专利名称：粘滑检测装置及检测方法
技术领域：
本发明涉及对调节阀、气体调节器等包含具有接触摩擦部的滑动面的装置在动作中的粘滑进行检测的粘滑检测装置及检测方法。
背景技术：
通过检测滑动部分的粘滑的发生，能够诊断调节阀、气体调节器的故障。例如图10 所示，粘滑由于活塞1001与气缸1002的接触滑动部1003的状态而发生。例如，该粘滑在异物混入接触滑动部1003等时发生。由此，通过计测活塞1001的位移，监视计测出的位移的状态，能够检测粘滑(参照专利文献1)。此处，简单说明专利文献1所记载的粘滑检测。在该检测技术中，检测活塞1001 的位移，根据检测出的位移计算出第一状态量，此外根据检测出的位移计算出第二状态量， 通过对根据正常动作时的位移而得到的第一状态量与第二状态量的关系和计算出的第一状态量与计算出的第二状态量之间的关系进行比较，检测(判断)粘滑。例如，作为第一状态量使用位移的一阶差值的绝对值的平均值，作为第二状态量使用位移的一阶差值的平方平均的平方根。在离散地检测活塞1001的位移的情况下，令第 i次检测出的位移为Xi，则各状态量由以下的式(1)和式( 表达(其中，N是在状态量的计算中使用的位移数据)。(数学式1)
(第一状态量
■ —1 /=1
ΧΗ-1—X i
(第二状态量) (χι+厂χ,位移的一阶差值的绝对值(IXw-XiI)的频率分布如图IlA和图IlB所示。图IlA 表示正常时的状态，随着差值变大，发生频率缓慢减少。另一方面，在发生了粘滑的情况下， 大半的时间为粘着状态，有时会出现滑动状态。因此，如图IlB所示，一阶差值的频率以高频率取0附近的值(与粘着状态对应)，另一方面，也可能取低频率且较大的值(与滑动状态对应)。在发生了这样的粘滑的状态下，第一状态量(一阶差值的绝对值平均)与第二状态量(一阶差值的平方平均的平方根)的比与正常时相比变大，因此，通过监视两个状态量的比能够检测粘滑。专利文献1 日本专利第32Μ624号公报但是，在上述技术中，存在根据可动部(活塞)的控制状态，会错误判断为粘滑状态的问题。在上述技术中，粘滑的检测对象的动作被分为粘着状态和滑动状态这两个状态，
5并根据利用可动部的位移计算出的两个状态量和它们的关系对其进行检测。这是仅使用可动部的位移进行判断。因此，如果可动部的动作(位移)与粘滑的状态同样，则即使没有实际发生粘滑，也会判断为粘滑。但是，这是错误检测。例如，在利用位置控制器的阀轴位置的控制中，在阀轴位移的控制指令值(设定值，set point)大幅变更的情况下，控制指令值变更时的阀(可动部)的位移的动作存在与粘滑的状态相同的情况。如果施加图12(a)所示的交替取两个值、时序信号为矩形波的针对位移的控制指令值，则与此相对应，调节阀的阀轴位移的响应作为图12(b)所示的时序信号的位移测定值被测定出来。这样的位移测定值的一阶差值如图12(c)所示。此时，如图12(c)所示，虽然一阶差值大半的时间取0附近的值，但仅在控制指令值改变后立即取较大的值。该动作与大半时间为粘着状态，有时成为滑动状态并迅速移动的粘滑现象的动作相同。结果，在上述技术中，在进行图12(a)所示的控制时，产生认为发生了粘滑的错误检测。这样的错误检测在阀的动作速度快的情况下容易发生，在小型的阀中特别严重。
发明内容
本发明为了解决上述问题而提出，其目的在于能够与控制的状态相对应来更准确地判断粘滑的状态。本发明的粘滑检测装置包括判断可动部的异常的诊断部以及诊断动作控制部， 该诊断部包括位移检测单元，其检测具有接触滑动部的可动部的位移；第一运算单元，其根据位移计算出第一状态量；第二运算单元，其根据位移计算出第二状态量；特性存储部， 其存储有预先求得的根据可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系；状态量推定单元，其利用存储于特性存储部的关系，根据第一运算单元计算出的第一状态量推定第二状态量，并计算推定状态量；以及诊断运算单元，其通过比较第二运算单元计算出的第二状态量和推定状态量，判断可动部的异常，该诊断动作控制部基于可动部的位移量和因可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量，控制诊断部的动作。此外，本发明的粘滑检测装置包括判断可动部的异常的诊断部以及诊断动作控制部，该诊断部包括位移检测单元，其检测具有接触滑动部的可动部的位移；第一运算单元，其根据位移计算出第一状态量；第二运算单元，其根据位移计算出第二状态量；特性存储部，其存储有预先求得的根据可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系；以及诊断运算单元，其通过对第一运算单元计算出的第一状态量与第二运算单元计算出的第二状态量之间的关系和存储于特性存储部中的关系进行比较，判断可动部的异常，该诊断动作控制部基于可动部的位移量和因可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量，控制诊断部的动作。在上述粘滑检测装置中，诊断动作控制部包括变化量计算单元，其计算出位移检测单元检测出的可动部的位移的变化量；以及动作控制单元，其检测该变化量计算单元计算出的变化量超过预先设定的阈值的情况，控制诊断部的动作。此外，诊断动作控制部也可以包括变化量计算单元，其计算出过程变量的测定值的变化量；以及动作控制单元，其检测该变化量计算单元计算出的变化量超过预先设定的阈值的情况，停止诊断部的动作。
在上述粘滑检测装置中，诊断动作控制部通过使第一运算单元和第二运算单元的动作停止，控制诊断部的动作。此外，诊断动作控制部也可以通过停止诊断运算单元的动作，控制诊断部的动作。此外，诊断动作控制部也可以基于诊断运算单元的异常判断，开始诊断部的动作控制，基于可动部的位移量和因可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的定化量，判别诊断运算单元的异常判断的正误。此外，本发明的粘滑检测装置包括判断可动部的异常的诊断部以及诊断结果判别部，该诊断部包括位移检测单元，其检测具有接触滑动部的可动部的位移；第一运算单元，其根据位移计算出第一状态量；第二运算单元，其根据位移计算出第二状态量；特性存储部，其存储有预先求得的根据可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系；状态量推定单元，其利用存储于特性存储部的关系，根据第一运算单元计算出的第一状态量推定第二状态量，并计算推定状态量；以及诊断运算单元，其通过比较第二运算单元计算出的第二状态量和推定状态量，判断可动部的异常，该诊断结果判别部基于可动部的位移量和因可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量，判别诊断运算单元的异常判断的正误。此外，本发明的粘滑检测方法是，检测具有接触滑动部的可动部的位移，根据位移计算出第一状态量，根据位移计算出第二状态量，利用预先求得的根据可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系，根据计算出的第一状态量推定第二状态量，并计算出推定状态量，通过比较计算出的第二状态量和推定状态量来判断可动部的异常，基于可动部的位移量和因可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量控制异常的判断动作。此外，本发明的粘滑检测方法是，检测具有接触滑动部的可动部的位移，根据位移计算出第一状态量，根据位移计算出第二状态量，通过对预先求得的根据可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系和计算出的第一状态量与第二状态量之间的关系进行比较，判断可动部的异常，基于可动部的位移量和因可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量来控制异常的判断动作。在上述粘滑检测方法中，计算出可动部的位移的变化量，在计算出的变化量超过预先设定的阈值时停止异常的判断动作即可。此外，也可以计算出过程变量的测定值的变化量，在计算出的变化量超过预先设定的阈值时停止异常的判断动作。此外，也可以基于可动部的位移量和因可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量判别异常判断的正误，由此停止异常的判断动作。此外，本发明的粘滑检测方法是，检测具有接触滑动部的可动部的位移，根据位移计算出第一状态量，根据位移计算出第二状态量，利用预先求得的根据可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系，根据计算出的第一状态量推定第二状态量，计算出推定状态量，通过比较计算出的第二状态量和推定状态量来判断可动部的异常， 基于可动部的位移量和因可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量来判别异常判断的正误。如以上所说明的，根据本发明，基于可动部的位移量和根据可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量来控制异常的判断动作，因此，能够得到可与控制状态对应地更准确地判断粘滑状态的优异效果。
图1是表示本发明的实施方式1的粘滑检测装置的结构的结构图；图2是表示本发明的实施方式2的粘滑检测装置的结构的结构图；图3是表示本发明的实施方式3的粘滑检测装置的结构的结构图；图4是表示本发明的实施方式4的粘滑检测装置的结构的结构图；图5是表示本发明的实施方式5的粘滑检测装置的结构的结构图；图6是表示本发明的实施方式6的粘滑检测装置的结构的结构图；图7是表示本发明的实施方式7的粘滑检测装置的结构的结构图；图8是表示本发明的实施方式8的粘滑检测装置的结构的结构图；图9是表示本发明的实施方式9的粘滑检测装置的结构的结构图；图10是表示具有滑动部分的装置的结构的结构图；图IlA是表示由往复滑动的部位得到的位移信号的一阶差值的发生频率分布的直方图；图IlB是表示由往复滑动的部位得到的位移信号的一阶差值的发生频率分布的直方图；以及图12是表示控制指令值、位移测定值、位移测定值的一阶差值的变化的时序图。附图标记说明100……诊断部；101……位移检测部；102……第一状态量计算部(第一运算单元)；103……第二状态量计算部(第二运算单元)；104……特性存储部；105……第二状态量推定部；106……诊断运算部；107……诊断动作控制部。
具体实施例方式
以下参照
本发明的实施方式。(实施方式1)首先，使用图1说明本发明的实施方式1。图1是表示本发明的实施方式的粘滑检测装置的结构的结构图。该粘滑检测装置首先具有诊断部100，其判断例如调节阀等的具有接触滑动部的可动部的异常。此外，粘滑检测装置具有诊断动作控制部107，其基于阀体等的可动部的位移量或者根据可动部的位移量变化的过程变量的任意一个的测定值的变化量，进行停止诊断部100的动作等的控制。此外，诊断部100具有位移检测部101、第一状态量计算部(第一运算单元)102、 第二状态量计算部(第二运算单元)103、特性存储部104、第二状态量推定部105和诊断运算部106。位移检测部101检测(计测)阀体等的可动部的位移。第一状态量计算部102根据检测出的可动部的位移计算出第一状态量。第二状态量计算部103根据检测出的可动部的位移计算出第二状态量。特性存储部104存储根据预先求得的可动部正常动作时的位移而得到的第一状态量与第二状态量的关系。第二状态量推定部105利用存储在特性存储部 104中的关系，根据第一状态量计算部102计算出的第一状态量推定第二状态量，并计算出推定状态量。诊断运算部106通过比较第二状态量计算部103计算出的第二状态量和推定状态量，判断可动部的异常。接着，更详细地说明诊断动作控制部107。例如调节阀利用位置控制器从外部被自动控制，或者被手动操作控制。此外，也有自动阀那样的利用阀本身所具有的调节机构进行控制的情况。这些控制的结果是阀轴位移(变化)。此外，与阀轴的位移量相对应地通过调节阀的流体的流量等的过程变量发生变化。基于这样的阀轴的位移量、流量等的过程变量等的测定结果(测定值)的变化量，诊断动作控制部107控制诊断部100的动作。例如，诊断动作控制部107将测定出的阀轴的位移的变化幅度与预先设定的基准值进行比较，在测定出的阀轴位移在单位时间的变化幅度超过基准值时，停止诊断部100 的异常的判断动作。在以使阀轴的位移在短时间内大幅变化的方式进行控制时，即使是正常动作也可能判断为与发生粘滑的情况同样。对此，诊断动作控制部107在反映控制指令值的变化的阀轴位移的测定值在单位时间的变化幅度超过基准值时，停止诊断部100的动作，因此，能够抑制粘滑的错误检测。此外，因为作为可动部的阀轴的位移也反映于流量等过程变量的变化，所以在流量等过程变量的测定值中，也能够与上述同样地控制错误检测。此处使用的过程变量优选是由可动部的位移直接控制的物理量。例如，如果是调节阀，则是通过阀的流体的流量、通过操作流量进行控制的物理量(例如压力、温度)。此外，也可以不是直接控制的物理量，只要是与可动部的位移联动，具有强相关关系的物理量，都能够实施。另一方面，即使改变可动部的位移也看不到变化的测定值、与可动部的位移相关性弱的测定值则不能够利用。此处，简单说明基准值。首先，说明能够从外部明确施加控制指令值的诊断对象的情况。对于不是粘滑状态的正常的可动部(检测对象)，施加在Al和A2两值之间往复的矩形波状的控制指令值。 切换控制指令值的时间间隔优选与在实际动作时能够产生的最频繁的指令值变更间隔为同等程度。根据以该控制指令值使可动部动作并测定结果所得的位移测定值来计算出两个状态量，代入专利文献1记载的方法，判定是正常还是异常。在该判定中判定为异常的情况下，根据施加的控制指令值的可动部的位移的变化量是产生错误检测的值，因此，使Al与 A2的差变小，再次进行实验。这样，通过以试验性地施加的控制指令值动作，能够判定使Al和A2的宽度(控制指令值变化量)大至何种程度时，被错误检测为异常。此外，只要对使控制指令值改变该变化量时的可动部的位移量的变化量，根据装置的规格进行求取或通过实验进行测定，就能够得到使可动部位移的变化幅度大至何种程度时，会错误检测为异常。由此，通过上述试验动作，求取判断为异常的可动部的位移量的变化量的下限，以该下限值作为基准值即可。在检测出超过这样决定的基准值的可动部的位移的变化量时，如上所述，诊断部100认为错误检测为发生了粘滑。换言之，在检测出超过上述基准值的位移量的变化时，如果诊断动作控制部107停止诊断部100的动作，则能够抑制错误检测。在位移的变化量超过基准值的期间，或者位移的变化量超过基准值之后的设定的时间，使诊断部100的动作停止即可。此外，如果求取使可动部的位移的变化量为上述下限值的变化量时的过程变量的测定值的变化量，以此为基准值，则在检测出超过基准值的过程变量的测定值的变化量时， 与上述同样，诊断动作控制部107停止诊断部100的动作，就能够抑制错误检测。
另一方面，在为像自动阀那样不从外部施加控制指令值而进行动作的装置的情况下，像上述那样利用控制指令值决定基准值的方法，因为控制指令值并不明确存在而不能够进行。在这样的情况下，通过预先存储在刚刚设置之后等的认为诊断对象装置正常动作时的位移变化量，能够决定基准值。例如，计算两个状态量和计算这些状态量的区间中的位移变化量的最大值。此时，在由诊断部判断为发生了粘滑的情况下，计算出的位移变化量是会产生错误检测的值。在进行该能够判断为错误检测的粘滑的发生判断时所测定的位移的变化量的最大值中，能够将最小的位移变化量作为基准值。另外，如果有正常的检测对象的数学模型，则取代上述基准值的决定方法，而使用电脑模拟也能够同样决定基准值。但是，在该情况下，需要在加上与位移检测部101的误差为同等程度的外部干扰的基础上计算状态量。但是，在基准值的决定中，在实际上发生粘滑时不会错误地停止诊断部是很重要的。在粘滑发生，可动部成为滑动状态时，测定出的位移的变化量的值表示为比正常时大的值。该值通常比会产生错误检测的变化量的值�。虼耍晌侍獾目赡苄越系�。举例表示调节阀(阀)的情况。由粘滑引起的可动部位移的变化量(滑动前与滑动后的位移的差) 是调节阀的最大位移量(阀全开时与全闭时的位移的差)的0.5% 2%左右，较大的也只是5%左右。与此相对，会产生错误检测时的变化量是最大位移量的20% 100%左右，较小的情况下也为10%左右。在此，在上述基准值过小的情况下，在实际发生粘滑的情况下也可能会停止诊断部。由此，在决定针对变化量的基准值时，优选确认基准值不是在发生粘滑时也可能取到的过小的值。此外，如果上述基准值与测定可动部位移、过程变量时的噪声、外部干扰的大小相比为相同程度以下，则可能会由于噪声、外部干扰的影响而错误停止诊断动作。由此，在决定针对变化量的基准值时，优选确认与由这些测定噪声、外部干扰等通常引起的变化量相比充分大。另外，诊断动作控制部107，例如通过停止第一状态量计算部102和第二状态量计算部103的计算动作，来停止诊断部100的判断的动作即可。此外，例如，也可以通过停止诊断运算部106的动作，停止诊断部100中的判断的动作。此外，诊断动作控制部107在如上所述停止诊断部100的动作之后，在经过设定的时间之后，或者在阀轴(可动部)的位移、 过程变量在每单位时间的变化幅度小于规定的值之后，恢复(开始)诊断部100的动作。此处，在对阀轴的位移和过程变量的变化量与基准值进行比较之前，会有各种时间延迟。作为延迟的原因，有由变化量的计算时间引起的延迟、直至可动部位移的变化影响到过程变量的延迟(例如流体从调节阀流到流量计所产生的输送延迟)、过程变量的测定设备引起的延迟。因此，在检测出变化量超过基准值的时刻，已经成为不适合诊断的状态， 已成为诊断部100进行了错误检测的情况。在这样的情况下，例如使诊断部100的诊断结果与上述时间延迟对应地延迟输出等，使诊断部100的动作延迟即可。例如，第一状态量计算部102和第二状态量计算部103延迟进行状态量的计算即可。此外，位移检测部101也可以具有暂时存储检测结果的暂时存储部，与上述时间延迟对应地延迟输出检测结果。
此外，在诊断运算部106判断为可动部异常时，诊断动作控制部107可以在检测出已经测定出的测定值的变化量超过基准值时，停止来自诊断部100的异常判断的输出。特别是，在得出诊断运算部106的异常判断之前需要时间的情况下，在诊断运算部106判断为可动部存在异常时测定的过程变量的测定值中也可能反应异常判断时的可动部的控制状态。在这样的情况下，在诊断运算部106判断为可动部存在异常时，诊断动作控制部107在检测出测定的过程变量的测定值的变化量超过基准值之时，停止来自诊断部100的异常判断的输出。如上所述，本实施方式的特征在于，首先，检测具有接触滑动部的可动部的位移， 接着，利用位移计算出第一状态量，接着利用计算出的位移计算出第二状态量，接着，利用预先求得的根据可动部正常动作时的位移而得到的第一状态量与第二状态量的关系，根据计算出的第一状态量来推定第二状态量，并计算出推定状态量，接着，通过比较计算出的第二状态量和推定状态量来判断可动部的异常，此外，基于可动部的位移量和过程变量中的任意一个的测定值的变化量停止异常的判断动作。根据本实施方式，诊断动作控制部107基于可动部的位移量和过程变量中的任意一种的测定值的变化量控制诊断部100的动作，因此，能够抑制粘滑的错误检测等，能够与控制状态对应地更准确地判断粘滑状态。(实施方式2)接着，使用图2说明本发明的实施方式2。图2是表示本发明的实施方式2的粘滑检测装置的结构的结构图。该粘滑检测装置包括判断具有接触滑动部的可动部的异常的诊断部200 ；以及基于可动部的位移量的测定值的变化量，进行停止诊断部200的动作等的控制的诊断动作控制部207。诊断部200具有位移检测部201、第一状态量计算部202 (第一运算单元)、第二状态量计算部203 (第二运算单元)、特性存储部204、第二状态量推定部205和诊断运算部 206。此外，诊断动作控制部207具有变化量计算部271和动作控制部272。位移检测部201检测(计测)阀体等可动部的位移，输出数字信号的位移信号。位移检测部201对第一状态量计算部202和第二状态量计算部203，在设定的延迟时间之后输出检测出的位移信号。另一方面，位移检测部201对变化量计算部271立即输出检测出的位移信号。第一状态量计算部202根据作为表示检测出的可动部的位移的计测值的从位移检测部201输出的位移信号，计算一阶差值的平方平均作为第一状态量。此外，第二状态量计算部203根据从位移检测部201输出的位移信号，计算二阶差值的平方平均作为第二状态量。一阶差值的平方平均和二阶差值的平方平均使用以下的式C3)和式(4)进行计算即可。(数学式2)
权利要求
1.一种粘滑检测装置，其特征在于，包括判断可动部的异常的诊断部以及诊断动作控制部， 该诊断部包括位移检测单元，其检测具有接触滑动部的所述可动部的位移； 第一运算单元，其根据所述位移计算出第一状态量； 第二运算单元，其根据所述位移计算出第二状态量；特性存储部，其存储有预先求得的根据所述可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系；状态量推定单元，其利用存储于所述特性存储部的关系，根据所述第一运算单元计算出的第一状态量推定所述第二状态量，并计算推定状态量；以及诊断运算单元，其通过比较所述第二运算单元计算出的第二状态量和所述推定状态量，判断所述可动部的异常，该诊断动作控制部基于所述可动部的位移量和因所述可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量，控制所述诊断部的动作。
2.一种粘滑检测装置，其特征在于，包括判断可动部的异常的诊断部以及诊断动作控制部， 该诊断部包括位移检测单元，其检测具有接触滑动部的所述可动部的位移； 第一运算单元，其根据所述位移计算出第一状态量； 第二运算单元，其根据所述位移计算出第二状态量；特性存储部，其存储有预先求得的根据所述可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系；以及诊断运算单元，其通过对所述第一运算单元计算出的第一状态量与所述第二运算单元计算出的第二状态量之间的关系和存储于所述特性存储部中的关系进行比较，判断所述可动部的异常，该诊断动作控制部基于所述可动部的位移量和因所述可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量，控制所述诊断部的动作。
3.如权利要求1或2所述的粘滑检测装置，其特征在于 所述诊断动作控制部包括变化量计算单元，其计算出所述位移检测单元检测出的所述可动部的位移的变化量;以及动作控制单元，其检测该变化量计算单元计算出的变化量超过预先设定的阈值的情况，控制所述诊断部的动作。
4.如权利要求1或2所述的粘滑检测装置，其特征在于 所述诊断动作控制部包括变化量计算单元，其计算出所述过程变量的测定值的变化量；以及动作控制单元，其检测该变化量计算单元计算出的变化量超过预先设定的阈值的情况，停止所述诊断部的动作。
5.如权利要求1 4中任一项所述的粘滑检测装置，其特征在于所述诊断动作控制部通过使所述第一运算单元和所述第二运算单元的动作停止，控制所述诊断部的动作。
6.如权利要求1 4中任一项所述的粘滑检测装置，其特征在于所述诊断动作控制部通过停止所述诊断运算单元的动作，控制所述诊断部的动作。
7.如权利要求1 6中任一项所述的粘滑检测装置，其特征在于所述诊断动作控制部基于所述诊断运算单元的异常判断，开始所述诊断部的动作控制，基于所述可动部的位移量和因所述可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量，判别所述诊断运算单元的异常判断的正误。
8.一种粘滑检测装置，其特征在于，包括判断可动部的异常的诊断部以及诊断动作控制部， 该诊断部包括位移检测单元，其检测具有接触滑动部的所述可动部的位移； 第一运算单元，其根据所述位移计算出第一状态量； 第二运算单元，其根据所述位移计算出第二状态量；特性存储部，其存储有预先求得的根据所述可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系；状态量推定单元，其利用存储于所述特性存储部的关系，根据所述第一运算单元计算出的第一状态量来推定所述第二状态量，并计算出推定状态量；以及诊断运算单元，其通过比较所述第二运算单元计算出的第二状态量和所述推定状态量，判断所述可动部的异常，该诊断动作控制部基于所述可动部的位移量和因所述可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量，判别所述诊断运算单元的异常判断的正误。
9.一种粘滑检测方法，其特征在于包括以下步骤 检测具有接触滑动部的可动部的位移，根据所述位移计算出第一状态量， 根据所述位移计算出第二状态量，利用预先求得的根据所述可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系，根据计算出的所述第一状态量推定所述第二状态量，并计算出推定状态量， 通过比较计算出的所述第二状态量和所述推定状态量来判断所述可动部的异常， 基于所述可动部的位移量和因所述可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量来控制所述异常的判断动作。
10.一种粘滑检测方法，其特征在于包括以下步骤 检测具有接触滑动部的可动部的位移，根据所述位移计算出第一状态量， 根据所述位移计算出第二状态量，通过对预先求得的根据所述可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系和计算出的所述第一状态量与所述第二状态量之间的关系进行比较，判断所述可动部的异常，基于所述可动部的位移量和因所述可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量来控制所述异常的判断动作。
11.如权利要求9或10所述的粘滑检测方法，其特征在于 计算出所述可动部的位移的变化量，在计算出的所述变化量超过预先设定的阈值时停止所述异常的判断动作。
12.如权利要求9或10所述的粘滑检测方法，其特征在于 计算出所述过程变量的测定值的变化量，在计算出的所述变化量超过预先设定的阈值时停止所述异常的判断动作。
13.如权利要求9 12中任一项所述的粘滑检测方法，其特征在于基于所述可动部的位移量和因所述可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量来判别异常判断的正误，由此停止所述异常的判断动作。
14.一种粘滑检测方法，其特征在于包括以下步骤 检测具有接触滑动部的可动部的位移，根据所述位移计算出第一状态量， 根据所述位移计算出第二状态量，利用预先求得的根据所述可动部的正常动作时的位移得到的第一状态量与第二状态量的关系，根据计算出的所述第一状态量推定所述第二状态量，计算出推定状态量， 通过比较计算出的所述第二状态量和所述推定状态量来判断所述可动部的异常， 基于所述可动部的位移量和因所述可动部的位移而变化的过程变量中的任意一个的测定值的变化量来判别所述异常判断的正误。
全文摘要
本发明提供粘滑检测装置及检测方法。其能够与控制状态对应地更准确地判断粘滑状态。例如调节阀由位置控制器从外部进行控制，并由阀所具有的调整机构自主控制。控制的结果是，阀轴(可动部)的位移发生变化。此外，与阀轴的位移量对应地通过调节阀的流体的流量等过程变量也发生变化。基于这样的阀轴的位移量、过程变量的测定结果(测定值)的变化量，诊断动作控制部(107)控制诊断部(100)的动作。
文档编号G01M13/00GK102192835SQ201110060798
公开日2011年9月21日 申请日期2011年3月9日 优先权日2010年3月12日
发明者田原铁也, 福田稔 申请人:株式会社山武
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