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专利名称：氦气综合分析仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种分析仪，尤其是ー种氦气综合分析仪。
背景技术：
石油化工生产的混合气体中氦含量的测定对裂解エ艺、加氦エ艺等具有十分重要的意义，氦含量直接影响产品关键性能的指标。此外合成氨エ业中对氦纯度的測量也必不可少。

实用新型内容为了克服现有的氦气检测准确性的不足，本实用新型提供了ー种氦气综合分析仪。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是ー种氦气综合分析仪，包括进气ロ、流量调节阀、纯度传感器、湿度传感器和出气ロ，进气管路的出ロ端设有进气ロ，中间设有流量调节阀和纯度传感器，末端设有出气ロ，湿度传感器置于出气口上方，所述纯度传感器为热导池检测器。根据本实用新型的另ー个实施例，进ー步包括所述湿度传感器为高分子薄膜电容传感器。根据本实用新型的另ー个实施例，进ー步包括流量调节阀与纯度传感器之间设有流量感应器。本实用新型的有益效果是，使用该分析仪可以利用带温度补偿功能的微型热导池氦气检测仪表来实现更好的稳定性、重现性和精度。
以下结合附图
和实施例对本实用新型进ー步说明。图I是本实用新型的结构示意图。其中，1、进气ロ，2、流量调节阀，3、纯度传感器，4、湿度传感器，5、出气ロ，6、进气管路，7、流量感应器。
具体实施方式
如图I是本实用新型的结构示意图，一种氦气综合分析仪，包括进气ロ I、流量调节阀2、纯度传感器3、湿度传感器4和出气ロ 5，进气管路6的出口端设有进气ロ 1，中间设有流量调节阀2和纯度传感器3，末端设有出气ロ 5，湿度传感器4置于出气ロ 5上方，所述纯度传感器3为热导池检测器T⑶。所述湿度传感器4为高分子薄膜电容传感器，具对气体的适度具有较高的敏感度。所述流量调节阀2与纯度传感器3之间设有流量感应器7，起监测气体流量的作用。操作时， 氦气体进入进气ロ 1，流经流量调节阀2控制流入气体量，再经过流量感应器7和纯度传感器3、湿度传感器4以此来检测气体的流量、纯度和湿度，再通过出气ロ5，将信号传入单片机进行信息处理，使用该分析仪可以利用带温度补偿功能的微型热导池氦气检测仪表来实现更好的稳定性、重现性和精度。
权利要求1.一种氦气综合分析仪，包括进气口(I)、流量调节阀(2)、纯度传感器(3)、湿度传感器(4)和出气口(5)，进气管路(6 )的出口端设有进气口( I)，中间设有流量调节阀(2 )和纯度传感器(3)，末端设有出气口(5)，湿度传感器(4)置于出气口(5)上方，其特征是，所述纯度传感器(3)为热导池检测器。
2.根据权利要求I所述的氦气综合分析仪，其特征是，所述湿度传感器(4)为高分子薄膜电容传感器。
3.根据权利要求I所述的氦气综合分析仪，其特征是，所述流量调节阀(2)与纯度传感器(3)之间设有流量感应器(7)。
专利摘要本实用新型涉及一种分析仪，尤其是一种氦气综合分析仪。该分析仪包括进气口、流量调节阀、纯度传感器、湿度传感器和出气口，进气管路的出口端设有进气口，中间设有流量调节阀和纯度传感器，末端设有出气口，湿度传感器置于出气口上方，所述纯度传感器为热导池检测器。所述湿度传感器为高分子薄膜传感器，流量调节阀与纯度传感器之间设有流量感应器，本实用新型可以利用带温度补偿功能的微型热导池氦气检测仪表来实现更好的稳定性、重现性和精度。
文档编号G01N25/18GK202393730SQ20112048484
公开日2012年8月22日 申请日期2011年11月30日 优先权日2011年11月30日
发明者王茂祥, 石静 申请人:常州工程职业技术学院, 常州爱特科技有限公司