专利名称：用于光学相干断层扫描的系统和方法
用于光学相干断层扫描的系统和方法本申请是已于2008年2月20日提交的以下国际发明专利申请的分案申请国际申请号PCT/EP2008/052073、国家申请号200880005903. I、发明名称“用于光学相干断层扫描的系统和方法以及用于校准这种系统的方法”。本申请涉及根据权利要求I及14前序部分所述的用于光学相干断层扫描的一种系统以及一种相应的方法。光学相干断层扫描(OCT)是用于对光散射的样本在其内部进行测量的一种方法。生物组织由于其光散射的特性而尤其适合借助OCT的诊断检查。因为OCT适于相对微小的光强，并且所使用的光的波长大多处于近红外区域(750nm至1350nm)，所以它与针对生物组织的电离放射诊断相反而不具有辐射伤害。从而其对于医学是尤其有意义的并且大致接近于超声诊断。在OCT中不是使用声波，而是使用具有非常短相干长度的宽带光。在样本 中不同界限层上所反射的光的传播时间借助一种干涉仪而被探测。利用OCT典型地达到比利用超声高一至两个数量级的分辨率，然而可达到的测量深度明显较小。所获得的横截面图像由于光学散射而仅仅达到组织中几微米的深度。OCT的当前最重要的应用领域是眼科、皮肤科以及癌症诊断。当然其也存在一些非医学应用，比如在材料测试中。由I Y. Oh 等人的 OPTICS EXPRESS (光学快报)第 14 卷第 19 (2006) 8675-8684 公开了一种此类的系统，其中要检查的样本设置在一个由计算机控制的移动平台上。为了获得样本的三维图像，在平台的不同位置记录样本的二维图像。由于与实现移动平台相关的机械耗费以及高的空间需求，该系统仅仅受限地适合内窥镜应用。此外，在不同的样本位置探测样本的二维图像是相对耗时的，在检查活的对象时，其中该对象通常仅能够短时地保持确定的静止位置，这可能导致图像信息的�：４送庠谡庵窒低持胁⒉蛔苁悄芄槐Ｖび裳舅竦玫耐枷裥畔⒌淖愎磺逦鹊某上�。本发明的任务在于，提供一种用于光学相干断层扫描的系统以及相应的方法，其中可以以更简单和更快速的方式来可靠记录样本的尽可能清晰的图像。该任务通过根据权利要求I所述的系统以及根据权利要求14所述的相应方法或用于校准的方法而得到解决。根据本发明的用于光学相干断层扫描的系统，其具有至少一个干涉仪，该干涉仪用于输出用来照射样本的光，样本物镜的样本臂，通过该样本物镜把由该干涉仪所输出的光聚焦到位于该样本中的焦点上，探测器，该探测器用于探测由该样本所反射的光，其特征在于，所述系统具有用于控制所述系统的控制单元使得在探测分别在该样本的不同深度中反射的光期间，该样本物镜的成像特性发生改变。用于光学相干断层扫描的方法，由至少一个干涉仪来输出光，利用该光来照射样本，由该干涉仪输出的光被样本物镜聚焦到位于该样本中的焦点上，以及由该样本所反射的光由探测器来探测，其特征在于，在探测分别在该样本的不同深度中反射的光期间，该样本物镜的成像特性发生改变。在本发明的系统的变型中，该系统包括干涉仪，该干涉仪具有分束器和至少一个反射器，该反射器与分束器的光学距离能够变化；样本物镜，由干涉仪所发出的光通过该样本物镜被聚焦到该样本中的焦点上；以及用于探测由样本所反射的光的探测器，并且其特点在于，在改变该反射器到分束器的光学距离期间，分别在该样本的多个不同深度中被反射的光由该探测器探测，并在探测分别在样本的不同深度中反射的光期间以如下方式来改变该样本物镜的成像特性使焦点位于该样本的相应深度的范围中。本发明的上述变型所基于的想法是，通过改变该反射器到分束器的光学距离来实施一种所谓的深度扫描或者Z扫描，其中来自样本不同深度的干涉图案被探测，其中该样本物镜的焦点与该反射器的光学距离的改变相同步地以如下方式被改变，使得它落入样本中的相应深度的范围中，由该深度正好探测到一个干涉图案。这样，入射到该样本中的光的焦点在该深度扫描期间就被跟踪，这因此也可以称作“Fokus Tracking,焦点跟踪”。通过在深度扫描期间把样本物镜的焦点适配于相应要读出的深度，实现了使从样本的确定深度所获得的干涉图案总是能够以最大可能的清晰度在该探测器上被成像和探 测。由于借助反射器到分束器的光学距离的优选宏观上改变而对深度扫描的实现，此外还可以放弃移动的平台，由此根据本发明的OCT系统在构造更简单和更紧凑的情况下实现了样本的三维图像更快速的生成。反射器到分束器的光学距离通过该反射器到分束器的空间距离来给出，其中该空间距离乘以了位于该反射器与该分束器之间的介质的折射率。在该干涉仪作为所谓自由辐射干涉仪的一种扩展中，其中在该反射器与该分束器之间存在空气或真空并且折射率大致等于1，该反射器的光学距离以及该光学距离被改变的光程等同于其空间距离或空间路程。替代地，在该干涉仪作为所谓光纤干涉仪的一种扩展中，可以在该反射器与该分束器之间设置光导元件尤其光导纤维，其光学长度可以有针对性地被改变一个光程。这种光纤也称作“Fiber Stretcher”(光纤延伸器)。在这种情况下，所述光学距离以及光学距离被改变的光程通过该空间距离或者该空间距离被改变的空间路程与该光导元件的折射率相乘而得到，其中该折射率典型地处于I. 5的范围中。最好设置参考镜，其中，该样本物镜的成像特性以如下方式发生改变在该样本中的每个被采样深度中，一方面在该参考镜上的被照射面与另一方面在该样本的相应深度上的被照射面是一致的。在另一个优选实施例中，该系统具有参考臂，其中，该样本物镜的成像特性以如下方式发生改变相应的被照射面的、通过该参考臂和该样本臂在参考臂和样本臂共同图像平面中的成像是一致的并精确地重叠。此外最好，在所述样本的相应深度的中心，所述样本臂和参考臂的像场拱曲尽可
能一致。在另一个本发明的有利的实施方式中，在所述参考臂中设置有参考物镜，所述样本物镜和参考物镜被实施为不同的。最好，穿过该参考物镜的光程短于穿过该样本物镜的光程。在一个本发明特别优选的实施方式中，所述探测器具有多个布置在一个平面上的探测器单元。如果样本不同深度的在样本图像和参考图像的图像中心与图像边缘之间的光程差是如此之�。敲蠢醋愿醚静煌疃鹊拇飧缮娼峁沟目占淦德首苁切∮诟锰讲馄鞯姆直媛省�
在本发明的一个优选实施方式中，用来照射所述样本的光在空间上是短相干或者非相干的。在本发明的另一个优选的实施中，规定该样本物镜至少包含一个自适应透镜，该透镜的成像特性与该反射器到该分束器的光学距离的改变相同步地如此被改变，使得焦点位于该样本的相应深度的范围中。通过采用自适应透镜比如油-水透镜，该样本物镜的焦点可以以简单的方式被跟踪。替代地或者附加地，规定该样本物镜包含有一个或多个可移动地设置的透镜，其位置与该反射器到分束器的光学距离的改变相同步地如此被改变，使得焦点位于该样本的相应深度的范围中。由此在同时的高成像质量的情况下实现了尤其精确的焦点跟踪。在该实施中优选的是，该反射器到分束器的光学距离的改变以一个第一速度来进行，并且透镜的位置以一个第二速度来改变，其中该第二速度小于该反射器到分束器的光学距离改变的第一速度。这样，就实现了该样本物镜的焦点在整个深度扫描期间位于样本的相应深度范围中。
在此优选的是，该反射器到分束器的光学距离改变的第一速度与透镜的第二速度之比根据样本的折射率来选择。优选地，该第一速度与该第二速度之比处于在约O. 8 · (2 · η-i)与I. 2 · (2 · n_l)之间的范围中。该第一速度与该第二速度之比尤其处于约2 ·η-1。这样，就实现了尤其精确地把焦点适配于该样本的相应深度，由此来探测干涉图案。在本发明的另一扩展中，设置了压电执行器尤其是压电超声驱动器，通过该执行器可以在一个方向上改变该透镜或者说该样本物镜的透镜的位置。由此实现了透镜位置迅速而精确的改变。此外，还优选的是，在反射器的区域中以及在该样本物镜的透镜的区域中相应设置一个位置传感器，该位置传感器可以探测该反射器到该分束器的光学距离或者说透镜的位置，并可以将其转换为相应的距离信号或位置信号。这些信号优选地被输送给一个控制单元，该控制单元根据该距离信号来控制该反射器到该分束器的光学距离，和/或根据该位置信号来控制透镜的位置。替代地或者附加地，该控制单元根据透镜的位置信号来控制该反射器到该分束器的光学距离，和/或根据该距离信号来控制透镜的位置。由此以简单的方式实现了一方面该反射器到该分束器的光学距离的改变与另一方面该样本物镜的焦点的改变之间的同步。优选地，该探测器作为二维探测器阵列来构造，其中大量探测器单元如此设置在一个面上，使得在样本的确定深度的平面的不同横向位置上可以同时地探测大量反射，这样对于在该样本的确定深度中的每个平面都可以位置分辨地探测到二维干涉图案。横向分辨率、也即所探测的干涉图案的位置分辨率在此并不是如在现有技术所公开的系统中一样通过照明射线的直径来给出或限定。该探测器优选地是以CMOS技术的半导体探测器，其具有典型的640X512个探测器单元(像素)。由于根据本发明在样本的确定深度的平面中的不同横向位置上同时(“并行”)地探测大量反射，所以这种OCT也被称作“并行0CT”。在本发明的另一优选实施中规定，该反射器到该分束器的光学距离可以改变一个光程，该光程明显大于耦合入该干涉仪中的光的平均波长。在该实施中，在把该反射器到该分束器的光学距离改变该光程期间，由在样本的不同深度上的、其中出现干涉的多个二维截面所反射的光被探测器探测，而不必为此相对于测量头来移动该样本。本发明的这种实施所基于的想法是，如此来实现深度扫描，即该反射器到该分束器的光学距离被改变了宏观光程(的大小)，并且在宏观的距离变化期间由样本所反射的光相继利用优选二维的探测器而被探测。在此，满足出现干涉的相干条件的深度或深度范围与该反射器的光学距离的宏观变化同步地穿过该样本，使得在样本的不同深度的平面上所反射的光可以相继被探测、被分析、并最后被组合为样本的一个三维图像。相对于现有技术中所公开的系统和方法，由此能够以尤其简单和迅速的方式来记录该样本的三维图像。耦合入该干涉仪中的光的平均波长典型地处于红外频谱范围中，优选地在750nm与1350nm之间。在宽带光源的情况下，光的平均波长优选地处于如下频谱范围中，在该频谱范围中该光源具有强度最大值。对此替代地，该平均波长通过由该光源所发射的所有波长的一个平均值来给出。 优选地，在该实施中规定，该反射器到该分束器的光学距离周期地以一个幅度而被改变，其中该幅度明显大于耦合入该干涉仪中的光的平均波长。由此以简单的方式实现了该光学距离的改变。该光学距离被改变的光程或者幅度优选地比耦合入该干涉仪中的光的平均波长大至少100倍、优选1000倍。由此实现了在特别大的深度范围上对要检查的样本的图像的探测。典型的光程或者幅度处于在约O. I毫米与几毫米之间的范围中。在本发明的另一优选扩展中规定，在改变该反射器与该分束器之间的光学距离期间，由该样本所反射的光从该样本的至少100个不同深度被该探测器的探测器单元探测。这样，就实现了在改变该光学距离时在一个移动周期期间从要检查的样本探测100个或更多的图像。记录样本的完整三维图像所需的时间由此被大大缩短。在根据本发明的、一种用于校准光学相干断层扫描的系统的方法中，由干涉仪输出光，该光穿过样本物镜，并由该样本物镜被聚焦到位于该样本之上或之中的焦点上。该方法特点在于，穿过该样本物镜的光的一部分在一个参考面上被反射，并针对该样本物镜所具有的一个或多个透镜的多个不同位置而被探测，并被转换为相应的探测器信号。优选地，在该样本物镜的样本侧一端上所设置的材料层的外侧用作该参考面。该材料层优选地由蓝宝石玻璃(Saphirglas)制成，并构成样本臂的末端或样本物镜。在该OCT系统的诊断模式中，该材料层直接与要检查的样本相接触，而它在根据本发明的校准方法、也即在该OCT系统的校准模式中用作参考层或参考面，穿过该样本物镜并在诊断模式中被设置用于照射该样本的光的一部分在该参考层或参考面上被反射并被该探测器探测。优选地，从在该参考面上所反射并利用该探测器所探测的光中来探测该或这些透镜的以下位置在所述位置上被反射并被探测的光的强度、也即相应探测器信号的最大幅度是最大的。此外，优选的是，该干涉仪包含有分束器和至少一个反射器，其中该反射器到该分束器的光学距离被改变，并且光的、在该参考面上被反射的部分针对该反射器的多个不同光学距离被探测，并被转换为相应的探测器信号。该或这些透镜的位置尤其与该反射器到该分束器的光学距离同步地被改变。借助该探测器信号来探测该反射器与该分束器的以下距离在所述距离上相应探测器信号的最大幅度是最大的。通过本发明的上述优选实施，可以以简单的方式来确定透镜的位置以及反射器的距离，其中在该样本中焦点的位置和相干门的位置是一致的。在校准模式中，该反射器的光学距离和/或透镜的相应位置被探测，并连同相应的探测器信号一起被存储。最后从所存储的信息中来确定其中反射器信号最高处的透镜的位置和/或反射器的光学距离。如此确定的位置以及光学距离在诊断模式中被设定为透镜或反射器的起始位置或起始距离。根据本发明的校准方法由此能够以简单的方式来对OCT系统进行校准，其中由该系统保证了在整个诊断运行期间记录具有高强度的清晰图像。在本发明意义上，“利用由干涉仪输出的光来照射样本”理解为将由包含可移动的反射器的干涉仪输出的光直接投射到该样品上或者在穿过了设置在该干涉仪和该样品之间的另一干涉仪之后才将其投射到该样品上。在本发明意义上，“通过探测器或者探测器单元来探测由样品尤其是在样品的不同深度所反射的光”理解为探测器或者探测器单元探测干涉现象的光，所述干涉现象在将由样品尤其是在样品的不同深度所反射的光与在参考镜上反射的光叠加时形成。光的叠加
下面借助附图来详细解释本发明以及本发明的其他有利扩展。其中图I示出了本发明的OCT系统的一个实施例；图2a_b)示出了具有单个截面的样本的两个空间单元；图3a_b)示出了样本的两个横截面以及第二干涉仪的样本臂；图4示出了该第二干涉仪的光学部件的横截面；图5示出了在焦点跟踪的自动校准中的干涉信号以及其分析；图6a_c)示出了在耦合入第一干涉仪中的光的强度不调制和调制时的干涉信号以及其包络；图7示出了用于调制探测器敏感性(Empfindlichkeit)的一种电路的一个例子；图8示出了一种所谓林尼克干涉仪的示例构造；图9a_c)示出了该样本物镜的三个不同位置以及分别所获得的干涉图案；
图10a-b)分别不出了在输入面区域中第一光导体的多模光纤(Multi-mode-Faser)的纵切面的相应片段；图11示出了该第二光导体的光纤束的横截面的一个片段以及该片段的一个放大显示的子区域；图12示出了该探测器面的片段；图13示出了该探测器面以及该第二光导体的入射面和出射面；图14a_b)以横截面示出了第二光导体的扩展方案的两个例子；图15与该第二光导体的单光纤相比较地示出了干涉图案以及该干涉图案的片段；图16示出了该第二光导体的、在入射面区域中的光纤束纵切面的一个片段；图17示出了在第一运行模式中的探测器面；图18示出了具有深度截面的样本的一个空间单元；以及图19示出了具有在确定深度中的二维断层图的样本的一个空间单元。图I示出了本发明的用于OCT系统的一个实施例。在此所选择的、该系统的单个部件的图示是充分示意性的并且是不按比例的。
一个第一干涉仪10具有固定设置的第一参考镜11、一个可移动的第二参考镜12和一个第一分束器13。光源15的光14被稱合入该第一干涉仪10中，被该第一分束器13划分为在固定设置的第一参考镜11方向上的一个第一部分射束2以及在该可移动的第二参考镜11方向上的一个第二部分射束3。这两个部分射束2或3被该固定的第一参考镜11或可移动的第二参考镜12反射，并在该第一分束器13中叠加为一个第三部分射束4，该第三部分射束在该第一干涉仪10的输出区域8中被耦合入一个第一光导体17中，由该第一光导体传导到一个第二干涉仪20，并在那里被耦合入该第二干涉仪20的照明臂21中。耦合入该第一干涉仪10中的光14通过所述的光路并结合该第二参考镜12的移动而被光谱调制，并以该第三部分射束4的形式离开该第一干涉仪10，其中该第三部分射束被耦合入该第二干涉仪20中。从而该第一干涉仪10也被称作预调制器。该第二干涉仪20用作传感器头或测量头，该传感器头或测量头由操作者、比如医生手动地与要检查的样本I、尤其生物组织发生关联，并在必要时被引导到该组织上。该测量头在此构造得如此紧凑，使得其长度优选地相当于一通常的笔、比如自来水笔。为了把该第二干涉仪20设计得如此紧凑，该照明臂21的光轴以及参考臂23(在参考臂23中固定地设置有第三参考镜25)的光轴相对于两个光轴的常规垂直布置(见第一干涉仪10)分别倾斜了 90°，并相互平行。为了把来自该照明臂21或者该参考臂23的光偏转到该第二分束器24中，设置了一个第一以及第二偏转棱镜26或28。该第一、第二和第三参考镜11、12及25不必是狭义上的镜子，而是通常理解为对该第一及第二干涉仪10及20中的光至少进行部分反射的面，因此该第一、第二及第三参考镜11、12及25也可以被称作第一、第二及第三反射器。在该第二分束器24中被叠加的部分射束通过该第二干涉仪20的样本臂22到达该样本1，在那里在具有不同折射率的介质、比如膜或细胞层之间的界限层上被反射，并最后通过该样本臂22和第二分束器24到达该输出臂27中，从该输出臂出发其被耦合入一个第二光导体29中，并通过该光导体被输送给一个探测器物镜31，该探测器物镜把通过该光导体29输送的光放大成像在一个二维探测器30的面上。该探测器30优选是按照CMOS技术的一种半导体探测器，并具有大量设置在一个面上的探测器单元(像素)，典型地是640X512像素。由于由此能够对来自样本I确定深度的一个平面在不同横向位置中的多个反射同时(“并行”)进行探测(Erfassung)，这种OCT也可以被称作“并行OCT ”。在探测落到该探测器30的单个探测器单元上的光时所产生的探测器信号在电路32中被继续处理，并最后被转送给计算机系统16以进行图像显示以及必要时的处理。相对于仅具有一个干涉仪的OCT系统，在这里所述的OCT系统中，为了对耦合入的光14进行频谱调制而对该第二参考镜12的移动、对由该样本I所反射的光的直接探测以及图像探测被划分到三个空间分离的部件上，也即划分到该第一干涉仪10、体现为测量头的该第二干涉仪20、以及该探测器30。通过把该第二参考镜12的移动以及图像探测转移到分立的部件上，该第二干涉仪20、并从而该测量头被构造得非常紧凑并易于操作。这使得本OCT系统尤其适合于应用在要检查的身体的难以接近的外部或内部部位。在下文各节中更详细解释本发明的系统的优选扩展方案以及各个扩展方案的有利组合。I.通过宏观移动该参考镜而进行的深度扫描该第一干涉仪10中的可移动的第二参考镜12具有一个到该第一分束器13的光学距离1，并从一个起始位置N开始、在朝向该第一分束器13的方向上或者在背离该第一分束器13的方向上、以光程长度L或幅度A进行直线的、优选周期的移动，其中该光程长度L或该幅度A至少比耦合入该第一干涉仪10中光14的平均波长λ。大至少100倍、优选1000倍。该光学距离I在此通过该第二参考镜12到该第一分束器13的空间距离与在该第二参考镜12与该第一分束器13之间介质的折射率之乘积来给出。 在这里所示的该第一干涉仪13作为所谓自由辐射干涉仪的优选扩展方案中，其中在该第二参考镜12与该第一分束器13之间存在空气或真空并且折射率约等于1，该第二参考镜12的光学距离I以及光学距离I被改变的光程L与其空间距离及空间路程相同。该第二参考镜12的光学距离的宏观改变在该情况中通过把该第二参考镜12宏观移动一个空间路程来实现，其中该空间路程明显大于耦合入该第一干涉仪中的光14的平均波长λ μ替代地，在该第一干涉仪10作为所谓光纤干涉仪(未示出)的一种扩展方案中，在该第二参考镜12与该第一分束器13之间可以设置光导元件尤其是光导纤维，其光学长度可以有针对性地被改变一个光程。这种光导纤维也被称作光纤延伸器(OpticalStretcher)。在这种情况下，该光学距离以及该光学距离被改变的光程通过该空间距离以及该距离所被改变的空间路程与光导元件的折射率之乘积来给出，其中该折射率典型地处于I. 5的范围中。耦合入该第一干涉仪10中的光14的平均波长λ ^典型地在红外光谱范围中、优选地处于750nm至1350nm之间。在宽带光源15的情况下，该光14的平均波长λ ^优选地处于以下光谱范围中在该光谱范围中该光源15的光14具有强度最大值。对此代替地，该平均波长λ ^通过由该光源15所发射的所有波长的平均值来给出。优选地耦合入该第一干涉仪10中的光14的平均波长λ。处于以下波长范围中在该波长范围中该探测器30具有非常高的、尤其最高的敏感性。在所示的系统中，光14具有约1300nm的平均波长λ ^以及约200nm的一个半值宽度(FWHM)。在光14的平均波长λ ^在比如为I μ m的范围中的情况下，该参考镜12移动的光程长度L或者幅度A从而至少约为O. 1mm、优选地至少约为1mm。在现有技术中参考镜移动的通常的微观幅度是在被耦合入的光14平均波长λ ^的分数数量级上，也即典型地直至I μ m的数量级，与此相反，在所述的系统中以O. Imm直至几毫米的数量级进行该第二参考镜12的宏观移动。在该第二参考镜12的宏观直线移动期间，由该样本I所反射的光通过该第二干涉仪20、该第二光导体29以及该探测器光学元件31而被转送到二维探测器30，并由该探测器在相应确定时间段中相继在多个时间点上被探测并被转换为相应的探测器信号，其中所述的确定时间段等于该探测器30的积分时间。为了能够在由该第三参考镜25所反射的光与由该样本I所反射的光之间产生干涉，必须满足所谓的相干条件，其中该相干条件是这些分别被反射的光波必须具有恒定的相互间相位关系，以便能够相互干涉。由于采用了具有典型为ΙΟμπι的非常短的相干长度的光14，仅仅在该样本I的确定深度或深度范围中才满足恒定相位关系的条件，从而所述深度或深度范围也被称作相干门(Koharenz-Gate )。在所述宏观移动期间该第二参考镜12的每个位置在此都相应于在该样本I中确定深度或者在所述确定深度左右的深度范围，针对所述深度或深度范围该相干条件被满足，这样在由该第三参考镜25所反射的光与由该样本I所反射的光之间能够产生干涉。在该第二参考镜12周期性移动的情况下，该第二参考镜12的周期性移动的两个一半周期分别被用于记录探测器信号。这样通过该探测器30来相继记录来自该样本I不同深度的二维截面。这在图2a)中被示出，其中-代表多个二维截面-示出了穿过该样本I的一个空间单元33的一个第一、第二和第三二维截面34、35及36。这样的二维截面与该第二参考镜12的宏观移动同步地在方向a上“迁移”穿过该样本I的所关注空间单元33，而不必移动该样本本身。 每个截面34、35及36都处于该样本I的深度Tl、T2及T3，其中在这些深度中分别满足相干条件，这样在由该第三参考镜25所反射的光与由该样本I所反射的光之间能够产生干涉。该第二参考镜12的宏观移动结合对该样本I所反射的光的相继的二维探测，从而具有三维深度扫描的效果。图2b)示出作为比较的、在现有技术中所采用的方法。为了获得通过所关注空间单元33的不同深度截面37，该样本I本身必须在方向b上相对于干涉仪而被移动，而该截面38在空间中的绝对位置基本保持不变。上述的把一方面该参考镜12的宏观线性移动、与另一方面利用二维探测器30对样本I所反射的光的探测相结合，相比之下能够明显更易于实现以及更快速地记录该样本
I的期望的空间单元33的完整三维数据组。通过宏观移动该第二参考镜12，在此获得了一个三维断层图，而不是来自确定深度的仅二维的图像。与按照现有技术的系统相反，在用于记录三维数据组的该方法中，不再需要相对于该第二干涉仪20来移动该样本I。这使得所述的OCT系统紧凑、可靠以及易于操作，使得其尤其适合于在活体内的应用。这样所获得的三维数据组允许尤其在生物样本中的精确诊断。在此可以采用具有尤其高效的软件支持的诊断辅助工具，如比如所谓的“3d渲染(3d-Rendering)”，其中三维数据组通过一种专门的软件而被处理，使得在二维监视器上生成准三维的图像。为此，可以作为三维动画来显示比如腔或组织脱落物-接近于计算机断层成像(CT)。2.焦点跟踪上述的OCT系统如此设计，使得在一个完整的行程期间、也即在该第二参考镜12移动的光程长度L或两倍幅度A期间，总是获得具有足够高强度和高清晰度的干涉信号。通过下文详细阐述的焦点跟踪，保证了针对在该样本I中所有深度的干涉信号以及所探测的干涉图案的清晰度是最大的。为此，在对由该样本I所反射的光进行探测期间，该第二干涉仪20的样本侧成像光学系统的焦点如此被调节，使得在该样本I中焦点的位置以及在该样本I中在光反射的情况下满足相干条件并产生干涉的那个平面的位置在记录该样本I的空间单元33的断层图期间的任何时间上基本都是一致的。这在下文中借助图3a)和3b)来示出。图3a)示出了以下的情况，其中该样本臂22的样本物镜41(在此仅简化图示为透镜)的焦点F位于该样本I的一个深度上，其中该深度与该相干门K的位置不一致。在该相干门K中在深度Ti上所探测的样本截面由此并不是精确地清晰成像在该探测器30上(见图I)，如此使得在探测干涉时必须忍受信息损失。相反在图3b)中示出了以下的情况，其中该样本物镜41的焦点F已经如此被调节，使得焦点位于在深度Ti中的相干门K中。相应于该相干门K的相应深度Ti地对该样本物镜41的焦点F的这种跟踪被称焦点跟踪。这样该第二干涉仪20在该深度扫描期间被精确地调节到在该样本I的不同深度Ti上的该相干门K的相应位置上，使得在该样本I的每个深度上都获得具有高清晰度的图像。该最大光学扫描深度Tm表明在该样本I的表面下直至哪个深度都满足用于构造干涉的相干条件，并获得相应的干涉图案。通过焦点跟踪，此外还实现的是，在该样本I中的每个被采样深度Ti中，一方面在该第二干涉仪20中的不可移动的第三参考镜25上的被照射面与另一方面在该样本I的相 应深度上的被照射面是一致的。此外，相应的被照射面的、通过该参考臂23和该样本臂22在参考臂23和样本臂22的共同图像平面27a中的成像是一致的并精确地重叠。下面详细解释用于实现焦点跟踪的所述OCT系统的优选实施。图4示出了在该第二干涉仪20中单个光学部件的布置的横截面。在该样本臂22中的样本物镜41优选地包括多个透镜42，这些透镜可以单独地和/或成组地在朝向该样本I或背向该样本I的方向R上被移动。为此，设置了压电执行器40、尤其超声压电电机,该执行器与该样本物镜41或透镜42相连接，并且将其沿着一个或多个导向装置38、尤其导向棒或导向槽来移动。透镜42的移动优选地与在该第一干涉仪10 (见图I)中参考镜12的宏观移动同步地进行。这样，该样本物镜41的焦点F就跟随着该相干门G，而后者相继穿过该样本I的不同深度T1、T2或Τ3，从这些深度借助该探测器30来记录相应的二维截面34、35或36 (参见图2)。一方面该参考镜12的宏观移动与焦点跟踪的同步与另一方面二维探测器30相结合，保证了在该样本I的不同深度中对多个清晰二维图像截面尤其简单而快速的记录，并从而保证了以高的图像质量来探测一个完整的三维图像数据组。因为该第一干涉仪10和该样本臂22中的光学成像连续地被相互协调，所以由探测器30所探测的对于该样本I中每个深度的干涉信号是最大的，这样获得了非常高的信噪t匕。此外由此还保证了对于在该样本I中所有深度的横向分辨率是最佳的，因为成像的焦点F总是位于该相干门K中。由此获得了具有高对比度的精确的OCT图像。有利地该样本物镜41的透镜42在方向R上的移动速度v2小于该参考镜12的移动速度vl。在此优选地选择该参考镜12与该透镜42的速度之比vl/v2，该比值近似等于
2·η-1，或者位于直至约±20%、优选直至约±10%这些值周围。由此该焦点F的位置和该相干门G以特别高的可靠性相互协调，这可以通过下面的叠加来解释。该样本物镜41的焦点F位于一个样本I中，该样本的折射率η —般不等于一。如果一方面把该样本物镜41在向该样本I的方向R上偏移一个确定的量，那么在该样本中该焦点F就偏移确定的量dF。比如在该样本I的折射率为I. 4的情况下该样本物镜41偏移
O.78mm导致焦点F在该样本I中偏移约dF = 1mm。如果另一方面该参考镜12被偏移确定行程，那么该相干门K就同样偏移确定量dK。比如在折射率η = I. 4时把该参考镜12偏移
I.4mm就得到该相干门K约dK = Imm的偏移。由此在宏观的深度区域上的深度扫描中，在把该参考镜12和该样本物镜41分别偏移同一行程时，该相干门K和该焦点F将彼此分尚地移动。通过对该参考镜12与该透镜42的速度之比vl/v2的上述选择，保证了该相干门K和该焦点F在深度扫描期间在整个所关注的深度范围中相互重叠。在样本具有折射率η=I. 4的上述例子中，该速度之比vl/v2处于约(2 · I. 4-1) ±20%范围中、也即在约1.44至2. 16之间，并且优选地为约2 · 1.4-1 = 1.8。该参考镜12与透镜42的移动的同步优选地以如下方式来进行，即该参考镜12和透镜42在确定时间点分别以恒定的、预定义的和不同的速度V I及v2穿过两个不同的、预定义的空间点。 在穿过该空间点之后，开始记录直至该样本I中预定义深度的实际的OCT信号。在该参考镜12周期性前向移动和返回移动的情况下，在此不仅可以在该参考镜12前向移动期间，而且可以在该参考镜12返回移动期间记录OCT信号。该参考镜12和透镜42的同步在此类似地进行，并且在每次方向变换之后重新调节。其中具有样本物镜41的测量头相对于其中具有该第二参考镜12的第一干涉仪10是可自由地移动的。用于使该透镜移动和参考镜移动同步的、该样本物镜41和参考镜12的机械耦合会导致同步精确度不足。一方面该参考镜12与另一方面该样本物镜41的透镜42的移动的同步从而优选地以电子的方式来进行。在此有利的是，在该参考镜12和该样本物镜41的透镜42的区域中分别设置有位置传感器5或39，该位置传感器探测当前的参考镜位置或透镜位置并转换为相应的位置信号。这两个位置信号被输送给控制单元、尤其是计算机系统16，该控制单元于是相应地控制该参考镜12及透镜42的驱动。该参考镜12及该透镜42的控制优选地借助一种所谓的主-从系统通过位置信号的反馈来进行。在这样一种主-从系统中，在一个第一定位单元中所测量的位置值是针对一个第二定位单元的调节回路的设定值的基础。在该情况中，该参考镜12的第一定位单元的测量位置被乘以一个小于I的系数，并被输送至该透镜42的第二定位单元作为新的设定值。从而，即使在该第一位置单元具有相对大的绝对定位偏差的情况下，该可移动的参考镜12与该透镜42之间的相对定位偏差也被降低。如同通过机械传动一样，这两个部件从而以电子的方式相互耦合，由此这也可以被称作电子传动装置。所述焦点跟踪替代地或附加地可以如此来实现，即在该样本物镜41中设置一个自适应透镜，其成像特性可以有针对性地被控制和改变。比如可以如此来控制一个油-水透镜，使得其曲率半径被改变，由此可以改变其焦点，并可以以简单的方式适配于该相干门的各个位置。在这种情况下，该自适应透镜焦点改变的速度以及该改变的开始必须与上述方法类似地与该参考镜12的移动同步。3.焦点跟踪的自动校准在作为测量头而构造的第二干涉仪20的样本臂22的样本侧端上设置有一个材料层43 (见图4)，该材料层优选地由蓝宝石玻璃制成。该材料层43涂覆在具有防反射层的内侧44上，并且在样本侧的外侧45上优选是无涂层的。
该OCT系统可运行于诊断模式以及校准模式中。在诊断模式中，该诊断模式相当于标准的测量运行，材料层43的样本侧外侧45用一种所谓的折射率匹配胶(IndexMatching-Gel)来涂覆,并且与要检查的样本I相接触，其中从该要检查的样本来记录三维图像。在校准模式中，该样本物镜41的焦点F的相对位置被确定至该相干门K，其中该材料层43的外侧45用作参考面，其中该外侧45在该校准过程期间优选地处于空气中。在校准模式中，针对该样本物镜41的不同位置来测量该OCT信号的幅度，其中该OCT信号由于光从该材料层43过渡到空气中而由光的反射而引起，其中实施了以下的方法步骤，这些步骤借助图4和5来示出a)该透镜组42被带到一个起始位置，其方式是将它尽可能近地向该第二分束器24导送；b)该透镜组42被保持在该位置；c)在该第二参考镜12的宏观移动期间，该干涉信号的最大值的幅度Ai被确定； d)该透镜组42现在从该第二分束器24被向前移动几微米、典型为5 μ m至20 μ m，并保持在该位置；e)针对该透镜42的多个不同位置Pl至Pll来重复步骤c)至d)，其中针对透镜组42的每个位置Pl至Pll获得相应干涉信号的最大值的幅度Al至All ;f)探测该透镜组42的如下那个位置P9 :在该位置上该幅度A9是最大的；g)在该最大值的位置P9附近利用较小的步幅、典型为O. 5 μ m至5 μ m来重复步骤c)至f)，其中确定该透镜组42的如下那个位置P9' :在该位置上该幅度A9'是最大的；h)从分配给该透镜组42的这个位置P9'的参考镜移动中确定可移动的参考镜12的如下位置Xm :在该位置上该干涉信号是最大的。所述校准代替地或者附加地可以以如下方式来实施，即该样本物镜41在校准期间朝向该第二分束器24移动。如果该透镜组42处于位置P9'，并且该参考镜12处于位置Xm，那么相干门位置和焦点位置就一致。所确定的位置P9'或者Xm在诊断模式中被调节为透镜或反射器的起始位置。这样在OCT系统中的改变被自动地校正，而不会为此需要附加的硬件。即使该材料层被污染了或者应该涂覆了折射率匹配胶，所述的方法也是将是有效的，因为那么光从污物到空气或者从胶到空气的过渡会被利用。该方法是非�？焖俚牟⑶医龀中该�。从而其可以经常地被实施，由此保证了该系统的高可靠性。为了进一步提高所述校准方法的精确度，可以在该材料层上设置由玻璃或塑料构成的附加单元、所谓的靶子(Target)。然后针对该附加单元内部的两个或多个深度来实施上述的方法。由此不仅可以校正位移、也即该参考镜12和透镜42的移动的参考点的偏移，而且可以校正可能的非线性。那么在上述的校准方法中采用多个参考面，其中确定了焦点位置和相干门相一致的多个位置对。由此不仅可以校正在这两个定位单元之间的恒定的相对位置偏差，而且可以校正两个单元的相对线性性(Linearitaet)和相对速度的可能的偏差。比如当这两个位置传感器5及39之一的位置敏感性发生变化时，这些偏差比如可能由于位置传感器5及39的老化而产生。总之可以确认的是，在所述OCT系统的诊断模式中，焦点位置和相干门的动态同步在图像质量和可靠性方面带来很多优点。在额外、尤其是规则地应用所述校正模式的情况下，可以在长的时间段上保证这种同步。4.光源强度的调制在所述的OCT系统中，利用探测器30来探测所产生的干涉图案，其中生成相应的干涉信号。该探测器30的、用于采样(Abtasten)该干涉信号的采样速率在此必须如此来选择，使得能够以足够的精确度来探测干涉结构的时间变化。如果应该达到针对深度扫描的高速度，那么这通常要求有高的采样速率。因为一个干涉结构的各个的周期通常必须分别在多个时间点来采样，所以在该样本I的深度方向上最大可能的扫描速度取决于该探测器30的最大可能的采样速率。在采用具有高空间分辨率的快速探测器阵列、也即每长度单元有大量探测器单元的情况下，最大采样速率典型地处于约IkHz的范围中。如果干涉结构每周期四个点被记录，那么在被耦合入的光14的平均波长比如为850nm的情况下，这导致约O. lmm/s的、对于深度扫描的最 大速度。图6a)示出了一个典型的干涉信号的时间曲线，其中该信号用每周期各四个采样时间点P的采样速率而被采样。在该图中示例地示出了该干涉信号的一个周期内的四个这种点。为了提高深度扫描的速度，在本OCT系统中，被耦合入该第一干涉仪10中的光14的强度在时间上被调制。这种调制周期地进行，其中该调制的频率比多普勒频率fD大或小确定量、优选为直至40%，其中该多普勒频率fD通过耦合入的光14的平均波长λ 0与可移动的参考镜12的速度V来得出fD = 2ν/ λ 0Ο这种调制的典型频率处于在IkHz与25kHz之间的范围中。代替地或者附加地，也可以利用调制频率fM来调制由该第一干涉仪10所输出的、第三部分射束4的光的强度，以实现前述的有利效果。该调制在此优选地在该第三部分射束4的光在该第一干涉仪10的输出端8上耦合入该第一光导体17期间进行。但该强度调制也可以在第二干涉仪10中在该第三部分射束4的光输出之前进行。为了对由该第二干涉仪10所输出的光的强度进行调制，优选地设置了一个光学元件，该光学元件比如设置在该第一干涉仪10中或者在该第一干涉仪10的输出端8的区域中，并且在其传输特性或者成像特性上可以有针对性地被改变。从而比如可以通过在该第一干涉仪10的输出端8的区域中的一个自适应光学元件将由该第一干涉仪10输出的、该第三部分射束4的光的强度周期地从“高”到“低”进行切换。但该光学元件也可以设置在该第一干涉仪10的光路中、比如在参考镜11或12与该第一分束器13之间。该调制频率的精确选择根据该光源15的耦合入的光14的平均波长λ ^、深度扫描的期望扫描速度以及该探测器30的最大采样速率来进行。优选地该调制频率如此来选择，使得其等于该探测器30的最大采样速率或者它的整数倍。该最大采样速率在此通过该探测器30的最小帧时间的倒数值来给出。该探测器30的最小帧时间由用于记录一个完整图像的至少所需的时间以及该探测器30的直至能够记录下一图像所度过的最小滞后时间(Totzeit)组成。该最小帧时间通常随着所记录的图像大小的增加而增加。光14的强度调制的波形优选是正弦形或矩形的。后者的波形比如可以简单地通过一个旋转的遮光轮(Chopper-rad) 18 (见图I)来实现。其他的可能性是声-光或电-光调制或液晶调制。也可以直接调制该光源15，其方式是该光源如此被控制，使得它输出具有时间上被调制的强度的光14。代替地或附加地，可以如此来达到相应的效果，即比如设置在该第一分束器13(见图I)之前或之后的一个光学元件在其传输特性或成像特性上进行切换。这样就可以比如通过一个自适应光学元件的相应切换来将第三部分射束4到该第一光导体17中的耦合效率周期地从“高”切换到“低”。利用优选略微与多普勒频率有偏差的调制频率而对耦合入的光14的强度的所述调制在该调制与该干涉信号之间产生了一个低频的差频(Schwebung)。
图6b)示出了由于耦合入的光14的所述调制而产生的差频信号的时间曲线，其中该差频信号如在图6a)的例子中的干涉信号一样用每周期各四个采样时间点P的采样速率而被采样。在该差频信号的采样中，由于其较小的频率，它比在图6a)中的干涉信号的采样需要明显少的每时间单位的采样时间点P，使得在通过选择探测器30而给定的固定采样频率的情况下能够达到明显更高的对于深度扫描的速度。下面更详细解释该方法的另一优点。该探测器30的积分时间相当于如下持续时间在该持续时间期间该探测器30探测在一个时间点P的范围内投射到该探测器单元上的光并在此进行积分。该探测器30优选地如此被驱动，使得该积分时间仅稍短于帧时间。该帧时间在此如此选择，使得它正好等于一个调制周期的持续时间或者其整数倍。在图6b)中所示的差频信号已经通过在两个调制周期持续时间上的积分而被获得。如果提高扫描速度而没有前述的、光14的强度调制，那么该探测器30的帧时间-并且从而该积分时间-必须被变短，因为该多普勒频率会增加并且从而会需要在时间上更密的采样时间点P。但是较短的积分时间会导致每次积分(Integration)和每个探测器单元所收集的光子减少，这由于由光子的统计特性所产生的所谓的肖特噪声而将导致信噪比的降低。为了再次改善该信噪比，所耦合入的光14的强度必须与扫描速度成比例地提闻。相反如果借助光14的上述强度调制来提高扫描速度，那么该积分时间就可以保持恒定。由于光14的调制而仅仅产生了 50%的光损失。在优选的调制频率的情况下，其中该调制频率等于一个帧时间倒数值的二倍，那么就得到了倍数为8的速度提升。在这种情况下，需要光强比在无调制的情况下少四倍，以达到所述的速度提升。由于调制而产生的达50%的光损耗的所述影响从而被过补偿。该光源15的光14的所需强度在所述的方法中从而不必(与无差频的直接采样相反)随着扫描速度而提高，因为在这种情况下该探测器30的积分时间能够保持恒定。光调制的另一优点是减少了一次完整三维深度扫描的数据量。在一个折射率为η= 1.4的组织中在记录横向大小为512X640个像素并且扫描深度为Imm的一个三维数据组时，产生约6G字节的数据。利用光14的上述的强度调制，数据量被降低到750Μ字节。此外，所述直接获得的数据还必须进行附加处理，以显示图像结果。在此降低数据量也是非常有利的，因为由此处理时间被明显降低，并从而图像结果更迅速地出现。优选地如此来选择该多普勒频率和/或该调制频率，使得所产生的差频信号的周期为该探测器30的最小帧时间的整数倍，也即，该探测器30的最大采样速率为该差频信号的频率的整数倍。如果把光14调制的周期长度选择为该探测器30的最小帧时间，那么该扫描速度相对于在光14不调制时的扫描速度而提 高了 4倍。相反如果选择一个最小巾贞时间是两个调制周期，那么该扫描速度就提高8倍。图6c)示出了在光14不调制以及调制时在图6a)及6b)中所示干涉信号或差频信号的包络Eu或Em。包络Eu及Em的每个点P'在此与所属干涉信号及差频信号的采样时间点P相对应。由相应的包络Eu或Em导出信息，由这些信息来组合为样本I的首先一维、二维以及最后三维图像。如同试验所示出的，通过所实施的强度调制，尽管测量点P及P'的数量明显较少，相对于无强度调制的常规系统也不会出现有关系的信息损失。总之，通过对耦合入的光14的强度的所述调制，深度扫描的最大可能速度被倍增，而不会在信号分析中出现明显的信息损失。5.探测器系统的敏感性的调制上述的、对耦合入该第一干涉仪10中的光14以及对由该第一干涉仪输出的该第三部分射束4光所进行的强度调制的原理可以类似地转用到该探测器系统的敏感性上，其中该探测器系统主要包括该探测器30和该探测器物镜31，其方式是该探测器系统、尤其该探测器30的敏感性针对要探测的光而利用如下频率来调制该频率优选比该多普勒频率fD大或小确定的量、尤其直至40%。在此，由该样本I所反射的并被投射到该探测器30上的光被叠加(ueberlagert)，连同探测器系统30，31的敏感性被调制，使得该探测器30在探测投射到该探测器30上的干涉图案时不是生成具有很多周期的高频干涉信号、而是生成低频差频信号(Schwebungssignal)，该差频信号具有比该高频干涉信号明显较少的周期。在采样该差频时，从而每时间单位需要比没有调制该探测器系统30、31的敏感性而采样该高频干涉信号时明显少的采样时间点。该探测器30的敏感性比如可以直接或利用设置在该探测器30之前的可控电子快门来调制(modulieren)。代替地或附加地，可以调制在该探测器系统中的光学元件的特性，比如该探测器物镜31针对由样本I所反射的光的透射率。该探测器30的敏感性的直接调制的原理借助图7来详细解释，其中图7示出了一个充分示例性的电路。一个CMOS探测器的每个探测器单元80可以在等效电路图上简化示出为光电二极管81,其中光电二极管利用一个电压Ul来偏置。可选地，给该光电二极管81并联欧姆电阻和电容。通过利用光对该探测器单元80的照射，在该光电二极管81中产生了载流子，载流子触发一个电流11，该电流在电子积分器83的电容82中被累加。通过借助一个开关84周期地接通和断开该积分，其中用调制频率fM来控制该开关，电荷量用该调制频率fM被调制、并且从而当前相应探测的光强用该调制频率fM被调制。通过一个采样-保持级87，相应的探测器信号被提取并输送至另一处理。其他的开关85和86用于控制积分的复位以及该探测器信号的提取。与上述的耦合入光14或输出光4的强度调制相类似，在该变型方案中不是获得高频干涉信号而是获得低频差频信号(参见图6a)及b))，其中该差频信号可以利用明显少的采样时间点P而被采样，而不会丢失在此有关系的信息。在该探测器30的一个给定最大采样速率的情况下，这导致该系统的深度扫描的最大速度可以提高一个倍数。如同在耦合入光14或输出光4的调制中(见第4节)一样，在此还通过合适地选择该探测器系统30、31的敏感性的调制频率，与具有恒定探测器敏感性的系统相比，该扫描速度被提高了4或甚至8倍。该第二参考镜12的移动速度与该探测器30的敏感性的调制频率有一个固定的关系，并且优选地如此来选择该第二参考镜12的移动速度，使得在形成的差频信号的一个周期持续时间中度过整数的采样时间点、优选四个采样时间点(参见图6b))。这样所采样的差频信号在可视化之前还必须被处理，因为在该信号中还包含有干涉信息。应该被可视化的基本信息是相应干涉的幅度和深度位置，但不是干涉结构本身。为此，该差频信号必须被解调，也即确定该差频信号的包络(参见图6c)中的Em)。 因为该差频信号的相位通常是未知的，并且该相位对于来自不同深度的不同差频信号也可能是不同的，所以采用了一种数字解调算法，该算法与该相位无关。优选地针对具有每周期四个采样时间点的干涉信号采样而使用了所谓90°相移算法。由此实现了对该差频信号的快速解调。6.具有非对称林尼克干涉仪的测暈头下面借助图4、8和9来更详细解释测量头的构造，其中该测量头包含该第二干涉仪20。该第二干涉仪20是一种所谓的林尼克干涉仪。图8示出了这种林尼克干涉仪的一种典型构造的例子，其具有分束器77、参考镜78、探测器79和样本70。在这种林尼克干涉仪中，出于小型化而设置了限制，这尤其适于所使用的光学元件诸如物镜75和76及透镜71和74的直径以及几何构造。该样本物镜75或参考物镜76以及其到分束器77的距离q基本相同。在本OCT系统所使用的林尼克干涉仪中，样本物镜和参考物镜41及46到该第二分束器24(见图4)的距离由于焦点跟踪通常并不是对于所有扫描深度都是相同的。从而可能在该样本图像和参考图像的图像中心与图像边缘之间导致大的相对光程差(OPD)。这可能导致要探测的干涉结构的空间频率(Ortsfrequenz)大于该二维探测器30的分辨率，由此该干涉不再或者仅仅不足以可靠地被探测。为了避免这个缺点，在本OCT系统的第二干涉仪20中不同地(“非对称”)实施该样本物镜41和参考物镜46，并相互协调，这在下文中借助图4来详细解释。该样本物镜41、尤其该透镜42到该第二分束器24的距离p选择得非常小。对于上面的扫描位置，其中在该扫描位置上由位于样本I的表面附近的截面(参见图2a))所反射的光被探测，该距离P优选地在I和3mm之间。从而在该样本臂和参考臂22及23中的透镜42及49的直径在同时高的光输出的情况下可以选择得非常小。在输出臂27中的另一组透镜47连同该样本物镜及参考物镜41及46 —起构成了该样本光学装置及参考光学装置。样本光学装置和参考光学装置远心地在该样本I侧或该第三参考镜25侧。远心光学装置其特点在于，物镜距离可以被改变，并且尽管如此可图像大小保持恒定。这通过一种孔径光阑来实现。用于样本I成像的数值孔径是相对大的，优选地约O. 3。相反样本I的照明的数值孔径小于用于样本I成像的数值孔径，并且优选地具有O. 2的值。由此结合样本光学装置及参考光学装置的远心设计而获得的优点是，在倾斜的样本结构上所反射的光也被该样本物镜41收集，因为该样本物镜41的接受角大于该照明圆锥的发散角。相反如果针对照明的数值孔径和成像的一样大，那么在倾斜的样本结构上进行反射时收集的光比在垂直于光轴的结构上所进行反射时收集的光少。通过在照明臂21中选择该照明物镜48来实现在该样本臂22中针对照明的较小数值孔径。在该参考臂23中的数值孔径等于或略大于该照明臂21的数值孔径。这尤其在这里所使用的折叠的林尼克干涉仪的情况下是有利的，因为由此该参考物镜46可以相对简单地与该样本物镜41相适配，并且此外还可以紧凑地被实现。穿过该参考物镜46的透镜49 (包括在透镜49之间的可能的空气间隔)的光程短
于穿过该样本物镜41的透镜组42的光程。通过这种措施，实现了使样本臂和参考臂22及23的像场拱曲(Bildfeldwolbung )尽可能一致地位于所使用的扫描深度的中心。另外还保证了在深度扫描的上端和下端上在图像中心和图像边缘之间的最大光程差(OPD)是足够小的，以保证该干涉结构的空间频率，其中该空间频率是足够小的，以在该探测器30方面满足尼奎斯特条件。从而来自该样本I的所关注空间单元33中不同深度的干涉结构的空间频率总是小于该二维探测器30的分辨率。该干涉结构从而在该样本I的所关注空间单元33的任何深度上都总是以高的可靠性被探测。这在图9a)至c)中示出，其中示出了在深度扫描期间在三个不同时间点该第二干涉仪20的横截面的一个样本侧片段。在一个第一时间点(见图9a))，该相干门K位于该样本I的所关注空间单元33的一个上层34中(参见图2a))。在此，该样本物镜41到该第二分束器24具有一个小的距离，并且到该材料层43或到该样本I具有一个相对大的距离。在此所获得的干涉结构在图9a)的右边示出，并且具有如下周期长度该周期长度相应于在相应的两个彼此相继的明环或暗环之间的距离。该周期长度大于该探测器30的单个探测器单元(像素)的中心-中心距离(间距(Pitch))，也即该干涉结构的空间频率小于该探测器30的分辨率，其中该空间频率相应于该周期长度的倒数值，该探测器30分辨率相应于该探测器30的像素的中心距离的倒数值，由此满足尼奎斯特条件。由此保证了该干涉结构可以可靠地被该探测器30探测。在一个第二时间点(见图9b))，该相干门K位于该样本I的所关注空间单元33的一个中间层35中(参见图2a))。该样本物镜41位于如下位置该位置比在图9a)中离该第二分束器24远一些并离该材料层43近一些。在这种情况下该干涉结构具有比在图9a)中大的周期长度，这样在该时间点也满足尼奎斯特条件。在一个第三时间点(见图9c))，该相干门K位于该样本I的所关注空间单元33的一个深层35中(参见图2a))。该样本物镜41位于如下位置该位置比在图9b)中离该第二分束器24更远并离该材料层43更近。在这种情况下该干涉结构具有与在图9a)中所示时间点大致相同的周期长度，这样在该深度扫描位置中也满足尼奎斯特条件。由于所述的该样本物镜和参考物镜41及46的非对称构造，可以实现该样本物镜和参考物镜41及46到该第二分束器24的不同距离或光程P或r。在所示的例子中，从而该样本物镜41可以以距离p来靠近该第二分束器24，由此可以在高的光效率的情况下实现透镜42的小的直径。同时该参考物镜46也可以以明显较大的距离r(r > p)远离该第二分束器24地来设置，由此实现了该第二干涉仪20的折叠(Faltung)，其中该参考臂和照明臂23及21相对于其在未折叠林尼克干涉仪(参见图8)中的位置分别倾斜了 90°，并从而平行于该样本臂22延伸。这样就实现了该测量头的一种非常细的形式，并同时保证了通过该参考光学装置或样本光学装置而生成的、在该探测器30上的图像对于所有扫描深度都是大小相同的并且良好置加的。通过该参考物镜46的上述实施，为折叠而必要的该光程的一部分被补偿。该参考物镜46从而在光学上短于该样本物镜41。由此该第一干涉仪10的实施变得更简单，因为由此该第一干涉仪10的两个干涉仪臂不必为了满足出现干涉的相干条件而强烈地相互区别。
在该参考臂及样本臂23及22中的光程差优选地至少是最大扫描深度Tm(见图3a)和b))的两倍大。该最大光学扫描深度Tm说明，在该样本I表面之下直至哪个深度都满足出现干涉的相干条件并获得相应的干涉图案。从而保证了把该参考镜12在该第一干涉仪10中的位置与在该样本I中的确定深度明确而简单地相对应。7.单模预调制和多模光纤在该第一干涉仪10的、在此优选以所谓自由辐射光学装置的构造中，在使用通常采用的空间短光源或非相干光源的情况下，在该第一干涉仪10的输出端8的区域中需要一个相对耗费的物镜，以便把所输出的光尽可能高效地耦合入该第一光导体17中并在此以避免光学损耗。从而不仅该第二干涉仪20的光学构造，其中该第二干涉仪20对于内窥镜应用应尽可能紧凑地设计，而且该第一干涉仪10的光学装置的构造也会受限。此外在通常采用的空间短光源或非相干光源的情况下限制了必要时对光功率的提升。为了避免这些缺点，作为光源15，在本OCT系统中采用了分别具有高空间相干性的一个或多个单模光源比如超辐射发光二极管(SLED)、短脉冲激光器或超连续激光器。该光源15的光14被稱合入该第一干涉仪10中,其中仅相应于单个模式(单模,Singlemode)的所谓高斯模式被传输。在经过该第一干涉仪10之后，所耦合入的光14的空间相干性才被破坏，其方式是在该第一干涉仪10的输出端8上的光被稱合入该第一光导体17中,其中该第一光导体具有非常长的多模光纤。多模光纤是如下光纤其数值孔径和芯直径允许在光的确定波长情况下不仅能够构造一个光纤模式，而且能够激发许多不同的光纤模式。一个光纤是单模光纤还是多模光纤，可以通过所谓的V数V来评估V = NA
A其中λ表不是f禹合入该光纤中的光的波长，d表不该光纤的芯直径，NA表不该光纤的数值孔径。耦合入该光纤中的光的波长λ在此优选与耦合入该第一干涉仪10中的光14的平均波长λ ^相一致。如果该V数大于约2. 4，那么它就是多模光纤。在该第一光导体17中优选采用的多模光纤典型地具有约IOOm数量级的长度，并优选地大部分都缠绕在一个绕组19上,如在图I中所不。该多模光纤的芯直径优选地处于约200 μ m至约400 μ m之间。非常长的、细的并优选缠绕的多模光纤可以在该第一光导体17中可选地与一个相对短的、粗的光纤(未示出)相组合，该粗光纤的直径处于约一毫米的范围中，其长度处于几米的范围中。通过破坏该单模光源15的光的空间相干性，避免了由该样本I中两个不同位置所反射的光可以进行干涉，这也称作所谓的相干串扰。相干串扰的有效地抑制此外还导致对不期望的散射光的有效抑制，其中散射光在光源具有高空间相干性的情况下同样会有助于干涉，并且结果会导致不清晰的、模糊的图像-类似于在乳白玻璃之后的图像。以上述的方式来对空间相干性进行有效的破坏，由此对散射光的探测被大大降低，并最后获得清晰的图像。在该第一干涉仪10中所生成的预调制信息、也即通过移动该第二参考镜12而形 成的对所耦合入的光14的频谱调制，在通过该第一光导体17的非常长的多模光纤对光进行传输时却并没有被改变。这从而保证了该第一干涉仪10的两个臂在该多模光纤中生成了具有相同模式分布(Modenverteilung)和相同相位的相同模式。每个模式本身则都传输预调制信息，其中这些单个模式都不相互耦合。从而这实现了在该第一干涉仪10中的第一和第二部分射束2及3(见图I)共线(kollinear)并精确叠加成一个第三部分射束4，之后它们入射到该第一光导体17的多模光纤中。光到该第一光导体17中的入射在此确定了在该多模光纤中所激发的模式(Moden)的数量和分布。为了尤其有效地破坏空间相干性，在此有利的是，选择其中激发尽可能多模式的一种耦合入射。这尤其可以如此来进行，即，如在图IOa)和IOb)中所示，光射束的、也即该第三部分射束4的焦点55并不是位于该第一光导体17的多模光纤的端面(Facette) 9也即该入射面上，和/或该第三部分射束4的光射束被倾斜地耦合入该第一光导体17的多模光纤中，其中该光射束的光轴56相对于该第一光导体17的多模光纤的中轴57而倾斜，并与该中轴成角度ω，该角度优选地处于5°至40°之间。这样一方面空间相干性被最大地抑制，并且另一方面该多模光纤的端面9的照明变得更均匀。此外在图IOa)和IOb)中还示出了在该第一光导体17中所使用的多模光纤的芯直径d。高相干的光14到该第一干涉仪10中的耦合入与接着该第三部分射束4的在该第一干涉仪10中被频谱调制的光到该第一光导体17中的耦合入相结合，使得能够非常简单地设计在该第一干涉仪10的输出端8的区域中的光学装置。因为在该原理中强光的相干光源、比如SLED、短脉冲激光器或超连续激光器可以被用作光源15，所以比利用常规采用的空间不相干光源而能够达到明显更高的功率密度。所获得的图像信息的信噪比从而被明显改善。可替换于在此所示和所述的自由辐射干涉仪，在采用这种原理的情况下该第一干涉仪10也可以完全作为光纤干涉仪来设计。那么所述深度扫描就可以比如不是通过移动该第二参考镜12，而是借助一个所谓的光纤延伸器通过延伸该第一干涉仪10的两个臂之一中的光纤而被实施。8.通过光纤束的图像传输如前面所详细解释的，在本OCT系统中通过在该第一干涉仪10中宏观移动该参考镜12来实施深度扫描，而由该样本I所反射的光通过该第二干涉仪20和该第二光导体29被转送到该二维探测器30并由其来探测。作为第二光导体29采用了由多个单光纤组成的光纤束。光纤束通常具有高的数值孔径，该数值孔径在技术上是受限的并处于O. 4或更高的范围中。此外通常的光纤束的端面、也即入射和出射横截面的填充系数是相对较小的。这两个因素在由该样本I反射的光从该第二干涉仪20到该探测器30的传输中将导致不期望的光损失。为了在传输由该样本I所反射的光时获得具有微小光损失和信息损失的一种尽可能紧凑的OCT系统，采用了下文更详细解释的光纤束。图11示出了所使用的光纤束的端面中的一个片段50，其中光纤束，如借助放大显示的子区域51所能看到的，由多个单光纤52组合而成，所述单光纤具有一个中心距离d2(所谓的光纤间距)。图12示出了所使用的探测器30的一个片段，其中该探测器包含有多个设置于一 个面中的探测器单元80，该探测器单元80具有一个中心距离dl (所谓的像素间距)。在这里的OCT系统中，该光纤束的单光纤52的光纤间距d2小于该探测器30的探测器单元80的像素间距dl。为了在高空间分辨率情况下实现尽可能大的视�。霉庀耸芍辽�100000、优选由约300000个单光纤52组成。该探测器30的探测器单元80的数量优选地为约328000，并从而处于与单光纤52的数量相同的数量级中。如在图13中所示，在该入射和出射面7及6的区域中该第二光导体29的光纤束横截面的形状优选地与该探测器30的几何形状相适配，其中尤其是该入射面7在该第二干涉仪20侧的形状基本等同于该出射面6在该探测器物镜31或探测器30侧的形状(见图I)。该入射和出射面7及6的各形状、尤其是其长宽比在此基本与该探测器30的优选矩形的形状相一致。在图14a)中不例地不出了该光纤束的两个单光纤52。单光纤52具有光纤芯65和光纤外套66。在该光纤束所优选使用的单光纤52中,相应光纤芯65与光纤外套66的厚度d3及d4之比d3/d4(所谓的芯/外套比)如此来选择，使得在由于从光纤52侧面出射的光(所谓的消散波)引起的光损失尽可能小的情况下获得尽可能高的填充系数。该填充系数在此通过单光纤52的整个横截面与光纤芯65的面积之比来给出。在该光14的波长比如为1300nm的情况下，所使用的光纤束优选地具有11 μ m的光纤间距d2、I. 7 μ m的单光纤52的外套厚度d4以及6. 8 μ m的芯直径d3。由芯直径d3和两倍外套厚度d4之和而得到的、单光纤52的直径在该情况中为10. 2 μ m,并从而略小于该光纤间距d2，因为在该光纤束的制造过程中还要生成围绕每个单光纤52的第二外套(未示出)。在图14b)中示出了在图14a)中所示的单光纤52的扩展方案的一种变型方案。在该变型方案中，单光纤52的各个光纤芯65被嵌入到由玻璃和塑料构成的一种基质(Matrix)66中，该基质分别构成了每个单个光纤芯65的光纤外套。在该变型方案中，每两个相邻的单光纤52共同拥有其光纤外套的一部分。相当于外套厚度的、相邻光纤芯64的距离d4由此能够相对于分别具有自己的光纤外套的上述单光纤而被减少，其中消散波的出射被进一步有效地抑制。光纤芯面积与总的光纤面积的面积之比由此变得尤其大。该芯直径d3与该外套厚度d4的商在此处于在约5至8之间的范围中。该第二干涉仪20如此来构造，使得针对所有扫描深度都获得一个横向干涉图案，其空间频率低于该光纤束的单光纤52的空间频率，其中尤其必须满足尼奎斯特条件。这在图15中示出。如在该横向干涉图案60的放大片段61中所能看出的，在该干涉图案60的两个彼此相继干涉最小值63 (暗环)之间的周期长度比该光纤束的单光纤52的中心距离(光纤间距)大几倍，光纤束的入射面6(见图I)在此以片段的形式并以相应的放大来示出。相应地，该干涉图案60的空间频率明显小于该光纤束的单光纤52的空间频率。相对于在现有技术中所公开的系统，其中该探测器安装于该干涉仪中，通过使用上述的光纤束获得了多个优点，这在下文中更详细描述。出于技术原因，对波长处于约1300nm范围中的光敏感的InGaAs CMOS探测器的像素间距dl可以并不远小于20 μ m。在本OCT系统中优选采用的光纤束具有10 μ m的光纤间 距d2，并从而在相同分辨率的情况下具有比该探测器明显更小的横截面。这允许比其中探测器安装到测量头之中的系统明显更紧凑地来构造该测量头。此外，在现有技术的所述系统中，由于所需的非常高的探测器采样速率，数据从测量头到连接在后面的电子装置的传输将需要具有及其高的速度。此外在该测量头中还必须集成Α/D变换器。在由该样本I所获得的图像信息通过被构造为光纤束的第二光导体29向与该第二干涉仪20相分离的探测器30进行所述转送的情况下，避免了这些缺点。因为在本OCT系统中从而在该测量头中不需要用于图像探测和/或图像处理的电子装置，所以就不存在可能导致测量头的不期望的温升的热损失。因为在该第二光导体29中优选地选择了一个光纤间距d2(比如11 μ m)，该光纤间距小于该探测器30的最小可能的像素间距dl (大多大于或等于20 μ m)，在相同横向分辨率的情况下相对于按照现有技术的系统可以降低在该测量头中对从该样本I所获得的图像的放大，这实现了在该第二干涉仪20中的、更简单和更小的光学装置。为了在从该样本I或从该第三参考镜25到该探测器30的光传输及图像信息传输中提高光效率，对本OCT系统的各个部件的数值孔径进行匹配，尤其该样本物镜41和在输出臂27中的透镜47的孔径以及该参考物镜46和该第二光导体29的光纤束的孔径、该探测器物镜31以及该探测器30的孔径。这在下文中借助图1、4和16来详细解释。图16示出了由大量单光纤52组合而成的第二光导体29在该入射面7的区域中的一个片段。从该第二干涉仪20出射的、会聚的光束58具有一个孔径角α，并相对于该入射面7的法线以一个入射角β投射到该光导体29。该第二光导体27的单光纤52具有一个孔径角Y，在该孔径角内投射的光可以被单光纤52探测。该孔径角Y通过该单光纤52的数值孔径来给出。为了保证尽可能高的光效率，优选地规定，该光束58的孔径角α与该入射角β之和小于该光纤束29的单光纤52的孔径角Y α +β < γ。从而保证了该光束58的投射到单光纤52上的全部光都入射到其中，并被传输至该第二光导体29的出射面6。该光束58的为此所需的孔径角α和入射角β通过相应地设计该样本物镜和/或参考镜和/或输出物镜41、46及47来实现。这尤其如此来实现，即样本物镜和输出物镜41/47及参考物镜和输出物镜46/47这两个物镜组合放大地进行成像，也即在该光纤束的入射面7( “图像侧”)的区域中该光束58的孔径角α小于在该样本I侧(“物镜侧”)的孔径角(未示出)。从而可以以简单的方式在该样本I侧实现大的孔径角，由此实现了高的光收集效率。连同至该第二光导体29的光纤束中的无损失的光耦合输入，由此在探测由该样本I所反射的光时保证了一个总的非常高的光效率，并从而达到高的图像质量。代替地或附加地，为了提高光效率，把该探测器物镜31的光纤束侧的数值孔径与该第二光导体29的光纤束的数值孔径进行匹配。该探测器物镜31的孔径角在此大于该光纤束的单光纤52的孔径角Y。 优选地，该探测器物镜31在该光纤束侧是远心的(telezentrisch)。由此可以以简单的方式来对该光纤束的辐射特性进行计算。在该输出面6上的视场角对于在该输出面6上的每个位置都等于零。随着光束至该探测器30上的入射角的增加，由该探测器30所探测光功率变小。为了保证尽可能高的光效率，从而规定，把光束到该探测器30上的入射角保持得尽可能小。这优选地通过该第二光导体29的光纤束在该探测器30上的放大成像以及该探测器物镜31在该探测器30侧的远心设计来实现。在使用所述光纤束用于图像传输时的另一优点在于，该系统的总放大M可以被划分为两个步骤，即在该测量头、也即在该第二干涉仪20中的第一放大M1，以及在该探测器物镜31中的第二放大M2。从而在该测量头中的物镜41、47和47的第一放大Ml可以小于对于该OCT系统的标称分辨率所需的总放大M。这通过以下的例子来阐明在像素间距为20 μ m,光纤间距为10 μ m,且标称分辨率为2. 5 μ m的情况下，通过如上所述而构造的、该第二光导体29的光纤束可以在该测量头中实现放大Ml = 4，在探测器物镜31中实现放大M2=2,以获得一个总放大M = Ml XM2 = 8。相反,在不通过所述光纤束进行图像传输的情况下，在该测量头中必须产生一个等于总放大M = 8的放大。上述光纤束的使用从而所具有的优点是，总放大M并不是必须单独地由该第二干涉仪20的物镜来实现，使得该测量头的样本物镜和/或参考物镜和/或输出物镜41、46及47可以简单而空间节省地被构建，由此该测量头总体可以明显更紧凑地来构造。如在图4所示的一个第二干涉仪20的例子中，由此该样本物镜41或该第二干涉仪20的输出物镜的透镜47的平均直径Dl可以优选地选择得小于在该入射面7的区域中该第二光导体29的直径D2 D1 < D2。9.该OCT系统的运行樽式上述的OCT系统可以运行于三个不同的运行模式。该运行模式是两个实时模式以及一个静态运行模式，其中在所述实时模式中样本的OCT图像以每秒约5到10个图像的高速率而被生成。在该第一运行模式、实时模式I中，该样本I的二维深度截面被实时地生成(所谓的切片)。这如下地来实现即作为探测器30采用了一种CMOS照相机，该照相机允许调节一个所谓的关注窗口(WOI)，在该关注窗口中该探测器30的仅仅一个部分面是对于光敏感的，并把光转换为相应的探测器信号。敏感照相面的减少与照相速度的明显提高相关联；在这种调节下可以比在全图像模式中每秒生成更多的照相图像。在该实时模式I中优选选择一个WOI，该WOI在一个方向上相应于全部的照相长度或宽度(比如640像素)，并在另一方向上——由相应照相机的类型来给定——具有最小可能数量的像素(比如4像素)。从而该照相机的速度被进一步提高，使得OCT图像可以实时地被记录。这优选结合耦合入该第一干涉仪10中的以及从该第一干涉仪10输出的光14及4的强度调制或者该探测器系统30、31的敏感性调制(见上面的第3及第4节)来实现。图17示出了一个探测器面F1，其由第一数量NI的探测器单元80组合而成，并具有长度Cl和宽度bl。在上述的WOI的调节中，光仅仅被位于该探测器面Fl的一个部分面F2中的探测器单元80所探测，并被转换为相应的探测器信号。该部分面F2的探测器单元80的第二数量N2小于整个探测器面Fl的探测器单元80的第一数量NI。该探测器面Fl及部分面F2的长度Cl和c2大小相同，而该探测器面Fl及部分面F2的宽度bl和b2是不同的。
在所示的例子中，该部分面F2仅四个像素宽，相反该探测器面Fl为512个像素宽。该探测器面F I的敏感面从而被减少128倍，这明显缩短了用于探测干涉图案以及将其转换为相应探测器信号所需的持续时间。如在图18中所示，在该例子中从该样本I的所关注空间单元33中不是获得一个完整的三维断层图，而是仅获得四个(对应于该部分面F2的四个像素行)二维深度截面67。在该第二运行模式、该实时模式2中，如在图19中所示，从该样本I的所关注空间单元33的确定深度T生成二维断层图68，其中该深度T是可自由选择的。在此，该探测器30的整个探测器面Fl被用于探测由该样本I所反射的光并把其转换为相应的探测器信号，但其中总是仅最大五个照相图像被用于断层图68的计算。为此，在该第一干涉仪10中的第一参考镜11以约I μ m的幅度被周期性移动，而至多五个照相图像被记录，这五个照相图像然后被运算为一个OCT图像。这样，可以以高的重复速率来生成断层图68。通过宏观移动该第二参考镜12并必要时结合所述的焦点跟踪(见上文第I及第2节)，可以自由地选择从中获取该断层图68的深度T。在该第三运行模式、该静态模式中，借助该第二参考镜12的宏观移动并结合所述焦点跟踪来记录一个完整的三维数据组。对此详情尤其参见第I和第2节。通过不同的运行模式，该OCT系统可以满足一系列不同的要求。在检查样本时，比如在寻找样本中的有关位置时，功能性由此被大大扩展。10.用干OCT系统及方法的其他发明观点上文详细阐述的OCT系统及方法具有单个特征或特征组合，通过这些特征或特征组合，该系统或方法尤其在构造上变得更简单和更紧凑，以及在操作和图像探测上变得更快速和更可靠，而在此并不需要在独立权利要求的前序和/或特征部分所引用的所有特征。这些特征或特征组合同样被视为发明。被视为发明的尤其是一种用于光学相干断层扫描的系统，其具有-至少一个干涉仪，其用于输出用来照射一个样本的光，以及-探测器，其用于探测由该样本所反射的光，其中该系统特征在于前述的、尤其在第I至9节中和/或结合图I至19所详细阐述的一个或多个特征。与该系统相对应的方法同样作为发明而被提供。利用由该干涉仪所输出的光对该样本的照射或者间接地、也即通过在该干涉仪与该样本之间的另一干涉仪来进行，或者直接地、也即在没有在该干涉仪与该样本之间的其他干涉仪的情况下来进行。
通过该探测器对由该样本所反射的光的探测或者间接地、也即通过在该样本与该探测器之间的另一干涉仪来进行，或者直接地、也即在没有在该探测器与该样本之间的其他干涉仪的情况下来进行。
权利要求
1.用于光学相干断层扫描的系统，其具有 -至少一个干涉仪(10，20)，该干涉仪(10，20)用于输出用来照射样本(I)的光(4)， -拥有样本物镜(41)的样本臂(22)，通过该样本物镜(41)把由该干涉仪(10，20)所输出的光⑷聚焦到位于该样本(I)中的焦点(F)上，以及 -探测器(30)，该探测器用于探测由该样本(I)所反射的光， 其特征在于，所述系统具有 -用于控制所述系统的控制单元使得在探测分别在该样本(I)的不同深度(T1-T3)中反射的光期间，该样本物镜(41)的成像特性发生改变。
2.根据权利要求I所述的系统，该系统具有参考镜(25)，其中，该样本物镜(41)的成像特性以如下方式发生改变在该样本(I)中的每个被采样深度(Ti)中，一方面在该参考镜(25)上的被照射面与另一方面在该样本(I)的相应深度上的被照射面是一致的。
3.根据权利要求I或者2所述的系统，该系统具有参考臂(23)，其中，该样本物镜(41)的成像特性以如下方式发生改变相应的被照射面的、通过该参考臂(23)和该样本臂(22)在参考臂(23)和样本臂(22)共同图像平面(27a)中的成像是一致的并精确地重叠。
4.根据权利要求I或者2所述的系统，该系统具有参考臂(23)，其中， 在所述样本(I)的相应深度(Ti)的中心，所述样本臂(22)和参考臂(23)的像场拱曲尽可能一致。
5.根据权利要求3或者4所述的系统，其中， 在所述参考臂(23)中设置有参考物镜(46)，所述样本物镜(41)和参考物镜(46)被实施为不同的。
6.根据权利要求5所述的系统，其中， 穿过该参考物镜(46)的光程短于穿过该样本物镜(41)的光程。
7.根据上述权利要求之一所述的系统,其中， 所述探测器(3)具有多个布置在一个平面上的探测器单元(80)。
8.根据权利要求7所述的系统，其中 样本(I)不同深度(T1-T3)的在样本图像和参考图像的图像中心与图像边缘之间的光程差是如此之小以使得来自该样本(I)不同深度的待测干涉结构的空间频率总是小于该探测器(30)的分辨率。
9.根据前述权利要求之一所述的系统，其中 所述干涉仪(10，20)具有分束器(13)和至少一个反射器(12)，该至少一个反射器(12)到分束器(13)的光学距离(I)能够改变一个光程(L)，该光程(L)实质上大于耦合进入该干涉仪(10)中的光(14)的平均波长U。)L >> A00
10.根据权利要求9所述的系统，其中 以幅度(A)周期性地改变在反射器(12)与分束器(13)之间的所述光学距离(1)，该幅度(A)实质上大于耦合进入该干涉仪(10)中的光(14)的平均波长Utl) A>> X0。
11.根据权利要求9或者10所述的系统，其中 所述光学距离⑴被改变的光程(L)或者幅度(A)比耦合入该干涉仪(10)中的光(14)的平均波长大至少100倍、尤其是大至少1000倍100 Atl，尤其是L 彡 1000 A。或者 A > > 1000 入 0。
12.根据权利要求9-11之一所述的系统，其中 在反射器(12)到分束器(13)的所述光学距离(I)发生变化时，由探测器(30)检测分别在样本(I)不同深度(T1-T3)中反射的光。
13.根据前述权利要求之一所述的系统，其中 用来照射所述样本的光在空间上是短相干或者非相干的。
14.用于光学相干断层扫描的方法，其中 -由至少一个干涉仪(10，20)来输出光(4)，利用该光(4)来照射样本(1)， -由该干涉仪(10，20)输出的光(4)被样本物镜(41)聚焦到位于该样本(I)中的焦点(F)上，以及 -由该样本(I)所反射的光由探测器(30)来探测， 其特征在于， -在探测分别在该样本(I)的不同深度(T1-T3)中反射的光期间，该样本物镜(41)的成像特性发生改变。
15.根据权利要求14所述的方法，其中 该样本物镜(41)的成像特性以如下方式发生改变在该样本(I)中的每个被采样深度(Ti)中，一方面在该参考镜(25)上的被照射面与另一方面在该样本(I)的相应深度上的被照射面是一致的。
全文摘要
本发明涉及用于光学相干断层扫描的一种系统以及一种相应的方法，具有至少一个干涉仪(20)，该干涉仪(20)用于输出用来照射样本(1)的空间短相干或者非相干的光，拥有样本物镜(41)的样本臂，通过该样本物镜(41)把由该干涉仪(20)所输出的光聚焦到位于该样本(1)中的焦点上，以及最好拥有布置在平面中的多个探测器单元的探测器，该探测器用于探测由该样本(1)所反射的光。为了可靠地记录最锐利的样本(1)图像，在探测分别在该样本(1)的不同深度中反射的光期间，该样本物镜(41)的成像特性发生改变。
文档编号G01B9/02GK102679866SQ20121014612
公开日2012年9月19日 申请日期2008年2月20日 优先权日2007年2月21日
发明者E·-G·科普, R·尼博西斯, R·朔伊尼曼 申请人:爱克发医疗保健公司
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
