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专利名称：环氧高频率探针卡的制作方法
技术领域：
环氧高频率探针卡技术领域[0001]本实用新型涉及一种探针卡，特别是涉及一种环氧高频率探针卡。
背景技术：
[0002]现有的高频芯片测试过程中，基本上是每个需要高频测试的焊点(PAD)上需要扎一根高频测试探针。基本上是每个需要高频测试的PAD上需要扎一根高频测试探针，每根针需要单独固定，在测试的过程中因为每个探针间角度等的差异，会导致平整度不好。另由于套管的直径所限，针尖会与套管会有一定的距离，导致频率流失。实用新型内容[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种环氧高频率探针卡，其使得所有探针保持角度压力的一致，在测试的过程中保持较好的平整度，增加测试的可靠性。[0004]本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的:一种环氧高频率探针卡，其特征在于，其包括SMA接口、金属套管、绝缘套管、探针、铜片、环氧树脂包，SMA接口与金属套管的一端连接，金属套管的另一端与绝缘套管的一端连接，绝缘套管的另一端与探针固定，铜片包裹住探针，环氧树脂包套在金属套管上且靠近探针。[0005]本实用新型的积极进步效果在于:本实用新型使得所有针保持角度压力的一致，在测试的过程中保持较好的平整度，增加测试的可靠性。


[0006]图1为本实用新型环氧高频率探针卡的结构示意图。
具体实施方式
[0007]
以下结合附图给出本实用新型较佳实施例，以详细说明本实用新型的技术方案。[0008]如图1所示,本实用新型环氧高频率探针卡包括SMA (Sub-Miniature-Α,称为“反极性公头”)接口 1、金属套管2、绝缘套管3、探针4、铜片5、环氧树脂包6，SMA接口 I与金属套管2的一端连接，金属套管2的另一端与绝缘套管3的一端连接，绝缘套管3的另一端与探针4固定，铜片5包裹住探针4，环氧树脂包6套在金属套管2上且靠近探针4。探针4的下方设有需测试的焊点。[0009]环氧树脂包套在金属套管，探针、金属套管都与绝缘套管固定，这样环氧树脂包可以固定探针的位置，使得所有探针保持角度压力的一致，在测试的过程中保持较好的平整度，增加测试的可靠性，减少维护成本。探针的外面使用铜片包裹并与金属套管焊接接地，减少了噪声对测试的影响，大大增加了测试的频率，可达到IOG以上。[0010]本实用新型使用环氧探针卡技术解决高频探针之间的差异导致的测试不稳定，增加对高频信号的接地保护，减少噪声影响。[0011]上述实施例不作为对本实用新型的限定，凡在本实用新型的范围内所作的任何修改、等同替换、改进等，均属于本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种环氧高频率探针卡，其特征在于，其包括SMA接口、金属套管、绝缘套管、探针、铜片、环氧树脂包，SMA接口与金属套管的一端连接，金属套管的另一端与绝缘套管的一端连接，绝缘套管的另一端与探针固定，铜片包裹住探针，环氧树脂包套在金属套管上且靠近探针。
专利摘要本实用新型公开了一种环氧高频率探针卡，其包括SMA接口、金属套管、绝缘套管、探针、铜片、环氧树脂包，SMA接口与金属套管的一端连接，金属套管的另一端与绝缘套管的一端连接，绝缘套管的另一端与探针固定，铜片包裹住探针，环氧树脂包套在金属套管上且靠近探针。本实用新型使得所有探针保持角度压力的一致，在测试的过程中保持较好的平整度，增加测试的可靠性。
文档编号G01R1/067GK202975069SQ20122053667
公开日2013年6月5日 申请日期2012年10月18日 优先权日2012年10月18日
发明者隆英, 安奎 申请人:上海依然半导体测试有限公司