专利名称：非分散红外多组分烟气分析仪的制作方法
技术领域：
本发明涉及污染源排 放烟气的多组分气体的连续自动监测装置，具体为一种基于非分散红外吸收光谱的非分散红外多组分烟气分析仪。
背景技术：
随着工业化程度的进一步提高，人们越来越关注空气污染对全球环境的影响。化石燃料燃烧设备的排放物，通常包含多种不同类型的污染气体，例如C02，NO2, SO2, CO, NO等等，由于这些有害排放物对环境具有潜在威胁，很多国家都监测不同类型废气的排放。为确保排放的气体浓度符合相关标准，人们迫切需要能安装在污染排放源如电站和焚化炉上的连续排放监测系统(CEMS，ContinuousEmission Monitoring System)。非分散红外分析方法广泛应用于连续排放监测系统中，但普通的非分散红外分析方法存在一系列缺陷，例如，为了测量烟气排放物中存在的多种不同类型污染气体，需要同时运行多个独立的气体分析系统和(或)测量平台，测量装置可能需要运行第一个气体分析系统来探测第一种类型的气体，运行第二个气体分析系统来探测第二种类型的气体等等，这样分析仪的结构就会变得很复杂，且不同分析系统的融合会带来更大的系统误差，增加制造成本。另外传统非分散红外分析仪包括很多活动部件，如滤波轮和斩波轮彼此分开， 需要相互独立的驱动控制逻辑电路和电动马达，彼此的不同步会带来更大测量误差。
发明内容
本发明的目的是提供一种非分散红外多组分烟气分析仪，以解决现有技术的监测装置结构复杂，测量误差大的问题。为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为非分散红外多组分烟气分析仪，包括有多次反射池，所述多次反射池进气口输入流量可控的待测烟气混合物，其特征在于所述多次反射池的出光口处安装有红外探测器， 还包括有红外光源、由电机驱动的可转动的光学滤波轮，所述红外光源输出波长位于Ium 至IOum之间的红外光信号，所述光学滤波轮上沿圆周等间隔均勻分布有多个通孔，通孔中分别安装有滤光片构成滤波通道，所述滤光片分别透过不同波长的红外光信号，滤光片各自透过的红外光信号与所述多次反射池中待测烟气混合物各组分气体各自吸收的红外光信号一一对应，所述红外光源输出的红外光信号经过光学滤波轮各个滤光片后，从多次反射池的入光口入射至多次反射池，在多次反射池多次反射后入射至多次反射池出光口处的红外探测器。所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于所述滤波轮各个通孔安装的滤光片分别为透过待测烟气混合物中CO2能吸收的红外信号光的滤光片、透过待测烟气混合物中CO能吸收的红外信号光的滤光片、透过待测烟气混合物中NO能吸收的红外信号光的滤光片、透过待测烟气混合物中NO2能吸收的红外信号光的滤光片、透过待测烟气混合物中SO2能吸收的红外信号光的滤光片、透过待测烟气混合物中H2O能吸收的红外信号光的滤光片、 透过待测烟气混合物中O2能吸收的红外信号光的滤光片。所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于所述滤波轮上还预留有一个或多个空白的通孔，及一个或多个参考光通孔，所述参考光通孔安装有可通过参考光的参考滤光片，所述空白的通孔、参考光通孔、安装有对应于待测烟气混合物中各组分气体的滤光片的各个通孔等间隔均勻分布在滤波轮上。所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于对应于待测烟气混合物中某一个组分气体的滤波轮的通孔有两个，或者对应于待测烟气混合物中部分组分气体的滤波轮的通孔分别各自有两个，其中一个通孔中安装有透过高浓度的待测烟气混合物中对应组分气体所吸收的红外信号光的滤光片，另一个通孔中安装有透过低浓度的待测烟气混合物中对应组分气体所吸收的红外信号光的滤光片。所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于所述红外光源由具有类黑体辐射特性的光源、稳压电路、稳流电路构成，所述具有类黑体辐射特性的光源通过稳压电路、稳流电路产生宽谱带的红外光信号。所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于所述多次反射池中安装有加热�？榧拔露却衅鳎ü露却衅骷嗖舛啻畏瓷涑氐奈露龋ü尤饶？橛胛露却衅髋浜鲜苟啻畏瓷涑毓ぷ髟诤阄伦刺�。所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于所述多次反射池的内壁涂有耐腐蚀材料，多次反射池密封，多次反射池的进气口、出气口安装有与外界连通的阀门，且所述多次反射池的出气口处安装有电化学氧传感器。所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于信号采集周期内，零背景下各个滤波通道信号强度的最大值与最小值之比在两倍以内。本发明同时监测的气体有C02、CO、NO、NO2, SO2, H20、02。设计的滤波轮起到了光学滤波和调制光波的双重作用，多次反射池有效地增加了气体的吸收光程，本发明使用一个红外探测器就能完成多种气体的测量；部分气体测量采用双通道分析技术，既保证了分析仪的高灵敏度，又扩大了动态测量范围；采用温度闭环控制方法恒定样品池温度，利用稳压、稳流电路获得高稳定光源，实现工业污染源排放气体的稳定准确测量。本发明红外光源采用具有类黑体辐射特性的光源，光源通过稳压、稳流电路，产生宽谱带的红外光信号，波长位于Iym到10 μ m之间，可以覆盖所有待测组分气体及干扰组分气体的红外吸收带，利用气体分子在中红外波段的基频“指纹”吸收特征获得待测气体分子的浓度信息。本发明的光学滤波轮起到了光学滤波和调制光波的双重作用。滤波轮上包括一系列不同类型的滤波片以滤除不同频带的光信号达到光学滤波的目的，当控制器带动滤波轮转动时，所有滤光片交替地被挡住或通过光信号通道，达到调制光信号的目的。本发明可以完成多种组分污染气体的同时测量，通过一系列滤光片组合，实现对 CO2, CO, NO, NO2, SO2, H2O等多组分气体测量，在多次反射池出气口安装电化学氧传感器完成烟气中O2的测量。本发明滤波轮上各滤光片的等间隔分布可以保证各滤波通道光信号的周期相等； 滤波轮上与其它滤光片同等大小空白光孔的设计，更有利于整个系统光路的调节；滤波轮上设计的参考滤光片，更好地消除硬件的波动，提高系统的稳定性。
本发明根 据各待测组分气体的红外吸收光谱特性，专门设计了 H2O滤波通道，该滤波通道的滤光片参数经过精心选择，该滤波通道的光信号只反映分析仪使用环境中H2O的变化，有利于扣除水汽对其它待测组分气体的干扰，提高系统的检测灵敏度和准确度，分析仪能够正常地工作在潮湿或者水汽含量不稳定的环境中。本发明多次反射池内镜片在中红外波段的反射率大于99%，光信号在多个球面反射镜之间的来回反射，增加气体的吸收光程，提高系统的检测灵敏度和准确度。本发明通过抽气泵将烟气混合物连续稳定地抽入多次反射池，通过流量控制，可以保持多次反射池内气流和气压的稳定，实时或在线监测烟道中污染物浓度的变化；多次反射池内壁涂有耐腐蚀材料，除了进气口和出气口有阀门与外界连通外，其它部分都密封， 提高了多次反射池的使用寿命和使用安全。多次反射池上装有加热�？楹臀露却衅鳎秸吲浜鲜褂檬苟啻畏瓷涑毓ぷ髟诤阄伦刺环矫嫣岣叻治鱿低车奈榷ㄐ裕硪环矫姹苊獾臀孪缕逵绕涫撬哪幔岣叻治鱿低车募觳庾既范龋箍梢苑乐顾氪馑嵝云�(如S02，NO2)的结合，提高系统的测量准确度和抗腐蚀性。信号采集周期内，为了使各个滤光片在零气背景下的信号强度大体一致，综合考虑滤光片参数(带宽、透过率)、光源强度分布及探测器响应能力的影响，零背景下各个滤波通道信号强度的最大值与最小值之比在两倍以内，有利于各个通道吸光度信息的提�。� 方便数据采集和数据处理。部分气体采用双滤波通道分析技术，如SO2采用高低两通道，既保证分析仪的高灵敏度，又扩大动态测量范围。本发明结构简单、紧凑、具有可扩展性。探测装置与多次反射池相集成，数据输入与数据输出相集成，光学滤波与调制光波相集成，温度加热�？橛胛露却衅飨嗉桑蚧讼低匙爸茫彝ü换蛱砑雍鲜事斯馄痉⒚骰鼓芙衅渌廴酒宓睦┱共饬�。本发明具有结构简单、紧凑、可扩展等特点，易于小型化、实用化。探测装置与多次反射池相集成，光学滤波与调制光波相集成，温度加热�？橛胛露却衅飨嗉桑蟠蠹蚧艘瞧髯爸茫欢彝ü换蛱砑雍鲜事斯馄治鲆腔鼓芙衅渌廴酒宓牟饬炕蛄砍炭衫┱共饬浚址奖�、有效。本发明与现有技术相比具有以下优点本发明可以实现烟气中的污染气体检测，是烟气在线分析仪器的主要技术之一。 但传统技术存在测量种类少、动态范围小、测量精度不高的缺点。例如，为了测量烟气排放物中存在的多种不同类型污染气体，传统的测量装置可能需要同时运行多个独立的气体分析系统和(或)测量平台。另外调制光波的产生方法也存在一系列缺陷，一个传统的“两轮”气体分析系统，包括一个光学滤波轮和一个斩波轮，这类分析仪很容易带来测量误差。本发明所涉及的非分散红外多组分烟气分析仪不仅能同时测量烟气污染物中的多种污染气体(SO2、no、CO、CO2、NO2、H2O、O2)，还具有结构简单、紧凑、可扩展等特点，易于小型化、实用化。探测装置与多次反射池相集成，光学滤波与调制光波相集成，温度加热模块与温度传感器相集成，大大简化了仪器装置；而且通过更换或添加合适滤光片，分析仪还能进行其它污染气体的测量或量程可扩展测量，十分方便、有效；通过多次反射光学吸收增强技术，提高了仪器测量灵敏度；采用的单组分多通道分析技术既保证了分析仪的高检测灵敏度，又扩大了仪器的动态测量范围；采用温度闭环方法准确控制样品池温度；利用稳压、稳流电路获得高稳定光源，实现了现场环境的自动连续实时监测。
图1为本发明结构框图。图2为本发明滤波轮结构原理图。图3为本发明零气背景下各通道信号强度图。
具体实施方式
如图1所示。一种非分散红外多组分烟气分析仪，包括红外光源、光学滤波轮、多次反射池、气路系统和数据分析系统。红外光源产生的光束，通过光学滤波装置进入多次反射池，经过多次反射后进入红外探测器。电磁阀控制采样气体流向，流量控制器恒定采样气体流量。数据采样分析系统分为前置放大、A/D转换、分析处理三部分。如图2所示。滤光片安装次序为空白光孔，CO2, SO2(低)，NO2, NO, CO, H2O,参考 1，SO2 (高)。本发明为一种便携式的非分散红外多组份烟气在线分析仪。采用具有类黑体辐射特性的光源，光源产生宽谱带的红外光信号，波长位于Iym到 ομπι之间，可以覆盖所有待测组分气体及干扰组分气体的红外吸收带；通过设计独特的光学滤波轮，起到了光学滤波和调制光波的双重作用，简化了系统结构，提高了系统稳定性和测量准确度；通过对滤光片参数的合理选择，设计了多滤光片轮，分析仪可以同时测量烟气中多种气体的浓度，如 CO2, CO, NO, NO2, SO2, H2O等，由于水汽测量通道的引入，分析仪还可以正常地工作在潮湿环境中；样品池采用多次反射池结构，光线在三个球面镜间来回反射，增加了气体吸收光程， 提高了系统检测灵敏度；加热系统和温度传感器的联合使用，一方面可以维持样品池的工作稳定，另一方面可以防止水汽的凝结，防止水汽与待测酸性气体(如S02，N02)的结合，提高系统的测量准确度和抗腐蚀性。本发明中采用多次反射池增加测量光程，提高检测灵敏度。除了进气口和抽气口有阀门与外界连通外其它部分都密封，腔镜由三个球面镜组成，可以通过改变反射次数来调节光程；光源发射出来的光经过滤光轮后进入气室，通过反射镜和主镜之间多次反射增加光程，以提高仪器的灵敏度，腔镜反射率> 99%，经多次反射后光强衰减很小。本发明中滤波轮上包括不同类型的滤波片以滤掉一定频带的光信号。滤波轮上分别装有S02、N0、C0、C02、N02、H20、参考等滤光片，滤波轮上的狭缝利用光耦定位，确定一个检测周期。本发明中滤光片参数的选择，根据各组分气体C02，CO, NO, NO2, SO2, H2O的红外吸收特性，同时为了减少通道间的交叉干扰，提高系统的检测灵敏度，对各通道滤光片的参数进行选择，其中参考3. 85 μ m, H2O 2. 59 μ m, SO2 (L) 3. 98 μ m, SO2 (H) 7. 35 μ m, CO 4. 6um, CO2 4. 84 μ m，NO :5· 25 μ m NO2 6. 31 μ m。本发明整个监测单元都安装在多次反射池上，光源、滤光片、探测器，组成核心探测系统，分析仪工作时，光信号经透镜准直和滤光轮调制滤波后进入样品池，经多次反射池内气体吸收后由另一个透镜聚焦到PbSe光电导探测器上，探测器产生的信号电压与检测光强成正比，根据探测器检测到的各个频带的光信号强度，可以反演多次反射池中气体的浓度。本发明分析仪电子学部分和控制部分组合为有机的整体。电子学部分的实现涉及微弱信号检测、数据处理与运算、自动控制。包括红外光电信号转换及模数转换电路、怀特池温度控制电路、电磁阀控制、电化学氧传感器采集电路以及光源稳压控制电路。硬件系统实现数据采集和预处理功能，数据的进一步滤波和运算处理由工控机软件完成。本发明对气体浓度的反演基于Lambert-Beer定律。分析仪可以完成多种组分污染气体的同时测量，如C02，CO, NO, NO2, SO2, H2O等，这些气体浓度的测量都基于非分散红外吸收光谱，其吸收关系服从朗伯比尔(Lambert-Beer)定律，如下A = Ιηφ) = aCL
S其中，A为吸光度，I0为零气背景下的光强，Is为目标气体背景下的光强，α为目标气体的吸收系数，L为光信号在怀特池内多次反射后的实际吸收长度，C为目标气体的浓度。当样品气体中存在多种不同类型的气体时，式(1)变为v4=ln(—) =^oCl +ββ2 +YC3 +etal.)L式中，α, β, y等代表不同组份目标气体的吸收系数，C1, C2, C3等为各组分目标气体的浓度。如上式所示，朗伯比尔定律给出了通过目标气体后的吸光度与气体浓度的关系。不同类型的气体吸收不同频率的光信号，光波穿过样品气体后，根据探测到的样品气体对不同频率光波的吸光度确定待测气体的类型和浓度。本发明的非分散多组分烟气分析仪包括红外光源，光学滤波装置，气路系统和电路控制与数据采样分析系统。光源产生的光信号经透镜准直后首先进入滤波装置，滤波轮上包括一系列不同类型的滤波片以滤除不同频带的光信号达到光学滤波的目的，当电机带动滤波轮转动时，所有滤光片交替地被挡住或通过光信号通道，达到调制光信号的目的，经滤波轮调制滤波后的光信号然后进入多次反射池，经多次反射池内待测气体的多次发射吸收后最后进入红外探测器，数据采样分析系统根据红外探测器探测到的不同频带的吸光度，分析多次反射池中存在的气体类型及其浓度。非分散红外多组分烟气分析仪的具体组成如下a)光路系统宽谱红外光源发出的光波经过光学滤调制与虑波后进入多次反射怀特池中，经多次反射吸收后，携带有不同的指纹特征信息的红外光信号被焦热型红外探测器所接受并转换为电信号，供后续电路检测。光源本系统使用由镍铬电热合金绕成的螺旋柱体电阻作为红外光源，光源近似为黑体。镍铬电热合金的主要优点是高温强度较铁铬铝高，高温使用下不易变形，其结构不易改变，塑性铰好，辐射率高，无磁性，耐腐蚀性强，使用寿命长等。光源由新型开关电源配以精密功率电阻供电，使其工作在恒流状态，以保证所发出的红外辐射强度在长时间内不发生变化。信号采集周期内，为了使各个滤光片在零气背景下的信号强度大体一致，便于数据采集和数据 处理，综合考虑考虑滤光片带宽内透过率、光源辐射强度分布与探测器响应可知，光源的最大辐射波长应位于4. 5 μ m-6 μ m之间比较合适，此时零背景下各通道信号强度的最大值与最小值之比在两倍以内，有利于各通道吸光度信息的提取与分析，为多组分气体同时监测提供了必要的前提条件。 滤光片参数根据各组分气体C02，CO, NO, NO2, SO2, H2O的红外吸收特性，同时为了减少通道间的交叉干扰，对各通道滤光片的参数进行了选择。其中参考3.85 μ m， H2O 2. 59 μ m, SO2 低 3. 98 μ m, SO2 高 7· 35 μ m, CO 4. 6um, CO2 4. 84 μ m, NO 5. 25 μ m NO2 6· 31 μ m。多次反射池通过三个球面镜之间的多次反射增加了吸收光程。主镜f= 396. 3mm 镀铝(2-lOum)反射镜2 f = 396. 3mm 镀铝(2-lOum)气室尺寸415mmx72mmx34mm光源发射的光信号进入多次反射池，通过反射镜和主镜之间多次反射增加光程， 提高仪器的灵敏度。滤波轮光滤波装置上包括不同类型的滤波片以滤掉一定频带的光信号。滤光轮上装有SO2、NO、CO、C02、N02、H20、参考等滤光片，滤光轮上的狭缝利用光耦定位，确定一个检测周期。光学滤波轮上不同类型的滤波片滤除不同频带的光信号达到光学滤波的目的，当控制器带动滤波轮转动时，所有滤光片交替地被挡住或通过光信号通道，达到调制光信号的目的。整体检测单元在多次反射池上，加装光源、滤波轮、探测器及其探测电路，组成核心探测系统。由于烟气具有高温高湿性、腐蚀性，且容易在气室内冷凝。冷凝对测量有两方面的影响一方面由于烟气中含有融水性的气体，水汽的存在会降低烟气中气体的浓度，影响测量精度。另一方面由于气室中有5块光学镜片，冷凝水会腐蚀镜片，破坏光学系统。系统样品池内部喷特氟龙，防止被烟气腐蚀，对待测气体加热，池体温度控制在50摄氏度，避免烟气中的部分气体在气室内冷凝和吸附。b)气路系统内置的隔膜气泵、限流小孔及电磁阀实现样品池持续恒定气体采样，通过电磁阀对气路的进行控制，实现在线校准和标定的功能，通过流量计恒定气体流量。整个气路系统可以具有抗腐蚀性，能实现长期、稳定的运行。c)电子控制及其分析系统电路系统包括红外光电信号转换及模数转换电路、怀特池温度控制电路、电磁阀控制电路、电化学氧传感器采集电路、光源稳压极慢启动控制电路等组成。红外信号探测板主要实现红外信号探测、放大、滤波、及AD采样。采样信号送至系统内置计算系统(工业控制计算机或数字信号处理器DSP)进行数据分析处理，反演出各种污染气体的浓度。前端控制系统包括(1)电源系统提供了前端系统的所有电源，包括数字电路供电5V开关稳压源；士 15V模拟稳压源；探测器正常工作的前端9V稳压�？椋�(2)主控板这是前端控制系统的主要部分，在数据采集系统中，采用具有16位测量精度的转换芯片，在电机转速1500转/min控制下，控制系统采样频率为225Hz。为缩小系统的体积，降低系统运行功耗，实现系统的便携式，设计了基于浮点数字信号处理器DSP的嵌入式计算系统。4)软件系统非分散红 外多组分烟气分析仪软件的主要目的是对硬件系统进行控制，完成数据采集、处理和浓度反演，并把计算的浓度值进行显示和自动添加到数据库。1、控制功能控制仪器内部参数如温度、光源电压、校准电磁阀开关等。2、数据采集及浓度反演功能对不同通道的信号进行采集、处理，通过浓度反演算法，同时得到多组分的浓度值。3、显示功能显示当前测量信号强度，测量浓度，同时显示监测气体浓度随时间的变化趋势图。4、存储功能实时存储监测气体的浓度值。实时存储原始测量信号强度。5、辅助功能测量结果的查询、显示、以及输出等。系统运行参数管理。
权利要求
1.非分散红外多组分烟气分析仪，包括有多次反射池，所述多次反射池进气口输入流量可控的待测烟气混合物，其特征在于所述多次反射池的出光口处安装有红外探测器，还包括有红外光源、由电机驱动的可转动的光学滤波轮，所述红外光源输出波长位于Ium至 IOum之间的红外光信号，所述光学滤波轮上沿圆周等间隔均勻分布有多个通孔，通孔中分别安装有滤光片构成滤波通道，所述滤光片分别透过不同波长的红外光信号，滤光片各自透过的红外光信号与所述多次反射池中待测烟气混合物各组分气体各自吸收的红外光信号一一对应，所述红外光源输出的红外光信号经过光学滤波轮各个滤光片后，从多次反射池的入光口入射至多次反射池，在多次反射池多次反射后入射至多次反射池出光口处的红外探测器。
2.根据权利要求1所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于所述滤波轮各个通孔安装的滤光片分别为透过待测烟气混合物中CO2能吸收的红外信号光的滤光片、透过待测烟气混合物中CO能吸收的红外信号光的滤光片、透过待测烟气混合物中NO能吸收的红外信号光的滤光片、透过待测烟气混合物中NO2能吸收的红外信号光的滤光片、透过待测烟气混合物中SO2能吸收的红外信号光的滤光片、透过待测烟气混合物中H2O能吸收的红外信号光的滤光片、透过待测烟气混合物中O2能吸收的红外信号光的滤光片。
3.根据权利要求1所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于所述滤波轮上还预留有一个或多个空白的通孔，及一个或多个参考光通孔，所述参考光通孔安装有可通过参考光的参考滤光片，所述空白的通孔、参考光通孔、安装有对应于待测烟气混合物中各组分气体的滤光片的各个通孔等间隔均勻分布在滤波轮上。
4.根据权利要求1所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于对应于待测烟气混合物中某一个组分气体的滤波轮的通孔有两个，或者对应于待测烟气混合物中部分组分气体的滤波轮的通孔分别各自有两个，其中一个通孔中安装有透过高浓度的待测烟气混合物中对应组分气体所吸收的红外信号光的滤光片，另一个通孔中安装有透过低浓度的待测烟气混合物中对应组分气体所吸收的红外信号光的滤光片。
5.根据权利要求1所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于所述红外光源由具有类黑体辐射特性的光源、稳压电路、稳流电路构成，所述具有类黑体辐射特性的光源通过稳压电路、稳流电路产生宽谱带的红外光信号。
6.根据权利要求1所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于所述多次反射池中安装有加热�？榧拔露却衅鳎ü露却衅骷嗖舛啻畏瓷涑氐奈露龋ü尤饶？橛胛露却衅髋浜鲜苟啻畏瓷涑毓ぷ髟诤阄伦刺�。
7.根据权利要求1所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于所述多次反射池的内壁涂有耐腐蚀材料，多次反射池密封，多次反射池的进气口、出气口安装有与外界连通的阀门，且所述多次反射池的出气口处安装有电化学氧传感器。
8.根据权利要求1所述的非分散红外多组分烟气分析仪，其特征在于信号采集周期内，零背景下各个滤波通道信号强度的最大值与最小值之比在两倍以内。
全文摘要
本发明公开了一种非分散红外多组分烟气分析，采用具有类黑体辐射特性的光源，可以覆盖所有待测组分气体及干扰组分气体的红外吸收带，设计稳压、稳流电路获得高稳定光源发射；通过光学滤波轮，起到了光学滤波和调制光波的双重作用，提高了系统稳定性和测量准确度；通过对滤光片参数的合理选择，可以同时测量烟气中多种气体的浓度；滤光轮上引入了水汽测量通道，分析仪还可以正常地工作在潮湿环境中；样品池采用多次反射池结构，增加了气体吸收光程，提高了系统检测灵敏度；同时样品池采用加热和温控系统，防止水汽的凝结以及水汽与待测酸性气体(如SO2,NO2)的结合，提高系统的测量准确度和抗腐蚀性。
文档编号G01N21/35GK102183482SQ20111004368
公开日2011年9月14日 申请日期2011年2月23日 优先权日2011年2月23日
发明者于晓曼, 刘文清, 孙友文, 汪世美, 王亚萍, 谢品华, 陆亦怀, 陈军, 黄书华 申请人:中国科学院安徽光学精密机械研究所
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