专利名称：物理量检测器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种物理量检测器(压力传感器)。
背景技术：
作为水压计、气压计、压差计等物理量检测器(压力传感器)，已知一种如下的物理量检测器(压力传感器)，其具备根据所受到的压力而变形的隔膜、和随着隔膜的变形而受到应力的压电振子，并根据压电振子的共振频率，而对压力进行检测(例如，参照专利文献I)。例如，在专利文献I所记载的压力传感器中，隔膜在中央区域和周缘区域之间设置有可挠性的可挠区域，中央区域(位移部)根据压力而在厚度方向上位移。此外，压电振子具有:一对基部；被设置在该一对基部间的振动部。而且，一对基部在隔膜进行挠曲的方向上并排配置，且一个基部与隔膜的中央区域相连接，而另一个基部经由柱状的支承部件而与隔膜的外周区域相连接。在专利文献I所记载的压力传感器中，支承部件与压电振子一体地形成。由此，由于支承部件和压电振子由同一材料构成，因此能够降低由于支承部件和压电振子的线膨胀系数差而产生的检测压力的误差(因热变形而产生的误差)。但是，在专利文献I所记载的压力传感器中，由于支承部件与隔膜相连接，因此随着隔膜的变形，会导致支承部件的非预期的位移或变形，其结果为，存在导致检测精度的降低的问题。即使将隔膜的边缘区域设为高刚性，也由于在与隔膜的挠曲方向正交的方向上的支承部件的长度变长， 因此容易产生支承部件的非预期的位移或变形，从而造成检测精度的降低。专利文献1:日本特开2010-48798号公报
发明内容
本发明的目的在于提供一种具有优良的检测精度的物理量检测器。本发明为用于解决上述的课题中的至少一部分而进行的发明，并可以通过以下的方式或应用例的形式来实现。应用例I本发明的物理量检测器的特征在于，具备:受压部，其包括受到压力而发生位移的位移部、和被设置于所述位移部的外周的外周部；保持部件，其包括在俯视观察时呈圆周状的固定部、以及在俯视观察时从所述固定部的内周朝向中心而突出的突出部，所述突出部具有开口，并被配置于所述受压部的一个面侧，所述固定部对所述外周部进行保持，以便在从所述突出部侧进行俯视观察时，所述受压部的一个面侧上的、所述位移部的至少一部分存在于所述开口内，所述物理量检测器还具备:支承体，其被固定在所述突出部上；压敏元件，其包括被固定在所述位移部的所述至少一部分上的第一基部、被固定在所述支承体上的第二基部、和被设置在所述第一基部和所述第二基部之间的压敏部，所述第一基部与所述第二基部以在所述位移部进行位移的方向上并排的方式而被立起设置。根据以这种方式构成的物理量检测器(压力传感器)，由于支承体被固定在保持部件上，因此与支承体被固定在受压部上的情况相比，能够防止或抑制支承体的非预期的变形或位移。尤其是，由于支承体被固定于保持部件中的、与固定部相比被设置于内侧的突出部上，因此能够减小支承体和压电振子之间的空间。其结果为，能够提高支承体的刚性，从而能够有效地防止或抑制支承体的非预期的变形或位移。此外，由于能够实现支承体的保持部件的相反侧的端部的小型化，因此也能够防止或抑制因支承体的加速度而产生的变形。而且，由于保持部件具有突出部，从而能够提高保持部件的刚性。因此，也能够防止因保持部件的变形而产生的受压部和支承体的非预期的变形。此外，由于第一基部和第二基部在位移部进行位移的方向上并排设置，当位移部向压电振子侧发生了位移时，压电振子的振动部受到压缩应力，从而使振动部的共振频率减�。硪环矫妫蔽灰撇肯蜓沟缯褡拥南喾床喾⑸宋灰剖保沟缯褡拥恼穸渴艿角＠αΓ佣穸康墓舱衿德试龃�。因此,能够根据这种振动部的共振频率,来对压力进行检测。通过这些方式，本发明的压力传感器能够发挥优良的检测精度。应用例2在本发明的物理量检测器中，优选为，所述突出部以环状的形式被设置在所述固定部上。由此，能够通过突出部的内侧而容许压电振子的第一基部和受压部的连接，且能够有效地提高保持部件的刚性。应用例3在本发明的物理量检测器中，优选为，所述支承体具备:柱部件，其被立起设置在所述突出部上；梁部件，其对所述柱部件和所述第二基部进行连结。由此，能够以较为简单的结构，将第一基部和第二基部并排设置于位移部进行位移的方向上。应用例4在本发明的物理量检测器中，优选为，所述柱部件在从所述位移部进行位移的方向侧进行俯视观察时，被配置于所述位移部进行位移的区域内。由此，能够较大地确保位移部的面积，且抑制支承体和压电振子之间的空间。应用例5在本发明的物理量检测器中，优选为，所述突出部中的固定有所述支承体的固定部与所述第一基部的并排方向，正交于所述位移部进行位移的方向。由此，能够以较为简单的结构，使位移部进行位移的方向上的柱部件和压电振子的长度相一致。应用例6在本发明的物理量检测器中，优选为，包括与所述位移部相接合的固定部件，所述第一基部被固定在所述固定部件上。由此，能够以较为简单的结构，使位移部进行位移的方向上的柱部件和压电振子的长度相一致。应用例7在本发明的物理量检测器中，优选为，所述柱部件和所述梁部件由互不相同的材料构成。由此，能够使柱部件和梁部件由各自所需的热膨胀系数的材料构成。应用例8在本发明的物理量检测器中，优选为，所述压敏元件由压电体材料构成，所述柱部件由具有与所述压电体材料同等或近似的热膨胀系数的材料构成。由此，能够防止或抑制压电振子的热变形。应用例9在本发明的物理量检测器中，优选为，所述梁部件由具有与所述保持部件和所述受压部中的至少某一个同等或近似的热膨胀系数的材料构成。由此，能够防止或抑制压电振子的热变形。应用例10在本发明的物理量检测器中，优选为，所述保持部件由具有与所述受压部的构成材料同等或近似的热膨胀系数的材料构成。由此，能够防止或抑制受压部的热变形。应用例11在本发明的物理量检测器中，优选为，所述压敏部具备一根以上的振动梁。由此，能够实现分辨能力优良的压力传感器。应用例12在本发明的物理量检测器中，优选为，所述压敏元件为厚度切变振子。由此，能够实现温度特性优良的压力传感器。
图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)的整体结构的图。图2为图1所示的压力传感器所具备的压敏单元的立体图。图3为图2所示的压敏单元的侧视图。图4为用于说明图2所示的压敏单元的制造方法(压力传感器的制造方法)中的隔膜(受压部)的设置工序的图。图5为用于说明图2所示的压敏单元的制造方法(压力传感器的制造方法)中的压电振子和柱部件的设置工序的图。图6为本发明的第二实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)中的压敏单元的侧视图。图7 (a)为，图6所示的压敏单元的柱部件的横剖视图(沿着图6中的A-A线的剖视面)，图7 (b)为，图6所示的压敏单元的柱部件的第一改变例的横剖视图，图7 (C)为，图6所示的压敏单元的柱部件的第二改变例的横剖视图。图8为本发明的第三实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)中的压敏单元的侧视图。图9 (a)为，图8所示的压敏单元的柱部件的横剖视图(沿着图8中的B-B线的剖视面)，图9 (b)为，图8所示的压敏单元的柱部件的改变例的横剖视图。图10为本发明的第四实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)中的压敏单元的侧视图。图11为本发明的第五实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)中的压敏单元的侧视图。图12为表示本发明的第六实施方式所涉及的物理量检测器(流速传感器)的图。
具体实施例方式以下，根据附图所示的实施方式，对本发明的物理量检测器(压力传感器)进行详细说明。第一实施方式图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)的整体结构的图，图2为图1所示的压力传感器所具备的压敏单元的立体图，图3为图2所示的压敏单元的侧视图。另外，在图1 3中，为了便于说明，图示了 X轴、Y轴和Z轴以作为相互正交的三个轴。此外，在以下的说明中，为了便于说明，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”，将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”，将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。此外，也将图1 3中的上侧(+ Z侧)称为“上”，将下侧(-Z侧)称为“下”。图1所示的物理量检测器(压力传感器)I为，对气体、液体等流体的压力进行检测的装置。如图1所示，该压力传感器I具备:罩壳11、压敏单元12、电路单元13、盖14、电缆15、封闭部件16。首先，根据图1，对构成压力传感器I的各部分的结构进行简单说明。罩壳11呈有底筒状。作为该罩壳11的构成材料，并不受特别的限定，例如，可列举出树脂材料、金属材料、陶瓷材料等。在这种罩壳11内，配置有压敏单元12和电路单元13。压敏单元12具备:保持部件2、隔膜(受压部)3、固定部件4、作为压敏元件的压电振子5、支承体6。保持部件2和隔膜3将罩壳11的一端开口封闭。此外，固定部件4、压电振子5和支承体6被配置于罩壳11的内侦彳。而且，压电振子5通过固定部件4而与隔膜3相连接，且通过支承体6而与保持部件2相连接。该压敏单元12中，压电振子5的共振频率根据隔膜3所受到的压力而发生变化。另外，在后文中，将对压敏单元12的结构进行详细记述。此外，在罩壳11的一端部上，安装有盖14。在该盖14上，形成有能够使流体进行流通的流通口 141。由此，通过流通口 141而向盖14内流入的流体的压力被施加于压敏单元12的隔膜3上。此外，在压敏单元12的压电振子5上，通过未图示的布线而电连接有电路单元13。该电路单元13例如通过电路基板和电子部件(IC)等而构成。而且，电路单元13具有对压电振子5进行驱动的功能、和根据压电振子5的共振频率而对压力进行检测的功倉泛。在这种电路单元13上，通过电缆15而电连接有被设置在罩壳11的外部的设备(未图示)。由此，能够通过所述的设备而获取压力传感器I的检测结果。该电缆15被插穿在形成于罩壳11的另一端部上的贯穿孔中。此外，电缆15和罩壳11之间通过例如由橡胶材料构成的封闭部件16而被封闭。这种压力传感器I中，罩壳11的内部空间例如以减压状态或非活性封入状态而被封闭。此处，根据图2和图3，对压敏单元12的结构进行详细叙述。如前文所述，压敏单元12具备保持部件2、隔膜3、固定部件4、压电振子5、支承体6。以下，依次详细地对构成压敏单元12的各个部分进行说明。保持部件保持部件2为对隔膜3进行保持的部件。该保持部件2具有:对隔膜3的外周部进行保持的环状的固定部21 ;于隔膜3的一个面侧(图2中上侧)，从固定部21向内侧突出的突出部22。固定部21与前文所述的罩壳11的一端开口部相接合。虽然该固定部21与罩壳11的接合，例如通过焊接、焊锡材料、粘合剂等来实施，但优选为液密性或气密性的接合。此外,在固定部21的内周部形成有以遍布其整周的方式而向下方突出的凸条24。该凸条24为，通过焊接而与后文所述的隔膜3的外周部32接合在一起的部分。尤其是，凸条24被形成为薄壁(宽度较窄)。由此，能够通过焊接而以较少的热量来将凸条24和隔膜3接合在一起。此外，凸条24的宽度(壁厚)根据隔膜3的外边缘部(焊接部)的厚度而被决定，虽然不受特别的限定，但例如，优选在0.1mm以上且2mm以下，更优选在0.1mm以上且Imm以下。与此相对，当所述宽度过薄时，将存在保持部件2和隔膜3的接合部的机械强度降低的情况。另一方面，当所述宽度过厚时，将呈现出因保持部件2与隔膜3的焊接而产生的热量增大，从而在焊接后的隔膜3中产生的残留应力增大的倾向。此外，凸条24的高度(向-Z方向的突出量)根据隔膜3的尺寸、焊接余量等而被决定，虽然不受特别的限定，但例如，优选在0.1mm以上且2mm以下，更优选在0.1mm以上且Imm以下。与此相对，当所述高度过低时，将呈现出因保持部件2与隔膜3的焊接而产生的热量增大，从而在焊接后的隔膜3中产生的残留应力增大的倾向。另一方面，当所述高度过高时，根据凸条24的宽度或构成材料等，将存在保持部件2与隔膜3的接合部的机械强度降低的情况。在这种固定部21的上侧(隔膜3的相反侧)，设置有向内侧(中心侧)突出的突出部22。该突出部22上固定有后文所述的支承体6的柱部件61、62。由此，能够使压力传感器I的检测精度较为优良。此外，由于保持部件2具有突出部22，从而能够提高保持部件2的刚性。因此，也能够防止因保持部件2的变形而导致的、隔膜3和支承体6的非预期的变形。此外，突出部22遍布固定部21的整周而被形成，并呈环状。由此，能够通过突出部22的内侧的开口部23而容许压电振子5的基部51与隔膜3的连接，且能够有效地提高保持部件2的刚性。此外，突出部22具有用于对后文所述的支承体6的柱部件61、62进行接合的面(接合面、固定部)221、222。该面221、222分别以与XZ平面平行的方式而形成。作为这种保持部件2的构成材料，虽然不受特别的限定，但优选使用耐腐蚀性优良的材料，例如，优选使用如不锈钢这种金属材料、陶瓷材料等。此外，作为保持部件2的构成材料，优选使用具有与后文所述的隔膜3的构成材料相同或近似的热膨胀系数的材料。由此，能够防止或抑制隔膜的热变形。此外，通过将后文所述的支承体6的梁部件63的构成材料设定为与保持部件2或隔膜3的构成材料相同或近似的材料，从而能够降低压电振子5的热变形。另外，虽然保持部件2本实施方式中以独立于罩壳11的方式而被构成，但也可以与罩壳11 一体形成。即，固定部21和突出部22也可以为罩壳11的一部分。隔膜隔膜3具有:因受到来自外部的压力或力而发生位移的、作为受压部的位移部31 ；被设置于位移部31的外周的外周部32。位移部31的外周部以能够进行挠曲变形的方式而构成，从而使位移部31的中央部能够在Z轴方向(位移部31的厚度方向)上进行位移。此外，位移部31相对于前文所述的保持部件2的突出部22，在Z轴方向分离。由此，容许了位移部31在Z轴方向上的位移。外周部32为，通过焊接而与前文所述的保持部件2的固定部21接合在一起的部分。外周部32从位移部31的外周部向下侧(+Z轴方向)突出。通过设置这种外周部32，能够提高隔膜3的刚性，从而抑制隔膜3的非预期的变形的，且增大隔膜3的与保持部件2之间的接合部(焊接余量)的面积。尤其是，外周部32被形成为薄壁(宽度较窄)。由此，能够通过焊接而以较少的热量将外周部32和保持部件2接合在一起。此外，外周部32的宽度(壁厚)虽然不受特别的限定，但从容易制造隔膜3的角度出发，优选与位移部31的厚度相等，具体而言，例如，优选在0.1mm以上且2mm以下，更优选在0.1mm以上且Imm以下。与此相对，当所述宽度过薄时，将存在保持部件2与隔膜3的接合部的接合强度、或隔膜3的机械强度降低的情况。另一方面，当所述宽度过厚时，将呈现出因保持部件2与隔膜3的焊接而产生的热量增大，从而在焊接后的隔膜3中产生的残留应力增大的倾向。此外，外周部32的高度(向-Z方向的突出量)通过隔膜3的尺寸、焊接余量等而被决定，虽然不受特别的限定，但例如，优选在0.1mm以上且2mm以下，更优选在0.1mm以上且
1.5mm以下。与此相对，当所述高度过低时，将存在由于与保持部件2焊接在一起的隔膜3的非预期的变形而造成压力传感器I的检测精度降低，或者隔膜3与保持部件2的接合部的接合强度降低的情况。另一方面，当所述高度过高时，存在导致保持部件2的大型化，或者隔膜3的制造变得困难的情况。作为这种隔膜3的构成材料，虽然不受特别的限定，但优选使用耐腐蚀性优良的材料，例如，优选使用如不锈钢这种金属材料、陶瓷材料等。在由金属材料构成隔膜3的情况下，能够通过对金属板进行冲压加工来形成隔膜3。此外，也可以由水晶或硅等的单晶体来构成隔膜3。该情况下，可以通过对单晶体进行蚀刻来形成隔膜3。固定部件固定部件4被接合(粘着)于前文所述的隔膜3的上表面的中央部上。此外，固定部件4被插穿在前文所述的保持部件2的开口部23内。在固定部件4上接合有后文所述的压电振子5的基部51。该固定部件4具有用于将后文所述的压电振子5的基部51固定于隔膜3上的面(接合面)41。该面41以与XZ平面平行的方式而形成。通过利用这种固定部件4而将压电振子5固定于隔膜3上，从而能够以较为简单的结构，使隔膜3的位移部31进行位移的方向(Z轴方向)上的、后文所述的支承体6的柱部件61、62和压电振子5的长度相一致。更加具体地进行说明，能够使Z轴方向上的、压电振子5的下端的位置和柱部件61、62的下端的位置相一致。换言之，固定有支承体6的突出部22的固定部与压电振子5的基部51的并排方向，正交于位移部31进行位移的方向。因此，能够使Z轴方向上的、压电振子5的长度和柱部件61、62的长度相等，且使Z轴方向上的、压电振子5的上端的位置和柱部件61、62的上端的位置相一致。其结果为，通过由相同的材料(相同的线膨胀系数的材料)来构成压电振子5的压电体和柱部件61、62，从而能够使Z轴方向上的、压电振子5和柱部件61、62的热膨胀量或热收缩量相等。此外，通过将压电振子5接合在固定部件4的面41上，从而能够以压电振子5的主面与XZ平面平行的方式，来设置压电振子5。作为这种固定部件4的构成材料，虽然不受特别的限定，但从减小隔膜3和固定部件4的热膨胀系数差的角度出发，优选使用与隔膜3的构成材料相同的材料。压电振子作为压敏元件的压电振子5与前文所述的固定部件4的面41相接合。S卩，压电振子5经由固定部件4而与隔膜3的中央部(位移部31)相连接。由此，压电振子5通过隔膜3的挠曲变形而受到Z轴方向上的压缩应力或牵拉应力。该压电振子5具有:一对基部51、52，它们被彼此分离地设置；振动部53 (压敏部)，其被设置于该一对基部51、52之间，且被激励振动。基部(第一基部)51被接合(固定)于前文所述的固定部件4的面41上。由此，基部51被固定于隔膜3的位移部31上。另一方面，基部(第二基部)52被接合(固定)于后文所述的支承体6的梁部件63上。由此，基部52被固定于后文所述的支承体6上。这样的基部51和基部52通过振动部(压敏部)53而相连结。振动部53呈长条状，并沿着Z轴方向延伸。
另外,在图示的示例中，图示了振动部53由一根振动梁构成的情况,但振动部53也可以由两根振动梁构成。即，作为压电振子5，可以使用所谓的双音叉型的振子。双音叉型振子与厚度切变振子等相比，由于共振频率相对于牵拉、压缩应力的变化极大从而共振频率的可变幅度较大，因此适合于如对微小的压力差进行检测这样的、具有优良的分辨能力的高精度的压力传感器。此外,振动部53也可以由三根以上的振动梁构成。作为压敏元件的压电振子5可以使用水晶、铌酸锂、钽酸锂等的压电材料。此外，作为压敏元件的压敏部的振动部53并不限定于由振动梁构成的振子，只要是共振频率根据牵拉、压缩应力而发生变化的压电振子，则可以使用任何压电振子，例如，可以使用厚度切变振子、SAW (面声波)谐振子等。当振动部53采用以厚度切变模式为主振动的AT切割水晶振子时，频率温度特性将成为三次曲线，从而与频率温度特性成为向上凸起的二次曲线的音叉型振子相比，能够实现频率温度特性优良的压力传感器。此外，在振动部53使用SAW谐振子的情况下，由于只需仅在水晶等的压电基板的一个主面上形成成为激励电极的梳形电极、即所谓的IDT (interdigital transducer:叉指换能器)即可，因而能够期待制造上的低成本化。在这种振动部53上，设置有未图示的一对激励电极，该一对激励电极通过未图示的布线而与前文所述的电路单元13电连接。由此，通过由电路单元13向一对激励电极间施加电压，从而能够使振动部53激励振动。这种压电振子5以振动部53的固有的共振频率进行振动。而且，由于一对基部51、52在隔膜3的位移部31进行位移的方向、即Z轴方向上并排设置，因此当位移部31向压电振子5侧发生了位移时，压电振子5的振动部53将受到Z轴方向上的压缩应力(基部51和基部52接近的方向上的应力)，从而振动部53的共振频率将减小。另一方面，当位移部31向压电振子5的相反侧发生了位移时，压电振子5的振动部53将受到Z轴方向上的牵拉应力(基部51和基部52分离的方向上的应力)，从而振动部53的共振频率将增大。因此,能够根据这种振动部的共振频率,来对压力进行检测。支承体支承体6被固定于前文所述的保持部件2的突出部22的面221、222上。此外，在支承体6上，固定有前文所述的压电振子5的基部52。由此，压电振子5的基部52通过支承体6而与保持部件2相连接。通过以此种方式将支承体6固定在保持部件2上，与假设将支承体6固定在隔膜3上的情况相比，能够防止或抑制支承体6的非预期的变形或位移。尤其是，由于支承体6被固定于保持部件2中的、与固定部21相比被设置于内侧的突出部22上，因此能够减小支承体6和压电振子5之间的空间。其结果为，能够提高支承体6的刚性，从而能够有效地防止或抑制支承体6的非预期的变形或位移。此外，由于能够实现支承体6的保持部件2的相反侧的端部(具体而言，为后文所述的梁部件63)的小型化，因此也能够防止或抑制因支承体6的加速度而导致的变形。该支承体6具有:柱部件61、62，其被立起设置在突出部22上；梁部件63，其对柱部件61、62的前端部和压电振子5的基部52进行连接。由此，能够以较为简单的结构，将压电振子5的一对基部51、52并排设置于隔膜3的位移部31进行位移的方向(Z轴方向)上。柱部件61与保持部件2的面221相接合，柱部件62与保持部件2的面222相接
入
口 ο而且，当从位移部31进行位移的方向进行观察时，柱部件61、62分别位于位移部31的内侧。由此，能够较大地确保位移部31的面积，且抑制(缩窄)支承体6和压电振子5之间的空间。柱部件61、62分别呈长条状,并在Z轴方向上延伸。而且，柱部件61、62各自的长度方向(Z轴方向)上的下端部与保持部件2的突出部22相接合。这种柱部件61、62被设置为相互平行。此外，柱部件61、62在X轴方向上相互分尚地设置。此外，柱部件61、62分别呈板状，且其板面被设置为与XZ平面平行。此外，柱部件61、62被形成为，Z轴方向上的长度相等。由此，通过将柱部件61、62的构成材料设为相同，从而能够使柱部件61、62在进行Z轴方向上的热膨胀或热收缩时的长度相等。此外，柱部件61、62被形成为，Z轴方向上的长度与前文所述的压电振子5相等。作为该柱部件61、62的构成材料，虽然不受特别的限定，但优选使用具有与构成前文所述的压电振子5的压电体的压电体材料相同或近似的热膨胀系数的材料。由此，能够防止或抑制压电振子5的热变形。从这种角度出发，具体而言，作为柱部件61、62的构成材料，优选使用与压电振子5所使用的压电体材料相同的压电体材料。另外，柱部件61、62的Z轴方向上的长度也可以与压电振子5的Z轴方向上的长度不同。该情况下，只要将柱部件61、62的构成材料选定为，使柱部件61、62的Z轴方向上的热膨胀量与压电振子5的Z轴方向上的热膨胀量相等即可。在这种柱部件61、62上接合有梁部件63，以对柱部件61、62进行连结。该梁部件63在X轴方向上延伸。而且，梁部件63中的长度方向(X轴方向)上的一端部(图3中左侧)与柱部件61的上端部相接合，而另一端部(图3中右侧)与柱部件62的上端部相接合。此外,在梁部件63的长度方向上的中途,接合有压电振子5的基部52。此外，梁部件63呈板状，且被设置为，其板面与XZ平面平行。由于该梁部件63由与前文所述的柱部件61、62不同的材料构成，从而能够使柱部件61、62和梁部件63由各自所需的热膨胀系数的材料构成。作为该梁部件63的构成材料，虽然不受特别的限定，但优选使用具有与前文所述的保持部件2或隔膜3同等或近似的热膨胀系数的材料。由此，能够防止或抑制压电振子5的热变形。从这种角度出发，具体而言，作为梁部件63的构成材料，优选使用与保持部件2或隔膜3的构成材料相同的材料。在以如上所说明的方式构成的压力传感器I中，当隔膜3的位移部31从外部受到的压力高于罩壳11内的压力时，位移部31将向罩壳11的内侧位移。另一方面，当隔膜3的位移部31从外部受到的压力低于罩壳11内的压力时，位移部31将向罩壳11的外侧位移。当位移部31向罩壳11的内侧位移时，压电振子5将受到Z轴方向上的压缩应力。另一方面，当位移部31向罩壳11的外侧位移时，压电振子5将受到Z轴方向上的牵拉应力。以此种方式，由于压电振子5受到Z轴方向上的压缩应力或牵拉应力，从而压电振子5的共振频率发生变化。而且，电路单元13根据压电振子5的共振频率，而对隔膜3所受到的压力进行检测。此处，根据压力传感器1，由于支承体6被固定在保持部件2上，因此与假设支承体6被固定在隔膜3上的情况相比，能够防止或抑制支承体6的非预期的变形或位移。尤其是，由于支承体6被固定在保持部件2中的、与固定部21相比被设置在内侧的突出部22上，因此能够减小支承体6和压电振子5之间的空间。其结果为，能够提高支承体6的刚性，从而能够有效地防止或抑制支承体6的非预期的变形或位移。此外，由于能够实现支承体6的保持部件2的相反侧的端部的小型化，因此也能够防止或抑制因支承体6的加速度而导致的变形。此外，由于保持部件2具有突出部22，从而能够提高保持部件2的刚性。因此，也能够防止因保持部件2的变形而导致的隔膜3和支承体6的非预期的变形。根据如上的方式，压力传感器I能够发挥优良的检测精度。压力传感器的制造接下来，对前文所述的压力传感器I的压敏单元12的制造方法进行说明。图4为，用于说明图2所示的压敏单元的制造方法(压力传感器的制造方法)中的隔膜的设置工序的图，图5为，用于说明图2所示的压敏单元的制造方法(压力传感器的制造方法)中的压电振子和柱部件的设置工序的图。压敏单元12的制造方法具有:A、将隔膜3接合在保持部件2上的工序；B、将固定部件4接合在隔膜3上的工序；C、将压电振子5接合在固定部件4上，且将柱部件61、62接合在保持部件2上的工序。以下，依次对各个工序进行说明。A首先，如图4 (a)所示，准备保持部件2。然后，如图4 (b)所示，通过焊接而将隔膜3接合在保持部件2上。此时，使用夹具100，对隔膜3进行保持，以使隔膜3的外周部32的端面(下端面)、与保持部件2的凸条24的顶端面处于同一面(同一 XY平面)上。夹具100具备基台101、按压部件102。基台101由例如SUS (日本JIS标准中不锈钢的代号)这样的磁性体材料构成。而且，基台101上载置有保持部件2。此时，基台101从凸条24的相反侧(图4 (b)中下侧)与保持部件2抵接，且经由保持部件2的开口部23而与隔膜3抵接。由此，能够限制隔膜3向保持部件2的突出部22侧(图4 (b)中下侧)移动的情况。此外，按压部件102为，例如钕磁铁这样的磁铁。而且，按压部件102被载置于隔膜3上。此时，按压部件102通过磁力而隔着隔膜3被吸附在基台101上。由此，能够限制隔膜3向保持部件2的突出部22的相反侧(图4 (b)中上侧)移动的情况。
由于隔膜3被这种基台101和按压部件102所挟持，从而隔膜3的外周部32的端面、和保持部件2的凸条24的顶端面被保持为，处于同一面上。另外，虽然本实施方式中，以按压部件102为磁铁的情况为例而进行了说明，但按压部件102也可以被构成为，通过人手或致动器等而朝向基台101侧进行按压。该情况下，按压部件102可以不是磁铁，例如，可以由金属材料、树脂材料或陶瓷材料等构成。此外，该情况下，基台101也可以不由磁性体材料构成,例如,可以由磁性体材料以外的金属材料、树脂材料或陶瓷材料等构成。而且，在该状态下，通过焊接而将隔膜3的外周部32及保持部件2的凸条24接合
在一起。此时，由于凸条24被形成为薄壁，因此能够以较少的热量对隔膜3和保持部件2进行焊接。因此，能够防止或抑制因隔膜3的焊接时的热量而导致的变形或残留应力的产生。其结果为，能够使压力传感器I的检测灵敏度和检测精度较为优良。作为该接合方法，优选使用激光焊接，特别优选使用由光纤激光器实施的焊接。另夕卜，作为该接合方法，并不限定于激光焊接，例如，也可以使用电弧焊接等其他的焊接方法、通过粘合剂而进行的粘合、钎焊等。在这种焊接结束后，拆下夹具100，如图4 (C)所示，得到了保持部件2和隔膜3被接合在一起的接合体。B接下来，如图5 (a)所示，将固定部件4接合在隔膜3上。作为该接合方法，并不受特别的限定，例如，可以使用通过粘合剂而进行的粘合、激光焊接及电弧焊接等的焊接、钎焊等，但优选通过粘合剂而进行的粘合，特别优选使用作为粘合剂而使用了低熔点玻璃的粘合。低熔点玻璃的粘弹性较低。因此，能够抑制或防止隔膜3中产生的压力滞后。此外，由于低熔点玻璃能够以较低温度硬化，因此能够防止或抑制保持部件2和隔膜3等中产生多余的应力。C接下来，如图5 (b)所示，将压电振子5接合在固定部件4上，且将柱部件61、62接合在保持部件2上。作为这些接合方法，分别不受特别的限定，例如，可以使用通过粘合剂而进行的粘合、激光焊接及电弧焊接等的焊接、钎焊等，但优选使用不会对隔膜3和固定部件4的接合(粘合)造成不良影响的接合方法，即优选通过粘合剂而进行的粘合，特别优选使用通过树脂类粘合剂而进行的粘合。树脂类粘合剂不易产生裂痕或断裂等的破损现象。因此，能够提高压力传感器I的耐久性。此外，由于树脂类粘合剂能够以较低的温度硬化，因此能够防止或抑制压电振子5、保持部件2以及隔膜3等中产生多余的应力。而且，能够在进行了这些接合后，将梁部件63接合于压电振子5和柱部件61、62上。作为该接合方法，可以使用与前文所述的固定部件4和压电振子5的接合、以及保持部件2和柱部件61、62的接合相同的方法。另外，也可以在前文所述的固定部件4和压电振子5的接合、以及保持部件2和柱部件61、62的接合前，将梁部件63接合于压电振子5和柱部件61、62上。
根据如以上所说明的压力传感器I的制造方法，由于在保持部件2的与隔膜3之间的接合部上设置有薄壁的凸条24，因此能够通过焊接而以较少的热量且在短时间内将保持部件2和隔I吴3接合在一起。因此，能够降低在与保持部件2接合在一起之后的隔 吴3上产生的残留应力。其结果为，能够使压力传感器I的检测精度和检测灵敏度较为优良。第二实施方式接下来，对本发明的第二实施方式进行说明。图6为，本发明的第二实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)中的压敏单元的侧视图，图7 (a)为，图6所示的压敏单元的柱部件的横剖视图(沿着图6中的A-A线的剖视面)，图7 (b)为，图6所示的压敏单元的柱部件的第一改变例的横剖视图，图7 (c)为，图6所示的压敏单元的柱部件的第二改变例的横剖视图。以下，对于第二实施方式的物理量检测器(压力传感器)，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，则省略其说明。本发明的第二实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)除了压敏单元的支承体的结构有所不同以外，均与前文所述的第一实施方式相同。另外，在图6和图7中，对与前文所述的第一实施方式相同的结构，标注相同的符号。如图6所示，本实施方式的物理量检测器(压力传感器)所具备的压敏单元12A具备对压电振子5的基部52和保持部件2连接的支承体6A。该支承体6A具有:与保持部件2的面221相接合的柱部件61A ;与保持部件2的面222相接合的柱部件62A ;对柱部件61A、62A和压电振子5的基部52进行连结的梁部件63。柱部件61A具有:长条状的主体部611 ;与该主体部611的外周面相接合的缓冲部612。同样地，柱部件62A具有:长条状的主体部621 ;与该主体部621的外周面相接合的缓冲部622。此处，缓冲部612、622具有与压电振子5的Q值相比较低的Q值。因此，能够抑制压电振子5的振动与支承体6A的振动的共振。以下，根据图7对柱部件61A进行说明。另外，由于柱部件62A与柱部件61A相同，因此省略其说明。如图7 (a)所示，柱部件61A的横截面中，遍布主体部611的外周面的整周，接合有缓冲部612。此外，在所述横截面中，主体部611在两个板面上形成有凹部。由此，能够增大主体部611与缓冲部612的接触面积。其结果为，能够增高主体部611与缓冲部612的接合强度。此外，能够以陷入所述凹部内的方式形成缓冲部612，因此，增大了缓冲部612的体积，从而能够增大通过设置缓冲部612而产生的效果。缓冲部612产生使主体部611的振动衰减的阻尼效应。通过设置这种缓冲部612，从而能够抑制随着压电振子5的振动而产生的柱部件61A的振动。因此，能够抑制支承体6A的振动，从而防止支承体6A的振动对压电振子5的振动造成不良影响的情况。其结果为，能够防止压力传感器的检测精度的降低。
作为这种缓冲部612的构成材料，只要为缓冲部612的Q值低于压电振子5的Q值的材料，则并不受特别的限定，例如，可以使用如硅树脂这样的灌封凝胶。以下，对柱部件61A的改变例进行说明。改变例I图7 (b)所示的改变例I所涉及的柱部件61A1具有:长条状的主体部613 ;与该主体部613的外周面相接合的缓冲部614。该柱部件61A1中，在横截面上，主体部613形成有在厚度方向上贯穿的贯穿孔。换言之，主体部613通过在长度方向上的中途分支的两根棒状部件而构成。由此，能够以陷入所述贯穿孔内的方式形成缓冲部614。因此，增大了缓冲部614的体积，从而能够增大通过设置缓冲部614而产生的效果。改变例2图7 (C)所示的改变例2所涉及的柱部件61A2具有:长条状的主体部615 ;与该主体部615的外周面相接合的缓冲部616。该柱部件61A2中，在横截面上，主体部615呈平板状。而且，缓冲部616被层叠在主体部615的一个面上。具有这种层叠构造的柱部件61A2，能够在主体部615的一个面上使用各种成膜，从而简单且高精度地形成缓冲部616。通过如上说明的第二实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)，也能够使检测精度较为优良。第三实施方式接下来，对本发明的第三实施方式进行说明。图8为，本发明的第三实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)中的压敏单元的侧视图，图9 (a)为，图8所示的压敏单元的柱部件的横剖视图(沿着图8中的B-B线的剖视面)，图9 (b)为，图8所示的压敏单元的柱部件的改变例的横剖视图。以下，对于第三实施方式的物理量检测器(压力传感器)，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，则省略其说明。本发明的第三实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)除了压敏单元的支承体的结构有所不同以外，均与前文所述的第一实施方式相同。另外，在图8和图9中，对与前文所述的第一实施方式相同的结构，标注相同的符号。如图8所示，本实施方式的物理量检测器(压力传感器)所具备的压敏单元12B具备对压电振子5的基部52和保持部件2进行连接的支承体6B。该支承体6B具有:与保持部件2的面222相接合的柱部件62B ;对柱部件62B和压电振子5的基部52进行连结的梁部件63B。柱部件62B具有:第一部分623 ;与该第一部分623相接合的第二部分624。此处，第一部分623和第二部分624由互不相同的材料构成，尤其是由热膨胀系数互不相同的材料构成。由此，通过适当地选定第一部分623和第二部分624的构成材料的组合，从而能够对柱部件62B整体的Z轴方向上的热膨胀系数进行调节。因此，能够在不依赖于柱部件62B的形状和大小的条件下，较为简单地使柱部件62B和压电振子5的Z轴方向上的热膨胀系数相等。更具体而言，如图9所示，第一部分623在横截面上，具有在厚度方向上贯穿的贯穿孔。
此外，本实施方式中，第一部分623与梁部件63B —体地形成。而且，第二部分624以嵌合或填充的方式而被形成于该第一部分623的贯穿孔内。这种柱部件62B中，作为第一部分623的构成材料，优选使用与隔膜3或保持部件2的构成材料相同或近似的材料。由此，能够将梁部件63B的构成材料设为与隔膜3或保持部件2的构成材料相同的材料。而且，作为第二部分624的构成材料，在第一部分623的热膨胀系数大于压电振子5的热膨胀系数的情况下，优选使用小于压电振子5的热膨胀系数的材料，另一方面，在第一部分623的热膨胀系数小于压电振子5的热膨胀系数的情况下，优选使用大于压电振子5的热膨胀系数的材料。由此，能够减小柱部件62B与压电振子5在Z轴方向上的热膨胀系数差。以下，对柱部件62B的改变例进行说明。改变例图9 (b)所示的改变例所涉及的柱部件62B1具有:第一部分625 ;与该第一部分625相接合的第二部分626。在该柱部件62B1中，在横截面上，第一部分625在两个板面上形成有凹部。而且，第二部分626以嵌合或填充的方式而被形成在所述贯穿孔内。通过如上说明的第三实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)，也能够使检测精度较为优良。第四实施方式接下来，对本发明的第四实施方式进行说明。 图10为，本发明的第四实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)中的压敏单元的侧视图。以下，对于第四实施方式的物理量检测器(压力传感器)，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，则省略其说明。本发明的第四实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)除了压敏单元的支承体的结构有所不同以外，均与前文所述的第一实施方式相同。另外，在图10中，对与前文所述的第一实施方式相同的结构，标注相同的符号。如图10所示，本实施方式的物理量检测器(压力传感器)所具备的压敏单元12C具备对压电振子5的基部52和保持部件2进行连接的支承体6C。该支承体6C具有:与保持部件2的面222相接合的柱部件62C ;对柱部件62C和压电振子5的基部52进行连结的梁部件63C。柱部件62C具有:第一部分627 ;与该第一部分627相接合的第二部分628。此处，第一部分627为柱部件62C的上侧的部分，第二部分628为柱部件62C的下侧的部分。而且，第一部分627和第二部分628由互不相同的材料构成，尤其是由热膨胀系数互不相同的材料构成。由此，通过适当地选定第一部分627和第二部分628的构成材料的组合，从而能够对柱部件62C整体的Z轴方向上的热膨胀系数进行调节。因此，能够在不依赖于柱部件62C的形状和大小的条件下，较为简单地使柱部件62C和压电振子5在Z轴方向上的热膨胀系数相等。此外，本实施方式中，第一部分627与梁部件63C—体地形成。
这种柱部件62C中，作为第一部分627的构成材料，优选使用与隔膜3或保持部件2的构成材料相同或近似的材料。由此，能够将梁部件63C的构成材料设为与隔膜3或保持部件2的构成材料相同的材料。而且，作为第二部分628的构成材料，在第一部分627的热膨胀系数大于压电振子5的热膨胀系数的情况下，优选使用小于压电振子5的热膨胀系数的材料，另一方面，在第一部分627的热膨胀系数小于压电振子5的热膨胀系数的情况下，优选使用大于压电振子5的热膨胀系数的材料。由此，能够减小柱部件62C和压电振子5在Z轴方向上的热膨胀系数差。通过如上说明的第四实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)，也能够使检测精度较为优良。第五实施方式接下来，对本发明的第五实施方式进行说明。图11为，本发明的第五实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)中的压敏单元的侧视图。以下，对于第五实施方式的物理量检测器(压力传感器)，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，则省略其说明。本发明的第五实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)除了压敏单元的支承体的结构和数量、以及压电振子的数量和配置有所不同以外，均与前文所述的第一实施方式相同。另外，在图11中，对与前文所述的第一实施方式相同的结构，标注相同的符号。如图11所示，本实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)所具备的压敏单元12D具备对压电振子5的基部52和保持部件2进行连接的支承体6D。此外，压敏单元12D除压电振子5和支承体6D以外，还具备压电振子7和支承体8。另外，在图11中，压电振子5、7分别被设置为，主面与X轴方向正交。支承体6D具有:与保持部件2的突出部22相接合的柱部件62D ;对柱部件62D和压电振子5的基部52进行连结的梁部件63D。在本实施方式中，柱部件62D和梁部件63D被一体地形成。压电振子7以与压电振子5同样的方式而构成。具体而言，压电振子7具有:相互分离设置的一对基部71、72 ;被设置于所述一对基部71、72之间，并被激励振动的振动部73(振动梁)。—对基部71、72在Z轴方向上并排设置。基部71被接合(固定)于保持部件2的突出部22上。另一方面，基部72被接合(固定)于后文所述的支承体8的梁部件83上。这种基部71和基部72通过振动部73而相连结。振动部73呈长条状，并沿着Z轴方向延伸。支承体8具有:被接合(固定)在固定部件4的面41上的柱部件82 ;对柱部件82和压电振子7的基部72进行连结的梁部件83。在本实施方式中，柱部件62D和梁部件63D与前文所述的柱部件62D和梁部件63D相同，被一体地形成。
在以这种方式构成的压力传感器中，当位移部31向罩壳11的内侧位移时,压电振子5将受到Z轴方向上的压缩应力，而压电振子7将受到Z轴方向上的牵拉应力。另一方面，当位移部31向罩壳11的外侧位移时，压电振子5将受到Z轴方向上的牵拉应力，而压电振子7将受到Z轴方向上的压缩应力。因此，能够根据压电振子5的共振频率与压电振子7的共振频率的差分，对隔膜3所受到的压力进行检测。在这种差分中，消除了压电振子5、7的温度特性或时间变化特性等的特性。因此，能够进行高精度的压力测定。通过如上说明的第五实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)，也能够使检测精度较为优良。第六实施方式接下来，对本发明的第六实施方式进行说明。图12为表示本发明的第六实施方式所涉及的物理量检测器(流速传感器)的图。以下，对于第六实施方式的物理量检测器(压力传感器)，以与前文所述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，则省略其说明。本发明的第六实施方式所涉及的物理量检测器(压力传感器)为，使用前文所述的第一实施方式的物理量检测器(压力传感器)的压敏单元而构成的流速传感器。另外，在图12中，对于与前文所述的第一实施方式相同的结构，标注相同的符号。图12所示的流速传感器10 (物理量检测器(压力传感器))为对流速进行检测的传感器。如图12所示，该流速传感器10具备:罩壳18;两个压敏单元12;盖19、20。另外，图12中，虽然省略了图示，但流速传感器10与前文所述的第一实施方式的压力传感器I相同，具有电路单元、电缆等。罩壳18呈筒状。在该罩壳18内配置有两个压敏单元12。而且，一侧(图12中左侧)的压敏单元12的保持部件2和隔膜3，将罩壳18的一端(图12中左侧的一端)的开口封闭。另一方面，另一侧(图12中右侧)的压敏单元12的保持部件2和隔I吴3,将罩壳18的另一端(图12中右侧的一端)的开口封闭。此外，在罩壳18的一端部上安装有盖19，并且在罩壳18的另一端部上安装有盖20。在盖19上，于与罩壳18的轴线(中心轴)平行的方向上形成有能够使流体进行流通的流通口 191。由此，经由流通口 191而向盖19内流入的流体的压力被施加于一侧(图12中左侧)的压敏单元12的隔膜3上。在盖20上，于与罩壳18的轴线(中心轴)垂直的方向上形成有能够使流体进行流通的流通口 201。由此，经由流通口 201而向盖20内流入的流体的压力被施加于另一侧(图12中右侧)的压敏单元12的隔膜3上。这种流速传感器10被设置为，流通口 191朝向流体的流动方向V，并且流通口 201朝向与流体的流动方向V垂直的方向。在以这种方式设置的流速传感器10中，于一侧(图12中左侧)的压敏单元12的隔膜3上作用有大气压、动压和静压。另一方面，在另一侧(图12中右侧)的压敏单元12的隔膜3上作用有大气压和静压。
因此，能够通过作用于一侧(图12中左侧)的压敏单元12的隔膜3上的压力、与作用于另一侧(图12中右侧)的压敏单元12的隔膜3上的压力的差分，而求出动压。此外，能够根据伯努利定理而求出流速。通过如上说明的第六实施方式所涉及的流速传感器10，也能够使检测精度较为优良。虽然以上，根据图示的实施方式对本发明的物理量检测器进行了说明，但本发明并不限定于这些方式，各个部分的结构也可以置换为具有相同的功能的任意结构的部件。此外，也可以附加其他的任意的结构物或工序。此外，本发明也可以将前文所述的多个实施方式中的任意两个以上的结构(特征)组合在一起。符号说明L...压力传感器，2…保持部件，3…隔膜，4…固定部件，5…压电振子，6…支承体，6A…支承体，6B…支承体，6B1…支承体,60..支承体，6D…支承体，7…压电振子,8…支承体，10…流速传感器，11…罩壳，12…压敏单元，12A…压敏单元，12B…压敏单元，12C…压敏单兀，12D...压敏单兀，13...电路单兀，14...盖，15...电缆，16...封闭部件，18...罩壳，19…盖，20…盖，21...固定部，22…突出部，23...开口部，24...凸条，31…位移部，32…外周部，41...面,51…基部,52...基部,53...振动部,61…柱部件,61A…柱部件,61AL...柱部件,61A2…柱部件,62…柱部件,62A…柱部件,62B…柱部件,62BL...柱部件,620..柱部件,62D…柱部件，63…梁部件，63B…梁部件，63C…梁部件，63D…梁部件，71...基部，72…基部，73…振动部，82…柱部件，83…梁部件，100…夹具，101…基台，102…按压部件，141…流通口，191…流通口，201…流通口，221…面，222…面，611…主体部，612…缓冲部，613…主体部，614…缓冲部，615…主体部，61 6…缓冲部，621…主体部，622…缓冲部，623…第一部分，624…第二部分，625…第一部分，626…第二部分，627…第一部分，628…第二部分。
权利要求
1.一种物理量检测器，其特征在于， 具备: 受压部，其包括受到压力而发生位移的位移部、和被设置于所述位移部的外周的外周部; 保持部件，其包括在俯视观察时呈圆周状的固定部、以及在俯视观察时从所述固定部的内周朝向中心而突出的突出部， 所述突出部具有开口，并被配置于所述受压部的一个面侧，所述固定部对所述外周部进行保持，以便在从所述突出部侧进行俯视观察时，所述受压部的一个面侧上的、所述位移部的至少一部分存在于所述开口内， 所述物理量检测器还具备: 支承体，其被固定在所述突出部上； 压敏元件，其包括被固定在所述位移部的所述至少一部分上的第一基部、被固定在所述支承体上的第二基部、和被设置在所述第一基部与所述第二基部之间的压敏部，所述第一基部和所述第二基部以在所述位移部进行位移的方向上并排的方式而被立起设置。
2.如权利要求1 所述的物理量检测器，其特征在于， 所述突出部以环状的形式被设置在所述固定部上。
3.如权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于， 所述支承体具备: 柱部件，其被立起设置在所述突出部上； 梁部件，其对所述柱部件和所述第二基部进行连结。
4.如权利要求3所述的物理量检测器，其特征在于， 所述柱部件在从所述位移部进行位移的方向侧进行俯视观察时，被配置于所述位移部的区域内。
5.如权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于， 所述突出部上的固定有所述支承体的部分与所述第一基部的并排方向，正交于所述位移部进行位移的方向。
6.如权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于， 包括与所述位移部相接合的固定部件， 所述第一基部被固定在所述固定部件上。
7.如权利要求3所述的物理量检测器，其特征在于， 所述柱部件和所述梁部件由互不相同的材料构成。
8.如权利要求7所述的物理量检测器，其特征在于， 所述压敏元件由压电体材料构成， 所述柱部件由具有与所述压电体材料同等或近似的热膨胀系数的材料构成。
9.如权利要求7所述的物理量检测器，其特征在于， 所述梁部件由具有与所述保持部件和所述受压部中的至少某一个同等或近似的热膨胀系数的材料构成。
10.如权利要求9所述的物理量检测器，其特征在于， 所述保持部件由具有与所述受压部的构成材料同等或近似的热膨胀系数的材料构成。
11.如权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于，所述压敏元件在所述压敏部中具备一根以上的振动梁。
12.如权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于，所述压敏元件为厚度 切变振子。
全文摘要
本发明提供一种物理量检测器，其具有优良的检测精度。本发明的物理量检测器具备隔膜，其具有因来自外部的压力而发生位移的位移部；保持部件，其具有对隔膜的外周部进行保持的环状的固定部、和在隔膜的一个面侧，从固定部的内周朝向而中心突出的突出部；支承体，其被固定在突出部上；压敏元件，其具有被固定在位移部上的第一基部、被固定在支承体上的第二基部、和被设置在两基部间的压敏部。
文档编号G01L9/08GK103105261SQ20121044135
公开日2013年5月15日 申请日期2012年11月7日 优先权日2011年11月11日
发明者佐藤健太, 北原直树 申请人:精工爱普生株式会社
专业数控铣床产品供应商
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