专利名称：基于光纤光栅的光纤微振动传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种基于光纤光栅的光纤微振动传感器，主要用于测量被测物的微振动位移以及微振动速度，属于光电子测试类领域。
背景技术：
大型仪器在工作时会有微小振动，正常情况下这个振动的振幅不会超过一定的范围，而当仪器异常工作时，振动也会异常。很多情况下人们希望能够了解这一振动的具体大�。员慊竦靡斐Ｕ穸牧俳缰担扇〈胧┡懦瞧�、飞行或运转等设备发生重大事故。
有很多场合要求微振动的测量传感探头不能带电，能在电磁干扰的环境下工作，有一些要求必须是在线检测，也就是在实际需要的环境下对测量方法提出新的要求。而光纤振动传感器由于光纤本身具有抗电磁、抗辐照的特性能够在电磁干扰的环境下工作，这是电振动传感器无法比拟的。
专利号为94202968.2的中国专利“无源非金属光纤振动传感头”，采用如下的测振方法光纤振动传感头有三根光纤，一根是入射光纤，另外两根是出射光纤，三根光纤与自聚焦透镜相连。当传感头不振动时，光通过自聚焦透镜射到带有弹簧片的反射镜上，光返回再次通过自聚焦透镜等同的分布在两根出射光纤上，此时，两根出射光纤的输出功率是一样的；当传感头振动时，反射镜也会随着振动，这样反射光分布在两根出射光纤上的光功率就会有差异，由此可以测量待测部件的振动位移。这种光纤振动传感头看似简单，但存在明显的缺陷，并不是每个振动位置都能保证反射光通过出射光纤输出，而且灵敏度不高。
专利号为01112717.1的中国专利“光纤共振测微振动的方法”，利用悬浮光纤与待测部件的共振对其振动幅度进行放大，由放在光纤振动端前部的摄像头CCD(Charge Coupled Device)把光纤振动情况拍摄下来，然后CCD通过图像采集卡传输到计算机或终端进行处理以及显示。这种做法分辨率很高，而且具有实时在线检测功能，但缺点就是没法测定共振频率，只能在事先知道共振频率的前提下进行测量，而且测量时共振频率稍微有一点偏差，就会影响该传感器的精度。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足，提出一种基于光纤光栅的光纤微振动传感器，即改善原有振动传感器的性能，又使制作工艺变得相对简单。
为实现这样的目的，本发明利用传感探头光纤光栅与被测物的共振对被测物的振动幅度进行放大，通过测量光纤光栅反射光的光功率或波长，来精确测量被测物的振动幅度以及振动速度。光纤光栅共振时，光纤光栅的固有频率与光纤光栅振动长度的平方成反比、与光纤光栅半径成反比，这是根据共振频率制作匹配光纤光栅的主要理论依据。
本发明的光纤微振动传感器包括悬浮布拉格光纤光栅，绝缘圆筒，定标布拉格光纤光栅，连接器，连接头，匹配液，宽带光源，2×2耦合器，光谱分析仪或光功率计以及传输光纤等。2×2耦合器其中一端的一个接口用光纤接宽带光源，另一个接口用光纤接光谱分析仪，另外一端的两个接口用光纤分别接匹配液和传输光纤。
中空的绝缘圆筒的一端用螺纹连接连接器，传输光纤穿过连接器进入绝缘圆筒，并通过连接头固定在绝缘圆筒的中心位置，传输光纤在绝缘圆筒内的一端刻有用于共振用的悬浮布拉格光纤光栅，悬浮布拉格光纤光栅与连接头的相交处用胶水固接，附有外螺纹的连接头旋进附有内螺纹的连接器中，附有外螺纹的连接器旋进绝缘圆筒一端的内螺纹中。连接器进口处的一段传输光纤刻有用于标定振动平衡位置反射光中心波长的定标布拉格光纤光栅。
悬浮布拉格光纤光栅的长度太短会导致振动幅度比较�。跋齑衅鞯木龋欢ざ忍せ岬贾鹿庀斯庹け旧淼闹亓κ剐」庀斯庹ね淝螅跋旃舱衿德实牟舛ǎ猿ざ纫话闳�20-80mm。悬浮布拉格光纤光栅的直径过小会导致传输光的功率太小而没法检测；而直径过大会导致振动幅度过小，使得传感器的分辨率和灵敏度降低，所以直径一般取0.1-0.8mm。刻在传输光纤上的两段光纤光栅，一段是在传输光纤端部的悬浮布拉格光纤光栅，另一段是在传输光纤中部位置的定标布拉格光纤光栅，这两段光纤光栅的反射光中心波长相同。
若将本发明的2×2耦合器中连接光谱分析仪的接口改接光功率计，而连接器进口处的一段传输光纤不再刻有用于标定振动平衡位置反射光中心波长的定标布拉格光纤光栅，则可以构成本发明的另一种结构形式。
利用本发明这两种结构进行光纤微振动测量可以采用两种形式第一种结构基于布拉格光纤光栅反射光中心波长的相对漂移与布拉格光纤光栅的振动幅度成正比，把振动幅度转换为光波长的相对漂移量，接收终端用光谱分析仪来检测，同时检测反射光中心波长变化周期可测得待测部件的振动频率，进而可以获得到待测部件的振动速度。将实验调试好的传感器固定在带有固定振动频率的待测部件上，工作时，入射光经耦合器到悬浮布拉格光纤光栅上，由于悬浮布拉格光纤光栅的本身特性，一部分具有一定波长的光会被反射，而且悬浮布拉格光纤光栅振动时，反射光的中心波长会随着振幅的变化而变化，最后光谱分析仪对经耦合器的反射光进行检测、显示和输出。
相对第一种结构，第二种结构少了定标布拉格光纤光栅，通过检测周期内振动幅度最大状态的反射光功率P1和平衡状态的反射光功率P2，他们两者的比值P1/P2与振动幅度成一定的正比关系，同时检测反射光功率P1与P2的时间间隔正是待测部件振动的1/4周期，通过幅度与时间的比值即可得到振动速度。工作状态与第一种差不多，只不过终端用光功率计进行处理，也可以把光信号光通过光电转换变成电压，然后通过单片机或计算机进行电信号检测、处理、显示和输出。
本发明的悬浮布拉格光纤光栅既可以是一端固定、另一端自由的梁振动，也可以是两端都固定的梁振动。
本发明利用悬浮布拉格光纤光栅与被测物的共振对被测物的振动幅度进行放大，放大倍数在100倍左右，灵敏度可以达到0.01mm，不仅能在共振状态下进行检测，而且还能在共振状态附近进行检测。本发明解决了光纤光栅交叉敏感的问题，解决了在强电磁场、高电压环境下大型仪器微振动的测量问题，而且还可以测量工作环境的温度。本发明能够同时测量待测部件的振动位移和振动速度等信息，利用光功率计或光谱分析仪、单片机或电脑设备输出显示，从而可以进行实时在线监控；能够测量在一段振动频率范围内的振动幅度；制作简单、成本费用比较低、适合批量生产。
图1为本发明基于光纤光栅的光纤微振动传感器的结构示意图。
图1中1—悬浮布拉格光纤光栅，2—绝缘圆筒，3—定标布拉格光纤光栅，4—连接器，5—连接头，6—匹配液，7—宽带光源，8—光谱分析仪，9-2×2耦合器。
图2为本发明基于光纤光栅的光纤微振动传感器的另一种结构示意图。
图2中10—光功率计。
具体实施例方式
以下结合附图对本发明的技术方案作进一步描述。
本发明光纤微振动传感器的一种结构如图1，包括悬浮布拉格光纤光栅1，绝缘圆筒2，定标布拉格光纤光栅3，连接器4，连接头5，匹配液6，宽带光源7，2×2耦合器9，光谱分析仪8以及传输光纤等。本发明的连接方式2×2耦合器9的A1端口与宽带光源7相连，A2端口与光谱分析仪8相连，B1端口与匹配液6相连，B2端口与传输光纤相连。
中空的绝缘圆筒2的一端用螺纹连接连接器4，传输光纤穿过连接器4进入绝缘圆筒2，并通过连接头5固定在绝缘圆筒2的中心位置，传输光纤在绝缘圆筒2内的一端刻有用于共振用的悬浮布拉格光纤光栅1，悬浮布拉格光纤光栅1与连接头5的相交处用胶水固接，附有外螺纹的连接头5旋进附有内螺纹的连接器4中，附有外螺纹的连接器4旋进绝缘圆筒2一端的内螺纹中。连接器4进口处的一段传输光纤刻有用于标定振动平衡位置反射光中心波长的定标布拉格光纤光栅3。
本发明的另一种结构如图2所示，其中，与图1所示结构的区别在于，2×2耦合器9中的A2端口不是连接光谱分析仪8，而是与光功率计10相连，连接器4进口处的传输光纤也没有刻有定标布拉格光纤光栅3。
利用本发明进行光纤微振动测量可以采用两种形式本发明图1所示结构的调制方式属于光的波长型调制。这种结构的测量原理是基于悬浮布拉格光纤光栅1反射光中心波长的相对漂移与悬浮布拉格光纤光栅1的振动幅度成正比，把振动幅度转换为光波长的相对漂移量，接收终端用光谱分析仪8来检测，同时检测悬浮布拉格光纤光栅1反射光中心波长变化周期可测得待测部件的振动频率，进而可以获得待测部件的振动速度。将实验调试好的传感器固定在带有固定振动频率的待测部件上，工作时，入射光从宽带光源7经2×2耦合器9及定标布拉格光纤光栅3到悬浮布拉格光纤光栅1上，由于光纤光栅的本身特性，一部分具有一定波长的光会被反射，而且悬浮布拉格光纤光栅1发生振动时，反射光的中心波长会随着振幅的变化而变化，最后经定标布拉格光纤光栅3及2×2耦合器9的反射光被光谱分析仪8检测，通过测量悬浮布拉格光纤光栅1与定标布拉格光纤光栅3反射光中心波长的差进行标定、显示和输出。当工作环境温度变化时，悬浮布拉格光纤光栅1与定标布拉格光纤光栅3之间的反射光中心波长同时改变，两者改变量之差为零，所以温度变化对光谱分析仪8的测量没有影响，反而可以利用此性质来测量传感器的工作环境温度。
本发明图2所示结构的调制方式属于光的强度型调制。这种结构的测量原理是通过检测周期内振动幅度最大状态的反射光功率P1和平衡状态的反射光功率P2，他们两者的比值P1/P2与振动幅度成一定的正比关系，同时检测反射光功率P1与P2的时间间隔正是待测部件振动的1/4周期，通过幅度与时间的比值即可得到振动速度。工作状态与波长型调制方式差不多，只不过终端用光功率计10进行检测、显示和输出。当工作环境温度变化时，悬浮布拉格光纤光栅1的反射光中心波长虽然改变，但因为宽带光源7在一段波长上发射的光功率比较均匀，所以反射光中心波长的改变对反射光的光功率影响不大。
本发明中作为传感探头的的悬浮布拉格光纤光栅1既可以是一端固定、另一端自由的梁振动，也可以是两端都固定的梁振动。
权利要求
1.一种基于光纤光栅的光纤微振动传感器，其特征在于包括悬浮布拉格光纤光栅(1)、绝缘圆筒(2)、定标布拉格光纤光栅(3)、连接器(4)、连接头(5)、匹配液(6)、宽带光源(7)、2×2耦合器(9)及光谱分析仪(8)，2×2耦合器(9)一端的一个接口与宽带光源(7)相连，另一个接口与光谱分析仪(8)，2×2耦合器(9)另外一端的两个接口分别连接匹配液(6)和传输光纤，中空的绝缘圆筒(2)的一端螺纹连接连接器(4)，传输光纤穿过连接器(4)进入绝缘圆筒(2)，并通过连接头(5)固定在绝缘圆筒(2)的中心位置，传输光纤在绝缘圆筒(2)内的一端刻有用于共振用的悬浮布拉格光纤光栅(1)，悬浮布拉格光纤光栅(1)与连接头(5)的相交处固接，附有外螺纹的连接头(5)旋进附有内螺纹的连接器(4)中，附有外螺纹的连接器(4)旋进绝缘圆筒(2)一端的内螺纹中，连接器(4)进口处的一段传输光纤刻有用于标定振动平衡位置反射光中心波长的定标布拉格光纤光栅(3)。
2.权利要求1的基于光纤光栅的光纤微振动传感器，其特征在于所述2×2耦合器(9)中一个接口连接的光谱分析仪(8)以光功率计(10)替代，而连接器(4)进口处的传输光纤不再刻有定标布拉格光纤光栅(3)。
3.权利要求1或2的基于光纤光栅的光纤微振动传感器，其特征在于所述悬浮布拉格光纤光栅(1)的长度取20-80mm，直径取0.1-0.8mm。
4.权利要求1或2的基于光纤光栅的光纤微振动传感器，其特征在于所述悬浮布拉格光纤光栅(1)为一端固定、另一端自由的梁振动，或为两端都固定的梁振动。
5.权利要求2的基于光纤光栅的光纤微振动传感器，其特征在于所述悬浮布拉格光纤光栅(1)与定标布拉格光纤光栅(3)的反射光中心波长相同。
全文摘要
一种基于光纤光栅的光纤微振动传感器，利用悬浮布拉格光纤光栅与被测物的共振对被测物的振动幅度进行放大，可进行光的波长型调制或强度型调制测量，2×2耦合器一端的两个接口分别接宽带光源、光谱分析仪或光功率计，另外一端的两个接口分别接匹配液和传输光纤，传输光纤穿过连接器进入绝缘圆筒，并通过连接头固定在绝缘圆筒的中心位置，传输光纤在绝缘圆筒内的一端刻有用于共振用的悬浮布拉格光纤光栅；对于采用光谱分析仪进行波长型调制测量的结构中，在连接器进口处的一段传输光纤刻有用于标定振动平衡位置反射光中心波长的定标布拉格光纤光栅。本发明解决了光纤光栅交叉敏感的问题，能在强电磁场、高电压环境下进行大型仪器微振动的测量。
文档编号G01M7/00GK1587946SQ20041006681
公开日2005年3月2日 申请日期2004年9月29日 优先权日2004年9月29日
发明者黄云刚, 殷宗敏 申请人:上海交通大学
专业数控铣床产品供应商
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