一种加速度计中的z轴结构及三轴加速度计的制作方法
【专利摘要】本发明提供了一种加速度计中的Z轴结构及三轴加速度计，包括位于X轴方向上的第一弹性梁以及位于Y轴方向上的第二弹性梁，其中，第二弹性梁的两端连接在基板的锚点上，第一弹性梁的两端连接质量块，所述第一弹性梁偏离质量块X轴方向的中线；还包括将质量块连接起来的横梁、纵梁；还设置有连接两条横梁的加强梁，其中，两个惯性测量�？橹械牡诙粤合喽杂诩忧苛憾猿品植�。本发明的三轴加速度计，平面内的某一轴(X轴、Y轴)的运动不会受到结构偏心特性的影响，使得X轴、Y轴的运动均是线运动，从而不会加剧轴间的耦合；另一方面也不会降低在质量块在X轴、Y轴上的位移量，从而提高了电容检测的精度。
【专利说明】一种加速度计中的2轴结构及三轴加速度计
【技术领域】
[0001]本发明属于微机电(1213)领域，更准确地说，涉及一种加速度计中的2轴结构；本发明还涉及一种三轴加速度计。
【背景技术】
[0002]微机电加速度计是基于1213技术的惯性器件，用于测量物体运动的线运动加速度。它具有体积小、可靠性高、成本低廉、适合大批量生产等特点，因此具有广阔的市场前景，其应用领域包括消费电子、航空航天、汽车、医疗设备和武器等等。
[0003]目前三轴加速度计通常有两种实现方式，一种是拼凑的方法，将三个单轴结构或者一个双轴和一个单轴两个结构组合在一起实现三个轴向加速度的测量。第二种是采用单结构实现三轴加速度的测量。在单结构实现方案中一般通过偏心结构测量2轴加速度，在此种方案中除了 2轴检测运动利用了结构的偏心特征，在平面内某一轴(如X轴或7轴)的检测运动也会受到结构偏心特征的影响，因而其运动实际为摆动而不是线运动，这种运动方式一方面会加剧轴间耦合，另一方面会减小电容变化量，从而大大降低了检测的精度。
【发明内容】
[0004]本发明为了解决现有技术中存在的问题，提供了一种加速度计中的2轴结构。
[0005]为了实现上述的目的，本发明的技术方案是:一种加速度计中的2轴结构，其特征在于，包括两个结构对称的惯性测量�？椋扛龉咝圆饬磕？榘�:
[0006]基板，以及位于基板上作为下电极的第一极片，
[0007]悬空在基板上方的质量块；所述质量块上设有与第一极片组成2轴检测电容的上电极；
[0008]用于连接基板和质量块的弹性十字梁，所述弹性十字梁包括位于X轴方向上的第一弹性梁以及位于V轴方向上的第二弹性梁，其中，第二弹性梁的两端连接在基板的锚点上，第一弹性梁的两端连接质量块，或者是第一弹性梁的两端连接在基板的锚点上，第二弹性梁的两端连接质量块；所述第一弹性梁偏离质量块X轴方向的中线；
[0009]还包括将两个惯性测量�？橹兄柿靠榈牧讲喾直鹆悠鹄吹牧恿海凰隽恿喊ㄎ挥赬轴方向上的横梁，还包括位于V轴方向上、一端与横梁连接一端与质量块侧壁连接的纵梁；还设置有连接两条横梁的加强梁，其中，两个惯性测量�？橹械牡诙粤合喽杂诩忧苛憾猿品植�。
[0010]优选的是，所述纵梁为弹性梁。
[0011]优选的是，所述质量块设置有通孔，所述第一弹性梁连接在通孔的侧壁上。
[0012]优选的是，所述第二弹性梁位于质量块V轴方向的中线上。
[0013]优选的是，所述第一极片的数量有两个，对称分布在第一弹性梁的两侧。
[0014]优选的是，所述加强梁设置有两个，两个加强梁平行设置，与横梁围成一矩形框。
[0015]优选的是，还包括分别连接矩形框对角的两个斜梁。
[0016]本发明还提供了一种三轴加速度计，包括上述的Z轴结构；其中，所述质量块在Y轴、X轴方向上还设置有第一可动电极、第二可动电极；所述基板上设置有用于与第一可动电极、第二可动电极分别组成Y轴检测电容、X轴检测电容的第一固定电极、第二固定电极。
[0017]优选的是，所述第一可动电极和/或第二可动电极分别设置有两个，分别位于质量块相对的两侧。
[0018]优选的是，第一可动电极与第一固定电极之间和/或第二可动电极与第二固定电极之间构成梳齿电容结构。
[0019]本发明的加速度计，平面内的某一轴(X轴、Y轴)的运动不会受到结构偏心特性的影响，使得X轴、Y轴的运动均是线运动，从而不会加剧轴间的耦合；另一方面也不会降低在质量块在X轴、Y轴上的位移量，从而提高了电容检测的精度。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]图1示出了本发明三轴加速度计的结构示意图。
[0021]图2示出了图1中连接梁的结构示意图。
[0022]图3示出了本发明三轴加速度计另一实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]为了使本发明解决的技术问题、采用的技术方案、取得的技术效果易于理解，下面结合具体的附图，对本发明的【具体实施方式】做进一步说明。
[0024]参考图1，本发明提供了一种加速度计中的Z轴结构，其包括两个结构对称的惯性测量模块，每个惯性测量�？榘ɑ�(视图未给出)，在该基板上可以布图惯性测量�？榈牡缏返炔考８没迳仙柚糜凶魑碌缂牡谝患�4 (视图中以虚线表示)。
[0025]还包括位于基板上方的质量块1，以及将该质量块I支撑在基板上方的支撑系统5。该支撑系统5为一弹性十字梁，其包括第一弹性梁12以及第二弹性梁11，该第一弹性梁12和第二弹性梁11十字交叉固定在一起，优选的是，固定连接点位于两条弹性梁的中部，其中，所述第一弹性梁12位于X轴方向上，所述第二弹性梁11位于Y轴方向上。其中，第二弹性梁11的两端连接在基板的锚点6上，而第一弹性梁12的两端连接质量块I。通过第一弹性梁12、第二弹性梁11、锚点6将质量块I支撑在基板的上方，使得质量块I处于悬空的状态。在本发明一个具体的实施例中，所述质量块I上设置有通孔，所述第一弹性梁12的两端连接在通孔的内壁上。在本发明的另一实施例中，第一弹性梁12的两端连接在基板的锚点6上，第二弹性梁11的两端连接质量块1，参考图3。
[0026]在此需要提醒注意的时，本发明只是为了便于描述第一弹性梁12和第二弹性梁11之间的关系，将第一弹性梁12定为X轴方向，将第二弹性梁11定为Y轴方向，当然，也可以将第一弹性梁12定为Y轴方向，第二弹性梁11定为X轴方向，二者之间是相对的。
[0027]本发明的Z轴结构，所述第一弹性梁12偏离质量块X轴方向的中线；使得该惯性测量�？樵谑艿絑轴方向的外力时，可以相对于第一弹性梁12发生偏转。以图1的视图方向为参考，也就是说该第一弹性梁12至质量块I上端的距离与其至质量块I下端的距离不相等。例如，第一弹性梁12偏离至质量块X轴方向中线的上方，当质量块I遇到Z轴方向的外力时，由于质量块I与第一弹性梁12之间的偏心设置，使得质量块I可以相对于第一弹性梁12发生转动。
[0028]所述质量块1上还设有与第一极片4组成2轴检测电容的上电极(视图未给出)，在本发明一个优选的实施例中，该质量块1本身就是2轴检测电容的上电极，此时，质量块1可作为电容的接地极片使用。
[0029]第一极片4优选设置两个，分布在第二弹性梁11端头的两侧。当2轴方向有加速度时，质量块1相对于第一弹性梁12发生偏转，也就是说，质量块1绕着第一弹性梁12转动，从而改变质量块1与第一极片4之间的距离，实现2轴检测电容的变化。质量块1与其中一个第一极片4之间的距离变大，与另一个第一极片4之间的距离变小，使得两个第一极片4与质量块之间可以构成差分电容结构，以提高2轴加速度检测的精度。
[0030]本发明的2轴结构，还包括将两个惯性测量模块中质量块1的两侧分别连接起来的连接梁；所述连接梁包括位于X轴方向上的横梁7，以及位于V轴方向上、一端与横梁7连接一端与质量块1侧壁连接的纵梁8 ；为了降低纵梁8对质量块沿2轴方向翻转的影响，所述纵梁8可以采用弹性梁。
[0031]参考图1，位于上方的横梁7、纵梁8将两个质量块1的上端侧壁连接在一起；位于下方的横梁7、纵梁8将两个质量块1的下端侧壁连接在一起；在两条横梁7之间还设置有加强梁130，通过该加强梁130将两条横梁7连接在一起，加强梁在两条横梁7上的位置，使得两个惯性测量�？橹械牡诙粤�11相对于该加强梁130对称分布。此时，第二弹性梁11可以选择设置在质量块IV轴方向的中线上，也可以偏离其中线。
[0032]本发明的2轴结构，当受到2轴方向的加速度时，由于质量块1与第一弹性梁12之间的偏心设置，使得质量块1相对于第一弹性梁12发生偏转，通过两个第一极片4进行检测。而当受到X轴方向的加速度时，由于横梁7、纵梁8以及加强梁130的作用，可以防止质量块1由于偏心设置所引起的扭转，使得质量块1只能在X轴方向上发生平移运动，从而提高了 X轴方向检测的精度。当质量块收到V轴方向的加速度时，由于第二弹性梁11相对于加强梁130对称分布，使得该2轴结构的重心和几何重心重叠，从而保证了质量块只会在I轴方向上进行平移，而不会发生扭转的现象。
[0033]为了进一步提高连接梁的抗扭转能力，所述加强梁130设置有两个，两个加强梁130平行设置，与横梁7围成一矩形框。更进一步地，还包括分别连接矩形框对角的两个斜梁131，参考图2。
[0034]在本发明的另一实施例中，提供了一种三轴加速度计，其包括上述的2轴结构，其中，所述质量块1在V轴、X轴方向上还分别设置有第一可动电极9、第二可动电极10 ；该两个可动电极固定在质量块1上，例如可以设置在质量块1的边缘，并可随着质量块的运动而同步运动。对应地，所述基板上设置用于与第一可动电极9、第二可动电极10分别组成V轴检测电容、X轴检测电容的第一固定电极2、第二固定电极3。该两个固定电极固定安装在基板上，当两个可动电极随着质量块1发生运动时，改变固定电极与可动电极之间的面积或距离，从而改变相应电容的电容量，以实现该方向上加速度的测量。
[0035]其中，所述第一可动电极9设置有两个，分别位于质量块1相对的两侧。参考图1的视图方向，两个第一可动电极9分别设置在质量块1的上端和下端，对应地，基板上设置有与两个第一可动电极9配合的两个第一固定电极2，当有X轴方向加速度时，质量块沿着V轴方向运动，使得其中一个第一可动电极9与第一固定电极2之间的面积或距离变大，而另一个第一可动电极9与第一固定电极2之间的面积或距离变�。昧礁鯵轴检测电容构成了差分电容结构，提高了 Y轴加速度检测的精度。
[0036]基于同样的道理，所述第二可动电极10也可设置有两个，分别位于质量块I在X轴方向上的两侧。参考图1的视图方向，两个第二可动电极10分别设置在质量块I的左端和右端，对应地，基板上设置有与两个第二可动电极10配合的两个第二固定电极3，当有X轴方向的加速度时，质量块I沿着X轴方向运动，使得其中一个第二可动电极10与第二固定电极3之间的面积或距离变大，而另一个第二可动电极10与第二固定电极3之间的面积或距离变�。昧礁鯴轴检测电容构成了差分电容结构，提高了 X轴加速度检测的精度。
[0037]第一可动电极9与第一固定电极2之间和/或第二可动电极10与第二固定电极3之间可以采用梳齿状的电容结构，梳齿电容的结构属于现有的技术，在此不再具体说明。
[0038]当Y轴方向有加速度时，质量块I通过第一弹性梁12的变形在Y轴方向发生位移，从而通过第一可动电极9与第一固定电极2来测量Y轴方向的加速度。当X轴方向有加速度时，质量块I通过第二弹性梁11的变形在X轴方向上发生位移，从而通过第二可动电极10与第二固定电极3来测量X轴方向的加速度。
[0039]本发明的三轴加速度计，平面内的某一轴(X轴、Y轴)的运动不会受到结构偏心特性的影响，使得X轴、Y轴的运动均是线运动，从而不会加剧轴间的耦合；另一方面也不会降低质量块在X轴、Y轴上的位移量，从而提高了电容检测的精度。
[0040]本发明已通过优选的实施方式进行了详尽的说明。然而，通过对前文的研读，对各实施方式的变化和增加对于本领域的一般技术人员来说是显而易见的。 申请人:的意图是所有的这些变化和增加都落在了本发明权利要求所保护的范围中。
【权利要求】
1.一种加速度计中的Z轴结构，其特征在于，包括两个结构对称的惯性测量�？椋扛龉咝圆饬磕？榘�: 基板，以及位于基板上作为下电极的第一极片(4)， 悬空在基板上方的质量块(I);所述质量块(I)上设有与第一极片(4)组成Z轴检测电容的上电极； 用于连接基板和质量块(I)的弹性十字梁，所述弹性十字梁包括位于X轴方向上的第一弹性梁(12)以及位于Y轴方向上的第二弹性梁(11)，其中，第二弹性梁(11)的两端连接在基板的锚点(6)上，第一弹性梁(12)的两端连接质量块(I)，或者是第一弹性梁(12)的两端连接在基板的锚点(6)上，第二弹性梁(11)的两端连接质量块(I);所述第一弹性梁(12)偏离质量块(I)X轴方向的中线； 还包括将两个惯性测量�？橹兄柿靠�(I)的两侧分别连接起来的连接梁；所述连接梁包括位于X轴方向上的横梁(7)，还包括位于Y轴方向上、一端与横梁(7)连接一端与质量块(I)侧壁连接的纵梁(8);还设置有连接两条横梁(7)的加强梁(130)，其中，两个惯性测量�？橹械牡诙粤�(11)相对于加强梁(130)对称分布。
2.根据权利要求1所述的Z轴结构，其特征在于:所述纵梁(8)为弹性梁。
3.根据权利要求1所述的Z轴结构，其特征在于:所述质量块(I)设置有通孔，所述第一弹性梁(12)连接在通孔的侧壁上。
4.根据权利要求1所述的Z轴结构，其特征在于:所述第二弹性梁(11)位于质量块(I)Y轴方向的中线上。
5.根据权利要求1所述的Z轴结构，其特征在于:所述第一极片(4)的数量有两个，对称分布在第一弹性梁(12)的两侧。
6.根据权利要求1所述的Z轴结构，其特征在于:所述加强梁(130)设置有两个，两个加强梁(130)平行设置，与横梁(7)围成一矩形框。
7.根据权利要求6所述的Z轴结构，其特征在于:还包括分别连接矩形框对角的两个斜梁(131) ο
8.—种三轴加速度计，其特征在于:包括权利要求1至7任一项所述的Z轴结构；其中，所述质量块(I)在Y轴、X轴方向上还设置有第一可动电极(9)、第二可动电极(10);所述基板上设置有用于与第一可动电极(9)、第二可动电极(10)分别组成Y轴检测电容、X轴检测电容的第一固定电极(2)、第二固定电极(3)。
9.根据权利要求8所述的三轴加速度计，其特征在于:所述第一可动电极(9)和/或第二可动电极(10)分别设置有两个，分别位于质量块(I)相对的两侧。
10.根据权利要求8所述的三轴加速度计，其特征在于:第一可动电极(9)与第一固定电极⑵之间和/或第二可动电极(10)与第二固定电极(3)之间构成梳齿电容结构。
【文档编号】G01P15/125GK104459203SQ201410826551
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年12月25日 优先权日:2014年12月25日
【发明者】张廷凯 申请人:歌尔声学股份有限公司
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