干涉计装置的制作方法-山东亚星游戏官网机床有限公司

专利名称：干涉计装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于将球面透镜等的表面形状利用激光干涉计进行检查的干涉计装置。
背景技术：
为了进行例如透镜的加工精度的检查等而利用干涉计装置。作为干涉计装置的构成，至少包括射出可干涉光的激光光源、用于将该激光光源所发散的光形成平行光束的准直透镜、具有被检测透镜的被检测面的基准形状的基准透镜。基准透镜其与来自准直透镜的平行光束入射的一侧相反的另一侧的面，即与被检测透镜相对的面为基准面，且其表面形状呈与被检测透镜的被检测面相同或相似的形状。激光光源所发出的激光光束由该基准透镜的基准面，使一部分被反射而返回准直透镜，而且透过了基准透镜的激光光束由被检测透镜的被检测面，使一部分被反射而透过基准透镜返回准直透镜，所以藉由使这两反射波面重合，可得到关于两波面间的干涉信息，并根据该干涉信息进行被检测透镜的加工面精度的测定。因此，采用一种使前述反射光从准直透镜向射束分裂器返回，并由该射束分裂器而从入射光被分离，且被取入利用照相机等的观察装置中的构成。
在现有技术中，将以上结构构成中的，构成从激光光源到基准透镜、从基准透镜到观察装置的光路的各构件组成一体并作为构成干涉计主体，且将该干涉计主体装入到罩壳的内部。与此相对，被检测透镜由于在检查中要被装卸，所以为了使该被检测透镜的装卸容易进行而设置于罩壳的外部。因此，在罩壳的顶板部设有用于通过激光光束的导光用的开口，并在该顶板部开口的位置设有透镜支座，且在该透镜支座上利用人工作业或机器人手而安装被检测透镜并对其表面精度进行检测，或取出测定后的被检测透镜。
这里，作为用于利用干涉计装置而正确地测定被检测透镜的表面状态的条件，是从激光光源所射出的激光光束、准直透镜、基准透镜、被检测透镜的光轴必须完全一致。而且，在被检测透镜为球面透镜的情况下，该被检测透镜的被检测面的曲率中心位置和基准透镜的基准面的曲率中心位置一致也成为用于测定的条件。
被检测透镜的安装部即透镜支座，作为独立于干涉计主体的构件而构成，并被安装在罩壳上，所以在作为干涉计装置进行组装时和进行维护时等，必须正确地进行透镜支座和干涉计主体间的光轴对合。而且，在干涉计主体中，基准透镜可进行更换。即，在基准透镜损伤的情况下要对其进行更换，但还要依据被检测透镜的种类和大�。硗饣褂胁舛ǚ绞降冉纪妇蹈皇褂�。因此，基准透镜可装卸地被安装在设于干涉计主体的透镜支座上。
在被检测透镜为球面透镜的情况下，即使被检测透镜的曲率不同，如果使该被检测透镜的曲率中心位置和基准透镜的曲率中心位置一致，则不交换基准透镜也能进行被检测透镜的测定。因此，当进行不同的被检测透镜的测定时，需要对在透镜支座上被设置的被检测透镜和基准透镜的间隔进行调整。
总之，在干涉计装置中，必须在干涉计主体和在该干涉计主体上可装卸地进行安装的基准透镜之间，基准透镜和被检测透镜之间进行光轴调整。因此，在现有技术中就有一种例如专利文献1所示那样的，采用在透镜支座上设置位置调整装置的构成。该众所周知的位置调整装置，配备有可将透镜支座沿XY方向，即沿与干涉计主体的光轴直交的平面内的一方向和与其直交的方向进行位置调整的XY位置调整机构。而且，基准透镜和被检测透镜的间隔调整，基本上是藉由在罩壳内使干涉计主体沿光轴方向可移动地形成，并使该干涉计主体移动而进行。因为干涉计主体为大型且也较重的物体，所以要在透镜支座上配备被检测透镜的高度位置的微调机构。
因此，当利用相同的基准透镜测定曲率半径不同的被检测透镜时，必须对基准透镜和被检测透镜的间隔进行调整。在这种情况下，一般是使被检测透镜沿其光轴方向进行移动，并进行其与基准透镜间的间隔调整的，但考虑到基准透镜和被检测透镜之间的空气波动等，在例如专利文献1等中提出了一种采用将干涉计主体在罩壳内沿光轴方向可移动地进行安装，并使该干涉计主体的基准透镜沿光轴方向移动而形成，且使被检测透镜在一定的位置进行保持的构成的技术。
日本专利早期公开的特开平6-3219号公报总之，在前述的现有技术中，虽然未做具体的说明，但因为在干涉计主体上安装有基准透镜，所以可使该基准透镜被安装在干涉计主体的带有倾斜调整机构的透镜支持器上，并使干涉计主体对罩壳以可沿其发出的射出光光轴方向进行位置调整的形态而被支持。因此，干涉计主体上所安装的透镜支持器，当在其上安装基准透镜时，必须以基准透镜的光轴与干涉计主体所射出的光轴，在与该光轴直交的平面内的位置处于计测的容许范围内这样的精度而被组装。而且，在更换基准透镜时等，需要分2阶段进行位置调整，首先利用透镜支持器的倾斜调整机构进行基准透镜的角度调整，接着将包括基准透镜在内的干涉计主体整体对设置有被检测透镜的透镜支座进行间隔调整。而且，即使进行基准透镜的倾斜调整及与被检测透镜间的间隔调整，也是在这些各调整机构的容许误差范围内的，并在此基础上进行被检测透镜在XY轴上的位置调整，所以藉由在基准透镜的干涉计主体所调整的位置关系，在可利用透镜支座上设置的XY位置调整机构和高度位置的微调机构的调整范围内，有可能无法将被检测透镜调整到正确的位置。特别是当因被检测透镜的曲率半径大，而使其与基准透镜间的间隔增大时，它们之间的位置调整明显变得困难。而且，在前述的现有技术中，干涉计主体上所安装的透镜支持器，当在其上安装基准透镜时，如为以基准透镜的光轴和干涉计主体所射出的光束的光轴，在与该光轴直交的平面内的位置大体一致的形态而制作的情况则较佳，但如果不是这样，则需要设置XY2轴位置调整机构，并调整基准透镜的光轴位置，所以不只是装置变得大型且复杂，对基准透镜而言，除了前述倾斜调整和与被检测透镜间的间隔调整以外，还要加上XY2轴位置调整机构的误差，因此将被检测透镜调整到正确的位置上变得更加困难。
而且，作为前述的基准透镜和被检测透镜的间隔调整机构，必须能够进行从安装有所测定的最小曲率半径的被检测透镜的位置到安装有最大曲率半径的被检测透镜的位置的间隔调整。因此，该基准透镜和被检测透镜之间的间隔调整机构形成非常大型的机构，而且当要对基准透镜测定曲率半径差大的多个种类的被检测透镜时，存在所测定的每个被检测透镜的利用间隔调整机构的移动距离增长，进行正确的间隔调整变得非常麻烦的问题。
由此可见，上述现有的干涉计装置在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决干涉计装置存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。
有鉴于上述现有的干涉计装置存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的干涉计装置，能够改进一般现有的干涉计装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容
本发明的目的在于，克服现有的干涉计装置存在的缺陷，而提供一种新的干涉计装置，所要解决的技术问题是使其藉由不使安装有被检测透镜的透镜支座动作，而只进行基准透镜的位置调整，可减少用于位置调整的动作量，并谋求调整机构的简洁化，且可进行正确的位置调整，从而更加适于实用。
本发明的另一目的在于，提供一种干涉计装置，所要解决的技术问题是使基准透镜和被检测透镜的间隔调整机构简洁化，并可迅速且轻松地进行该间隔调整，从而更加适于实用。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，为了达到前述发明目的，本发明的主要技术内容如下本发明为一种使激光光源所照射的激光光束由基准透镜被部分反射，并使来自该基准透镜的透过光由被检测物的被检测面被反射，且利用观察装置对这两反射光间所产生的干涉条纹进行观察的干涉计装置；包括前述激光光源及前述观察装置、到将该激光光源发出的激光光束形成平行光束的准直透镜为止的光学系统的干涉计主体单元，被固定设置在主体罩壳内；在前述主体罩壳的顶板部形成有可通过前述干涉计主体单元所照射的平行光束及由前述观察装置所产生的观察光束的导光用开口；在夹持该导光用开口的前述顶板部并在与前述干涉计主体单元相反侧的位置，设置有前述被检测透镜的被检测透镜安装单元被支持在前述主体罩壳上；前述基准透镜安装在安装于前述主体罩壳的前述导光用开口位置的位置调整装置上；该位置调整装置可进行对前述干涉计主体单元所照射的平行光束的光轴直交的方向及倾斜方向的位置调整。
本发明为一种使激光光源所照射的激光光束由基准透镜被部分反射，并使来自该基准透镜的透过光由被检测透镜的被检测面被反射，且利用观察装置对这两反射光间所产生的干涉条纹进行观察的干涉计装置；前述被检测透镜是可装卸地设置在透镜支座上；该透镜支座与用于使设于其上的被检测透镜和前述基准透镜间的间隔可调整的间隔调整装置连结设置；前述间隔调整装置由在前述基准透镜的光轴延长线位置固定设置的固定筒体、对该固定筒体可沿与前述基准透镜接近·离开的方向只移动一定的行程量而设置的可动筒体、在该可动筒体上可装卸地进行连结的至少1个间隔延长用筒体构成；前述间隔延长用筒体的至少1个，具有较前述可动筒体对前述固定筒体的移动行程长度短的高度尺寸；前述透镜支座采用在前述可动筒体或与该可动筒体连结的位于最顶端部的前述间隔延长用筒体上可装卸地进行连结的构成。
总之，对基准透镜和被检测透镜之间的间隔调整要分2阶段进行。即，藉由装卸间隔延长用筒体，可阶段式地调整透镜间隔。在此基础上，藉由可动筒体对固定筒体的取出放入，可进行间隔的连续性调整。即，间隔延长用筒体作为阶段性间隔调整装置发挥作用，而可动筒体对固定筒体的取出放入则作为连续性间隔调整装置发挥作用。因此，使至少一个间隔延长用筒体的高度尺寸在连续性间隔调整装置的移动冲程范围内。藉此，虽然安装1段或复数段间隔延长用筒体时的可动筒体对固定筒体的连续性间隔调整的范围总是固定的，但利用使高度尺寸在连续性间隔调整装置的移动冲程范围内的间隔延长用筒体的安装，可使实质性的连续间隔调整范围，扩大到在利用可动筒体的连续间隔调整范围上加上间隔延长用筒体的高度尺寸的大小。
这里，如果使间隔延长用筒体的高度尺寸短，则可缩短利用可动筒体的连续性间隔调整范围。但是，如果要在某一范围内可进行实质性的连续间隔调整，必须使间隔延长用筒体的数目多。另一方面，如果要使所使用的间隔延长用筒体的数目少，则利用可动筒体的连续性间隔调整范围增长。较佳为使间隔延长用筒体的高度尺寸与利用可动筒体的连续性间隔调整范围大致相同。与连续性间隔调整范围大体一致的高度尺寸的间隔延长用筒体为最小间隔延长用筒体，并至少使用1个该最小间隔延长用筒体。而且，使用具有该最小间隔延长用筒体的整数倍的高度尺寸的多种的倍增间隔延长用筒体。最好使用1至多个具有最小间隔延长用筒体的2倍、3倍、4倍、5倍等高度尺寸的倍增间隔延长用筒体。藉此，可酌情更换使用少量数目的间隔延长用筒体，而对曲率半径差大的被检测透镜进行测定。
在被检测透镜的曲率半径已知的情况下，只进行1个或多个间隔延长用筒体在可动筒体上的装卸及由可动筒体被限定的范围的连续间隔调整即可。而且，即使被检测透镜的曲率半径未知，如果可利用目视等推测大致的曲率半径，则藉由确定所安装的间隔延长用筒体的种类及个数，并进行利用可动筒体的连续间隔调整，也可得知被检测透镜的曲率半径。而且，在到透镜支座之间层叠有固定筒体、可动筒体及间隔延长用筒体，所以不会产生在光路上因空气的扰乱而造成波动的问题。
作为利用可动筒体的连续间隔调整机构，由于调整范围是固定的，所以也可利用进给丝杆机构等自动地进行驱动，但如果采用将可动筒体和固定筒体间由螺旋面丝杆进行连结的构成，则可利用手动操作，对光轴不形成偏离和倾倒等，正确地进行间隔调整。而且，虽然在可动筒体上使间隔延长用筒体或透镜支座，或在间隔延长用筒体上使其它的间隔延长用筒体或透镜支座可装卸地进行连结，但在该连结状态下，相互的轴心必须一致。所以，可采用例如带梢嵌合等这样的，在连结状态下可进行轴心的位置对合的构成。而且，为了谋求在连结状态下的稳定性，最好采用例如螺旋嵌合、插入管式机构、急变作用机构等。
而且，本发明为一种使激光光源所照射的激光光束由基准透镜被部分反射，并使来自该基准透镜的透过光由被检测透镜的被检测面被反射，且利用观察装置对这两反射光间所产生的干涉条纹进行观察的干涉计装置；前述基准透镜作为基准透镜单元，而且前述被检测透镜作为被检测透镜安装单元，分别独立地被支持在主体罩壳上；前述基准透镜单元以可通过间隔微调机构对与前述被检测透镜安装单元间的间隔进行微调的形态而安装；前述被检测透镜安装单元由设于前述基准透镜的光轴的延长线位置的固定筒体，可对该固定筒体只以一定的行程量连续地进行间隔调整的可动筒体的连续性间隔调整机构、至少1个与该可动筒体可装卸地进行连结并具有前述可动筒体的移动行程大小的高度的最小间隔延长用筒体，1个或多个具有该最小间隔延长用筒体的整数倍的高度的1种或多种倍增间隔延长用筒体构成的阶段性间隔调整机构、在前述可动筒体或间隔延长用筒体上可装卸地进行连结，且可装卸地设置有前述被检测透镜的透镜支座构成。
而且，更具体地说，在基准透镜和被检测透镜间所调整的间隔中，10mm单位的调整是藉由将构成阶段性间隔调整机构的间隔延长用筒体与可动筒体连结，而且1mm单位的调整是藉由使构成连续性间隔调整机构的可动筒体旋转操作，另外1mm以下单位的调整可利用间隔微调机构进行调整。而且，为了可由手动操作进行间隔调整，连续性间隔调整机构及间隔微调机构可由螺旋面进杠构成。
经由上述可知，本发明是关于一种干涉计装置，藉由不使安装有被检测透镜的透镜支座动作，而只进行基准透镜的位置调整，可减少用于位置调整的动作量，并谋求调整机构的简洁化，且可进行正确的位置调整。将干涉计主体单元配置在主体罩壳的内部，且被检测透镜安装单元以可调整其高度位置的形态而安装在主体罩壳的顶板部上。基准透镜单元在可利用倾斜调整构件进行倾斜调整、可利用XY轴调整筒体而沿XY轴方向进行位置调整、利用Z轴调整筒体对高度位置进行微调的位置调整机构上设有透镜支持器，并在该透镜支持器上安装有基准透镜，且基准透镜即使对干涉计主体单元，还可在与被检测透镜之间进行光轴调整。
借由上述技术方案，本发明干涉计装置至少具有下列优点如利用具有上述这样结构构成的本发明，藉由将基准透镜构成为与干涉计主体不同的构件，并将该基准透镜配置于干涉计主体和被检测透镜安装单元之间，形成一种可沿与光轴直交的方向及倾斜方向进行位置调整的构成，从而可起到被调整位置的构件可在最小限度的动作范围内，使构成干涉计的所有构件正确地进行位置对合等效果。
另外，如利用具有上述这样结构构成的本发明，可起到当测定曲率半径不同的多种的被检测透镜时，即使该曲率半径差极大，也可利用小型且构造简单的间隔调整机构，对被检测透镜与基准透镜的间隔轻松且简单地进行调整等效果。
综上所述，本发明特殊结构的干涉计装置，藉由不使安装有被检测透镜的透镜支座动作，而只进行基准透镜的位置调整，可减少用于位置调整的动作量，并谋求调整机构的简洁化，且可进行正确的位置调整。另外，本发明特殊结构的干涉计装置使基准透镜和被检测透镜的间隔调整机构简洁化，并可迅速且轻松地进行该间隔调整。其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类产品中未见有类似的结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在结构上或功能上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的干涉计装置具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，以下特举一较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

图1是本发明的一实施形态，为表示干涉计装置的光学构成的整体构成的说明图。
图2是干涉计装置的正面图。
图3是图2的平面图。
图4是基准透镜单元的结构构成的断面图。
图5是作为位置调整机构的倾斜调整机构的结构构成说明图。
图6是倾斜调整机构中的驱动部的结构构成的断面图。
图7是被检测透镜安装单元的结构构成的断面图。
图8是在被检测透镜安装单元上安装了高度调整环的状态的断面图。
图9是被检测透镜安装单元的平面图。
图10是利用本发明的光轴调整机构的作用说明图。
图11是在被检测透镜安装单元上安装了1个间隔延长用筒体的状态的断面图。
图12是作为本发明的一实施例被使用的多个间隔延长用筒体的正面图。
图13是组入了图12的所有间隔延长用筒体的被检测透镜安装单元的半断面图。
1激光光源2射束整形透镜3可变光阑4射束分裂器5准直透镜6基准透镜6a入射面 6b基准面7被检测透镜 7a被检测面
8干涉条纹成像用透镜9摄像装置10干涉计主体单元 11主体罩壳11a顶板部 12基准透镜单元13开口 14被检测透镜安装单元20倾斜调整构件 21XY轴调整筒体21a凸缘部 22Z轴调整筒体23位置调整机构 24透镜支持器25a倾斜环 25b围壁构件26连结环 27钢球28圆锥状凹部 29调整度盘30丝杆轴 31钢球32圆锥状凹部 33、33X、33Y螺丝构件34X、34Y柱塞 35X、35Y操作旋钮37限动环 38丝杆部39操作筒 40凸缘部41支持器环 42限动螺丝43长孔 50支柱51固定框 51a丝杆部52螺旋面固定筒 52a螺旋面丝杆53支持器环 53a限动部54螺旋面可动筒 54a螺旋面丝杆54b凸缘部 54c支持部54d母螺纹部55摩擦环56透镜支座 56a公螺纹部56b圆环状突条 57钢球58刻度 61公螺纹部62母螺纹部 63端面60、60A、60B、60C间隔延长用筒体A1、A2、A3光轴具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的干涉计装置其具体实施方式
、结构、特征及其功效，详细说明如后。
首先，请参阅图1所示，是干涉计装置的整体结构构成。在同图中，1表示激光光源，从该激光光源所射出的激光光束射入用于使其射束直径扩大的射束整形透镜2，并在利用该射束整形透镜2被一次集光后进行发散，直至达到一定的射束直径。而且，在该射束整形透镜2的集光位置设置有可变光阑3，通过该可变光阑3的光进行发散并射入射束分裂器4，且藉由利用该射束分裂器4进行反射而使光路弯曲90°。而且，在射束分裂器4产生的反射光由准直透镜5被平行光束化。
6为基准透镜，7为被检测透镜，且基准透镜6在其入射面6a侧施以防反射涂层，其相反面形成基准面6b。被检测透镜7是对其被检测面7a的表面状态进行测定的，且基准透镜6的基准面6b和被检测透镜7的被检测面7a对向设置。而且，由准直透镜5被平行光束化的激光光束，在基准透镜6的基准面6b被部分反射，且透过了该基准透镜6的光在被检测透镜7的被检测面7a也进行部分反射。结果，在由基准面6b形成的反射光和由被检测面7a形成的反射光之间产生干涉作用。这样，具有干涉信息的反射光由准直透镜5被集光，并藉由透过射束分裂器4，而从入射光被分离。而且，可通过干涉条纹成像用透镜8被取入摄像装置9中。因此，藉由将来自摄像装置9的干涉条纹信息放映在监视器上，可根据例如干涉条纹的条数等，对被检测透镜7的被检测面7a的表面状态进行测定。
干涉计装置大致是采用具有以上这样结构的构成，且如图2及图3所示，在这些各个构件中，激光光源1、射束整形透镜2、可变光阑3、射束分裂器4、准直透镜5、干涉条纹成像用透镜8及摄像装置9作为干涉计主体单元10，设置于主体罩壳11的内部。在该主体罩壳11的顶板部11a上形成有开口13。基准透镜6如后述那样，包括其透镜支持器24及位置调整机构23在内而形成基准透镜单元12，且作为与干涉计主体单元10相互独立的单元，在主体罩壳11的顶板部11a上形成呈圆形的导光用开口13，并安装在该开口13的周围。另外，如后述那样，配备有在顶板部11a的上面直立设置·固定的支柱50及固定框51、在该固定框51上通过调整高度的间隔调整装置而安装的透镜支座56，并利用它们构成被检测透镜安装单元14，且在该被检测透镜安装单元14中的透镜支座56上，可装卸地设置有被检测透镜7。
另外，虽然在本实施形态中，是使基准透镜6形成一种与干涉计主体单元10独立的构成，但也可采用在干涉计主体单元侧安装透镜支持器，并在该透镜支持器上安装基准透镜的构成。而且，虽然可利用基准透镜位置调整机构23将基准透镜6的光轴沿XY轴方向及倾斜方向进行调整，但也可采用在例如构成被检测透镜安装单元的固定框架侧，例如固定框架和间隔调整装置之间设置任一调整机构或所有光轴调整机构的构成。
接着，请参阅图4所示，对基准透镜单元12的结构构成进行说明。在图示中，20为作为第1级的倾斜调整构件，21为作为第2级的XY轴调整筒体，22为作为第3级的Z轴调整筒体，并利用这3级构成位置调整机构23。而且，基准透镜6被安装在透镜支持器24上，且该透镜支持器24被拧合插入于Z轴调整筒体22中。当产生更换基准透镜6的需要时，将每个透镜支持器24从Z轴调整筒体22上拆下。
构成位置调整机构23的倾斜调整构件20被设置在主体罩壳11的顶板部11a上，由具有圆环状的开口的倾斜环25a和安装有XY轴的调整装置的围壁构件25b构成，且这些倾斜环25a和围壁构件25b由连结环26被连结。而且，倾斜环25a是藉由向任意的方向进行倾斜，而使透镜支持器24上所安装的基准透镜6的光轴向所需的方向倾斜的。为了进行该倾斜调整构件20的倾斜调整，如图5及图6所示，在倾斜环25a和主体罩壳11的顶板部11a之间装入钢球27，并使该钢球27被收纳在倾斜调整构件20的下面所设置的圆锥状凹部28中，且该位置成为倾斜支点位置。而且，作为进行倾斜调整的操作装置，设有一对调整度盘29，且该调整度盘29与在顶板部11a上拧合插入的丝杆轴30进行连结。该丝杆轴30的顶端部与钢球31抵接，且钢球31也被收纳在倾斜调整构件20的下面所设置的圆锥状凹部32中。而且，这些钢球27及钢球31、31被配置在同心圆上，且钢球31以对钢球27的设置部成90°的位置关系而被设置。因此，藉由使各调整度盘29转动，并使丝杆轴30从顶板部11a出没，可使倾斜调整构件20对顶板部11a的上面沿所需的方向只倾斜所需的角度。
在倾斜调整构件20的围壁构件25b内，XY轴调整筒体21以转动配合状被嵌合。XY轴调整筒体21其外周面较倾斜调整构件20的围壁构件25b的内径�。依酶弥本恫羁山邢蚧纪妇�6的XY轴方向，即与基准透镜6的光轴直交的方向的位置调整。所以，在围壁构件25b内，被设置在X轴调整装置和Y轴调整装置直交的位置上。这些调整装置由与围壁构件25b相互面对设置的螺丝构件33X，33Y、柱塞34X，34Y构成，且这些螺丝构件33X、33Y及柱塞34X、34Y贯通围壁构件25b设置，而且在螺丝构件33X、33Y于围壁构件25b的外侧所延展的部位上连结有操作旋钮35X、35Y。因此，藉由当使操作旋钮35X、35Y转动，并利用螺丝构件33X、33Y按动XY轴调整筒体21时，柱塞34X、34Y缩短，而且当使螺丝构件33X、33Y沿从XY轴调整筒体21离开的方向动作时，柱塞34X、34Y可按动XY轴调整筒体21，所以使XY轴调整筒体21在倾斜调整构件20的围壁构件25b的内部这一受限的范围内，可位移到水平方向的任意位置。
这样，XY轴调整筒体21可对倾斜调整构件20的围壁构件25b沿水平方向进行移动，但必须保持XY轴调整筒体21不从围壁构件25b上脱落或倾斜。因此，在XY轴调整筒体21的外周面相连设置有凸缘部21a，而且在围壁构件25b上设有层次部，且上部侧的内面形成大直径，并在该内面上形成母螺纹。而且，在母螺纹上拧合插入有限动环37，且XY轴调整筒体21其凸缘部21a由限动环37被限制向上方的动作，对倾斜调整构件20以只能沿水平方向(X轴方向、Y轴方向)进行位置调整的形态被连结。
Z轴调整筒体22被嵌合在XY轴调整筒体21的上部位置。该Z轴调整筒体22是用于对在那里被固定并安装了基准透镜6的透镜支持器24的高度位置进行微调的。因此，在Z轴调整筒体22的外周面上形成有丝杆部38，且该丝杆部38与操作筒39进行拧合。而且，在操作筒39的下端部相连设置有朝向外侧的凸缘部40，且该凸缘部40利用支持器环41被夹持在与围壁构件25b的上端面之间，操作筒39可对XY轴调整筒体21进行旋转。在Z轴调整筒体22的侧面部固定安装有限动螺丝42，且该限动螺丝42的头部插入到在XY轴调整筒体21上所形成的上下方向的长孔43中。因此，当使操作筒39转动时，固定设置有透镜支持器24的Z轴调整筒体22沿上下方向进行移动。而且，在XY轴调整筒体21上形成的长孔43，发挥用于限制Z轴调整筒体22的上下方向行程的作用。这里，Z轴微调筒体22是被微小动作，对基准透镜6和被检测透镜7的间隔进行微调的，所以要求其移动精度及间隔分解能力极高。因此，Z轴微调筒体22和操作筒39的拧合部，可由例如螺旋面丝杆等构成。
接着，请参阅图7所示，是被检测透镜安装单元14的结构构成。由同图可知，在主体罩壳11的顶板部11a上，于其开口13的位置所安装的基准透镜单元12的外侧位置，直立设置有4根支柱50，且在该支柱50的上端部固定设置有固定框51。在该固定框51上形成有圆形的透孔，且在该透孔的内面形成有丝杆部51a。在该丝杆部51a上，藉由使在外周面只以一定的长度量形成有螺旋面丝杆52a的螺旋面固定筒52被螺旋插入而固定设置。而且，在固定框51上固定安装有支持器环53，且在该支持器环53的上端部形成有朝向内侧的限动部53a。在螺旋面固定筒52和支持器环53之间，在内周面形成有与螺旋面丝杆52a扣合的螺旋面丝杆54a的可动筒54被嵌合，当转动操作该螺旋面可动筒54时，其对螺旋面固定筒52上下动作。而且，当将螺旋面可动筒54调整到一定的高度位置时，为了在该位置将螺旋面可动筒54保持在一种稳定的状态，在螺旋面固定筒52和螺旋面可动筒54中，安装有用于在未形成螺旋面丝杆52a、54a的部位对其间的相对转动给予阻力的，由O型环等构成的摩擦环55。在螺旋面可动筒体54的下端部，形成有与支持器环53的限动部53a扣合的凸缘部54b，防止螺旋面可动筒体54向上方移动以至使螺旋面可动筒体54和螺旋面固定筒体52之间的螺旋面丝杆52a、54a的拧合状态解消。
利用以上的螺旋面固定筒体52、沿该螺旋面固定筒体52上下动作的螺旋面可动筒体54，构成基准透镜6和被检测透镜7之间的间隔调整装置中的连续性间隔调整机构。间隔调整装置包括该连续性间隔调整机构、后述的由间隔延长用筒体60构成的阶段性间隔调整机构。
螺旋面可动筒体54的顶端面为具有平面的支持部54c，而且在顶端侧的内周面形成有作为连结部的母螺纹部54d。而且，在该螺旋面可动筒体54的支持部54c上，设置有被检测透镜7的透镜支座56可被支持。因此，在透镜支座56上设有用于拧合插入螺旋面可动筒体54的母螺纹部54d中的公螺纹部56a。
螺旋面可动筒54的顶端面为具有平面的支持部54c，而且在顶端侧的内周面形成有螺丝部。而且，在该螺旋面可动筒54的支持部54c上，载置有用于载置被检测透镜7的透镜支座56，并藉由在其螺丝部中拧合插入而被固定。透镜支座56为环状构件，在其内径部形成有一定高度的圆环状凸条56b，且在该圆环状凸条56b的顶端面上以120°的间隔安装有3个钢球57。而且，这些钢球57从圆环状凸条56b只突出一定的高度，且被检测透镜7的被检测面7a与这些钢球57抵接，并对透镜支座56保持非接触状态。
而且，在螺旋面可动筒54上直接安装有透镜支座56，但根据被检测透镜7的被检测面7a的曲率半径，也可如图8和图9所示，采用连结具有一定高度的高度调整环60，且使透镜支座56设置在该高度调整环60上的构成。
本实施形态是象上面这样被构成的，当测定被检测透镜7的被检测面7a的表面状态时，在透镜支座56上设置被检测透镜7，并使激光光源1发出的激光光束通过基准透镜6照射被检测透镜7。激光光束其一部分由基准透镜6的基准面6b进行反射，并在被检测透镜7的被检测面7a上也进行反射，且这2个反射波面形成干涉，其干涉信息由摄像装置9被摄像。
然而，为了正确地进行被检测透镜7的测定，从激光光源1到被检测透镜7、从被检测透镜7到摄像装置9的光路上的光轴必须正确地一致。干涉计装置由干涉计主体单元10、基准透镜单元12、被检测透镜安装单元14构成，且干涉计主体单元10在主体罩壳11的内部，而且被检测透镜安装单元14在顶板部11a的上面被固定设置。因此，干涉计装置的各部分的光轴调整只在基准透镜单元12侧进行。
在干涉计装置中，干涉计主体单元10及被检测透镜安装单元14被装入到主体罩壳11中，所以当然在其组装时要严格地进行位置调整而组装。但是，因为干涉计主体单元10和被检测透镜安装单元14被分别独立地装入到主体罩壳11中，所以无法防止在这些各部分上产生多少的加工公差和组装误差等。即，虽然分别都在容许范围内，但无法防止在干涉计主体单元10和被检测透镜安装单元14之间产生多少的位置偏离。而且，在被检测透镜安装单元14中，当进行曲率半径不同的被检测透镜的测定时，必须操作螺旋面可动筒54，对透镜支座56的高度位置进行调整，而且对Z轴调整筒体22从XY轴调整筒体21的突出量进行微调。而且，依据需要可将1个或多个高度调整环60安装在螺旋面可动筒54和透镜支座56之间。因此，在它们之间，也不能否定透镜支座56上所设置的被检测透镜7对干涉计主体单元10稍稍产生光轴偏离的可能性。
这样，虽然有在被检测透镜7的光轴和干涉计主体单元10的光轴之间产生偏离的要因，但藉由在这些被检测透镜7和干涉计主体单元10之间配置基准透镜6，并将该基准透镜6的光轴对干涉计主体单元10及被检测透镜7进行光轴对合，从而可进行调整，以对干涉计主体单元10和被检测透镜安装单元14上所安装的被检测透镜7之间的光轴偏离进行修正，并可正确地测定被检测透镜7。
然而，由图1可知，当进行被检测透镜7的测定时，其曲率中心位置与基准透镜6的曲率中心位置必须一致。被检测透镜7是被设置在螺旋面可动筒体54上所安装的透镜支座56上的，且该螺旋面可动筒体54对螺旋面固定筒体52可沿上下方向进行移动，而且，在基准透镜单元12上设有Z轴微调筒体22。因此，藉由对它们进行操作，可进行两透镜6、7间的间隔即Z轴方向的位置调整，以使透镜支座56上所设置的被检测透镜7的曲率中心位置，与基准透镜6的曲率中心位置形成同一位置。
现在，设透镜支座56上所设置的被检测透镜7的光轴为A1，干涉计主体单元10的光轴为A2，基准透镜单元12上所安装的基准透镜6的光轴为A3，并如图10(a)所示，使光轴A1和光轴A2沿水平方向只偏离P。在这种情况下，可对基准透镜6的光轴A3进行调整，使其处于光轴A1和光轴A2的大致中间位置。藉此，可以为了在来自基准透镜6的反射光的波面和来自被检测透镜7的反射光的波面之间作出正确的干涉条纹信息所必需的程度，使干涉计主体单元10、基准透镜6、被检测透镜7的光轴一致，且被检测透镜7的测定精度大大提高。
这里，基准透镜6的位置调整可藉由利用操作旋钮35X、35Y的适当操作，在倾斜调整构件20的围壁构件25b内使XY轴调整筒体21沿水平方向移动而进行。而且，XY轴调整筒体21通常被配置在大致调心的位置，所以使它们进行微小移动即可，因此其操作也变得容易，从操作性这一点出发也是有利的。
而且，如图10(b)所示，当被检测透镜7的光轴A1对干涉计主体单元10的光轴A2倾斜角度θ时，藉由适当转动操作在2处位置所设置的调整度盘29，可操作倾斜调整构件20对主体罩壳11的顶板部11a进行微小量的倾斜，并藉由只以该角度θ的大致一半的角度进行基准透镜单元12的角度调整，从而可正确地进行被检测透镜7的测定。
在通常情况下，干涉计主体单元10和被检测透镜安装单元14上所设置的被检测透镜7间的光轴偏离，包括水平方向及倾斜方向的成分，所以实际上为了进行光轴对合，要对构成位置调整机构23的操作装置的操作旋钮35X，35Y、由一对构成的调整度盘29进行操作。而且，只要干涉计主体单元10和被检测透镜7不极端地，即产生利用基准透镜6无法吸收光轴的偏离的程度的偏离，就可藉由操作基准透镜单元12的位置调整机构23而使干涉计主体单元10、基准透镜6及被检测透镜7的光轴在实质上一致。
如上所述，干涉计装置的光轴调整要使基准透镜6对被检测透镜7，而且对干涉计主体单元10进行，所以能够有效地吸收它们的光轴偏离。对此，当将基准透镜组入干涉计主体中时，即使极其严格地进行了位置调整，也不能在干涉计主体的另外的部位即射束整形用透镜、射束分裂器等与基准透镜之间，使光轴的偏离及倾斜为0。因此，当测定曲率半径大的被检测透镜时，该被检测透镜与基准透镜的间隔距离增长，且只因此部分就使基准透镜和除此以外的构成干涉计主体的构件进行组装时所产生的光轴偏离增大，所以被检测透镜的光轴调整的困难性增加。
这里，基准透镜单元12的Z轴微调筒体22只具有对基准透镜6和被检测透镜7之间的间隔进行微调的机能，实质上形成一种间隔调整藉由利用螺旋面可动筒体54的旋转，使两透镜6、7间的间隔连续变化而进行的构成。但是，如使该螺旋面可动筒体54的移动行程过长，则相互嵌合的螺旋面固定筒体52和螺旋面可动筒体54的长度增长，不只是加工变得麻烦，也导致干涉计装置整体的大型化。因此，对利用该螺旋面可动筒体54的操作的间隔调整范围进行一定程度的限制。即，如图11所示，将螺旋面可动筒体54的移动行程，即间隔调整范围限定为S。
这样，当限定连续间隔调整机构的移动行程时，在基准透镜6和被检测透镜7的曲率半径差大的情况下，可能的调整长度不足，在这样的状态下无法使被检测透镜7的曲率半径的中心移动到基准透镜6的曲率半径的中心位置。另外，虽然螺旋面丝杆52a、54a的全长较该间隔调整范围S长，但如使螺旋面可动筒体54的移动行程达到这些螺旋面丝杆52a、54a的拧合状态的限度，则会损坏螺旋面可动筒体54的稳定性。因此，间隔调整范围S应完全小于可能的移动行程。
因此，为了将透镜支座56提高加固并使间隔调整可能范围增大，使用间隔延长用筒体60作为阶段性间隔调整机构。该间隔延长用筒体60被安装在螺旋面可动筒体54和透镜支座56之间，藉此使设置有被检测透镜7的位置，与基准透镜6之间的距离只为该间隔延长用筒体60的高度。该间隔延长用筒体60在其一端侧形成有被拧合插入在螺旋面可动筒体54的母螺纹部54d中的公螺纹部61，而且在相反侧的末端形成有与透镜支座56的公螺纹部56a或与其它的间隔延长用筒体60的公螺纹部61拧合的母螺纹部62。而且，在螺旋面可动筒体54的形成有母螺纹部62一侧的端面63上，透镜支座56或另外的间隔延长用筒体60进行抵接堆积。
这里，使透镜支座56直接与螺旋面可动筒体54连结也好，在它们之间置入间隔延长用筒体60进行连结也好，所有的这些连结部都为带梢嵌合状态。藉此，在这些构件间，轴线不会发生偏离或倾斜，能够正确地进行调心。而且，由于各带梢嵌合部被螺旋结合，所以也可得到足够的稳定性。另外，在各连结部不产生间隙，所以使激光射束的光路周围被完全覆盖，在该光路中，不存在产生空气扰乱的影响等问题。
当在螺旋面可动筒体54的支持部54c和透镜支座56之间安装间隔延长用筒体60时，可只以在其上下螺丝部61、62被延展的部分的间隔，即间隔延长用筒体60的高度尺寸H而使透镜支座56从螺旋面可动筒体54被提高加固。而且，图9所示的为最小间隔延长用筒体60A，该最小间隔延长用筒体60A的高度尺寸H，被设定为与利用螺旋面可动筒体54的连续进行的间隔调整范围S相同，或比其小的尺寸。
而且，如图12及图13所示，作为间隔延长用筒体60，可将其高度尺寸不同的多个种类组合使用。图示是使用具有1H的高度尺寸的最小间隔延长用筒体60A、具有3H的高度尺寸的中间间隔延长用筒体60B、具有5H的高度尺寸的最大间隔延长用筒体60C，且只使最小间隔延长用筒体60A为2个，中间间隔延长用筒体60B和最大间隔延长用筒体60C分别使用1个。藉此，可使被检测透镜7的位置在1H-10H的距离内进行变化。但是，对间隔延长用筒体60而言，主要是能使其在1H-10H的距离内进行变化，而并不限定于上述的组合。例如，作为间隔延长用筒体60，使用1个1H用的，2个2H用的，1个5H用的，也可带来同样的间隔变化。而且，如果使用2个最大间隔延长用筒体60C，则可在1H-15H的距离内进行变化。
下面具体地进行示例，在图7所示的状态，即当在螺旋面可动筒体54的支持部54c上直接安装透镜支座56，且使螺旋面可动筒体54位于最下部，并使该透镜支座56上所设置的被检测透镜7与基准透镜6间的距离为原点位置时，如使利用螺旋面可动筒体54的连续间隔调整范围S为10mm，而且使最小间隔延长用筒体60A的高度尺寸H为10mm，则可使被检测透镜7从原点位置连续移动到100mm。即，在该整个间隔调整范围中，可利用间隔延长用筒体60阶段式地进行10位数的间隔调整，而且可藉由操作螺旋面可动筒体54，连续地进行1位数的间隔调整。另外，基准透镜单元12的Z轴微调筒体22，可发挥将基准透镜6和被检测透镜7间的间隔以小数点以下的单位进行微调的机能。
而且，为了表示螺旋面可动筒体54从螺旋面固定筒体52的陆续送出量，在该螺旋面可动筒体54的外周面上如图11所示设置刻度58，并藉由依据该螺旋面可动筒体54的陆续送出而使刻度58从支持器环53的上端部露出，可使螺旋面可动筒体54的操作更加顺利且确实地进行。而且，当使连续间隔调整范围S为10mm时，刻度58最好为1mm单位。
因此，在需要使被检测透镜7的位置与原点位置相距例如15.3mm的间隔的情况下，将最小间隔延长用筒体60A与1个螺旋面可动筒体54进行连结，并在该最小间隔延长用筒体60A上安装透镜支座56，且在此基础上进行操作以使螺旋面可动筒体54对螺旋面固定筒体52上升5mm。而且，最终的0.3mm的调整可藉由使与基准透镜单元12的Z轴微调筒体22拧合的操作筒39旋转操作而进行。当从该测定状态更换了进行测定的被检测透镜7时，如果例如从原点位置需要77.6mm的间隔，则将2个最小间隔延长用筒体60A、最大间隔延长用筒体60C相互连结，安装在螺旋面可动筒体54和透镜支座56之间，并利用螺旋面可动筒体54而位移到从螺旋面固定筒体52陆续送出7mm的位置即可。而且，0.6mm的调整可在Z轴微调筒体22侧进行。这样，藉由使用间隔延长用筒体60，而使利用螺旋面可动筒体54的连续性间隔调整范围总是在10mm以下，所以因被检测透镜7的变更所带来的程序更替的操作性变得非常良好。
藉由采用这种构成，对必要的间隔调整范围，可使螺旋面丝杆的长度较短，所以加工变得容易。而且，最终可利用Z轴微调筒体22进行被检测透镜7的正确定位，所以虽然在该Z轴微调筒体22中使用具有微细距离分解能力的高精度的移动机构，但在构成连续性间隔调整机构的螺旋面固定筒体52和螺旋面可动筒体54之间的移动机构，并不要求具有那么高的精度。因此，利用可进行大间隔移动的螺旋面可动筒体54的操作，对基准透镜6和被检测透镜7之间的间隔进行粗调，并利用Z轴微调筒体22进行微小间隔的调整，所以能够轻松且迅速地，并以极高的精度进行该间隔调整。
如上所述，藉由使用间隔延长用筒体60，不管被检测透镜7的曲率半径如何，在实际进行测定时，都不会从透镜支座56的高度位置突出，且间隔延长用筒体60及透镜支座56可装卸。因此，作为将它们进行分离的状态下的干涉计装置整体的高度尺寸，可为从干涉计主体单元10的低部到螺旋面可动筒体54的上部的尺寸，只是间隔调整部分的尺寸被缩减，可使在顶板部11a上安装有基准透镜单元12和被检测透镜安装单元14的主体罩壳11小型且简洁，且可谋求轻量化。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.一种干涉计装置，为使激光光源所照射的激光光束由基准透镜被部分反射，并使来自该基准透镜的透过光由被检测物的被检测面反射，且利用观察装置对这两反射光间所产生的干涉条纹进行观察的干涉计装置；其特征在于包括前述激光光源及前述观察装置、到将该激光光源发出的激光光束形成平行光束的准直透镜为止的光学系统的干涉计主体单元，被固定设置在主体罩壳内；在前述主体罩壳的顶板部形成设有可通过前述干涉计主体单元所照射的平行光束及由前述观察装置所产生的观察光束的导光用开口；在夹持该导光用开口的前述顶板部并在与前述干涉计主体单元相反侧的位置，设置有前述被检测透镜的被检测透镜安装单元被支持在前述主体罩壳上；前述基准透镜安装在安装于前述主体罩壳的前述导光用开口位置的位置调整装置上；前述位置调整装置可进行对前述干涉计主体单元所照射的平行光束的光轴直交的方向及倾斜方向的位置调整。
2.根据权利要求1所述的干涉计装置，其特征在于采用前述位置调整装置由在前述主体罩壳的顶板部可倾斜调整的环状的第1级、可沿XY直交双轴方向进行位置调整的筒状的第2级、对该第2级可沿Z轴方向进行位置调整的第3级构成，且前述基准透镜安装在该第3级上的结构构成。
3.一种干涉计装置，为使激光光源所照射的激光光束由基准透镜被部分反射，并使来自该基准透镜的透过光由被检测透镜的被检测面被反射，且利用观察装置对这两反射光间所产生的干涉条纹进行观察的干涉计装置；特征在于前述被检测透镜是可装卸地设置在透镜支座上；该透镜支座与用于使设于其上的被检测透镜和前述基准透镜间的间隔可调整的间隔调整装置连结设置；前述间隔调整装置由在前述基准透镜的光轴延长线位置固定设置的固定筒体、对该固定筒体可沿与前述基准透镜接近·离开的方向只移动一定的行程量而设置的可动筒体、在该可动筒体上可装卸地进行连结的至少一个间隔延长用筒体构成；前述间隔延长用筒体的至少1个，具有较前述可动筒体对前述固定筒体的移动行程长度短的高度尺寸；以及前述透镜支座采用在前述可动筒体或与该可动筒体连结的位于最顶端部的前述间隔延长用筒体上可装卸地进行连结的构成。
4.根据权利要求3所述的干涉计装置，其特征在于其中所述的间隔延长用筒体由形成较前述可动筒体对前述固定筒体的移动行程长度短的高度尺寸的至少1个最小间隔延长用筒体、具有该最小间隔延长用筒体的整数倍的高度的多种的倍增间隔延长用筒体构成。
5.根据权利要求3所述的干涉计装置，其特征在于采用前述固定筒体和前述可动筒体由螺旋面丝杆进行连结的结构构成。
6.一种干涉计装置，为使激光光源所照射的激光光束由基准透镜被部分反射，并使来自该基准透镜的透过光由被检测透镜的被检测面被反射，且利用观察装置对这两反射光间所产生的干涉条纹进行观察的干涉计装置；特征在于前述基准透镜作为基准透镜单元，而且前述被检测透镜作为被检测透镜安装单元，分别独立地被支持在主体罩壳上；前述基准透镜单元以可通过间隔微调机构微调与前述被检测透镜安装单元间的间隔的形态而安装；以及前述被检测透镜安装单元由设于前述基准透镜的光轴的延长线位置的固定筒体，可对该固定筒体只以一定的行程量连续地进行间隔调整的可动筒体的连续性间隔调整机构、至少1个与该可动筒体可装卸地连结并具有前述可动筒体的移动行程大小的高度的最小间隔延长用筒体，1个或多个具有该最小间隔延长用筒体的整数倍的高度的1种或多种倍增间隔延长用筒体构成的阶段性间隔调整机构、在前述可动筒体或间隔延长用筒体上可装卸地连结，且可装卸地设置有前述被检测透镜的透镜支座构成。
7.根据权利要求6所述的干涉计装置，其特征在于在前述基准透镜和前述被检测透镜间被调整的间隔中，10mm单位的调整可利用前述阶段性间隔调整机构，而且1mm单位的调整可利用前述连续性间隔调整机构，另外1mm以下单位的调整可利用前述间隔微调机构而进行调整，且前述连续性间隔调整机构及前述间隔微调机构利用螺旋面丝杆构成。
全文摘要
本发明是关于一种干涉计装置，藉由不使安装有被检测透镜的透镜支座动作，而只进行基准透镜的位置调整，可减少用于位置调整的动作量，并谋求调整机构的简洁化，且可进行正确的位置调整。将干涉计主体单元配置在主体罩壳的内部，且被检测透镜安装单元以可调整其高度位置的形态而安装在主体罩壳的顶板部上。基准透镜单元在可利用倾斜调整构件进行倾斜调整、可利用XY轴调整筒体而沿XY轴方向进行位置调整、利用Z轴调整筒体对高度位置进行微调的位置调整机构上设有透镜支持器，并在该透镜支持器上安装有基准透镜，且基准透镜即使对干涉计主体单元，还可在与被检测透镜之间进行光轴调整。
文档编号G01M11/00GK1601222SQ20041007800
公开日2005年3月30日申请日期2004年9月16日优先权日2003年9月22日
发明者前田一平申请人:富士写真光机株式会社

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干涉计装置的制作方法