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一种集成电路测试系统电压传递标准器的制作方法

时间:2025-04-10    作者: 管理员

专利名称:一种集成电路测试系统电压传递标准器的制作方法
技术领域:
本实用新型涉及微电子计量技术领域,具体地说是一种集成电路测试系统电压传递标准器。
背景技术:
微电子量值溯源、传递的方法和途径一直是阻碍微电子计量检定、校准和比对工作开展的关键问题。标准物质是实现量值溯源和传递的良好途径,具有方便携带、校准过程简单、可以现场校准等诸多优点。然而,适合集成电路测试系统的传递标准器却几乎没有。电压驱动是集成电路测试系统的一个主要直流参量,由于不同集成电路测试系统的技术指标不一致,即使同一类型测试系统也同时有多量程的电压驱动能力,每档量程的准确度也各不相同。如需完整地校准集成电路测试系统的电压驱动,通常的做法是按量程选取一些典型值分别对其进行校准,则电压传递标准器也必须具备一定范围内可编程的高精度电压量值。··目前,业界也有采用集成电路进行测试系统的量值比对、核查,通常的做法是选取某种集成电路特定的参量在不同测试系统上测试,以此来进行测试系统性能比对。此类用作比对的集成电路一般选自市面上现有的集成电路,参量量值单一、且稳定性不高,并不适合用于测试系统的传递标准。鉴于以上考虑,我们必须构造出一种高精度的可编程电压传递标准器,使之适合用于集成电路测试系统电压驱动的检定、校准以及比对。
发明内容本实用新型提出了一种集成电路测试系统电压传递标准器的构造,目的是采用一种更为便携、快速的方法来解决集成电路测试系统电压驱动的校准问题。本实用新型一种集成电路测试系统电压传递标准器,包括一个电源供给端、一个输入端、一个输出端及一组控制端,标准器电路由高精度并行模数转换器即AD、数字比较器、电源管理芯片组成。所述标准器之各电路之间的连接关系如下标准器的输入端连接AD的输入,标准器的输出端连接数字比较器的输出,AD的输出与数字比较器的一组输入端相连,数字比较器的另一组输入端与标准器的控制端相连,电源管理芯片的输出端连接AD和数字比较器的电源端。该标准器具有结构简单、精度高、易于使用等特点,采用双列直插封装,且具有可编程电压值,标准器控制端输入的一组数字信号确定标准器的电压标准值。输入端电压小于或等于该标准值时,输出端实时反馈一低电平;输入端电压大于该标准值时,输出端实时反馈一高电平。该标准器附有一映射表,映射表上的每一组数字与标准值一一对应,且具有唯一性,该映射表通过高性能仪表给标准器定值获得。一种集成电路测试系统电压校准的传递标准器的优点是使标准物质作为集成电路测试系统的传递标准成为可能,确保了集成电路测试系统电压驱动的全量程校准。无论是微电子计量体系建设、计量技术研究、校准装置研制、计量监督管理,还是计量标准建立、计量技术服务,乃至测试设备比对、核查以及测试验证都需要用到电压传递标准器,应用前景广阔,社会、经济效益显著。

图I为电压传递标准器电路结构图。图2为电压传递标准器映射表。
具体实施方式
下面结合说明书附图来说明本实用新型的具体实施方式
。电压传递标准器的电路结构图如附图I所示,电路包括一个电源供给端、一个输入端、一个输出端及一组控制端。整个电路主要由高精度并行模数转换器即AD、数字比较器、电源管理芯片组成。其中,标准器的输入端连接AD的输入,标准器的输出端连接数字比 较器的输出。AD的输出与数字比较器的一组输入端相连,数字比较器的另一组输入端与标准器的控制端相连,电源管理芯片的输出端连接AD和数字比较器的电源端。AD将输入端电压转换为一组η位数字信号,数字比较器用于对AD的η位输出信号同控制端的η位输入信号进行数据比较,如果AD的输出信号小于或者等于控制端输入的η位数字信号,则输出一低电平到输出端上;如果AD的输出信号大于控制端输入的η位数字信号,则输出一高电平到输出端上。其中,AD的有效转换精度不低于12bit,输入范围不小于O 10V,采样速率不低于IOOkSPSo标准器同时附有一映射表如图2所不,映射表上的每一组η位数字与标准值对应,且具有唯一性,该标准器的标准值采用经过确认正确无误的测量方法,经由高性能仪表定值,仪表的准确度至少要高于被校测试系统电压驱动准确度的3 5倍。该标准器用于校准或检定集成电路测试系统电压驱动时,标准器输入端连接测试系统被校电压驱动单元,输出端连接测试系统比较器,控制端连接测试系统数字通道,控制端输入的一组数字信号确定标准器的标准值vstd。校准时,电源电压为规定的电压值,输出端施加规定的比较电平,输入端电压由地电压值逐渐上升或由电源电压逐渐下降,使输出逻辑状态发生改变时,此时的输入端电压记为Vtv。由此得到测试系统电压驱动的误差为Vdrv与Vstd的差值。
权利要求1.一种集成电路测试系统电压传递标准器,其特征在于包括一个电源供给端、一个输入端、一个输出端及一组控制端,标准器电路由高精度并行模数转换器即AD、数字比较器、电源管理芯片;所述标准器之各电路之间的连接关系如下标准器的输入端连接AD的输入,标准器的输出端连接数字比较器的输出,AD的输出与数字比较器的一组输入端相连,数字比较器的另一组输入端与标准器的控制端相连,电源管理芯片的输出端连接AD和数字比较器的电源端。
2.根椐权利要求I所述的一种集成电路测试系统电压传递标准器,其特征在于所述标准器之AD有效转换精度不低于12bit,输入范围不小于O 10V,采样速率不低于IOOkSPSo
3.根椐权利要求I所述的一种集成电路测试系统电压传递标准器,其特征在于所述标准器同时附有一映射表,映射表上的每一组控制字与标准值一一对应,且具有唯一性,该标准值通过高性能仪表给标准器定值获得,仪表的准确度至少要高于被校测试系统电压驱动准确度的3 5倍。
专利摘要一种集成电路测试系统电压传递标准器,其特征在于包括一个电源供给端、一个输入端、一个输出端及一组控制端,标准器电路由高精度并行模数转换器(AD)、数字比较器、电源管理芯片。其优点是使标准物质作为集成电路测试系统的传递标准成为可能,确保了集成电路测试系统电压驱动的全量程校准。无论是微电子计量体系建设、计量技术研究、校准装置研制、计量监督管理,还是计量标准建立、计量技术服务,乃至测试设备比对、核查以及测试验证都需要用到电压传递标准器,应用前景广阔,社会、经济效益显著。
文档编号G01R35/00GK202710741SQ20122036978
公开日2013年1月30日 申请日期2012年7月30日 优先权日2012年7月30日
发明者胡勇, 孙崇钧, 王庆 申请人:中国船舶重工集团公司第七0九研究所

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