专利名称：光纤双折射温度计和用于制造其的方法
技术领域：
本发明涉及具有其双折射取决于要测量的温度的保偏感测光纤的光纤温度计。本方法还涉及用于制造这样的温度计的方法。
背景技术：
光纤温度计有利地在中压和高压应用中使用，例如用于测量发电机电路断路器或电力变压器的温度。在这样的条件下的温度测量系统的主要挑战是通过到处于地电势的控制柜中监测单元的适合的信号传输在大约几个IOkV或更多电势上温度的可靠检测。已知[I]保偏(PM)光纤的差分相位速度的温度依赖性使得将温度信息编码为偏振态成为可能。这样的潜在便宜的偏振测量也不受EMI、振动、湿度影响以及对长寿命提供潜在可能，并且光信号可以通过光传输光纤容易地在地与中/高压电势之间传递。具有良好的引下线不灵敏性的反射偏振干涉仪已经在[2]中提出。该概念依赖于偏振态通过传输光纤从感测元件不受干扰地输送到读出(光)电子设备，这需要精密且昂贵的PM连接器。在另一个现有技术的方法[3，4]中，从行进通过PM光纤的两个波长的差分响应(在该情况下为相位)来推论出被测对象(例如应力、温度)。
发明内容
要由本发明解决的问题是提供成本有效且坚固的光纤温度计以及用于制造其的方法。该问题由根据独立权利要求的温度计和方法解决。因此，温度计包括生成至少两个不同的光谱范围中(S卩，在第一光谱范围中和第二光谱范围中)光的光源组装件。单模传输光纤直接或间接连接到该光源组装件并且运送这两个光谱范围的光。该传输光纤典型地不是保偏光纤。偏振器用于使在传输光纤的远末端处退出的光偏振。来自该偏振器的光然后发送(通过可选的保偏导引光纤)到感测光纤中。该感测光纤是具有第一和第二双折射轴的保偏光纤，其中这些轴之间的双折射取决于要测量的温度。偏振器和感测光纤的相互间布置使得来自偏振器的光耦合到感测光纤的两个双折射轴内。感测光纤具有第一末端和第二末端，在该第一末端处它接收来自偏振器的光。反射器布置在该第二末端处并且将光反射回到感测光纤内，使得它通过感测光纤、偏振器和传输光纤而传回。提供检测器组装件以检测通过偏振器和传输光纤从感测光纤返回的光。该检测器组装件生成表示第一光谱范围中返回光的强度的第一信号A和表示第二光谱范围中返回光的强度的第二信号B。信号A和B馈送到处理电路以用于从它们两者来生成温度信号。该设计具有以下优点它在基于地的光电子�？�(光源组装件、检测器组装件)与感测头(偏振器、感测光纤)之间不需要保偏光纤或保偏连接器，同时两个波长处的测量允许甚至在基于地的设备与感测头之间的连接器质量变化时获得准确的结果。有利地，温度计还包括布置在感测光纤的第一末端与偏振器之间的保偏导引光纤。该导引光纤的双折射轴是平行的并且垂直于偏振器的偏振方向，使得偏振器使其光仅耦合到它们中的一个内。另一方面，相对于感测光纤的双折射轴，导引光纤的双折射轴在
40。与50°之间的角度，具体而言在45°角度，使得光耦合到所述感测光纤的两个轴内。该设计具有以下优点允许使偏振器与感测光纤保持一定距离使得仅感测光纤而不是偏振器需要处于要测量的温度。处理电路应该适应于从所述信号A和B计算温度信号，其允许例如通过取决于(A-B) / (A+B)或log (A/B)来计算参量来明确地确定给定测量范围中的温度。
用于制造温度计的方法不得不面临非常难以制造完全正确长度的光纤的问题。该方法通过下列步骤解决该问题
a)提供所述感测光纤，其具有略微超出期望的给定延迟的总延迟。b)通过沿感测光纤的第一和第二双折射轴偏振的感测光纤发送光。这样的光的偏振分量将经受由感测光纤的延迟给定的相互间相移。c)通过分析从光纤退出的光来测量取决于光纤中的当前延迟的参数。d)通过使感测光纤回火而永久地降低感测光纤的双折射(S卩，通过使其暴露于如此高的温度，使得其双折射由于非可逆效应而减小)直到所述参数指示当前延迟等于期望延迟。以此方式制造的感测光纤在参考温度处具有定义明确的光延迟，即在步骤a)中定义的“期望的给定延迟”，其允许更换处理电路而不重新校准。其他有利的实施例在从属的权利要求中以及下文的描述中列出。
从本发明的下列详细描述将更好理解本发明并且除上文阐述的目的外的目的将变得明显。这样的描述参照附图，其中
图I示出温度计的第一实施例，
图2示出温度计的第二实施例，
图3示出如由温度计测量的第一和第二信号A、B,以及从A和B得到的两个信号，
图4示出制造设置，以及 图5示出传感器头。
具体实施例方式定义
术语“信号表示”给定值要理解为信号等于给定值或取决于给定值，具体而言通过从给定值得出或能得出。在一个优选实施例中，信号与给定值成比例。温度计
使用PM感测光纤的热敏双折射的可能的温度传感器系统由三个基本组件组成，如可以在图I的仅示范性和说明性实施例中看到的(i)以光源布置2、一个或多个检测器3、4和处理电路5为特征的光电子�？镮。在图I的实施例中，该光源布置2包括两个光源2a、2b。第一光源2a生成在第一光谱范围中的光并且第二光源2b生成在第二光谱范围中的光，其中这两个光谱范围不同，例如分别集中在 1310nm 和 1550nm。(ii)传输光纤8，用于首先将这两个光谱范围的光传输到感测头10并且其次将编码的温度信号传递回光电子模块I。(iii)感测头10，其包括在两个光谱范围中操作的宽带偏振器11、PM导引光纤12和长度L的PM感测光纤13。感测光纤13具有取决于要测量的温度的双折射。偏振器11平行于导引光纤12的双折射轴中的一个来布置。导引光纤12的双折射轴相对于感测光纤13的双折射轴有利地处于45°角度。感测光纤13具有连接到导引光纤12的第一末端13a,以及第二末端13b，其中反射器(镜)14布置在第二末端13b处以将光反射回到感测光纤13中。
除上文提到的组件外，光电子�？镮可包括组合器15，其用于使来自光源2a、2b的光组合；耦合器16，其用于使来自组合器15的光的一部分耦合到参考支路17和测量支路18内并且用于使从测量支路18回来的光的一部分耦合到检测支路19内一这些组件的全部可例如实现为波导并且不必保偏但需要同时在两个光谱区处适当工作。来自参考支路17的光馈送到第一参考检测器20和第二参考检测器21。第一参考检测器20配备有光滤波器22使得它测量表示如由光源组装件2生成的第一光谱范围的光的强度的第一原始强度信号SA0。相似地，第二参考检测器21配备有光滤波器23使得它测量表示如由光源组装件2生成的第二光谱范围的光的强度的第二原始强度信号SB(I。相似地，来自参考支路19的光馈送到第一和第二信号检测器24、25，其配备有光滤波器26、27使得它们分别测量表示通过传输光纤8返回的第一和第二光谱范围的光的强度的第一原始返回信号Sa和第二原始返回信号SB。处理电路5可以适应于计算表示SA/SA(I的第一信号A和表示SB/SB(I的第二信号B，即信号A和B分别表示由相应光谱范围中的光源组装件2生成的光的量归一化的在第一和第二光谱范围的光的强度。第一单模连接器30可以布置在传输光纤8与光源组装件2之间，即在图I的实施例中在测量支路18与传输光纤8之间。第二单模连接器31布置在传输光纤8与偏振器11之间。 第一单模连接器30允许快速且容易地更换光电子模块I。第二单模连接器30允许使传输光纤8与感测头10断开。温度计的基本感测概念对应于在参考[2]中描述的那个。然而，参考[2]的传感器拓扑是不利的，因为它需要PM光纤作为传输光纤以及精密且昂贵的PM连接器。与此形成对照，本设计不需要PM光纤作为传输光纤，但需要例如展现出径向对称波导而没有优选方位角方向的单模(SM)光纤。这极大地简化了断开和闭合连接器而不干扰传感器信号。由光源组装件2生成的光传播通过光电子�？镮进入传输光纤8并且然后在感测头侧处由偏振器11偏振，该偏振器11充当向前行进光的偏振器以及向后行进光的分析器。光从偏振器11沿导引光纤12的一个轴向下行进，使用拼接角(优选地45°拼接角)分裂(优选同等地)到感测光纤13的两个轴内。光因此进入感测光纤13的两个偏振模式、在感测光纤13的第二末端13b处由反射器14反射回并且在拼接(优选地45°拼接)处耦合到导引光纤12的两个轴内，其中来自感测光纤13的两个波互相干涉。沿导引光纤12的两个轴之一偏振的光经过偏振器11、通过传输光纤8往回行进并且返回光电子�？�1，其中如上文描述的信号A和B被测量以产生对感测光纤13处的温度的测量。信号A和B取决于感测光纤13中的两个偏振模式之间的差分延迟(即取决于感测光纤的温度依赖双折射)
ΡΠ - pr - I :*πτ)
其中P ^是参考温度Ttl (例如室温)处的延迟，dT是参考温度的偏差并且Q是温度系数。测量的延迟P⑴的温度依赖性由双折射的温度系数G+ +4 1/|> * (tip/GT)以及参考(室)温度处的延迟P:. . 4J1L/Lh支配。这里，L是感测光纤的长度并且Lb是PM光纤类型的感测光纤的拍长(beat length)。如上文描述的，第一和第二信号A和B因此是
Λ = O . 5 * (I + cos {pi (1}) a = 0.5 * (I + c.os{p2(Tl),
其中p i和p 2分别是第一和第二光谱范围的中心波长λ P λ 2处的延迟(假设这两个光谱范围足够窄)。信号Α、Β因为在入1和λ 2处不同的拍长和温度依赖性Q而主要不同。温度信息编码为在两个波长处检测的光强度的比率并且因此对例如单模连接器30,31的透射率变化不敏感。两个光源的差分波动由信号Α、Β可以由如上文描述的原始信号SA(I、Sbo归一化这一事实而校正。在图I的实施例中，两个光谱范围处的信号由光滤波器22、23、26、27分离。图2示出采用在两个不同频率和f2的两个调制源的备选实施例。它包括分别以和f2操作的第一和第二幅度调制器35、36。第一幅度调制器35与第一光源2a配合以用于调制具有频率的第一光谱范围中的光的强度，并且第二幅度调制器36与第二光源2b配合以用于调制具有频率f2的第一光谱范围中的光的强度。幅度调制器35、36可以例如是调制对光源2a、2b的馈电电流的电流调制器。可以在时域中独立地在向前行进光处监测并且在从感测头回来的光处检测调制幅度(对两个波长仅使用一个检测器)。由于该目的，每个光检测器3、4分别连接到第一和第二带通滤波器37、38和39、40。这些带通滤波器37-40可以例如分别是集中在频率和f2上的锁定滤波器或基于软件的滤波器。图3示出信号A、B和由此得出的两个信号作为温差Λ T=T-TO的函数的行为，其中T是感测光纤13处的温度并且TO是参考或环境温度。图3中的曲线对应于A1=ISlOnnuλ 2=1550nm并且假设E-芯光纤(椭圆芯光纤)中的感测光纤具有下列属性Q=3. 2 ·10_4 Γ1，LB=6mm ( λ ^1310 处的拍长)，L=29. 5mm。在图3中假设拍长与波长λ P λ 2成比例并且温度依赖性Q对于两个波长是相等的，其对于一次近似是合理的。实际参数用于1310nm和1550nm的波长并且用于现有的椭圆芯光纤，即在1310nm处的6mm拍长和Q=3. 2 · 10_4 [I/K]的温度依赖性。信号A、B指如由如上文描述的处理电路5测量的两个波长的调制幅度或归一化的光强度。在图3中可以看到对于L=29. 5mm的感测光纤的长度，可以获得160°C温度范围上的非�：胁庑藕�。这样的温度范围通常对于电力产品中的应用是足够的。±1°的传感器精度在上文提到的范围上是可能的，因为它主要由光强度或调制幅度的测量精度确定，该测量精度应该在ppm范围中。处理电路5应该从A和B计算温度信号，该温度信号是期望温度范围上的温度的非�：�。在第一有利实施例中，温度信号S可以例如从比率A/B计算。由于对称原因，非常适合的参量是例如
S=Iog (A/B)。在测量范围上也对称的另一个非常适合的参量是 S= (A-B) / (A+B)。对于S的这两个定义都在图3中示出。·偏振器11与感测光纤13之间的PM光纤12有利地被保护性地封装以避免偏振交叉奉禹合。对传感器校准有关的光纤属性(P ο, Q)由感测光纤13的光导芯给出并且因此在石英玻璃内部受到很好保护并且预期不会由于例如湿度而显示出老化。制造方法
温度传感器的重要属性是在制造期间“一个点”校准的可能性和传感器头与读出电子设备的可互换性。为了获得这两个属性，现在公开制造方法，其允许制作相同的传感器头。这些传感器头然后可以例如在单模连接器30或31的位置处互换。对于给定的光纤类型，差分延迟的温度依赖性Q保持恒定。传感器校准则纯粹是光学长度(即，差分延迟Ptl(Ttl))的函数，即必须制造具有正确的总延迟的光纤。为了获得限定的延迟，感测光纤最初制备得有一点超长。然后使用在图4中示出的制造设置来确定延迟。该技术基于观察由感测光纤在某一波长(其可等于或可不等于上文的第一和第二波长入1和λ 2中的一个)处和受控室温处携带的两个偏振。接着，通过例如在拼接机或一些其他回火室41中施加热(回火)而以逐步的方式使延迟P ^减小。热可施加于感测光纤13中的全部或仅施加于其的一段。热施加于PM感测光纤(其可以例如是椭圆芯光纤)促使光纤芯略微扩散到覆层材料内，由此使得芯的双折射更小并且因此在椭圆芯光纤的情况下使引起的延迟减小。对于采用应力体来产生内部应力场的PM光纤，热的施加将促使应力体扩散到覆层内并且因此改变光纤芯中的应力场以及双折射。相似的方法成功地用于制造具有预定温度依赖性(即光学长度)的光纤电流传感器(FOCS)的四分之一波延迟器[5]。在图4中示出的设置图示来自光源的光被发送通过第一分束器42、第一偏振器43和第二分束器44进入保偏光纤45内，该保偏光纤45已经在45°连接到感测光纤13。第一偏振器43对齐以f禹合到保偏光纤45的仅一个偏振模式内。光经过保偏光纤45进入感测光纤13的两个偏振模式内、由反射器14反射并且通过感测光纤13和保偏光纤45返回。在第二分束器44处,一部分的光通过偏振器46 (其相对于偏振器43与90°的偏振对齐)转向并且到达第一检测器47，而另一部分的光通过第一偏振器43、在第一分束器42处转向以到达第二检测器48。检测器47、48分别生成信号SI和S2，其的比率是描述感测光纤13中的延迟的参数。以此方式，测量感测光纤13的延迟。如果它还未降到期望的延迟，使感测光纤13回火。继续这些步骤直到测量的参数指示延迟已经降到期望延迟。该过程称为“调谐”。
为了把感测头最后定下来并且获得如在图5中示出的产品，在一侧上具有单模光纤50和单模连接器31的宽带偏振器11在另一侧处附连到于此在0°角度的保偏光纤45(在一个特定情况下通过在0°角度拼接到退出偏振器的PM光纤51)，使得PM光纤45变成最终产品的一部分或整个导引光纤12。这具有的优点为在上文描述的调谐过程期间充分解决导引光纤12与感测光纤13之间的拼接区中的延迟并且其以后不再改变。现在可以封装感测头并且使其连接到任何光电子�？椴⑶移浣峁┳既返奈露榷潦�。还可以通过使用具有与在图I或2中示出的那个相似的设置的双波长测量来确定延迟，而不是执行如在图4中示出的单波长测量。光源组装件
光源组装件2有利地使用具有不同波长(例如1310nm，1550nm)的两个光源。由于成本原因，可以分配光源来为多个传感器头(例如，对于变压器应用是8个，未示出)服务，或可使用大约850nm的便宜的VCSEL源。来自光源2a、2b具有两个不同波长(调制或未调制)的光可用于若干温度测量点。对此，星形耦合器(未示出)可用于将来自光源2a、2b的光在测量通道之间粗略地平均分配。该星形耦合器对于这两个波长必须同时运行。这样，光源的成本可在变压器中应用的典型10个测量通道之间分配。通道之间强度的精确分配将在星形耦合器后通过使用参考检测器(例如上文的检测器3)而监测。必须注意，沿PM光纤行进的两个波经历差分群时延，即原来完全同相的波在沿PM光纤的两个不同模式行进时在时间和空间中取得相对距离。提出的传感器配置依赖以下事实在45°入口拼接处分裂的两个波在沿光纤前后行进后将在45°退出拼接处互相干涉。如果这两个波与采用的光的相干长度相比取得明显的差分群时延则干涉条纹可见度以及因此传感器信号将降低。降低的条纹可见度将损害传感器的信噪比。以此公开的最大化干涉对比度的方法是(i)具有最小差分群色散的感测光纤的选择和(ii )光源相干长度的管理。椭圆芯光纤可用作感测光纤13，因为该类型的光纤允许通过参数(例如芯直径和芯覆层折射率差)的正确设计来修整(tailor)属性。考虑设计过程的光纤属性是双折射、双折射温度依赖性和差分群时延。第一光谱范围中以及第二光谱范围中采用的光的相干长度应该长到足以保证良好的传感器条纹可见度同时短到足以抑制来自连接器及类似物处的杂散反射的影响。光源在其相干和波长属性方面应该非常稳定。获得该属性的一个选项是具有另外的光带通滤波器的超荧光LED的使用以修整带宽并且因此修整光的相干属性。光滤波器可放置在光路中的任何地方。第一光谱范围以及第二光谱范围的光谱宽度有利地是lnm-30nm。注意
这里描述的解决方案组合偏振测量的成本有效性和信息传送的高低不平性(ruggedness)(当编码为波长样式时)。为了在集成到HV设备期间操纵光纤传感器以及在十年后更换读出电子设备而仍使用相同的传感器头，极其有利的是使用便宜且坚固的光纤连接器，即单模连接器而不是PM (保偏)连接器。此外，传感器头需要与任何电子设备表现完全一样而没有任何种类的重新校准。这里公开的传感器设计拓扑解决了第一需要，同时需要的感测元件的相同感测属性由公开的用于制造的方法提供。感测光纤与电子设备电隔离并且振动不敏感。传输光纤可以是具有单模连接器(其便宜且健壮)的单模光纤。传输光纤和连接器不必保偏。在制造期间的“一个点”校准以及在160°C范围上的±1°C精度是可能的。此外，传感器构成内在光纤传感器，即不需要外部传感器(例如，空腔谐振器、GaAs芯片、荧光材料)附连到光纤。提出的方法允许非常简单且成本有效的温度测量，因为仅需要少量且便宜的组件(例如在850nm或1310nm)。所有组件对于电信应用是商业上可用的。参考文献
权利要求
1.一种光纤温度计，包括 光源组装件(2)，其至少生成第一光谱范围中和第二光谱范围中的光，其中所述第一光谱范围与所述第二光谱范围不同， 单模传输光纤(8)，其连接到所述光源组装件(2)并且运送所述第一和第二光谱范围的光， 偏振器(11 )，其布置成使来自所述传输光纤(8 )的光偏振， 保偏感测光纤(13)，其具有第一和第二双折射轴，其中所述第一和第二双折射轴之间的所述感测光纤(13)的双折射取决于要测量的温度，并且其中所述偏振器(11)布置成使来自所述光源的光耦合到两个所述双折射轴中，其中所述感测光纤(13)具有第一末端(13a)和第二末端(13b)并且其中所述偏振器(11)布置在所述传输光纤(8)与所述第一末端(13b)之间， 反射器(14)，其布置在所述感测光纤(13)的所述第二末端(13b)处并且使光反射回到所述感测光纤(13)中， 检测器组装件(3，4)，其适应于检测通过所述偏振器(11)和所述单模传输光纤(8)从所述感测光纤(13)返回的光，其中所述检测器组装件(3，4)生成表示在所述第一光谱范围中返回光的强度的第一信号A和表示在所述第二光谱范围中返回光的强度的第二信号B，以及 处理电路(5 )，用于从所述第一信号A和第二信号B生成温度信号。
2.如权利要求I所述的温度计，还包括保偏导引光纤(12)，所述保偏导引光纤(12)具有第一和第二双折射轴并且布置在所述偏振器(11)与所述感测光纤(13)的所述第一末端(13a)之间，其中所述导引光纤(12)的双折射轴是平行的并且垂直于所述偏振器(11)的偏振方向并相对于所述感测光纤(13)的双折射轴在40与50°之间的角度，具体而言在45°角度。
3.如前述权利要求中任一项所述的温度计，包括所述传输光纤(8)与所述光源组装件(2)之间的第一单模连接器(30)。
4.如前述权利要求中任一项所述的温度计，包括所述传输光纤(8)与所述偏振器(11)之间的第二单模连接器(31)。
5.如前述权利要求中任一项所述的温度计，其中所述处理电路(5)适应于通过取决于(A-B)/ (A+B)或log (A/B)来计算参量而组合所述第一信号A和所述第二信号B。
6.如前述权利要求中任一项所述的温度计，其中所述检测器组装件(3，4)适应于检测表示如由所述光源组装件(2)生成的所述第一光谱范围的光的强度的第一原始强度信号Saci、表示通过所述传输光纤(8)返回的所述第一光谱范围的光的强度的第一原始返回信号Sa、表示如由所述光源组装件(2)生成的所述第二光谱范围的光的强度的第二原始强度信号Sbci、表示通过所述传输光纤(8)返回的所述第二光谱范围的光的强度的第二原始返回信号Sb,并且其中所述第一信号A表不Sa/Sao并且所述第二信号B表不SB/SB(I。
7.如前述权利要求中任一项所述的温度计，其中所述光源组装件(2)包括 第一幅度调制器(35)，用于调制具有第一频率(f\)的所述第一光谱范围中的光的强度，以及 第二幅度调制器(36)，用于调制在第二频率(f2)处的所述第二光谱范围中的光的强度，所述第二频率(f2)与所述第一频率(f\)不同，并且 其中所述检测器组装件(3，4 )包括 光检测器(3，4)， 在所述第一频率(f\)处的第一带通滤波器(37，39)，以及 在所述第二频率(f2)处的第二带通滤波器(38，40)， 其中所述滤波器(37-40 )均连接到所述光检测器(3，4 )。
8.如前述权利要求中任一项所述的温度计，其中所述光源组装件(2)包括生成所述第一光谱范围中的光的第一光源(2a)和生成所述第二光谱范围中的光的第二光源(2b)。
9.如前述权利要求中任一项所述的温度计，其中所述第一光谱范围以及所述第二光谱范围各自具有在Inm和30nm之间的光谱宽度。
10.一种用于制造如前述权利要求中任一项所述的温度计的方法，包括以下步骤 a)提供所述感测光纤(13)，其具有超出期望的双折射延迟的原本双折射延迟， b)通过沿所述感测光纤(13)的所述第一和所述第二双折射轴偏振的所述感测光纤(13)发送光， c)测量取决于所述感测光纤(13)中的当前延迟的参数，以及 d)通过使所述感测光纤(13)回火而永久地降低所述感测光纤(13)的双折射直到所述参数指示所述当前延迟等于所述期望延迟。
11.如权利要求10所述的方法，其中提供所述感测光纤(13)的所述步骤包括提供具有附连的保偏光纤(45)的所述感测光纤(13)，其中所述保偏光纤(45)的双折射轴相对于所述感测光纤(13)的双折射轴布置在40°-50°范围中的角度，具体而言在45°，并且，其中所述方法还包括在完成步骤d后使所述保偏光纤(45)附连到所述偏振器(11)或在0°角度退出所述偏振器的PM光纤(51)。
全文摘要
描述了光纤温度计，其使用双折射保偏感测光纤(13)以及单模传输光纤(8)以用于在感测头与光电子�？�(1)之间传输光信号。该光电子�？�(1)包含在不同光谱范围操作的两个光源(2a，2b)。来自光源的非偏振光通过传输光纤(8)来发送、通过偏振器(11)来发送并且耦合到感测光纤(13)的两个双折射轴内。波在感测光纤(13)的远末端(13b)处的反射器(14)处反射，于是它通过感测光纤(13)、偏振器(11)和传输光纤(8)返回。通过对两个光谱范围分析返回信号，可以得出健壮的温度信号。该温度计设计消除了在光电子�？�(1)和传感器头之间使用保偏光纤和保偏连接器的需要。
文档编号G01K11/32GK102959374SQ201080067937
公开日2013年3月6日 申请日期2010年7月7日 优先权日2010年7月7日
发明者R.维斯特, T.比勒, F.比希特 申请人:Abb研究有限公司
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