过滤器的一部分的立体图，它带有用于测量电阻的离子交换器样品；图10是显示在图9中的离子交换器样品的分解立体图；图11是用于测量根据第二实施例的波纹型除气过滤器的使用寿命的设备的示意图；图12是一个显示离子交换基消耗与强酸阳离子交换无纺布之间关系的曲线图；以及图13是显示在不同湿度氛围中的类似于图12中曲线的数据的曲线图。
具体实施例方式
图1显示了除气过滤器中的离子交换器的离子交换基消耗率与除气过滤器的去除效率之间的关系。除气过滤器的去除效率可以通过测量除气过滤器中的离子交换器的离子交换基的交换能力来确定。具体地，由于除气过滤器的除气能力是由其中的离子交换器的离子交换基消耗率来确定的，如果已知离子交换基消耗率，那么就可以检测离子交换器的使用寿命(渗漏)，也可以检测其剩余吸附能力。
在图1中，水平轴线表示除气过滤器的离子交换器相对于其总的交换能力已消耗的比例(消耗率)，垂直轴线表示在恒定气体浓度的情况下除气过滤器的去除效率。图1中的数据是在通过离子交换器的空气的两个平均速度下获得的，即，0.05m/s(低速度)和0.3m/s(高速度)。例如，如果除气过滤器的去除效率设定为70％，从图1中可以评估出，当消耗率是70％时将达到除气过滤器在空气速度为0.05m/s情况下的渗漏或者使用寿命。
除气过滤器中的离子交换器的离子交换基消耗率与除气过滤器的去除效率之间的关系通过为过滤器材料所固有的曲线来表示，尽管它根据离子交换器类型(吸附材料)会有所不同。因此，如果能够测量离子交换器的吸附能力的消耗率，那么就可以评估离子交换器的除气能力和使用寿命。
离子交换器的电阻随着包含在离子交换器中的离子交换基的量而变化。因此，如果离子交换器没有使用时的电阻和其在渗漏(使用寿命到期)时的电阻是已知的，那么就可以检测离子交换器的使用寿命是否已经到期(渗漏)。而且，没有消耗的离子交换基的剩余吸附能力可以从离子交换器的电阻评估出来。
根据本发明的离子交换器的使用寿命到期(渗漏)或者离子交换器的消耗率可以通过用于测量离子交换器的电阻的电极和用于测量电极之间的电阻的电阻测量装置来测量，而不需要诸如气体色谱等的分析仪。为了测量离子交换器的纯电阻，优选地在离子交换器上设置一个绝缘装置，用于防止离子交换器受到邻近的离子交换器中的导体的影响。由于离子交换器的电阻很大程度地受到湿度影响，优选地调节测量氛围，以使环境湿度对离子交换器的影响最小化。
在测量离子交换器的电阻时使用的温度调节装置包括冷头源和控制器。冷头源可以包括制冷机、冷却塔、冷却水泵、锅炉、油箱、储热器、热水储存器、热交换器、风扇螺管装置等，风扇螺管装置与通风/空气供应装置一起使用。制冷机以不同的制冷循环运行，包括蒸汽压缩循环、吸附制冷循环、空气冷却循环、以及珀尔帖效应。制冷机中使用的制冷剂可以是碳氟化合物、氨水、水或者空气。在测量离子交换器的电阻时使用的湿度调节装置包括一组加湿器和去湿器。加湿器可以是电热加湿器、离心加湿器、超声波加湿器等。去湿器通过采用珀尔帖效应、冷却环境和回收冷凝水、采用固态聚合物电解膜、或者采用诸如硅胶、沸石、分子筛等的去湿剂来去除环境空间的湿气。替代地，将被去除湿气的环境空间的湿度可以通过输送干空气或者惰性气体到环境空间中来调节。
控制器可以根据自动控制方法或手动控制方法来运行。通常采用自动控制方法。根据信号如何被传递以及所采用的运行动力源类型，自动控制方法可分为自驱动的方法、电方法、电子方法、气动方法、电子/气动方法等。自驱动的方法是这样一种方法，其中，探测器所获得的力被直接传递到调节装置和运行装置以控制运行，而不需要诸如电源或者空气源的动力源。自驱动的方法通常是通过热膨胀阀、防止瀑布阀(water fallprevention valve)等来实现的。电方法采用电信号传递系统和电运行动力源，但是在调节机构中不需要电子放大机构。电方法广泛用于简单的方法控制和不需要高精度的控制。电子方法在调节机构中采用电子放大机构，并且将所检测的信号放大成用于使运行装置运动的运行信号。电子方法能够实现高度精确的控制和复杂的控制，并且它能够使控制系统快速反应。气动方法采用压缩空气传递信号并且驱动运行装置，它能够产生大的运行动力并且广泛使用在大规模的建筑中。电子/气动方法是基于电子和气动方法的组合，并具有电子探测机构和气动运行系统。电子/气动方法用于高度精确地控制。用于温度/湿度调节系统的方法控制是基于反馈控制方法。反馈控制方法可以双位模式进行，双位模式是开-关控制模式、多位模式、单速模式、比例模式、积分模式、和微分模式。以上任何一种方法可用于温度和湿度调节装置以及控制过程。
用于除气过滤器的离子交换器具有多种类型。例如，离子交换器可以包括粉状或颗粒状的离子交换树脂、空心丝、离子交换纤维、离子交换无纺布或机织织物、发泡体、或者它们的加工品。根据本发明的离子交换器可以具有以上任何一种材料和它们的加工品，但优选地是离子交换纤维的形式或者诸如无纺布的片状。
离子交换无纺布或者纤维可以包含通过辐射接枝聚合反应引入的离子交换基。具体地，诸如聚乙烯和聚丙烯的有机聚合物或者诸如棉花、羊毛等自然聚合物的纤维或机织织物制成的基底材料通过诸如电子束、γ射线等辐射源辐射，以产生多个活性点，它们具有较高活性并被称作官能团。单体化学地结合到这些官能团上，以使单体具有不同于基底材料性能的特性。这个工艺称作接枝聚合反应，因为单体被接枝到基底材料上。当具有作为离子交换基的磺酸基、羧基、氨基等的单体诸如苯乙烯磺酸钠、丙烯酸、或芳基胺等通过辐射接枝聚合反应结合到聚乙烯无纺布基底材料上时，形成无纺布离子交换器，其离子交换率高于通常被称作离子交换树脂的离子交换珠的离子交换率。类似地，在氯甲基苯乙烯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯腈、或丙烯醛等通过辐射接枝聚合反应结合到基底材料上之后引入离子交换基时，基底材料转换成离子交换器并保持其形状。
用于测量离子交换器的电阻的电极包括施加到片状形式的离子交换器上的一对、两对或者多对电极。电压被加到电极之间，在电压作用下流过电极之间的电流被精确地测量。离子交换器上的电极通过导线被连接到除气过滤器构架上的终端，诸如电阻计的电阻测量装置的终端与除气过滤器构架上的终端接触，以测量离子交换器的电极之间的电阻。离子交换器上的电极优选地是由蒸镀碳膜、导电糊状物涂层膜等制成的，因为这些材料在电极与离子交换器之间不产生电阻。无论如何，电极材料优选地是具有高导电性，并且优选地是能够牢固地结合到离子交换器上，而不会在电极和离子交换器之间形成显著的接触电阻。
如上所述，将被测量的离子交换器需要高精度地测量其自身电阻。但是，如果有导电材料存在于附近的离子交换器中，由于其它离子交换器的导电材料的存在可能会改变将要测量的电阻。为了消除导电材料的影响并且高精度地测量离子交换器的电阻，优选地是将绝缘装置施加到离子交换器的表面上。如果离子交换器附近的任何导电材料没有不利的影响，可以不需要这种绝缘装置。电阻测量装置优选地是一个电阻计，并且更优选地是具有103到1015欧姆的电阻测量范围。
多种不同的电阻计可以作为商品获得。通常，可获得的电阻计具有的适用电压范围为DC 1V到DC 10,000V，电流范围为1A到10-12A，可以测量的电阻范围为1到1016欧姆。按照欧姆定律，被测电阻越高，供给到电阻的被测电流越小。任何能够测量大约10-12A的非常小的电流的绝缘电阻计都是非常昂贵的。因此，优选地是调节DC电阻到103至1011欧姆，或更优选地是到104至109欧姆。
离子交换器的电阻由于受到测量环境的温度和湿度的影响而易于改变。为了稳定地测量电阻，必须保持测量环境在一定的温度和湿度范围内。例如，如果离子交换器具有磺酸基，那么结合水的量与磺酸基的交换能力是相互相关的。由于结合水的量随着周围环境湿度而变化，如果测量环境的湿度改变，电阻将发生变化。因此，为了从离子交换器的电阻精确地检测离子交换基的交换能力，必须在一定范围内调节测量环境的温度和湿度。
电阻测量环境可以按照±5℃的温度差在15至30℃范围内进行调节和按照±5％的湿度差在1至60％范围内进行调节。优选地在已调节的电阻测量环境已经保持至少5至180分钟之后测量电阻。可以通过采用加湿器和去湿器、或者将干空气、惰性气体或调节到一定湿度的气体供给到被测量的离子交换器周围的空间中来调节湿度。优选地设置一个温度/湿度测量装置，以自动或手动地控制测量环境的温度和湿度。供给干空气、惰性气体或调节到一定湿度的气体的速率可以自动或者手动地控制。
图2至5显示了包括根据本发明第一实施例的除气过滤器的洁净箱。显示在图2至5中的洁净箱用于储存或者输送例如半导体晶片，使半导体晶片保持在一个十分干净的环境中。
如图2至5所示，洁净箱主要包括用于容纳盒子C的壳体1，盒子C装有一排诸如半导体晶片等的基片；用于密封地盖住壳体1上的开口的门2，盒子C通过该开口放入和从壳体1中取出；其中安装有去除颗粒过滤器和除气过滤器并且与壳体1连接的空气清洁器3；以及其中装有电缆并且与空气清洁器3连接的外罩5。
空气清洁器3包括诸如HEPA过滤器或ULPA过滤器的去除颗粒过滤器6；装有除气过滤器7的过滤器壳8，除气过滤器7包括根据本发明的离子交换器；鼓风机9；去湿器10；以及使这些元件与外界环境隔绝的过滤器装置罩11。除气过滤器7具有片状形式的离子交换器，并且与电极相联系，电极用于测量除气过滤器7在电极之间的那部分的电阻。门2具有用于以新鲜空气更换洁净箱中的空气的出入口22、用于测量洁净箱中的温度和湿度的装置、以及用于将被测量信息传递到外部电路的装置23。
图6以剖视图形式示出了除气过滤器7以及相关部件。如图6所示，除气过滤器7具有阳离子交换器12和阴离子交换器13，它们分别捕获阳离子和阴离子，并将阳离子和阴离子从洁净箱内的气流中去除。阳离子交换器12和阴离子交换器13覆盖有相应的绝缘膜14，以防止附近的洁净箱中存在的任何导电材料的影响。相应的电极对15安装到阳离子交换器12和阴离子交换器13上，以测量它们的电阻。外部电极16安装到除气过滤器7的构架上并且通过导线17与内电极15电连接。由于离子交换器的电阻由于环境湿度和作用到其上的导电材料可能会改变，静电无纺布、过滤器或去除颗粒装置诸如HEPA过滤器或ULPA过滤器可以设置在阳离子交换器12和阴离子交换器13上游。
过滤器壳8和过滤器装置罩11具有限定在其上的通孔18，以使电阻计20的终端21与外电极16接触。除非测量电阻，通孔18被插塞19封闭。为了测量阳离子交换器12和阴离子交换器13的电阻，取下插塞19以露出外电极16，设置在洁净箱外侧的电阻计20的终端21与外电极16接触，以测量阳离子交换器12和阴离子交换器13上的电极15之间的电阻。
图7显示了用于测量除气过滤器7的使用寿命的设备，该设备具有空气调节功能。该设备包括壳体50、测量终端51、和导线装置52。壳体50中容纳有湿度调节装置，湿度调节装置包括充填有惰性气体或干空气的高压容器53、将高压容器53连接到洁净箱的入口22的供应管装置54、连接到供应管装置54上的开关装置55、连接到供应管装置54以调节从高压容器53供给的惰性气体或干空气的速率的供给气体速率调节装置56、将惰性气体或干空气从洁净箱的出口22排出的排出管装置57、以及连接到排出管装置57以调节从洁净箱的出口22排出的惰性气体或干空气的速率的排出气体速率调节装置58。
壳体50还具有通信装置59，用于通过与洁净箱上的装置23无线或者有线联系来接收洁净箱内的温度和湿度信息、洁净箱的ID信息、洁净箱中的基片的历史信息；以及还具有用于给洁净箱供电的电源装置60。洁净箱的ID信息表示用于在半导体制造工厂中存在的多个容器中识别洁净箱的号码，它是由半导体制造工厂的生产管理系统集中管理的。壳体50还容纳有一个控制器61，用于基于洁净箱内的温度和湿度以及离子交换器的电阻来计算离子交换器的使用寿命，并且记录控制和测量信息。将被记录的测量信息代表洁净箱的ID信息、基片加工历史、测量年月日、设备的ID号码、洁净箱内的温度和湿度、离子交换器的电阻、计算的离子交换器的消耗率、判断的结果等等。控制和测量信息可以传递到半导体制造工厂的主计算机，用于过滤器使用寿命的管理。
以下将描述用于测量除气过滤器7的使用寿命的设备的运行。
当洁净箱位于设备上时，电源装置60电连接到洁净箱上的一个终端上，洁净箱通过从电源装置60供应的电能开始运行。为了搅动和混合洁净箱中的气体，在测量过滤器使用寿命时洁净箱中的鼓风机9最好运转。如果洁净箱中包括一个去湿装置，那么去湿装置最好也运转，以便将洁净箱中的湿度保持在所需水平。
洁净箱上的装置23将洁净箱内的温度和湿度信息传递到设备的通信装置59。如果洁净箱内的温度和湿度位于给定范围，例如如果洁净箱内的温度在20到25℃，洁净箱内的相对湿度在5到15％范围内，该设备进入备用状态，以便在它运行一定时间之后测量电阻。随后，该设备自动或手动地被运行以测量离子交换器的电阻，控制器61计算并判断离子交换器的使用寿命。可以一次测量一个离子交换器的电阻或者同时测量所有离子交换器的电阻。如果洁净箱内的湿度处于所需范围之外，湿度调节装置将惰性气体或干空气供应到洁净箱中。在洁净箱内的湿度达到所需范围之后，该设备开始测量电阻。在该实施例中，高压容器53显示作为湿度调节装置的一部分，半导体制造工厂中的设施可用来替代将惰性气体和干空气供给到洁净箱中的高压容器53。用于测量洁净箱内的湿度和温度的装置可以与该设备而不是洁净箱相联系。如果用于测量洁净箱内的湿度和温度的装置与该设备相联系，可以取消洁净箱中的一些部件和通信装置。如果洁净箱具有去湿装置，湿度调节装置可以省略。
在上述实施例中，测量终端51连接到除气过滤器7的上壁。但是，测量终端用的通孔18可以形成在洁净箱的侧壁、下壁或后壁上，尽管通孔18这样形成，测量终端51可以相应地设置以便实现连接。
测量终端51可以设置在洁净箱与设备配合的一部分上，当洁净箱放置在设备壳体50上时，测量终端51可以穿过通孔18自动地连接到电阻测量终端。替代地，测量终端51可以被设备壳体50上的罩所隐蔽，并且可以根据洁净箱放置到设备上或根据测量电阻的命令与洁净箱内的电阻测量终端连接。
图8至11显示了根据本发明第二实施例的波纹型除气过滤器。如图8所示，根据本发明第二实施例的波纹型除气过滤器包括波纹片状的离子交换器30、分别插入在相邻的波纹片之间以便在它们之间提供均匀空气通道的分隔件31、以及固定离子交换器30和分隔件31的外部构架32，它们通过粘合剂结合在一起。
如图9所示，一个开口33形成在波纹型离子交换器30的一个条带上，电阻测量装置34放置在开口33中。具体地，电阻测量装置34包括片状离子交换器35，离子交换器35与离子交换器30的材料相同并且与开口33的尺寸相同，它被放置在开口33中，电极36安装到离子交换器35上，以测量离子交换器35的电阻。
图10以分解立体图显示了电阻测量装置34。如图10所示，电阻测量装置34具有夹在绝缘片38和另一绝缘片38a之间的片状离子交换器35，绝缘片38具有形成在其上的开口37，以使相应的电极36穿过。电极36固定地安装到片状离子交换器35上，而不会在它们之间形成接触电阻。电极36通过相应的导线40电连接到相应的终端39。终端39设置到如图8所示的过滤器构架32上，以便连接到外部电阻计的相应终端上。终端39可替代地位于邻近的除气过滤器的导管等上面。无论如何，离子交换器的离子交换基的消耗可以通过测量其电阻而很容易地检测到，而不需要取出除气过滤器。
电阻测量装置34包括与将被测量的离子交换器的材料相同的离子交换器样品，离子交换器样品装有电极。这种电阻测量装置被安装到将被测量的离子交换器的一部分上。这样安装的电阻测量装置34使得除气过滤器中的离子交换器的离子交换基的消耗很容易地被测量。第二实施例易于适用于除气过滤器被安装的地方，例如，无尘室、半导体制造厂、液晶基片制造厂、和用于储存不同基片的储存室的空调系统。
图11通过示例显示了第二实施例应用到半导体制造设备71中的空调离子交换过滤器时的原理。半导体制造设备71具有两个空调系统，即，用于使半导体制造设备71中的空气循环的循环系统和将外部空气引入半导体制造设备71中的空气吸入系统。循环系统包括第一鼓风机72、循环系统除气过滤器73、去除颗粒过滤器74、第一温度/湿度测量装置75、温度/湿度调节装置76、以及第一空气速率调节气门77。空气吸入系统包括第二鼓风机78、空气吸入系统除气过滤器79、第二温度/湿度测量装置80、以及第二空气速率调节气门81。使用寿命测量设备包括控制器82和导线装置83。循环系统除气过滤器73和空气吸入系统除气过滤器79分别与电阻测量装置34结合，电阻测量装置34通过导线装置83与控制器82连接。半导体制造设备71中的温度和湿度被控制以便等于或者大于无尘室内的温度和湿度，并且保持在基本恒定的水平。因此，安装在半导体制造设备71中的离子交换过滤器的电阻能够被连续地测量，从而使得这些离子交换过滤器的使用寿命也能够被连续地测量。控制器82能够将测量数据记录成数字数据或模拟数据，并且能够根据外部计算机终端的请求将记录的数据传送到外部计算机终端。
图12和13显示了离子交换器的离子交换能力与其电阻之间的关系的不同数据。图12显示了环境温度为23℃和50％的相对湿度时强酸阳离子交换无纺布的离子交换基消耗率与其被测电阻之间的关系。离子交换基消耗率C(％)通过下列等式定义C＝(P-L)/P×100
其中P表示在初始状态的总交换能力(当量数)，L表示离子交换器已经使用之后其剩下的剩余交换能力(当量数)。
图13显示了环境温度为23℃和3％的相对湿度时强酸阳离子交换无纺布的离子交换基消耗率与其被测电阻R之间的关系。从图12和13可以看出，离子交换基消耗率C和被测电阻R基本上相互线形地相关，当环境湿度较低时，电阻R较高，由于离子交换基的消耗而导致电阻更大的变化。因此，优选地是测量电阻，同时使离子交换器保持较低的湿度，以便更精确度地测量离子交换基的消耗率。关于根据本发明的洁净箱，优选地是通过洁净箱内的去湿器使洁净箱中的湿度保持在较低水平，并且在这种低湿度环境中测量离子交换器的电阻。
已经参照根据本发明的用于测量离子交换器的电阻的装置描述了上述实施例，这些装置与包括在洁净箱中的除气过滤器以及通常用于空调系统的波纹型除气过滤器结合。但是，本发明的原理也适用于不同类型的除气过滤器。图12和13显示了阳离子交换无纺布的离子交换基消耗率与其被测电阻之间的关系。但是，这种基本上相同的线形关系也出现在阴离子交换器中。因此，本发明适用于不同的离子交换器。
根据本发明，如上所述，可以在短时间内很容易地测量离子交换器的电阻，而不需要分析微量气体的分析仪，诸如气体色谱等。因此，离子交换器的离子交换基的消耗和其剩余吸附能力可以在短时间内很容易地评估出来。结果，更换包括离子交换器的除气过滤器可以很容易地管理，以将不同的无尘室保持在所需的清洁水平。
尽管已详细显示和描述了本发明的一些优选实施例，但应理解的是，在不脱离权利要求书的范围的情况下，可对本发明进行的不同修改和改变。
权利要求
1.一种除气方法，包括使用具有离子交换器的除气过滤器；测量离子交换器的电阻；以及从所测量电阻评估出离子交换器的离子交换基消耗率。
2.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述离子交换基消耗率是从提前获得的离子交换器的电阻与其离子交换基消耗率之间的关系评估出来的。
3.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述测量电阻包括将一对电极加到所述离子交换器上；以及通过电阻测量装置测量所述电极之间的电阻。
4.如权利要求3所述方法，其特征在于，还包括取出所述离子交换器的一部分作为样品；将所述电极加到所述样品上；以及将所述样品安装到所述离子交换器上的所述部分被取出的位置。
5.如权利要求1所述方法，其特征在于，还包括当离子交换器的电阻将被测量时调节所述离子交换器周围的湿度。
6.一种除气过滤器，包括离子交换器；以及用于测量所述离子交换器的电阻变化的测量装置，所述电阻变化是所述离子交换器吸附气体时引起的。
7.如权利要求6所述的除气过滤器，其特征在于，所述测量装置包括至少一对加到所述离子交换器上的电极。
8.如权利要求6所述的除气过滤器，其特征在于，所述离子交换器的一部分被作为样品取出，所述测量装置被加到所述样品上，并且所述样品被安装到所述离子交换器上的所述部分被取出的位置。
9.如权利要求6所述的除气过滤器，其特征在于，所述测量装置被安装到所述离子交换器上并且通过导线被连接到除气过滤器构架上的终端，从而所述离子交换器的电阻可以通过所述终端被测量。
10.如权利要求9所述的除气过滤器，其特征在于，还包括用于测量所述电阻的电阻计。
11.如权利要求10所述的除气过滤器，其特征在于，所述离子交换器包括离子交换无纺布或纤维。
12.如权利要求7所述的除气过滤器，其特征在于，所述电极是由导电材料的蒸镀膜或者导电糊状物涂层膜制成的。
13.一种具有如权利要求6所述的除气过滤器的除气设备。
14.一种具有如权利要求6所述的除气过滤器的无尘室。
15.一种具有如权利要求6所述的除气过滤器的洁净箱。
16.一种用于测量除气过滤器使用寿命的设备，包括用于测量具有离子交换器的除气过滤器的电阻的测量装置；用于测量通过所述除气过滤器的气体的温度和/或湿度的测量装置；以及控制器，用于根据所述电阻、温度和/或湿度、和已知的检测数据进行计算，以评估出除气过滤器的离子交换基消耗率或离子交换能力。
17.如权利要求16所述的设备，其特征在于，还包括通信装置，用于将所述离子交换基消耗率或所述离子交换能力传递到外部装置。
18.一种具有如权利要求16所述设备的半导体制造设备。
19.一种具有如权利要求16所述设备的液晶基片制造设备。
20.一种具有如权利要求16所述设备的基片储存设备。
全文摘要
除气过滤器具有用于吸附气体的离子交换器和设置在离子交换器上的至少一对电阻测量电极。通过测量设置在离子交换器上的所述至少一对电阻测量电极之间的电阻变化，可以评估出离子交换器的离子交换基消耗率。离子交换器的离子交换基消耗率可以在短时间内被测量，离子交换器的剩余吸附能力可以很容易地知道。
文档编号G01N27/04GK1408461SQ02143550
公开日2003年4月9日 申请日期2002年9月27日 优先权日2001年9月27日
发明者田中亮, 铃木庸子, 岸贵士 申请人:株式会社荏原制作所