专利名称:X射线衍射仪用多功能样品架的制作方法
技术领域:
本实用新型涉及的是x射线衍射仪用多功能样品架。
背景技术:
X射线衍射仪是对材料的组成和原子级结构进行研究和鉴定的设备, 通常x射线衍射仪的潲角仪是依据样品的表面转动即放置的位置角度不
同,对材料的原子拌列、物相、各物相的百分比,晶粒大小、结晶度等进 行检測。但对材料中的应力、织构、取向度、薄膜等的研究中,则需要样 品做更多的运动相配合,例如.*应力測量就需外加样品倾斜这一运动,织 构瀕量需外加样品倾斜、自转、摆动,取向度检測需样品自转,薄膜测量 需样品前后移动、样品倾斜等。
以往我们研究材料应力时,就需安装应力样品架,使样品倾斜几个角 度进行測量,研究材料织构时,就需要安装织构样品架,使样品倾斜加自 转来測量,研究材料取向度时就需要安装旋转样品架,使样品自转来进行
測量,在研究镀膜外沿膜时,就需安装o扫描样品架,使样品倾斜和自
转,而对于薄膜样品低角度入射测试时,还需要样品前后移动,而且以上 所说的样品倾斜角度,往往需要手动控制,这就为这一方面的研究带来了
诸多不便。
孤右祐士龙Y射铋挤射加卜S 汰甜娃品讲籽^8抝.倫接、敏腊、 O扫描等检測,需要各种专用测量样品架装安装在X射线衍射仪上进行 瀏量,而且有些动作还实现不了,无法实现测量。随着现代材料科学的快 速发展,往往对材料的研究不局限于单一方面,而是同一材料进行几个方面的同时研究。例如对于基板上的镀膜研究,不仅需要知道镀膜的定性情 况,而且还需要了解镀膜的织构、应力、膜厚是否外沿膜等情况。目前用 X射线衍射仪测量需要以下几步1.首先要在X射线衍射仪上进行定性分 析,检査镀膜涂镀情况;2.换下粉末样品台,换上织构样品架,进行样品 取向检測;3.取下织构样品架,换上应力样品架,进行应力测量;4.取下 应力样品架,换上扫描样品架,进行外沿膜的判断;5.取下应力样品 架换上旋转样品架进行镀膜的厚度检測。这些操作对普通的X射线衍射仪 操作人员来说几乎是不可能完成的,因为不仅需要众多的样品架,而且还 需要精确的安装各种样品架,X射线衍射仪对各种样品架安装精度要求非 常高,只有精确安装样品架,正确的摆放样品,才能采集到准确信息,样 品架多次安装,往往采集到的信息不是很准确,在满足以上条件的情况下, 完整的測量一块样品需要几天的时间。随着X射线衍射仪应用的普及,越 来越发现单一样品架不能满足应用要求。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种使用方便的X射线衍射仪用多功能样 品架。
本实用新型包括有底座1、环架装置2、传动架板装置4、样品架板 装置6。
环架装置2包括有环架21、左右滑板22a、 22b、齿板23、蜗杆24、 电机25、 26、滑块27a,在环架21内环面上开设有滑槽28,齿板23与 滑槽28滑动配合,在齿板23上设有蜗轮齿与安装在环架21上的蜗杆24 配合传动,左右滑板22a、 22b与环架21通过滑槽滑动配合并与齿板23 固定连接,电机25带动锅杆24通过齿板23带动左右滑板22a、 22b在环 架21上转动,在左右滑板22a、 22b上设置连接有滑块27a,电机26通 过连接架30与滑板22b固定连接安装,在电机26轴上固定安装有嫘杆套29。该环架装置2通过电机25带动蜗杆24,蜗杆24带动齿板23带动滑 板22a、 22b在环架21上围绕环架21轴心即Z轴做转动动作。
传动架板装置4包括有架板41、电机42、 43、蜗杆45,蜗杆45通 过轴承装置安装在架板41上,在电机43轴端上固定安装有伞齿轮47与 蜗杆45轴端上的伞齿轮48配合带动蜗杆45转动,在电机42轴端上固定 安装有凸轮46,在架板41后側面上通过连接架37连接设有滑槽27b,滑 槽27b与前述所说的左右滑板22a、 22b上的滑块27a配合连接,使架板 41相对滑板22a、 22b前后滑动移动配合连接,在架板41固定设有嫘母 套49与前述所说的电机26轴上固定安装的嫘杆套29配合带动架板41前 后移动,在架板41前倒面上设有滑块邻a。
样品架板装置6包括有架板61、样品盒62、样品盒座63、轴承装置 64、蜗轮65、传动杆66、滑槽邻b,滑槽50b与前术所说的架板41前側 面上设有的滑块邻a滑动配合连接,使架板61与架板41实现平面滑动配 合连接,样品盒座63通过轴承装置64安装在架板61上开设的安装孔上, 蜗轮65固定安装在样品盒座63上,蜗轮65与前述所说的蜗杆45配合带 动品盒座63转动,样品盒62安装在样品盒座63上,传动杆66与架板 61固定连接,在传动杆66设有一对销轴67a、 67b与前述所说的电机42 轴端上固定安装的凸轮46配合,带动传动杆66及架板61沿K向移动。
本实用新型皿电机25带传动架板装置4和样品架板装置6在环架 21上围绕环架21中心轴即Z轴做转动动作;通过电机26带动传动架板 装置4和样品架板装置6前后移动即X轴方向移动;通过电机42带动架 板61沿K向移动;通过电机43带动架板61上的样品盒座63转动即围 绕X轴转动,从而实现安装在样品盒62上的样品在的多方向精确动作, 充分满足应用需求,扩充衍射仪的检澜应用能力和应用领域,可使普通的 X射线衍射仪成为多功能X射线衍射仪,为材料研究工作,提供一种非?煽康募觳馍璞浮
图1、 2是本实用新型实施例结构示意图,图2是图1的后側向视图。 图3、 4、 5是环架装置2结构示意图,其中图4是图3的C一C剖视
图,图5是图4的D —D剖视图。
图6、 7是传动架板装置4结构示意图,图7是图6的B — B剖视图。 图8、 9是样品架板装置6结构示意图,图9是图8的A—A剖视图。 图10是图5、 9的E—E剖视图,即滑槽27b 、 50b与滑块27a 、 50a
配合连接结构示意图。
具体实施方式
本实用新型由底座l、环架装置2、传动架板装置4、样品架板装置6 构成。
参见附图3、 4、 5所示,环架装置2包括有环架21、左右滑板22a、 22b、齿板23、蜗杆24、电机25、 26、滑块27a,在环架21内环面上开 设有滑槽28,齿板23与滑槽28滑动配合,在齿板23上设有蜗轮齿与安 装在环架21上的蜗杆24配合传动,左右滑板22a、 22b与环架21通过滑 槽滑动配合并与齿板23固定连接,即在环架21側面和左右滑板22a、 22b 上对应开设有V形槽,在V槽中设有滚珠32形成滑槽滑动配合连接,电 机25通过连接架33与环架21固定连接安装,电机25轴通过联轴器35 与蜗杆24连接,电机25带动蜗杆24通过齿板23带动左右滑板22a、 22b 在环架21上转动,在左右滑板22a、 22b上设置连接滑块27a,电机26 通过连接架30与滑板22b固定连接安装,在电机26轴上固定安装有嫘杆 套29。该环架装置2通过电机25带动解杆24,锅杆24带动齿板23带动 滑板22a、 22b在环架21上围绕环架21轴心即Z轴做转动动作。
参见图6、 7所示,传动架板装置4包括有架板41、电机42、 43、蜗杆45,蜗杆45通过轴承装置40安装在架板41上,在电机43轴端上固 定安装有伞齿轮47与蜗杆45轴端上的伞齿轮48配合带动蜗杆45转动, 在电机42轴端上固定安装有凸轮46,在架板41后倒面上通过连接架37 (参见附图4、 5)连接设有滑槽27b,滑槽27b与前述所说的左右滑板 22a、 22b上的滑块27a配合连接,使架板41相对滑板22a、 22b前后滑 动移动配合连接,在架板41上固定设有嫘母套49与前述所说的电机26 轴上固定安装的螵杆套29配合带动架板41前后移动,在架板41前側面 上设有滑块邻a。
参见附图8、 9所示,样品架板装置6包括有架板61、样品盒62、样 品盒座63、轴承装置64、蜗轮65、传动杆66、滑槽50b,滑槽50b与前 术所说的架板41前倒面上设有的滑块50a滑动配合连接,使架板61与架 板41实现平面滑动配合连接,样品盒座63通过轴承装置64安装在架板 61上开设的安装孔上,蜗轮65固定安装在样品盒座63上,蜗轮65与前 述所说的蜗杆45配合带动品盒座63转动,样品盒62安装在样品盒座63 上,传动杆66与架板61固定连接,在传动杆66设有一对销轴67a、 67b, 并在销轴67a、 67b上设有轴承与前述所说的电机42轴端上固定安装的凸 轮46配合,带动传动杆66及架板61沿K方向移动。
本实用新型在电机25、 26、 42、 43轴上设有光栅盘与光电开关配合 控制电机转动,如附图3、 7所示的在电机26、 42轴上设有光栅盘34、 44与电机连接架上设置的光电开关36、邻配合控制电机转动。在环架21 面卜设有限份开婪M、 39与滑板22h配合限份。
权利要求1、X射线衍射仪用多功能样品架,其特征是包括有底座(1)、环架装置(2)、传动架板装置(4)、样品架板装置(6);环架装置(2)包括有环架(21)、左右滑板(22a、22b)、齿板(23)、蜗杆(24)、电机(25、26)、滑块(27a),在环架(21)内环面上开设有滑槽(28),齿板(23)与滑槽(28)滑动配合,在齿板(23)上设有蜗轮齿与安装在环架(21)上的蜗杆(24)配合传动,左右滑板(22a、22b)与环架(21)通过滑槽滑动配合并与齿板(23)固定连接,即在环架(21)侧面和左右滑板(22a、22b)上对应开设有V形槽,在V槽中设有滚珠(32)形成滑槽滑动配合连接,电机(25)带动蜗杆(24)通过齿板(23)带动左右滑板(22a、22b)在环架(21)上转动,在左右滑板(22a、22b)上设置连接滑块(27a),电机(26)通过连接架(30)与滑板(22b)固定连接安装,在电机(26)轴上固定安装有螺杆套(29),该环架装置(2)通过电机(25)带动蜗杆(24),蜗杆(24)带动齿板(23)带动滑板(22a、22b)在环架(21)上围绕环架(21)轴心即(Z)轴做转动动作;传动架板装置(4)包括有架板(41)、电机(42、43)、蜗杆(45),蜗杆(45)通过轴承装置(40)安装在架板(41)上,在电机(43)轴端上固定安装有伞齿轮(47)与蜗杆(45)轴端上的伞齿轮(48)配合带动蜗杆(45)转动,在电机(42)轴端上固定安装有凸轮(46),在架板(41)后侧面上通过连接架(37)连接设有滑槽(27b),滑槽(27b)与左右滑板(22a、22b)上的滑块(27a)配合连接,使架板(41)相对滑板(22a、22b)前后滑动移动配合连接,在架板(41)固定设有螺母套(49)与电机(26)轴上固定安装的螺杆套(29)配合带动架板(41)前后移动,在架板(41)前侧面上设有滑块(50a);样品架板装置(6)包括有架板(61)、样品盒(62)、样品盒座(63)、轴承装置(64)、蜗轮(65)、传动杆(66)、滑槽(50b),滑槽(50b)与架板(41)前侧面上设有的滑块(50a)滑动配合连接,使架板(61)与架板(41)实现平面滑动配合连接,样品盒座(63)通过轴承装置(64)安装在架板(61)上开设的安装孔上,蜗轮(65)固定安装在样品盒座(63)上,蜗轮(65)与前蜗杆(45)配合带动品盒座(63)转动,样品盒(62)安装在样品盒座(63)上,传动杆(66)与架板(61)固定连接,在传动杆(66)设有一对销轴(67a、67b),并在销轴(67a、67b)上设有轴承与电机(42)轴端上固定安装的凸轮(46)配合,带动传动杆(66)及架板(61)沿(K)方向移动。
2、根据权利要求1所述的X射线衍射仪用多功能样品架,其特征是在 电机(25、 26、 42、 43)轴上设有光栅盘与光电开关配合控制电机转动;在环 架(21)倒面上设有限位开关(38、 39)与滑板(22b)配合限位。
专利摘要本实用新型X射线衍射仪用多功能样品架包括有底座(1)、环架装置(2)、传动架板装置(4)、样品架板装置(6)构成,通过电机带传动架板装置和样品架板装置在环架上围绕环架中心轴即(Z)轴做转动动作和前后移动即X轴方向移动;并能使样品架板装置沿(K)方向移动;使样品架板装置上的样品盒座(63)转动即围绕(X)轴转动,实现安装在样品盒上的样品在的多个方向进行精确动作,充分满足应用需求,扩充X射线衍射仪的检测应用能力和应用领域。
文档编号G01N23/20GK201159722SQ20082001066
公开日2008年12月3日 申请日期2008年2月2日 优先权日2008年2月2日
发明者李吉成, 瑛 王, 金文仁 申请人:丹东方圆仪器有限公司