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专利名称：热电偶温度计的制作方法
技术领域：
热电偶温度计
技术领域：
本实用新型涉及一种热电偶温度计，尤其涉及一种带固定装置的热电 偶温度计。
背景技术：
热电偶温度计是一种利用不同导体接触构成回路，产生电势，根据电势 大小测试温差的温度计，利用热电偶作为感温元件，广泛用于一些炉管、才几 台等高工作温度场所，在其使用时，并须将温度计深入被测点。半导体制造 厂中，存在很多热工艺机台，运用大量的热电偶温度计。
如图l所示，这是一个现有炉管机台中热电偶温度计的安装示意图，热
电偶温度计1呈L型，其感温一端设置于炉管机台2内，另一端安装在炉管 的底座壳体，连接线缆，可以向机台的监控端提供炉管内的温度信息。炉管 机台的工作环境有时为真空，所以炉管内经常进行反复的抽真空和破真空的 循环，而热电偶温度计l和机台2之间全靠一条密封圏3来密封，并使用支 撑架4支撑，在反复的抽真空过程中，L型热电偶温度计l极容易与密封圈 3分离，从安装位置上脱落，并被吸入炉管机台2内，从而导致机台的宕机， 造成生产事故。
这样就需要一种带固定装置的热电偶温度计，使其能够牢固安装在机台 上，避免在才几台的抽、石皮真空作业时净皮吸入机台内部。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种带固定装置的热电偶温度计， 以解决炉管机台在反复的抽、破真空作业时，热电偶温度计容易脱落被吸入 才几台内部的情况。
本实用新型所述的热电偶温度计，将现有的热电偶温度计在支撑架外的
一段外壳上增加一个环形槽，所述固定装置还包括一个c形环，c形环安装 在所述环形槽上，开口一侧设有螺钉孔，用螺钉连接，形成封闭环形。c形 环可用塑料材质，便于热电偶温度计的拆卸。
本实用新型所述的热电偶温度计，安装时通过c形环的阻挡作用，有效 防止了热电偶温度计在机台的真空作业时，被吸入机台内部的事故发生。


图1为现有炉管机台中热电偶温度计的安装示意图； 图2为本实用新型所述热电偶温度计的结构示意图； 图3为本实用新型所述C形环的结构示意图； 图4为本实用新型所述热电偶温度计的安装示意图。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型的一个具体实施例作详细说明。 如图2所示，本实用新型所述的热电偶温度计一端为感温端7,另一端 为安装端5。该热电偶温度计呈L字型结构，该感温端7与该安装端5呈直 角。在L型结构的安装端5—侧，开有一个环形槽6，感温端7在后续安装时置于炉管机台内部。
如图3所示，C形环结构的环形开口一侧设有两个螺钉孔8，所述螺钉 从两螺钉孔中穿过， 一端为螺钉头，另一端的螺钉尾用螺母铆接。图中的螺 钉、螺母尚未安装。
在安装时如图4所示，先将热电偶温度计的感温端7置于炉管机台内， 在安装端5顺序安装上密封环3、支撑架4，然后在安装端显露在支撑架4 外的环形槽6上安装契合C形环9， C形环的开口一侧用螺钉连接固定，使 其形成封闭状。
这样在工作时，随着炉管机台的反复抽、破真空操作时，热电偶温度计 因为环形槽上的C形环9被支撑架4阻挡，被固定在原位置，避免了密封环 3的脱落以及温度计被吸入炉管机台内部的现象。
以上实施例仅用以说明而非限制本实用新型的技术方案。不脱离本实用 新型精神和范围的任何修改或局部替换，均应涵盖在本实用新型的权利要求 范围当中。
权利要求1、一种热电偶温度计，其特征在于一端为感温端，另一端为安装端，所述安装端外壳上设有一环形槽，环形槽上固定连接一C形环。
2、 如权利要求1所述的热电偶温度计，其特征在于呈L字型结构，感温 端与安装端呈直角。
3、 如权利要求1所述的热电偶温度计，其特征在于所述C形环开口 一侧 设有螺钉孔，用螺钉连接。
专利摘要本实用新型涉及一种热电偶温度计，所述热电偶温度计安装端的外壳上设有环形槽，用以安装C形环，安装时通过支撑架对C形环的阻挡作用，有效防止了热电偶温度计在机台的真空作业时，被吸入机台内部的事故发生。
文档编号G01K7/02GK201302490SQ20082015198
公开日2009年9月2日 申请日期2008年8月15日 优先权日2008年8月15日
发明者任瑞龙, 关英来, 尧 凌, 崔长祥 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司