漏液传感器及漏液检测系统的制作方法-山东亚星游戏官网机床有限公司

专利名称：漏液传感器及漏液检测系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种漏液传感器及漏液检测系统的改良，该漏液传感器及漏液检测系统检测水、酸性溶液、碱性溶液等具有导电性的液体及超纯水、酒精、稀释剂、汽油等有机溶液等具有绝缘性的液体的漏液。
背景技术：
特公平4-70572号公报[专利文献2]特开2002-350275公报在目前的工厂等的设备中，通过配管供给液体。但是，由于配管在很多地方设置了连接用的接头，所以，从接头发生漏液的情况很多。因此，根据液体的种类，人们必须经常进行漏液的监视。作为这种目前的漏液传感器，已经知道有检测电极间的阻抗变化的导电方式的漏液传感器、对所需液体的液体量进行测量来检测是否提供规定容量的液体的液体量测量方式的漏液传感器。此外，在专利文献1中记载了如下光学式漏液传感器技术通过透光部(光源)事先对吸收漏液则变成透明的过滤器照射光，在发生了漏液时，通过检测来自上述过滤器的透射光或反射光的受光量的变化量，可以确实地检测到漏液。在这种目前的漏液传感器中，一般，当检测到漏液的漏液检测异常或传感器没有设置在规定空间位置的传感器设置异常时，通过LED等显示部件对这些异常状态信息进行警报显示，而且，用触点信号等将其数字输出到外部。
另一方面，在专利文献2中介绍了以下漏液监视装置在子机-母机间传送多个漏液传感器的电极间阻抗等所需信息，在母机侧进行运算处理后，或者直接显示到母机侧的显示部件上，在专利文献2中，在判断为发生了漏液等异常时，该漏液等的警报信息在显示到影像及/或记录部件的同时，也用蜂鸣等声音进行显示。
但是，(A)作为清洁剂/溶剂，例如，在检测到20℃时具有小于等于6×10-2N/m的低表面张力的液体的漏液的情况下，尤其是在检测不含有氯及溴的低分子的含氯氟烃(CFCs)及哈龙等表面张力在20℃时小于等于3×10-2N/m的具有低表面张力的液体的漏液2a时，漏液形成非常薄的层状并进行扩散，例如，如图6(B)所示，均匀且迅速地扩散为这种漏液层的厚度d1小于等于0.5mm的薄膜层状，而且，即使是小于等于0.1mm的间隔非常狭窄的空隙部，也可以容易地渗透，所以，漏液首先渗透到容纳漏液传感器主体的容器的保持器与基底面之间的间隙d2(＜d1)中(图6(C))，漏液扩散到保持器上面需要较长时间，其结果，出现了完全无法进行少量漏液的检测或漏液检测延迟的问题。
(B)此外，目前，漏液传感器存在如下问题由于其对多个漏液传感器的警报数字输出进行接“或”运算，对每个规定组，统一通过序列发生器或母机等进行警报输出，所以，在输出了漏液检测异常的警报时，实际上，对于设置在哪处的传感器检测到了漏液、工厂等系统的维护方不能立即确定漏液发生位置；漏液传感器一般设置在基底面或漏液容纳盘等系统的最下部，另一方面，在其上方空间中架设各种系统结构部件等的使用环境条件下，安装在漏液传感器本身上的LED等发光式警报显示部件在发生了漏液异常的情况下，一般很难视觉辨认，难以确定漏液发生位置。
(C)进而，在专利文献2等漏液检测系统中，一般情况下，设置漏液传感器的人与工厂等的维护并管理系统的人完全没有关系，对于设置漏液传感器的人来说，要求将多个漏液传感器全部在短时间内准确地设置到规定位置，所以，即使作为桌面理论，要求将传感器的设置位置逐一登录到监视装置中是可能的，但实际上，要求1个作业者将大于等于40个的传感器无错误地布线、准确地登录并进行确认是不可能的，在系统构建作业中，由多个作业者实施设置作业会使得装置的购买成本徒然暴涨，从漏液传感器的实际设置作业者来看，这是完全无法实用的技术。
此外，在专利文献2的技术中，采用在母机侧进行运算处理后显示或直接显示到母机侧的显示部件上的系统结构，所以，存在以下问题在母机出现故障时，即使漏液传感器正常检测漏液，也完全无法输出漏液检测异常的警报。
进而，专利文献2的技术是在母机侧进行运算处理后或直接通过母机的警报部件通过声音消息通告漏液异常的系统，所以，漏液发生位置必须包含在声音消息的内容中，而且，对于工厂等的维护并管理系统的人来说，如果不是能够准确听取声音位置信息并理解漏液发生位置信息实际在空间中对应于哪个位置的人，就无法确定准确的漏液发生位置的空间位置信息，尤其在派遣职员及人事变动频繁的岗位/现场环境中，几乎不在漏液传感器设置位置的教育等上花费时间/费用等，对于新操作员及记忆力/学习能力不足的操作员来说，就成为完全不起作用的警报系统。
(D)此外，在漏液传感器与警报部件一体形成时，漏液传感器一般设置在狭窄并接近基底面的下方设置空间中，而且，容易与作业者的通行空间相互干涉，所以，希望传感器整体从基底面算起的高度尽量低。

发明内容
因此，本发明是基于上述情况而提出的，本发明的目的在于提供一种漏液传感器，其对于即使是在20℃时具有小于等于6×10-2N/m的低表面张力的液体的少量漏液，也可以高速地检测到。
此外，本发明的目的在于提供一种漏液传感器及漏液检测系统，即使是将多个漏液传感器按每个规定组统一组装到控制系统中，在输出了漏液检测异常的警报时，工厂等系统的维护方可以准确且容易地确定实际上是设置在哪处的漏液传感器工作并检测到了漏液、漏液发生的空间位置/地方。
并且，本发明的目的还在于提供一种漏液传感器及漏液检测系统，在将多个漏液传感器按每个规定组统一设置到控制系统中时，即使是1个作业者，也可以在短时间内准确地将多个传感器全部设置到规定的空间位置。此外，本发明的目的还在于提供一种漏液传感器及漏液检测系统，即使在控制系统出现故障或没有母机的情况下，在漏液传感器正常检测到漏液时，可以确实地输出漏液检测异常的警报，由工厂等系统的维护方准确且容易地确定漏液发生的空间位置/地方。
本发明涉及一种漏液检测系统，其至少使用1个漏液传感器，该漏液传感器至少具有1个漏液检测部，该漏液检测部可以通过可渗透漏液的气体层或漏液渗透层与上述漏液接触，本发明的上述目的通过如下内容达成相对上述漏液传感器的设置位置，在规定空间范围以内设置包含发音部件的警报部件，在检测到上述漏液传感器的传感器异常时，至少通过上述发音部件，以可以区别于设置在上述规定空间范围的外侧的漏液传感器而确定该漏液传感器的设置位置的方式，用可听频率的发送音对该漏液传感器的传感器异常检测进行警报。
此外，本发明涉及一种由如下部件构成的漏液传感器至少1个反射边界面，该反射边界面可以通过可渗透漏液的气体层或漏液渗透层与上述漏液接触；投光部；受光部；以及与它们结合的控制部件，本发明的上述目的通过如下内容达成将上述投光部及受光部容纳在底部由透明材料或半透明材料构成的容器中并将其一体化，或者，将上述投光部及受光部容纳在底部由透明材料或半透明材料构成的容器中并将其一体化，而且，在该容器的末端安装容器保持器，该容器保持器使得该容器的末端不容易受到该漏液传感器的基底等的设置位置的表面特性或表面颜色的影响，并且，兼用于防止该容器的倾翻，而且，设置包含上述漏液传感器的异常检测部件及发音部件的警报部件，通过上述异常检测部件检测到传感器异常时，至少通过上述发音部件用可听频率的发送音对异常检测进行警报。
根据本发明涉及的漏液检测系统，相对漏液传感器的设置位置，在规定空间范围以内设置包含发音部件的警报部件，在上述漏液传感器检测到该漏液传感器的传感器异常时，至少通过上述发音部件，以可以区别于设置在上述规定空间范围外侧的其他漏液传感器设置位置而确定该漏液传感器的设置位置的方式，用可听频率的发送音对操作员等警报/通报该漏液传感器的传感器异常检测，所以，在将多个漏液传感器按照每个规定组统一设置到控制系统内的情况下，即使是1个作业者，也可以在短时间内正确地将多个漏液传感器设置在全部规定的位置，不必象过去的传感器那样对基底面逐一进行观察确认，就可以由1个人来确认该设置状态，可以大大提高漏液检测系统的可靠性。
此外，在本发明的漏液传感器及漏液检测系统中，不需要该系统的母机，即使在系统的转发器等发生了故障时，只要漏液传感器可以单独工作，就可以正常地检测漏液状态，用可听频率的发送音进行警报，在该漏液传感器检测到这种漏液状态时，以可以确实地区别于设置在规定空间范围外侧的其他漏液传感器设置位置而确定该漏液传感器的设置位置的方式，用可听频率的发送音对操作员等进行警报/通报，所以，在维护漏液传感器及漏液检测系统时，即使在类似于并列配置了多个相同功能的传感器的半导体制造工序那样的容易发生混淆/误认的维护环境中，只要依靠警报发送音接近声源，就可以确定/发现准确的漏液发生位置，对于实际进行维护的负责人来说，即使不接受漏液传感器的配置映射关系的学习等特别训练，也可以不与其他传感器发生混淆/误认，可以非常容易地确定/识别漏液发生位置，非常有用。
进而，在本发明的漏液传感器及漏液检测系统中，即使是少量的漏液量，也可以确实地检测到水、酸性溶液、碱性溶液等具有导电性的液体及超纯水、酒精，稀释剂、汽油等有机溶液等具有绝缘性的液体的漏液，而且，即使是具有在20℃时小于等于6×10-2N/m的低表面张力的液体，尤其是具有小于等于3×10-2N/m的低表面张力的薄层状液体，即微少量的漏液，也可以高速地检测到。

图1是示出将本发明的漏液检测系统1a应用于涂抹显像装置时的机械式的1个结构例的框图。
图2是该漏液检测部(漏液传感器部)是将漏液传感器20a及包含发音部件的警报部件70a一体形成的结构的1例。
图3是其剖面图及放大图。
图4是示出本发明的保持器5的1个结构例的图。
图5是示出本发明的高速漏液引入部件6的动作原理的放大剖面图。
图6是示出本发明的漏液传感器20a的信号处理的1个结构例的框图。
图7是示出本发明的防爆型漏液检测系统1b的机械式的1个结构例的框图。
图8是其漏液检测部是将漏液传感器20b及警报部件70b分离设置的结构的1例。
图9是示出本发明的防爆型警报部件70b的信号处理的1个结构例的框图。
符号说明1a、1b、1c漏液检测系统；2、2a漏液；4设置异常检测部件；5保持器；5s、5t、12m、12n光学边界面；6、6b高速漏液引入部件；8薄纸；d、d1～d8空隙部12容器；14、14b光源部件16、16c受光部件；20a、20b漏液传感器；22u、22z投射光；24u、24z反射光；30控制部件；37、79c通信部件39、700控制部40a、40c、42a、42c光传输部件；70a、70b警报部件；72发音部件；75共鸣器79k警告灯98漏液容纳部99底面、基底面。
具体实施例方式
本发明的漏液检测系统至少使用一个漏液传感器，该漏液传感器至少具有一个漏液检测部，该漏液检测部可以通过可渗透漏液的气体层或漏液渗透层与上述漏液接触，相对上述漏液传感器的设置位置，在规定空间范围以内设置包含发音部件的警报部件，在检测到上述漏液传感器的传感器异常时，至少通过上述发音部件，以可以区别于设置在上述规定空间范围的外侧的漏液传感器而确定该漏液传感器的设置位置的方式，用可听频率的发送音对该漏液传感器的传感器异常检测进行警报，而且，
优选的是，根据设置在上述规定空间范围的内侧的单独或多个漏液传感器，可以共同使用上述警报部件，更优选的是，该警报部件的警告灯设置在容易视觉辨认的空间位置。
然而，在本发明的漏液检测系统中使用的漏液传感器中，可以将漏液传感器与包含发音部件的警报部件一体形成，及/或也可以将漏液传感器与包含发音部件的警报部件分离设置，通过有线及/或无线，将漏液传感器与包含发音部件的警报部件相互连接。
在将上述漏液传感器与包含发音部件的警报部件一体形成的系统结构中，因为在漏液传感器的设置位置上也一体地固定配置了警报部件，所以，可以提供以下系统不需要任何特别的设定连接编号等的操作，系统的构建非常容易，连接的确认作业也容易，这种系统的维护/监视作业也非常直观，容易理解。
此外，在将上述漏液传感器与包含发音部件的警报部件分离设置，并通过有线，将漏液传感器与包含发音部件的警报部件相互连接的系统结构中，可以在该系统的上部空间中将这种分离的警报部件设置在视觉辨认性良好的位置，具有任何人都可以容易地进行系统的调整作业或维护/管理作业的优点。
而且，在将上述漏液传感器与包含发音部件的警报部件分离设置，并通过无线，将漏液传感器与包含发音部件的警报部件相互连接的系统结构中，具有以下优点可以在该系统的上部空间中将这种分离的警报部件设置在视认性良好的位置，而且，可以提供防爆结构的警报部件，可以非常安全且确实地实施挥发性液体或易燃性液体的漏液检测及/或警报/监视处理，此外，不需要学习特别的传感器配置映射关系等，任何人都可以容易地进行系统的调整作业及维护/管理作业。
进而，在本发明的漏液传感器的一例中，可以使用由如下部件构成的漏液传感器至少一个反射边界面，该反射边界面可以通过可渗透漏液的气体层或漏液渗透层与上述漏液接触；投光部；受光部；以及与这些部件结合的控制部件，
将上述投光部及受光部容纳在底部由透明材料或半透明材料构成的容器中并将其一体化，或者，将上述投光部及受光部容纳在底部由透明材料或半透明材料构成的容器中并将其一体化，而且，在该容器的末端安装容器保持器，该容器保持器使得该容器的末端不容易受到该漏液传感器的基底等的设置位置的表面特性或表面颜色的影响，并且，兼用于防止该容器的倾翻，而且，使上述漏液传感器的异常检测部件及包含发音部件的警报部件，以可以区别于设置在规定空间范围的外侧的其他漏液传感器而确定该漏液传感器的设置位置的方式，用可听频率的发送音对该漏液传感器的传感器异常检测进行警报，而且，优选的是，根据设置在上述规定空间范围的内侧的单独或多个漏液传感器，可以单独或共同使用上述警报部件，更优选的是，该警报部件设置在容易视觉辨认的空间位置。
以下，参照附图，对本发明涉及的漏液传感器及漏液检测系统进行说明。
图1是示出将本发明的漏液检测系统1a应用于涂敷显像装置时的机械式的1个结构例的框图。
图2是其漏液检测部(漏液传感器部)是将漏液传感器20a与包含发音部件的警报部件70a一体形成的结构的1例。
图2(A)是示出本发明的漏液传感器20a的结构的平面图。
图2(B)是其在2B-2B上的横剖面图。
图2(C)是其侧视图。
图3(A)是其在3A-3A上的纵剖面图。
图3(B)是图2(B)的放大图。
图3(C)是其在3C-3C上的横剖面图。
图4(A)是本发明的保持器5的俯视图。
图4(B)是其中央横剖面图。
图4(C)是具有切断部8d的薄纸8的俯视图。
图5是示出本发明的高速漏液引入部件6的动作原理的放大剖面图。
图6是示出本发明的漏液传感器20a的信号处理的一个结构例的框图。
图7是示出本发明的防爆型漏液检测系统1b的机械式的一个结构例的框图。
图8是示出该漏液检测部(漏液传感器部)将漏液传感器20b与包含发音部件的警报部件70b分离设置的结构的一例。
图9是示出本发明的防爆型警报部件70b的信号处理的一个结构例的框图。
下面，参照图1至图6，对将本发明的漏液检测系统应用于半导体晶片(以下称为晶片)的涂敷显像装置的情况进行说明。
首先，图1是将漏液传感器部20a与包含发音部件72的警报部件70a一体形成而构成本发明的漏液检测部(漏液传感器)20a的漏液检测系统1a的一例。是至少使用一个漏液传感器构成的(在图1的例中是一个，但是，在面积大的同一底面及基底面中，也可以在多个位置分散设置多个漏液传感器)的漏液检测系统1a的一例，该漏液传感器至少具有一个可以通过可渗透漏液的气体层或漏液渗透层与漏液接触的漏液检测部(在图1中，该漏液检测部是由至少包含一个光学式反射边界面的光学式漏液检测部构成，但是，可以使用包含根据非绝缘性液体的存在，电极间阻抗发生变化的电极对的导电式漏液检测部、或者液量测量式漏液检测部)。将漏液传感器20a以使各漏液容纳部对于系统的管理者/维护负责人来说，可以区别并在空间上可以识别的方式分别设置在后述的各漏液容纳部98的底面99上，相对该设置位置，在规定空间范围以内(漏液容纳部98的底面上方空间)中设置包含后述的发音部件的警报部件70a，在检测到漏液传感器20a的传感器异常(漏液检测异常或传感器设置异常)时，至少通过发音部件，以可以容易且直接地区别于设置在上述规定空间范围外侧的其他漏液传感器设置位置(使各漏液容纳部分别独立而可以区别)而确定漏液传感器的设置位置的方式，用可听频率的发送音对漏液传感器的传感器异常检测进行警报，漏液传感器20a与警报部件70a可以通过信号线连接，也可以一体形成地设置。
然而，上述晶片的涂敷显像装置一般由如下部件构成处理机构单元，其配置有对晶片实施各种处理的处理机构；以及搬入搬出机构，其用于将晶片搬入/搬出处理机构单元。搬入搬出机构具有容纳处理前的晶片的晶片托架(carrier)；容纳处理后的晶片的晶片托架；吸附并保持晶片的臂；分别在水平的X方向、Y方向及θ方向上移动该臂的X方向移动机构、Y方向移动机构及θ方向移动机构；在处理机构单元之间进行晶片的传递的载置台，此外，在上述处理机构单元中还设置了由以下机构构成的各处理机构粘着涂敷机构，其为了提高晶片与抗蚀膜之间的密合性而进行前处理；涂敷机构81a，其在晶片的上面涂敷抗蚀液；冷却机构，其对由涂敷机构81a涂敷抗蚀液之前的晶片进行冷却，调整到规定温度；烘烤机构，其为了使涂敷在晶片上的抗蚀膜中残留的溶剂蒸发而进行加热处理；显像机构81b，其对曝光后的抗蚀剂进行显像处理。进而，在处理机构单元中，在上述各处理机构81a、81b等上沿着搬送路径配置了搬送机构，该搬送机构具有用于进行晶片的搬入/搬出的臂，在如上构成的处理单元中，由搬入搬出机构搬入的晶片在由粘着涂敷机构进行了前处理之后，进行冷却处理及涂敷处理，由烘烤机构进行加热处理，此外，由显像机构81b进行显像处理，之后，传送到搬入搬出机构，容纳在晶片托架中。在这种结构中，从具有本发明的漏液检测系统1a的处理液箱82向抗蚀液涂敷机构81a供给处理液，即抗蚀液。
上述半导体晶片处理装置中的处理液箱82的配置及处理液用温度控制部84的配置如图1所示，在这些处理液箱82及温度控制部84上分别设置了漏液检测系统1a。然而，从处理液箱82出来的送出导管83连接到涂敷机构81a，在处理液箱82的上部周围设置的外槽89中也可以设置漏液传感器，在送出导管83上设置了温度控制单元85，通过这样做，将提供给涂敷机构81a的处理液维持在恒定的温度。在温度控制单元85中循环供给恒温水，该恒温水是由调温单元84a控制成恒定温度的温度控制用液。温度控制部84由调温单元84a和作为热交换器而构成的温度控制单元85构成；其中调温单元84a由恒温水箱91、具有泵90及热敏模块88的送水导管87、以及回水导管86等构成。热敏�？�88具体没有进行图示，但是，通过使控制电流流过此处，可以将调温水维持在恒定温度。
在恒温水箱91中设置了液位检测用的浮子94，该浮子94在其支撑部95的近旁具有电触点96。该触点96以通过没有图示的逻辑电路可以控制电磁阀97的动作的方式连接。在该恒温水箱91及处理液箱82的下方分别独立配置了漏液容纳盘98，漏液检测用漏液传感器20a以分别独立并且可以相互区别的方式配置在该漏液容纳盘98的底部99上。
上述没有图示的逻辑电路在液量减少时，将电磁阀97置为开状态，供给温度控制用液(以下称为调温液)。切换开关用于对自动和手动供给调温液进行切换。如果将开关的触点连接到右侧，则电磁阀97中流过电流，阀门打开，手动补充供给调温液。如果将开关的触点连接到左侧，则自动进行调温液的供给。
当箱91的液面降低时，浮子94降低，触点96接通。此时，反相器A1的输入成为0，输出成为1(正逻辑的H电平状态)。反相器A1的输出通过分别的延迟电路D1及D2，传递到反相器A2及A3，但是，延迟电路D1具有约1分钟的延迟时间，延迟电路D2具有约2秒钟的延迟时间。因此，在触点96接通约2秒钟后，反相器A4的输出端子中产生信号1，所以，此时，晶体管Tr接通，电磁阀97中流过电流。进而，约1分钟后，反相器A2的输出成为0，所以，晶体管Tr再次断开，电磁阀97的电流被切断。在各延迟电路D1、D2中设置有二极管，这些延迟电路D1、D2延迟0→1的信号，但是，对1→0的信号无延迟地传递。因此，通过延迟电路D1，可以防止电磁阀97开放1分钟以上，通过延迟电路D2，可以防止电磁阀97由于液面的波动等而频繁地反复接通及断开。
图2是示出将本发明中的包含发音部件的警报部件70a与光学式漏液传感器(漏液检测部由光学反射面构成的漏液传感器)20a一体形成的结构进行放大表示的一例，漏液传感器20a由容器12和安装该容器的容器保持器5构成，其中容器12是将光源部件14a及受光部件16容纳在底部12d由透明材料或半透明材料构成的容器中并进行一体化而得到的。该漏液传感器20a通过螺钉/钉等固定部件固定设置在漏液容纳部98的漏液检测对象底面(在将漏液传感器直接设置在建筑物等的基底面时，指设置用基底面)99上，或者通过没有图示的其他固定部件固定在漏液容纳部98的规定的漏液检测位置，而且，其至少设置了一个后述的高速漏液引入部件6，该高速漏液引入部件6利用规定间隙及规定剖面形状的可能发生毛细管现象的空隙部(例如，间隙小于等于1mm的平行空隙部及/或最大间隙小于等于1mm并向上方逐渐变窄的楔状空隙部)，对于表面张力在20℃时是具有小于等于6×10-2N/m的低表面张力的漏液，即使是少量的漏液，也可以抵抗重力，将其从漏液检测对象基底面99直接迅速地提升引导到漏液检测用反射边界面的漏液检测位置，其从如下物质或其组合而成的组中选择热塑性树脂，如ABS树脂、聚乙烯、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚丙烯、聚乙烯醇、甲基丙烯树脂、石油树脂、聚酰胺、聚偏二氯乙烯、聚碳酸酯、聚缩醛树脂、氟树脂、聚酰亚胺、聚醚酯酮、聚苯硫醚、聚苯并咪唑、聚环烯烃等；或热固性树胶，即，热塑性树脂或热固性树胶等的合成树脂部件/塑料部件，如酚醛树脂、尿素树脂、不饱和聚酯、聚亚胺酯、聚酯树脂、密胺树脂、环氧树脂等；或生物降解树脂部件，如聚氨基酸、脂肪族聚酯、聚-ε-己内酯、聚乙烯醇、聚氨基葡萄糖、淀粉、纤维素等与通用性聚合体的混合物等。
进而，在由透明材料或半透明材料构成的容器底部12d上，按照如图5所示的凸形状，突起地设置其底面12p可以与漏液容纳部98的漏液检测对象底面99直接密合接触的漏液检测部的一端，该透明材料或半透明材料至少包含下列材料之一聚酰胺、聚碳酸酯、聚缩醛树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二酯、聚苯醚、聚醚酯酮、聚苯硫醚、多芳基化合物、聚砜、聚苯醚砜、聚酮硫醚、聚醚酰亚胺、聚酰胺-酰亚胺、聚酰亚胺、聚四氟乙烯、芳香族聚酯、聚氨基双马来酰亚胺、三嗪系树脂等工程塑料部件、玻璃或陶瓷，
在该检测部中，以相对于漏液检测对象底面(或基底面)99成大约35度～50度的规定的倾斜角度，设置平面状的漏液检测用全反射面12m及12n，这些平面状的全反射面12m及12n为了起到与直角棱镜同等的功能，以全反射面的延长线按照规定角度相互交叉的状态形成，相对上述各反射边界面，在相同侧配置至少1个光源部件、受光部件及与它们结合的控制部件，为了从光源部件对上述第1全反射边界面12m投射光，将来自第1全反射边界面12m的反射光投射到第2全反射边界面12n，受光部件接受来自第2全反射边界面12n的反射光，通过上述控制部件，对其输出进行运算处理来检测漏液，首先，把来自形成漏液检测用的第1光学系统的光源部件14a的投射光22u，为了在全反射面12m上以大于等于规定的临界角的角度发生全反射，从上方向下方，以与透明材料或半透明材料12d的折射率相对应的规定入射角照射到全反射面12m，其反射光22v投射到全反射面12n上，来自全反射面12n的全反射光24u以与透明材料或半透明材料12d的折射率相对应的规定受光角度，由CCD或MOS型光电二极管等形成的光电转换元件的受光部件16接受，将在该光学通路中传播的漏液检测光转换成电信号，其输出例如通过图6所示的多路复用器31，按每个规定的采样周期，通过A/D转换部件32转换成数字信号，顺序写入包含微处理器(MPU)36并兼用作漏液检测部件18控制部件30内的缓冲存储器34，进行数字处理，或者，受光部件16的模拟输出被直接输入由没有图示的模拟比较器等构成的模拟运算部件，在由模拟电路构成的兼用作检测部件18的控制部件30内，与规定基准水平进行比较，根据反射光量的大小，对漏液的有无进行模拟处理。
然而，在漏液传感器20a的内部，将通过运算处理生成的、表示漏液有无的漏液检测信息通过外部输出设定器33及信号线26(由设定器33内部的双列开关等确定的PNP输出或NPN输出的外部输出形式)数字输出到外部，而且，也输出到与该外部输出信息独立工作的警报部件，例如，警报部件70a，该警报部件70a至少具有如下发音部件之一包含通过打击共鸣体而发音的部件的发音部件；及/或包含汽笛或警报的发音部件；及/或包含通过振动而发音的部件(例如，压电蜂鸣器等)；及/或包含由通过振动而发音的部件及与其结合的共鸣部件的发音部件72。进而，最好警报部件70a也连接警告灯29，将该漏液检测位置与其他漏液检测位置相区别，以初学者也可以通过可听频率的发送音而直接识别的方式，对维护人进行警报/通知。
作为上述光源部件/投光部件，可以使用LED或红外线发光元件、半导体激光器、投光用光纤等，此外，在将包含发音部件72的警报部件70a与漏液传感器20a一体形成而构成的漏液检测系统1a中，最好将向上述光源部件14a、受光部件16、警告灯29、检测部件18、发音部件72提供的驱动电力进行控制的警报部件70a的控制部700及/或控制部件30等，与兼用作遮光材料的电路板7一体形成并固定。另外，在警报部件70a的电控制部700的内部，最好设置有线或无线通信部件702，如果通过该通信部件702，可以通过来自外部的远程操作指令，来执行发音部件72的开-关控制或输出发送音的音量控制、发音部件72的复位操作等，则可以确实/迅速地实施漏液发生后的维护/恢复作业，比较有利。
然而，可以使控制部件30兼用作警报部件70a的电控制部700，其固定台71通过螺钉等固定器具固定在电路板7上，而且，在其上面，将由压电振动元件(例如，京都府的株式会社村田制作所的压电振动元件PKLCS1212E4001-R1)等构成的发音部件72以可以振动的状态固定在规定位置，在其上面，在中空下部的内侧下面上形成振动传播面74，形成警报部件70a的主体部的圆筒壳体73通过下端周边部上形成的嵌合凸部78，以单触式可装卸的方式一体地形成在光学式漏液传感器20a的上部圆周周边部上形成的嵌合凹部槽中，圆筒壳体73的中空上部与盖部76一起形成发音部件72的共鸣器75，而且，在圆筒壳体73的中空上部侧壁及/或盖部76上，形成单独或多个发射出发音部件72的共鸣音的窗部77。另外，与在壳体73的上面形成上述窗部77相比，在侧面形成可以防止漏液直接流入共鸣器75的内部，比较有利。
进而，如果共鸣器75用透明材料及/或半透明材料构成，则可以从外部直接观测配置在电路板7的上面的警告灯29的点亮状态。
此外，在上述的实施例中，说明了将警报部件70a与漏液传感器主体的容器12一体形成的结构，但警报部件70a的发音部件的振动源/振动部也可以设置在保持器5侧，此外，也可以分散到容器和保持器两处来形成。此外，上述共鸣部件/共鸣器除了配置在容器12侧，也可以配置在保持器5侧，或者分散配置/形成于容器及保持器这两处，进而，如后所述，也可以另外通过有线/无线的通信部件，设置在与漏液传感器的设置位置分离的上方的规定的空间位置。
另外，如果将共鸣部件/共鸣器分散配置/形成于容器12侧及保持器5侧这2处，则在维护检查/漏液发生后的恢复作业时，在将主体容器12从保持器5上取下的情况下，可以降低警报音的音量，可以减少恢复作业等中不需要的高警报音。
其次，作为设置异常检测部件4的第2光学系统与上述第1漏液检测用光学系统独立设置，该设置异常检测部件4进行平行度的检查，检查是否没有发生相对于容器12的漏液检测对象底面99的浮动/倾斜，在该第2光学系统中，来自光源部件14c的投射光在容器底部12d发生折射/透射，从上方向薄纸8投射，在具有保持器5的中空部的环状框体5a的内周部上，朝向内侧环中心方向，突起部5h与框体5a一体形成，在该突起部5h的上面，形成由光的吸收材料/透光材料形成的薄纸载置平面5j，在该平面5j上载置薄纸8的一部分，以小于容器底部12d的临界角的入射角向作为第3光学反射(边界)面的薄纸8照射光22z，在薄纸中发生折射并投射，其反射光24z被受光部件16c接受，与上述同样地，转换成电信号，输入到控制部件30。另外，最好在光源部件14c与受光部件16c之间，填充/形成从光源部件14c向受光部件16c直接入射的投射光的遮光材料12q，另外，为了将上述第1光学系统与第2光学系统进行光学式分离，最好在第1及第2光学系统之间也填充/形成遮光材料12q。
此外，可以使控制部件30兼用作漏液的有无判断部件(漏液检测部件)、容器的设置异常判断部件以及警报部件70a的控制部700而进行动作，此外，对相对于容器12的底面(或基底面)99的平行度进行检查的设置异常检测部件4在上述例子中，是光学式设置异常检测部件，但是，除此之外，也可以使用利用了磁铁或静电容量变化的设置异常检测部件。
此外，在容器底部12d的内侧，可以粘贴金属箔等遮光材料，该遮光材料如果配置在除容器底部的光照射面及受光部件近旁的反射光受光面以外的空间范围内，则即使在漏液渗入基底面为白色或由镜面构成的基底面的情况下，也具有受光部件不接受来自基底面的不需要的反射光的光学效果。进而，将由控制部件30处理后的漏液的检测输出或设置异常等传感器异常信息通过电缆26作为电信号输出到外部，而且，在设置在容器12的电路板7上面的显示部件29中，也通过可以进行绿色/红色切换点亮的LED等进行警告显示。另外，如果使用保持器5的外径大于等于容器12的外径的1.3倍的装置，可以更好地防止传感器20a的倾翻，在电缆26的韧劲大的情况下，如果将容器12单独设置，则容器12容易倾翻，所以，通常，通过螺钉等固定材料将插入容器12的保持器5紧紧固定在漏液检测对象底面99上，进而/或者，从建筑物或装置等的侧壁或侧面61向容器侧面部延伸设置用于固定容器12的臂状的压焊部件60，通过螺钉、钉等固定材料64将其一端62固定在建筑物61侧，而且，将另一端66压焊在容器侧面部上，防止容器12的倾翻。
此外，最好容器底部12d与漏液检测对象底面99的间隔d4可以根据检测的液体的粘度/表面张力进行种种变更，但是，如果由于地震及重量物体的移动等，反射边界面12m、12n与漏液检测对象底面99的角度或间隔发生变化，则很容易成为漏液传感器的漏液有无判断的错误动作的原因，所以，最好采用以下结构保持器5及容器12，如后所述，可以进行单触式装卸，并且，对于外部的振动，间隔d4不发生变化。此外，保持器5如果由遮光材料来构成，则具有可以防止噪声光从容器12的周围侵入、防止接受来自基底面的不需要的反射光的效果。此外，在不使用保持器5，而将容器12单独作为漏液传感器20a使用时，为了使得上述间隔d4相对于外部的振动不发生变化，最好通过另行设置的压焊部件60等固定在底面99上。另外，上述光源部件14c、受光部件16c及显示部件29等也最好一体形成并固定在兼用作遮光材料的电路板7上。
其次，优选的是，向漏液检测用投射光22u的全反射面12m照射的位置是全反射面12m的部位的、接近漏液检测对象底面99的下方的位置，设置在容器12底部的凸形状的漏液检测部底面12p等可以作为对薄纸8的密封薄片压板来使用，该薄纸8在规定位置形成了如图4(C)所示的切断线条8d。此外，最好在光源部件14a与受光部件16之间，填充/形成从光源部件14c向受光部件16直接入射的投射光的遮光材料12q。
然而，作为本发明的主要内容，容器12整体通过插入/安装，嵌合并固定在由具有中央中空部的环状框体5a构成的保持器5(图4(A)、(B))上(图2)，框体5a与漏液检测对象底面99相对的底面5b(图4(B))与漏液检测对象底面99保持规定间隔d5(通常优选是可以形成2mm～5mm范围的空隙部的间隔)与其大致平行地形成，在容器12的底部12d上，以凸形状突起设置了漏液检测部(图2(B)、图5)，该漏液检测部的底面12p夹着薄纸8与底面99直接紧密接触，所以，可以从漏液检测对象底面99直接检测出漏液2a，其中该漏液检测对象底面99向中央中空部扩散，该漏液2a向漏液检测对象底面99以薄膜状扩散并具有低表面张力，另一方面，保持器5也可以利用通孔5d，通过钉/螺钉等固定材料固定在底面99上，其中，该通孔5d在突起件5c中形成，该突起件5c设置在从环中心向外侧方向的外周部的单一或多个位置上，也可以在该突起件5c的扇状底面上粘贴粘接剂，紧密粘接固定在底面99上(图4)。此外，也可以不固定，而是仅仅单纯地以移动自由的方式载置在漏液检测对象底面99上。进而，从建筑物或装置等的侧壁或侧面61向容器侧面部延伸设置用于固定容器12的臂状的压焊部件60，通过固定材料64将其一端62固定在建筑物61侧(图8)，而且，将另一端66压焊在容器侧面部上，防止容器12的倾翻。
进而，图2的例是将光源部件14a、14c及受光部件16、16c容纳在底部12d由透明材料或半透明材料构成的容器内部并进行一体化所得到的容器的一例，通过安装容器12的容器保持器5及容器12，构成高速漏液引入部件6，其结构(图5)例如为在框体5a的内周部上，朝向内侧环中心方向，与框体5a一体形成末端部5f为楔状的矩形体突起部5e，该突起部5e最好由漏液检测用投射光的吸收材料/透光材料形成，突起部5e的底面5g不与漏液检测对象底面99紧密接触，在与漏液检测对象底面99之间形成小于等于规定间隙d6＝1mm(优选小于等于0.9mm，更优选小于等于0.5mm)的平行空隙部d6，利用平行空隙部d6的毛细管现象，使在20℃下小于等于6×10-2N/m的低表面张力的漏液2a向与漏液检测对象底面99相对的底面5g高速扩散，此外，在底面5g的一端，在突起部5e的末端部5f与容器12的全反射面12m之间，形成小于等于规定间隙d7＝1mm(优选小于等于0.9mm，更优选小于等于0.5mm)的平行空隙部d7，及/或形成下端部的最大间隙小于等于d7＝1mm(优选小于等于0.9mm，更优选小于等于0.5mm)向上方逐渐变窄的楔状空隙部d7，利用该空隙部d7的毛细管现象，对于20℃下小于等于6×10-2N/m的低表面张力的漏液2a，即使是少量的，也可以抵抗重力，将其从底面99直接迅速地提升引导到漏液检测用反射边界面12m的规定的漏液检测位置的上方。
另外，在空隙部d7中也可以插装具有切断片8d的漏液检测用薄纸8的一部分，根据实验，无论薄纸8是否插在空隙部d7中，低表面张力的漏液2a的检测速度几乎是相同程度的检测速度。此外，优选采用如下结构容器12整体通过插入/安装，嵌合并可以自由旋转地固定在设置于环状框体5a的上面内周部的多个位置立设的嵌合卡止部5n上(图2(A)、(B))，在卡止部5n的末端部5p上，向斜上方形成锥形面，可以用单触来进行容器12的装卸操作(图4(B))。
在这种结构中，参照图3(C)及图5，对漏液传感器20a的动作进行说明，首先，在容器12没有通过保持器5或压焊部件60牢固地固定在漏液检测对象底面99时，容器12会相对保持器5浮动或倾斜而处于倾翻的设置异常状态，因此，光学式设置异常检测部件4的投射光/反射光的光学通路22z/24z无法形成在正常位置，光源部件14c的投射光22z从主体部12d的光学式反射边界面12a向空气等气体层透过/扩散，不能到达反射部件(薄纸8)，或者被以大于等于规定的角度弯曲投射，其反射光24z几乎都不能到达受光部件16c，所以，通过用检测部件18对受光量大幅度减少的受光部件16c的输出与正常的反射光水平进行比较，可以容易地检测到漏液传感器20a的设置异常，通过由MPU等构成的控制部件30，设置异常警报信号(或出错码ER-A)以设定在外部输出设定器33中的PNP输出或NPN输出的数字输出形式，通过电缆26输出到外部，进而，通过没有图示的电源控制部，停止对光源部件14a、14c及受光部件16、16c的电源供给，漏液传感器20a成为错误待机状态。
此时，从设置异常检测部件4对警报部件70a输出与上述设置异常警报信号独立的可听频率的警报发信信号，发音部件72的振动通过共鸣器75被放大，发射到空中，在被设置异常警报信号警告的操作员(通常，在维护室等中等待)紧急赶到警报发生现场的情况下，在立即检查在哪处设置的漏液传感器发生了设置异常时，不必象以前那样，逐一检查基底面、漏液容纳部的底面，而只要依靠从发音部件72及共鸣器75发送的可听频率的警报音接近发声源，就可以非常容易地区别于其他漏液传感器设置位置而确定该设置异常位置。另外，从发音部件72及共鸣器75发送的警报音可以使用频率恒定或可变的间歇音及/或连续音；音色恒定或可变的间歇音及/或连续音；声强恒定或可变的间歇音及/或连续音；音拍恒定或可变的间歇音及/或连续音；占空比恒定或可变的间歇音及/或连续音；或包含将它们组合而成的警报音的发送音。
进而，在警报部件70a中，可以使警告灯/显示部件29进行出错(红色)点亮，但是，也可以对应于从发音部件72发送的可听频率的警报音的变动，使警告灯29的亮度发生变动，该对应关系可以是与警报音的变动同步地改变亮度或发光波长等，也可以分别独立地进行变动。
在不输出该警报信号的通常的正常设置状态下，从电源控制部向光源部件14a、14c及受光部件16、16c供给电源，漏液传感器20a成为工作状态，在不存在任何漏液时，如图3(C)所示，光学式设置异常检测部件4的投射光/反射光的光学通路22z/24z形成在正常位置，来自光源部件14c的投射光22z在载置于保持器底面5j上的反射材料(薄纸8)的反射面上发生反射，其反射光24z输入到受光元件16c，通过用检测部件18对该输出与正常的反射光水平进行比较，可以容易地检测到漏液传感器20a的正常设置状态。
此外，来自形成漏液检测用光学系统的光源部件14a的投射光22u为了在全反射面12m上以大于等于规定临界角的角度进行全反射，从上方向下方，以与透明材料或半透明材料12d的折射率相对应的规定入射角照射到第1全反射面12m上，其全反射光22v投射到第2全反射面12n上，来自全反射面12n的全反射光24u以与透明材料或半透明材料12d的折射率相对应的规定的受光角度，由受光部件16接受，将在该光学通路中传播的漏液检测光通过光电转换元件转换成电信号，对其输出在兼用作检测部件18的控制部件30内进行数字处理，或者将受光部件16的模拟输出直接输入由模拟比较器等构成的模拟运算部件，在由模拟电路构成的兼用作检测部件18的控制部件30内，进行模拟处理。另外，在不存在漏液时，在上述例中，检测到任何受光部件都是正常的受光量，不发生受光量降低的现象。
其次，当20℃下小于等于6×10-2N/m的低表面张力的漏液2a以薄膜状扩散向漏液检测对象底面99时，在液位d1的漏液2a扩散到与形成高速漏液引入部件6的一部分的矩形体突起部5e的底面5g相对的漏液检测对象底面99的区域的时候，通过在漏液检测对象底面99与底面5g之间形成的平行空隙部d6，当将空隙部d6的间隔与漏液2a的液位d1的长度事先设定为大致同等的长度，或事先设定为液位d1＞间隔d6的长度时，利用空隙部d6的毛细管现象，漏液2a被急速引入到平行空隙部d6中(图5的2a1)，漏液2a与底面5g接触，而且，高速扩散到与漏液检测对象底面99相对的整个底面5g上。
之后，在底面5g的一端，当漏液2a扩散到形成突起部5e的末端部5f的一端的最下端部(图5的2a2)时，漏液2a进而到达由容器12的全反射面12m与末端部5f形成的平行空隙部d7的一端，空隙部d7设定为用规定间隙d7使漏液2a发生毛细管现象，所以，即使漏液2a的泄漏量很�。部梢缘挚怪亓Γ勇┮杭觳舛韵蟮酌�99直接迅速地提升引导到漏液检测用反射边界面12m的规定的漏液检测位置的上方(图5的2a3)。这样，如果漏液2a通过漏液检测用反射边界面12m的规定漏液检测位置到达上方，则来自光源部件14a的投射光22u的大部分光在全反射面12m上不发生全反射，在底部12d及全反射面12m中大致直行，进而，在充满空隙部d7的漏液2a中折射直行后，在充满由投射光的吸收材料/透光材料形成的矩形体突起部5e及空隙部d6的漏液2a中大致直行，在漏液检测对象底面99上发生反射，向与全反射面12n相反的方向传播/前进。
因此，在形成漏液检测用光学通路的一部分的全反射面12m上发生全反射，之后，在全反射面12n上也发生全反射后的光24u在受光部件16中被接受的光量大幅度降低，通过控制部件30对该输出进行运算处理，在少量漏液2a刚刚开始向漏液检测对象底面99薄薄地扩散的最初阶段，就可以非常高速地检测到。此外，在低表面张力的漏液2a一次性大量漏出到漏液检测对象底面99时，容器12的外周全部浸入漏液2a中，并且，漏液检测用反射边界面12n的规定的漏液检测位置也浸没在漏液2a中，所以，即使来自光源部件14a的投射光22u在全反射面12m上发生全反射，其全反射光22v投射到全反射面12n上，由于漏液2a，在全反射面12n上也不发生全反射，而是直接在全反射面12n中大致直行，进而，在充满空隙部d4的漏液2a中折射直行后，向容器12的外周方向扩散/发射，向与受光部件16的设置位置完全无关的方向传播/前进。因此，在形成漏液检测用光学通路的一部分的全反射面12n上发生全反射后的光24u在受光部件16中被接受的光量大幅度降低，通过控制部件30对其输出进行运算处理，在最初阶段，就可以非常高速地检测到漏液2a的大量发生。
这样，通过兼用作漏液检测部件18的控制部件30检测到漏液2a时，使显示部件29从正常(绿色)点亮变成出错(红色)点亮，而且，以在外部输出设定器33中设定的PNP输出或NPN输出的数字输出形式，通过电缆26，将漏液检测信号数字输出到外部(漏液检测出错码ER-B)。
此刻，从漏液检测部18对警报部件70a输出与被数字输出到外部的漏液检测信号不同的警报音发送信号时，驱动发音部件72，例如，由压电元件等的振动而生成的振动音通过共鸣器75被共鸣放大后发射到空中，所以，在维护监视室等中等待的操作员通过漏液检测信号ER-B被警告有漏液发生后，在紧急赶到警报发生现场的情况下，在立即检查在哪处设置的漏液传感器检测到了漏液时，可以不必象以往那样，逐一检查基底面、漏液容纳部的底面，而只要依靠从发音部件72及共鸣器75发送的放大警报音接近发声源，就可以非常容易地区别于其他漏液传感器设置位置而确定该漏液发生位置。
另外，从发音部件72及共鸣器75发送的警报音可以是频率恒定或可变的间歇音及/或连续音；音色恒定或可变的间歇音及/或连续音；声强恒定或可变的间歇音及/或连续音；音拍恒定或可变的间歇音及/或连续音；占空比恒定或可变的间歇音及/或连续音；或将它们组合而成的警报音。
进而，在警报部件70a中，可以使警告灯/显示部件29进行出错(红色)点亮，但是，也可以对应于从发音部件72发送的可听频率的警报音的变动，使警告灯29的亮度发生变动，该对应关系可以是与警报音的变动同步地改变亮度或发光波长等，也可以分别独立地进行变动。
进而，优选的是，进行漏液检测时从发音部件72发射的警报发送音与容器的设置异常时发射的警报发送音不相同，而是相互可以区别的不同的发送音，以便可以识别是哪个传感器发生了异常，作为这种可以相互区别的不同的发送音，例如，可以采用如下发送音等各种组合变更警报发送音的音量的发送音；变更警报发送音的音色的发送音；变更警报发送音的频率的发送音；变更警报发送音的占空比的发送音；用连续音及间歇音输出警报发送音的发送音；或将它们组合而成的发送音。
其次，当20℃下大于等于6×10-2N/m的表面张力的漏液2扩散到漏液检测对象底面99时，由于在漏液检测对象底面99与容器底部12d之间形成的平行间隙部d4中插装了薄纸8，所以，在液位d3的漏液2与薄纸8的外周部或一部分接触(图5)之后，漏液2立即渗透/扩散到薄纸8的整个面上，漏液2通过薄纸8被急速引入到全反射面12n近旁。这样，当漏液2到达漏液检测用反射边界面12n的规定漏液检测位置时，来自光源部件14a的投射光22u在全反射面12m上发生全反射，其全反射光22v在全反射面12n上，由于漏液2，不发生全反射，而是在全反射面12n中大致直行，进而，在浸透了漏液2的薄纸8中折射直行后，在漏液检测对象底面99上发生反射，向与受光部件16的设置位置完全无关的方向传播/前进。因此，在形成漏液检测用光学通路的一部分的全反射面12n上发生全反射后的光24u在受光部件16中被接受的光量大幅度降低，通过控制部件30对其输出进行运算处理，在漏液2刚刚开始向底面99薄薄地扩散的最初阶段，就可以非常高速地检测到。
此外，在一次性发生大量漏液2时，容器12的外周全部浸透在漏液2中，并且，漏液检测用反射边界面12n的规定漏液检测位置也浸没在漏液2中，所以，来自光源部件14a的投射光22u在全反射面12m浸没在漏液2中时，不发生全反射，而是在全反射面12m中大致直行，进而，在充满空隙部d7的漏液2中折射直行，向与全反射面12n完全无关的方向传播/前进，或者，在全反射面12m上发生全反射，在其全反射光22v投射到全反射面12n上时，由于漏液2，在全反射面12n上不发生全反射，而是直接在全反射面12n中大致直行，进而，在充满空隙部d4的漏液2中折射直行后，在漏液检测对象底面99上发生反射，向与受光部件16的设置位置完全无关的方向传播/前进。
因此，在一次性发生大量漏液2时，在形成漏液检测用光学通路的一部分的全反射面12n上发生全反射后的光24u在受光部件16中被接受的光量与不存在漏液2时相比，大幅度降低，通过控制部件30对其输出进行运算处理，就可以在最初阶段非常高速地检测到漏液2的大量发生。
这样，当通过兼用作漏液检测部件18的控制部件30检测到漏液2a或漏液2时，使显示部件29进行出错点亮，而且，通过电缆26将漏液的有无数字输出到外部(漏液检测出错码ER-B)。
同时，从漏液检测部件18对警报部件70a输出警报发送信号，发音部件72的振动通过共鸣器75被共鸣放大后向空中发射，被漏液检测信号ER-B警告的维护监视室的操作员等在紧急赶到漏液发生现场时，在立即检查在哪处设置的漏液传感器检测到了漏液时，可以不必象以往那样，逐一检查基底面、漏液容纳部的底面，而是通过接近共鸣放大后发射的警报音发送位置，就可以非常容易地区别于其他漏液传感器设置位置而确定该漏液发生位置。
另外，在上述受光处理中作为受光部件使用1维或2维阵列传感器时，可以将多个各受光元件的A/D转换后的数字输出写入双缓冲存储器34后，通过MPU36等进行如下处理。
a)进行了各受光元件28i(i＝a～n)的灵敏度补正之后，通过移动平均处理等，对受光图形进行平滑化。
b1)对进行了平滑化的受光图形的明暗的峰值位置进行运算，根据该位置是否处于无漏液范围内来判断有无漏液。
b2)通过如下公式运算进行了平滑化的受光图形R(j)的反射光量的亮度分布的重心XG，根据该重心位置是否处于无漏液范围内来判断有无漏液。
XG＝∑R(j)·j/∑j(j＝1到n)…(1)其中，R(j)受光水平，j＝1到n受光位置b3)预先将反射光的明暗图形的波形上升部分、及/或波形峰值部分、及/或波形下降部分等从有漏液的反射光图形中截取出来，作为漏液模板图形T(j)，登录到模板存储器35等中，通过在进行了平滑化的受光图形R(j)中进行相关值CR(m)的运算，求得与该模板图形T(j)类似的波形位置。
例如，在与无漏液位置的距离大于等于规定距离(mth)的位置(m＞mth)，并且，在检测到类似度大于等于规定类似度Thcr的与模板波形类似的明暗图形CR(m)时，判断为有漏液，其他情况时，判断为无漏液。
c)这样，当通过兼用作漏液检测部件18的控制部件30，通过b1)到b3)的运算中的所需的运算或组合的运算，检测到漏液2时，通过电缆26，将漏液的有无数字输出到外部(漏液检测出错码ER-B)。
另外，在上述的b1)及b2)的处理中，通过用镜头、凹面镜等聚光部件广泛集中反射光，可以通过最小限度为2处的受光部(元件)，执行漏液的有无运算。此外，在b3)的相关运算中，最好收集来自最小限度为4～8个不同位置的受光部(受光元件)的反射光数据。
进而，在漏液传感器20a中，在容器12与保持器5之间插装有薄纸8，所以，扩散到漏液检测对象底面99的漏液2顺序渗透薄纸8，一边将薄纸8转换成透明层一边扩散，当漏液2渗透扩散到在设置于环状框体5a内周侧的突起部5h的上面形成的载置平面5j时，从容器底部12d向作为第3光学式(反射)边界面的薄纸8照射的光22z在薄纸8的表面不发生反射，直接在渗透了漏液的薄纸8中直行，进而，以规定折射角直行到由光的吸收材料/透光材料形成的载置平面5j的内部，所以，由受光部件16c接受的反射光24z的光量大幅度减少，作为容器的设置异常检测部件4的控制部件30工作，即使作为容器的设置异常错误，也可以检测到漏液2。因此，在即使漏液检测用的第1光学系统出现故障而不正常工作时，作为容器的设置异常错误，也可以检测到漏液2，可以进一步提高传感器的出错检测功能。
这样，图2(B)及图5的漏液传感器20a是以下部件构成的漏液传感器至少1个漏液检测用反射边界面12m、12n，该反射边界面可以通过可渗透漏液的气体层d6、d7或漏液渗透层(例如，在图5中，由漏液容纳部98的漏液检测对象底面99及容器底面12p夹着的薄纸8的一部分)与上述漏液接触；光源部件14a；受光部件16；以及与这些部件结合的控制部件30，将气体层d6或漏液渗透层(由d4或漏液检测对象底面99与底面12p夹着的薄纸8)的与漏液容纳部98的底面99相对的面的一部分或全部直接向漏液检测对象底面99侧开放(在图5的例中，气体层d6是整个基底面侧)，或着，作为气体层或漏液渗透层的一部分构成基底面(例如，在图5中，由漏液容纳部98的漏液检测对象底面99及容器底面12p夹着的薄纸8的一部分)，进而，至少具有1个高速漏液引入部件6，该高速漏液引入部件6利用具有规定间隙d0及规定剖面形状的可能发生毛细管现象的空隙部，对于表面张力在20℃时小于等于6×10-2N/m的低表面张力的漏液2a，即使是少量的，也可以抵抗重力，将其从漏液容纳部98的漏液检测对象底面99，直接迅速地提升引导到漏液检测用反射边界面12m，将来自光源部件14a的投射光22u照射到漏液检测用反射边界面12m，来自反射边界面12m的反射光由受光部件16接受，通过控制部件30对其输出进行运算处理，可以迅速地判断有无低表面张力的漏液2a。
此外，图2(B)及图5的漏液传感器20a是一种漏液传感器，该漏液传感器通过气体层d6、d7或漏液渗透层(例如，在图5中，由漏液容纳部98的漏液检测对象底面99及容器底面12p夹着的薄纸8的一部分)形成可能接触漏液的至少2个漏液检测用全反射边界面12m、12n，至少将1个光源部件14a、受光部件16及与这些部件结合的控制部件30相对于各反射边界面，配置在相同侧，从光源部件14a向第1全反射边界面12m投射光22u，将来自第1全反射边界面12m的反射光22v投射到第2全反射边界面12n，用受光部件16接受来自第2全反射边界面12n的反射光24u，通过控制部件30对其输出进行运算处理，检测漏液，将气体层d6、d7或漏液渗透层的与漏液检测对象底面99相对的面的一部分或全部直接向漏液检测对象底面99侧开放，或者，作为气体层或漏液渗透层的一部分构成漏液容纳部98的底面99侧，进而，至少具有1个高速漏液引入部件6，该高速漏液引入部件6利用具有规定间隙d0及规定剖面形状的可能发生毛细管现象的空隙部，抵抗重力，对于表面张力在20℃时是具有小于等于6×10-2N/m的低表面张力的漏液2a，即使是少量的，也可以将其从漏液检测对象底面99，直接迅速地提升引导到漏液检测用反射边界面12m，即使是少量的泄漏量，也可以迅速地判断有无低表面张力的漏液2a。
另外，作为可能发生上述毛细管现象的空隙部的规定间隙d0，最好是与将低表面张力的漏液2a少量滴漏到漏液容纳部98的漏液检测对象底面99上时的图1(C)所示的与漏液2a的厚度d1同等的长度或更小(d0＜d1)的长度，是可以稳定地发生漏液2a的毛细管现象的长度，此外，作为可以稳定地发生上述毛细管现象的规定剖面形状，例如，可以使用间隙小于等于d0的平行空隙部剖面，及/或最大间隙小于等于d0并向上方逐渐变窄的楔状空隙部剖面等，只要是可以稳定地发生毛细管现象的剖面形状，可以使用任何形状。
其次，与图1至图6对应表示的图7至图9示出将本发明的漏液检测部(漏液传感器部)分离成漏液传感器主体20b及包含发音部件的警报部件70b而设置的漏液检测系统1b及1c的另一实施例，附有相同编号的装置起到相同功能，而且，在图7的漏液检测系统1b中，漏液传感器20b与分离设置的警报部件70b构成通过无线进行信号中继的防爆型漏液检测系统1b，此外，在漏液检测系统1c中，漏液传感器20b与分离设置的警报部件70b构成通过有线进行中继的防爆型漏液检测系统1c。
进而，在防爆型漏液检测系统中，如图8所示，设置在危险空间中的漏液传感器部(漏液检测部)20b与设置在安全空间中的构成电路的控制部39，在物理上分离设置，而且，只在容器12侧构成高速漏液引入部件6b，并且，在漏液检测部20b侧，可实现完全没有电布线、绝对不发生电点燃/燃烧事故的防爆结构，而且，不需要保持器5，传感器容器单体就可以工作，通过光纤等第1光传输部件40a、40c，从另外隔离设置的光源部件14向设置在远处的安全地带中的控制部39内，分别通过光传输部件40a、42a，将投射光22x、22z传输到漏液检测部20b，形成对反射边界面12m、12n进行光的投射接受的第1光学系统(14-40a-12m-12n-42a-16)，通过光传输部件40c、42c，形成对在后述的高速漏液引入部件6b的上面形成的反射载置面5j(在本例中，面5j不使用薄纸8，所以，最好使用光反射材料(白色或镜面))进行光的投射接受的第2光学系统(光学式设置异常检测部件4b的光学通路14-40c-5j-42c-16c)，因此，即使在漏液检测用液体2/2a由于挥发性而有燃烧、爆炸危险时，也可以非常安全地进行漏液检测。
即，在上述第1光学系统中，来自设置在远处的光源部件14的照射光的一部分通过光传输部件40a被引导到容器12内，以大于等于发生全反射的临界角的规定角度，作为投射光22u照射到容器底部的反射边界面12m，进而在反射边界面12n上发生全反射，其反射光24u由光传输部件42a接受，传输到设置在远处的控制部39内的受光元件16，通过多路复用器31、AD转换部件32、双缓冲34，输入到兼用作检测部件18的控制部件30。
此外，在上述第2光学系统中，来自设置在远处的光源部件14的照射光的另一部分通过光传输部件40c被引导到容器12内，以临界角以内或大于等于临界角的规定角度，作为投射光22z照射到反射部件5j，其反射光24z由光传输部件42c接受，传输到设置在远处的受光元件16c，通过多路复用器31、AD转换部件32、双缓冲34，输入到兼用作检测部件18的控制部件30。进而，优选的是，容器12的底部将由透明材料或半透明材料构成的透射光部件12d作为基础材料来构成，其外侧除了光的照射面及反射面/受光面外，用遮光性的合成树脂等遮光材料覆盖或构成，并与透射光部件12d一体成形，使用该遮光材料时，可以实现如下光学结构即使没有保持器5，也不容易受到周围噪声光的影响，此外，在漏液渗入时，即使作为漏液检测对象的基底面是白色或镜面，也不会从基底面接受不需要的反射光。
然而，在控制部39中，通过受光部件16及16c，不停地检查漏液检测面的反射光量，在图8的例中，在没有检测到规定的反射光量时，判断为检测到了漏液或发生了设置异常，与过去同样地，异常检测信号通过有线26输出到外部的控制部，而且，通过包含无线LAN等无线通信部件37，将异常检测信号传输到后述的警报部件70b的无线接收部件79c。
此外，在漏液传感器20b中，不使用保持器5，将容器12单独作为漏液传感器来使用，所以，从建筑物或装置等的侧壁或侧面61将用于固定容器12的臂状的压焊部件60延伸设置在容器上盖上，通过固定材料64将其一端62固定在建筑物61侧，同时，将另一端66压焊在容器上部，防止容器12的倾翻。
进而，在图8的例中，只在容器12侧构成高速漏液引入部件6b，其结构为例如，在容器底部12d与漏液检测对象底面99之间，朝向容器12的中心方向，相对容器底部12d，将末端部12v为楔状的矩形体突起部12u用透明材料或半透明材料构成，并且，由可以弯曲/分割成主体部12d及高速漏液引入部件6b而一体成形的合成树脂材料构成。该突起部12u最好由漏液检测用投射光的吸收材料/透光材料形成，突起部12u的底面12w不与漏液检测对象底面99紧密接触，在与底面99之间形成小于等于规定间隙d6＝1mm(优选小于等于0.9mm，更优选小于等于0.5mm)的平行空隙部d6，利用平行空隙部d6的毛细管现象，使在20℃下小于等于6×10-2N/m的低表面张力的漏液2a向与漏液检测对象底面99相对的底面12w高速扩散，此外，在底面12w的一端，在突起部12u的末端部12v与容器12的全反射面12m之间，形成小于等于规定间隙d7＝1mm(优选小于等于0.9mm，更优选小于等于0.5mm)的平行空隙部d7，及/或形成下端部的最大间隙小于等于d7＝1mm(优选小于等于0.9mm，更优选小于等于0.5mm)并向上方逐渐变窄的楔状空隙部d7，利用该空隙部d7的毛细管现象，对于在20℃下小于等于6×10-2N/m的低表面张力的漏液2a，即使是少量的，也可以抵抗重力，将其从漏液检测对象底面99直接迅速地提升引导到漏液检测用反射边界面12m的规定漏液检测位置的上方。
作为这种一体成形用的合成树脂部件，可以使用一般的热塑性塑料树脂及热塑性橡胶，作为热塑性塑料树脂，例如，可以使用聚对苯二甲酸乙烯、非晶体聚对苯二甲酸乙烯、聚乙烯、聚苯乙烯、聚丙烯等，此外，作为一体成形用的热塑性橡胶，可以使用聚丁二烯树脂。
具体来说，容器底部由主体部12d与高速漏液引入部件6b用铰链连接而一体形成，主体部12d与高速漏液引入部件6b在外周缘通过V字状的槽部连接，通过合成树脂材料即热塑性塑料树脂或热塑性橡胶一体成形，通过V字状的槽部，向全反射面12m侧弯曲时，通过在面12v的末端部侧形成的规定高度d7的多个小突起，形成空隙部d7，或，通过在高速漏液引入部件6b的面12w侧形成的规定高度d6的多个小突起，弯曲了时，在与漏液检测对象底面99之间，形成空隙部d6，而且，构成生成反弹力的开闭机构。因此，将容器的主体部12d及高速漏液引入部件6b向全反射面12m侧弯曲，相对容器12的设置面，以大致水平状态关闭时，通过自重或来自外部的压焊部件60，可以维持主体部12d与高速漏液引入部件6b形成空隙部d7的状态，并且，形成光学式设置异常检测部件4b的光学通路的一部分。即，在水平的漏液检测对象底面99上设置了容器12时，容器12的设置面相对于水准仪等规定的基准水平面保持水平/平行。
其次，参照图9，说明分离设置的防爆型警报部件70b的一个结构例，从与控制部39一起分离设置在安全空间(非危险场所)的电源79a通过齐纳式防爆栅78a，向分离设置在危险场所的警报部件70b供给规定电源，此外，将用于区别于另行设置的其他警报部件70b等而识别该警报部件70b的识别编号设定部件79d(例如，由双列开关等构成)的输出输入到控制部79b，进而，在警报部件70b中，在控制部79b中设置无线接收部件79c，该无线接收部件79c在由控制部39检测到漏液时或判断为发生了设置异常时，接收从无线通信部件37输出的异常检测信号，当通过开关部件79e，向输出驱动部件79h供给来自齐纳式防爆栅78a的电源电力时，点亮驱动由红色LED等构成的信号灯等警告灯79k，而且，通过发音部件72、共鸣器75等，向空中发射异常发生警告音。
在这种将漏液传感器20b与包含发音部件72的警报部件70b分离设置，通过无线，将漏液传感器20b与警报部件70b相互连接的结构中，最好将这种分离的警报部件70b设置在漏液检测系统1b的上部空间中、将漏液容纳部98的水平剖面向大致垂直上方延伸形成的上部空间内，与其他漏液容纳器98按照规定距离(例如，2m以内，更优选在1.5m以内，最优选在1m以内)相互分离以便可以识别的视觉辨认性良好的上部空间位置，使用这种防爆结构的警报部件70b，可以非常安全且确实地实施挥发性液体及可燃性液体的漏液检测及/或警报处理，此外，即使不接受特别训练，任何人都可以容易地进行系统的调整作业及维护/监视作业。
下面，对这种结构的动作进行说明，在图5的高速漏液引入部件6与图8的高速漏液吸引部件6b中，高速漏液引入部件6及6b的结构除了不使用薄纸8、并在光学通路的一部分中分别添加了投光/受光用的光传输部件之外，完全相同，所以，其动作也基本完全相同。
具体来说，首先，在光学式设置异常检测部件4b中，来自光源部件14-光传输部件40c的投射光22z以小于临界角的入射角照射到设置在高速漏液引入部件6b的上面的反射材料5j，其反射光24z由光传输部件42c-受光部件16c接受，转换成电信号，输入到控制部件30。另外，基于白色或镜面状等的反射材料5j的反射面可以设置在突起部12u的上面，并粘着、焊接、压入形成在突起部12u上，或者也可以在突起部12u的上面刻设凹凸的反射面，形成投射光22z的反射面。
另一方面，在容器12的主体部12d与突起部12u没有按照规定间隔形成空隙部d7时，通过由上述铰链机构生成的反弹力，主体部12d与突起部12u相浮动或倾斜而成为倾翻的设置异常状态，可以维持主体部12d与突起部12u为大于等于间隔d7的状态的开闭机构预先被推压到容器12上，因此，在设置异常状态下，不形成正常的第2光学通路，投射光向空气等气体层扩散，上述光学式设置异常检测部件4b的投射光及反射光的光学通路22z/24z无法形成在正常位置，可以容易地检测到容器12的设置异常，在设置在非危险地带中的控制部39中，通过由MPU等构成的控制部件30，将设置异常警报信号(或出错码ER-A)通过电缆26数字输出到外部，漏液传感器20b成为出错待机状态。
此刻，进而，通过设置在非危险地带中的控制部39内的无线通信部件37，将设置异常检测信号从设置异常检测部件4b用无线信号发射，在通过设置在危险地带中的警报部件70b内的接收部件79c，接收到该无线异常检测信号时，在控制部79b中，通过开关部件79e，向输出驱动部件79h供给来自齐纳式防爆栅78a的供给电力，对信号灯等警告灯79k进行点亮驱动，而且，通过发音部件72、共鸣器75等，将异常发生警告音发射到外部。另外，在根据多个漏液传感器20b共同使用共同的警报部件70b时，或在附近的空间中设置了多个警报部件70b时，为了相互区别该多个警报部件70b，最好在从通信部件37发射的无线异常信号中附加用于确定各警报部件的识别编号等后输出上述无线检测信号。由控制部79b将该识别编号自动抽出，并与从设定部件79d输出的识别编号进行比较，判断是否选择了该警报部件70b。
这样，用识别编号等确定了警报部件70b时，通过该警报部件70b的输出驱动部件79h，驱动发音部件72，将其振动通过共鸣器75放大后发射到空中，被另行处理的设置异常警报信号26警告的操作员在立即检查在哪处设置的漏液传感器发生了设置异常时，可以不必象以往那样，逐一检查基底面、漏液容纳部的底面，在紧急赶到警报发生现场时，可以非常容易地依据共鸣放大后的漏液源警告发送音，区别于其他漏液传感器设置位置而确定该设置异常检测位置。
在不输出该警报信号的通常的正常设置状态下，漏液传感器20b成为工作状态，在不存在任何漏液时，光学式设置异常检测部件4b的投射光/反射光的光学通路22z/24z形成在正常位置，来自光源部件14-光传输部件40c的投射光22z在突起部12u的反射面5j上发生反射，该反射光24z通过光传输部件42c传输，输入到受光元件16c，通过用检测部件18对其输出与正常的反射光水平进行比较，可以容易地检测到漏液传感器20a的正常设置状态。
进而，来自形成漏液检测用光学系统的光源部件14-光传输部件40a的投射光22u，为了在全反射面12m上以大于等于规定临界角的角度发生全反射，从上方向下方，以与透明材料或半透明材料12d的折射率相对应的规定入射角照射到第1全反射面12m，其全反射光22v投射到第2全反射面12n，来自全反射面12n的全反射光24u以与透明材料或半透明材料12d的折射率相对应的规定的受光角度，在光传输部件42a的一端被接受，通过光传输部件42a，传输到受光部件16，在该光学通路中传播的漏液检测光通过光电转换元件16转换成电信号，其输出在兼用作检测部件18的控制部件30内进行数字处理，或者受光部件16的模拟输出直接输入由模拟比较器等构成的模拟运算部件，在由模拟电路构成的兼用作检测部件18的控制部件30内，进行模拟处理。另外，在不存在漏液时，在上述例中，检测到任何受光部件都是正常的受光量，不发生受光量降低的现象。
其次，在20℃下小于等于6×10-2N/m的低表面张力的漏液2a以薄膜层状扩散到漏液检测对象底面99时，在液位d1的漏液2a扩散到与形成高速漏液引入部件6b的一部分的矩形体突起部12u的底面12w相对的漏液检测对象底面99的区域的时候，通过在漏液检测对象底面99与容器底面12w之间形成的平行空隙部d6，当将空隙部d6的间隔及漏液2a的液位d1的长度设定为大致同等的长度，或设定为液位d1＞间隔d6的长度时，利用空隙部d6的毛细管现象，漏液2a被急速引入到平行空隙部d6(图5的2a1)，漏液2a与底面12w接触，而且，高速扩散到与漏液检测对象底面99相对的容器底面12w的整体。
之后，在底面12w的一端，当漏液2a扩散到形成突起部12u的末端部12v的一端的最下端部时(图5的2a2)，漏液2a进而到达由容器12的全反射面12m及末端部12v形成的平行空隙部d7的一端，由于空隙部d7被设定成用规定间隙d7发生漏液2a的毛细管现象，所以，即使漏液2a的泄漏量很�。部梢缘挚怪亓Γ勇┮杭觳舛韵蟮酌�99被直接迅速地提升引导到漏液检测用反射边界面12m的规定漏液检测位置的上方(图5的2a3)。这样，当漏液2a通过漏液检测用反射边界面12m的规定漏液检测位置到上方时，来自光源部件14的投射光22u的大部分光在全反射面12m上不发生全反射，在底部12d及全反射面12m中大致直行，进而，在充满空隙部d7的漏液2a中折射直行后，在充满由投射光的吸收材料/透光材料形成的矩形体突起部12u及空隙部d6的漏液2a中大致直行，在漏液检测对象底面99上发生反射，向与全反射面12n相反的方向传播/前进。因此，在形成漏液检测用光学通路的一部分的全反射面12m上发生全反射之后，在全反射面12n上也发生全反射后的光24u在光传输部件42a的一端被接受，通过光传输部件42a，传输到受光部件16的受光光量大幅度降低，通过控制部件30对其输出进行运算处理，在少量漏液2a刚刚开始向漏液检测对象底面99薄薄地扩散的最初阶段，就可以非常高速地检测到。
此外，在低表面张力的漏液2a一次性大量漏出到漏液检测对象底面99时，容器12的外周全部浸在漏液2a中，并且，漏液检测用反射边界面12n的规定漏液检测位置也浸没在漏液2a中，所以，来自光源部件14a的投射光22u在全反射面12m上发生全反射，其全反射光22v即使投射到全反射面12n，由于漏液2a，在全反射面12n上也不发生全反射，而是直接在全反射面12n中折射并大致直行，进而，在充满空隙部d4的漏液2a中折射直行后，在漏液检测对象底面99上发生反射，向与光传输部件42a的设置位置完全无关的方向传播/前进。因此，在形成漏液检测用光学通路的一部分的全反射面12n上发生全反射后的光24u在光传输部件42a的一端被接受的光量大幅度降低，通过控制部件30对通过光传输部件42a传输到受光部件16的受光输出进行运算处理，在最初阶段，就可以非常高速地检测到漏液2a的大量发生。
这样，当通过兼用作漏液检测部件18的控制部件30检测到漏液2a及/或漏液2时，通过电缆26，将漏液的有无数字输出到外部(漏液检测出错码ER-B)。
此刻，进而，通过设置在非危险地带中的控制部39内的无线通信部件37，从漏液检测部件18/30发射漏液检测出错信号，在通过设置在危险地带中的警报部件70b内的接收部件79c，接收到该漏液出错检测信号时，在控制部79b中，通过开关部件79e，向输出驱动部件79h供给来自齐纳式防爆栅78a的供给电力，对信号灯等警告灯79k进行出错点亮驱动，而且，通过发音部件72、共鸣器75等，向外部发射进行了共鸣放大了的异常发生警告音。另外，在根据多个漏液传感器20b共同使用共同的警报部件70b时、或在附近的空间中设置了多个警报部件70b时，为了相互区别该多个警报部件70b，最好在从通信部件37发射的无线异常信号中附加用于确定警报部件的识别编号等后输出上述无线检测信号。控制部79b将该识别编号自动抽出，并将其与从设定部件79d输出的识别编号进行比较，判断是否选择了该警报部件70b。
这样，用识别编号等确定了警报部件70b时，通过该警报部件70b的输出驱动部件79h，驱动发音部件72，将其振动通过共鸣器75进行共鸣放大后发射到空中，被另行处理的漏液检测出错信号警告的操作员在立即赶到漏液发生现场时，可以不必象以往那样，逐一检查基底面、漏液容纳部的底面，可以通过接近被共鸣放大了的警报音发送源，可以非常容易地区别于其他漏液传感器设置位置而确定该漏液发生位置。
其次，当20℃时大于等于6×10-2N/m的表面张力的漏液2(如图6(D)所示)扩散到漏液检测对象底面99时，在图8的例中，即使液位d3的漏液2扩散到在底面99与容器底部12d之间形成的平行空隙部d4，由于没有插装薄纸8，所以，直接在漏液检测对象底面99中向全反射面12n的方向扩散。这样，当漏液2到达漏液检测用反射边界面12n的规定漏液检测位置时，来自光源部件14-光传输部件40a的投射光22u在全反射面12m上发生全反射，其全反射光22v在全反射面12n上，由于漏液2而不发生全反射，而是在全反射面12n中折射并大致直行，进而，在漏液2中折射直行后，在漏液检测对象底面99上发生反射，向与设置了光传输部件42a的一端的规定位置完全无关的方向传播/前进。因此，在形成漏液检测用光学通路的一部分的全反射面12n上发生全反射后的光24u在光传输部件42a的一端被接受的光量大幅度降低，通过控制部件30对通过光传输部件42a传输的受光部件16的输出进行运算处理，在漏液2刚刚开始向漏液检测对象底面99薄薄地扩散的最初阶段，就可以非常高速地检测到。
此外，在一次性发生大量漏液2时，容器12的外周全部浸在漏液2中，并且，漏液检测用反射边界面12n的规定漏液检测位置也浸没在漏液2中，所以，即使来自光源部件14-光传输部件40a的投射光22u在全反射面12m上发生全反射，其全反射光22v投射到全反射面12n，由于漏液2，在全反射面12n上，也不发生全反射，而是立即在全反射面12n中折射并大致直行，进而，在充满空隙部d4的漏液2中折射直行后，在漏液检测对象底面99上发生反射，向与设置了光传输部件42a的一端的位置完全无关的方向传播/前进。因此，在形成漏液检测用光学通路的一部分的全反射面12n上发生全反射后的光24u在通过光传输部件42a在受光部件16中被接受的光量大幅度降低，通过控制部件30对其输出进行运算处理，可以在最初阶段，非常高速地检测到漏液2的大量发生。
这样，当通过兼用作漏液检测部件18的控制部件30检测到漏液2a或2时，为了通过电缆26向操作员等发送警告，将漏液的有无数字输出到外部(漏液检测出错码ER-B)。另外，在上述受光处理中，通过用镜头、凹面镜等聚光部件广泛聚集反射光，可以提高受光部件(元件)16、16c的灵敏度。
此刻，进而，通过设置在非危险地带中的控制部39内的无线通信部件37，从漏液检测部件18/30发射无线漏液检测出错信号，在通过设置在危险地带中的警报部件70b内的接收部件79c，接收到该无线漏液出错检测信号时，在控制部79b中，通过开关部件79e，向输出驱动部件79h供给来自齐纳式防爆栅78a的供给电力，对信号灯等警告灯79k进行点亮驱动，而且，通过发音部件72、共鸣器75等，向外部发射进行了共鸣放大的异常发生警告音。这样，当用识别编号等确定了警报部件70b时，通过该警报部件70b的输出驱动部件79h，驱动发音部件72，将其振动通过共鸣器75进行放大后发射到空中，被另行处理的漏液检测出错信号警告的操作员在立即检查哪处设置的漏液传感器发生了设置异常时，可以不必象以往那样，逐一检查基底面、漏液容纳部的底面，在赶到警报发生现场时，可以非常容易地区别于其他漏液传感器设置位置而确定该漏液发生位置。
因此，根据如图8所示的结构的漏液传感器20b，只要将漏液传感器20b放置在漏液检测对象底面99上，即使没有保持器4、5及薄纸8，也几乎不受外来光的影响，并且，在漏液2a或2仅少量流出到漏液检测对象底面99而到达保持器4的上面之前的漏液流出的最初阶段，就可以迅速地检测到漏液。此外，因为漏液检测部中不通过任何电信号完全不通，所以，即使对于挥发性的漏液，也可以非常安全地进行检测处理，既使一次流出大量漏液，对该漏液进行2重、3重检查和检测，可以进一步提高漏液检测处理的可靠性，而且，通过变更光传输部件40/42的长度，可以将与光源部件14及受光部件16、16c等、与反射边界面12m/12n等的物理距离变更为所需的可变距离。
此外，在容器的主体部12d与突起部12u无法保持规定间隔d6、d7的状态下，光学式设置异常检测部件4b的光学通路不形成在规定位置，通过铰链机构生成的反弹力，主体部12d与突起部12u相浮动、倾斜，成为倾翻的设置异常状态，通过可以维持主体部12d与突起部12u打开状态的开闭机构，投射光的反射通路可大大弯曲，所以，可以容易地检测到设置异常状态，区别漏液错误及设置异常错误进行检测，同时可以进行传输、应对。
另外，即使是图8的漏液传感器20b，也可以与图5同样地使用薄纸8。
在上述实施方式中，对向抗蚀液涂敷机构81a供给的抗蚀液的漏液及抗蚀液用调温液的漏液的检测进行了说明，但是，在向显像机构81b供给的显像液的漏液及显像液用调温液的漏液的检测中，同样也可以如上所述应用本发明。此外，也可以应用于蚀刻处理、清洁处理等。还可以应用于临时储存上述各处理液的箱的漏液的检测。作为上述漏液的原因，可以列举出例如，各液箱的破损、由供给系统的故障造成的溢出、配管部等的泄漏、由排出系统的故障造成的溢出等。
另外，在上述实施方式中，对将本发明的处理装置应用于半导体晶片的涂敷显像装置的情况进行了说明，但是，当然并不仅限于该装置，也可以应用于半导体晶片的其他处理装置及LCD基板、玻璃基板或CD/DVD基板等的处理装置。根据本发明的漏液检测系统，因为如上所述构成，所以，可以准确且安全地检测到处理液及温度控制用液的漏液，可以防止漏液造成的周边部的污染及腐蚀等。此外，在检测到漏液发生时，根据共鸣放大后的可听频率的警告发送音，可以直观地理解在空间上哪处发生了漏液，因此，维护变得容易，可以提高处理装置的处理效率。
另外，上述高速漏液吸引部件即使只设置在保持器侧，也可以采用光学方式构成。此外，即使不是防爆结构的漏液传感器，如图7所示，也可以通过无线通信部件将漏液传感器部与警报部件相互连接。
权利要求
1.一种漏液检测系统，其至少使用1个漏液传感器，该漏液传感器至少具有1个漏液检测部，该漏液检测部可以通过可渗透漏液的气体层或漏液渗透层与所述漏液接触，其特征在于相对所述漏液传感器的设置位置，在规定的空间范围以内，设置包含发音部件的警报部件，在检测到所述漏液传感器的传感器异常时，至少通过所述发音部件，以可以区别于设置在所述规定的空间范围外侧的漏液传感器而确定该漏液传感器的设置位置的方式，用可听频率的发送音对该漏液传感器的传感器异常检测进行警报。
2.如权利要求1所述的漏液检测系统，其特征在于所述规定的空间范围包含所述漏液容纳部的内部空间、所述漏液容纳部的上方的空间之中的至少1个。
3.如权利要求1或2所述的漏液检测系统，其特征在于所述漏液传感器与所述警报部件通过信号线连接、及/或通过无线通信部件连接、及/或一体形成。
4.如权利要求1至3中任意一项所述的漏液检测系统，其特征在于所述漏液检测部由至少包含1个光学式反射边界面的光学式漏液检测部构成；及/或由至少包含1个光学式透过边界面的光学式漏液检测部构成；及/或由包含根据非绝缘性液体的存在、电极间阻抗发生变化的电极对的导电式漏液检测部构成。
5.如权利要求1至4中任意一项所述的漏液检测系统，其特征在于所述发音部件包含通过打击共鸣体而发音的部件；及/或包含汽笛或警报器；及/或通过振动而发音的部件；及/或包含通过振动而发音的部件及与其结合的共鸣部件。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的漏液检测系统，其特征在于从所述发音部件发送的可听频率的警报音是频率恒定或可变的间歇音及/或连续音；音色恒定或可变的间歇音及/或连续音；声强恒定或可变的间歇音及/或连续音；音拍恒定或可变的间歇音及/或连续音；占空比恒定或可变的间歇音及/或连续音；或包含将它们组合而成的警报音。
7.如权利要求1至6中任意一项所述的漏液检测系统，其特征在于所述警报部件还包含警告灯。
8.如权利要求7所述的漏液检测系统，其特征在于所述警报部件对应于从所述发音部件发送的可听频率的警报音的变动，改变所述警告灯的亮度。
9.如权利要求1至8中任意一项所述的漏液检测系统，其特征在于在从所述发音部件发送的可听频率的所述传感器异常检测警报音对该传感器的漏液异常及该传感器的设置异常进行警报时，以可以识别是哪个传感器异常的方式，分别用不同的发送音进行警报。
10.如权利要求1至9中任意一项所述的漏液检测系统，其特征在于所述警报部件包含用于确定该警报部件的识别编号设定部件。
11.如权利要求1至10中任意一项所述的漏液检测系统，其特征在于所述漏液传感器用防爆结构构成。
12.如权利要求1至11中任意一项所述的漏液检测系统，其特征在于所述警报部件用防爆结构构成，并且，通过齐纳式防爆栅提供电源。
13.如权利要求1至12中任意一项所述的漏液检测系统，其特征在于所述警报部件可以通过外部操作指令，进行所述警报音的开-关控制、复位、及重新启动的控制。
14.如权利要求1至13中任意一项所述的漏液检测系统，其特征在于所述漏液传感器还具有高速漏液引入部件，该高速漏液引入部件即使是在20℃时具有小于等于6×10-2N/m的低表面张力的液体的少量漏液，也可以高速地检测到。
15.一种漏液传感器，其可以通过可渗透漏液的气体层或漏液渗透层与所述漏液接触，并由至少1个反射边界面、投光部、受光部、以及与这些部件结合的控制部件构成，其特征在于将所述投光部及受光部容纳在底部由透明材料或半透明材料构成的容器中并将其一体化，而且，或者，将所述投光部及受光部容纳在底部由透明材料或半透明材料构成的容器中并将其一体化，而且，在该容器的末端安装容器保持器，该容器保持器使该容器的末端不容易受到该漏液传感器的基底等的设置位置的表面特性或表面颜色的影响，并且兼用于防止该容器的倾翻，而且，设置包含所述漏液传感器的异常检测部件及发音部件的警报部件，在通过所述异常检测部件检测到传感器异常时，至少通过所述发音部件用可听频率的发送音对异常检测进行警报。
16.一种漏液传感器，其隔着气体层或漏液渗透层形成可以接触漏液的至少2个全反射边界面，将至少1个投光部、受光部及与它们结合的控制部件相对于所述各反射边界面，配置在相同侧，从所述投光部对所述第1全反射边界面投射光，将来自所述第1全反射边界面的反射光投射到所述第2全反射边界面，在所述受光部接受来自所述第2全反射边界面的反射光，并通过所述控制部件对其输出进行运算处理，检测漏液，其特征在于将所述投光部及受光部容纳在底部由透明材料或半透明材料构成的容器中并将其一体化，而且，或者，将所述投光部及受光部容纳在底部由透明材料或半透明材料构成的容器并将其一体化，而且，在该容器的末端安装容器保持器，该容器保持器使容器的末端不容易受到该漏液传感器的基底等的设置位置的表面特性或表面颜色的影响，并且可兼用于防止该容器的倾翻，而且，设置包含所述漏液传感器的异常检测部件及发音部件的警报部件，在通过所述异常检测部件检测到传感器异常时，至少通过所述发音部件用可听频率的发送音对异常检测进行警报。
17.如权利要求15或16所述的漏液传感器，其特征在于所述控制部件兼用作所述异常检测部件，并且，通过所述异常检测部件，可以执行所述漏液的有无判断及/或所述传感器的设置异常状态判断。
18.如权利要求15至17中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于所述发音部件包含通过打击共鸣体而发音的部件；及/或包含汽笛或警报；及/或包含通过振动而发音的部件；及/或包含由通过振动而发音的部件及与其结合的共鸣部件。
19.如权利要求15至18中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于所述发音部件配置在所述容器侧、所述容器保持器侧、或由所述容器侧及所述容器保持器侧构成。
20.如权利要求15至19中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于所述发音部件构成在所述容器侧、所述容器保持器侧、或者以单触可装卸的方式构成在所述容器侧及所述容器保持器侧。
21.如权利要求15至20中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于从所述发音部件发送的可听频率的警报音是频率恒定或可变的间歇音及/或连续音；音色恒定或可变的间歇音及/或连续音；声强恒定或可变的间歇音及/或连续音；音拍恒定或可变的间歇音及/或连续音；占空比恒定或可变的间歇音及/或连续音；或包含将它们组合而成的警报音。
22.如权利要求15至21中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于所述警报部件还包含警告灯。
23.如权利要求22所述的漏液传感器，其特征在于所述警报部件对应于从所述发音部件发送的可听频率的警报音的变动，改变所述警告灯的亮度。
24.如权利要求17至23中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于在从所述发音部件发送的可听频率的警报音对该传感器的漏液异常及该传感器的设置异常进行警报时，以可以识别是哪个传感器异常的方式，分别用不同的发送音进行警报。
25.如权利要求15至24中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于所述警报部件包含用于确定该警报部件的识别编号设定部件。
26.如权利要求15至25中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于所述漏液传感器用防爆结构构成。
27.如权利要求15至26中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于所述警报部件可以通过来自外部的操作指令，进行所述警报音的开-关控制、复位、及重新启动的控制。
28.如权利要求15至27中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于所述容器划分为主体部及盖子部来构成，将所述发音部件一体地构成在所述盖子部上。
29.如权利要求15至28中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于所述反射边界面是所述容器底部、及/或是所述容器保持器的上面。
30.如权利要求15至29中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于在所述反射边界面的至少1个上并列设置通过漏液的渗透而变透明的薄纸，并使其紧密接触。
31.如权利要求15至30中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于在所述气体层或漏液渗透层上不并列设置通过所述漏液的渗透而变透明、并且作为消耗品进行更换的薄纸，而形成空隙部。
32.如权利要求15至31中任意一项所述的漏液传感器，其特征在于对所述受光部的输出进行运算处理，根据反射光量的大�。梢越新┮旱挠形夼卸霞八錾柚靡斐Ｗ刺卸希�/或，将多个所述受光部按照各自的受光角度互不相同的方式进行配置，通过所述多个受光部以使反射光的受光位置可以相互识别的方式将其转换成电信号，对这些受光部的输出进行运算处理，对每个规定周期决定所述反射光的明暗图形的配置，根据该反射光的明暗图形的变动，可以进行漏液的有无判断及所述设置异常状态判断。
全文摘要
本发明提供一种漏液传感器及漏液检测系统，在发生了漏液异常时，通过设置在基底面及漏液容纳部等系统最下部的漏液传感器，可以容易地确定漏液发生位置。一种漏液检测系统，至少使用1个漏液传感器，该漏液传感器至少具有1个漏液检测部，该漏液检测部可以通过可渗透漏液的气体层或漏液渗透层与上述漏液接触，其中，相对漏液传感器的设置位置，在规定空间范围以内设置包含发音部件的警报部件，在检测到漏液传感器的传感器异常时，至少通过上述发音部件，以可以区别于设置在上述规定空间范围外侧的漏液传感器而确定该漏液传感器的设置位置的方式，对该漏液传感器的传感器异常检测进行警报。
文档编号G01N27/02GK1611924SQ20041008678
公开日2005年5月4日申请日期2004年10月29日优先权日2003年10月30日
发明者林田建一, 岛井太, 小俣洋平申请人:通电株式会社, 东京应化工业株式会社, 东横化学株式会社

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漏液传感器及漏液检测系统的制作方法