专利名称：一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统及测试方法，属于针对微机电系统的光学及电子电路设计领域。
背景技术：
微机电系统(Micro-electro-mechanicalsystems,简称 MEMS)是利用微加工技术制造出来的三维装置，至少包括一个可运动结构满足某种机械作用。MEMS器件由于借鉴了集成电路的工艺因此应用于很多不同的领域。本世纪越来越多的传感器和执行器都倾向于米用MEMS技术,其中微机电系统微镜就是其中一个绝佳的例证。微机电系统驱动结构产生的力很�。阋郧得媸蛊浞⑸�。在众多MEMS微镜中电热式微镜是一款依靠热形变使镜子偏转的微机电系统。电热式微镜系统主要包括镜面、支撑臂和驱动臂三个部分，其中驱动臂就是依靠电热效应产生形变驱动镜子偏转。如图I所示一维MEMS微镜具有两·个完全相同的驱动臂2，同时加载相同的信号，微镜镜面I就会发生轴向的位移运动。一维电热式微镜性能测试是一个十分重要的过程，需要利用外部光路及电路系统衡量系统本身的属性。其中微镜轴向位移与所加电压之间的关系，微镜晃动位移与加载电压的关系、微镜的延时特性及工作极限频率是一维电热式微镜的几个基本特性。电热式微镜轴向运动控制技术，应用于微型光谱检测技术中可以用于鉴定样品的成分构成，可应用于食品安全检测、医药，防恐，环境监测，工业检测等领域，与光学元件配合还可以作为变焦的透镜使用，应用范围十分广泛。虽然在MEMS微镜领域已经有一些较为成熟的测试方案，但是尚未有针对一维轴向运动的电热式微镜的自动测试方案，尤其是低成本，实现简单，可靠性较高的测试方案。
实用新型内容本实用新型目的在于提供一种低成本，实现简单，可靠性较高的轴向运动电热式微镜的自动测试系统及测试方法。文中ro为光电转换器，PSD为位置敏感传感器，下述均采用英文缩写。本实用新型为实现上述目的，采用如下技术方案—种轴向运动电热式微镜的自动测试系统，其特征在于其包括测试光学系统和自动测试控制电路系统；所述测试光学系统包括激光光源、第一分光镜、第二分光镜、参考镜、轴向运动电热式微镜装置、PD和PSD ;激光光源经过第一分光镜后分为两束激光，一束打到电热式微镜装置上，一束打到参考镜上；第一分光镜出射后到微镜的距离和到参考镜的距离大致相等；两束光分别再反射回第一分光镜并汇聚到第二分光镜上，第二分光镜将干涉光分成两束，一束打在PSD上，一束打在ro上；所述自动测试控制电路系统包括中央处理器，输出数模转换模块，信号整形�？椋藕挪杉？楹桶踩；つ？椋恢醒氪砥魇浅绦蛟怂愕闹行模Ｗ荒？槭墙醒氪砥鞯氖中藕抛怀赡Ｄ獾缪剐藕牛Ｄ獾缪剐藕啪藕耪文？榈玫缴瓒ǖ那⒕档男藕偶釉氐轿⒕瞪希晃⒕抵嵯蛭灰频贾赂缮嫣跷频拿靼当浠瑀o及PSD光电转换后输出相应的电压值，将信息通过信号采集模块采集到中央处理器内部，中央处理器通过将采集到的数据发送到上位机软件上进行下一步处理；安全保护�？橹饕苊庀低成系缢布浼肮ぷ髦兴彩贝蟮缪苟晕⒕档某寤鳌Ｒ恢种嵯蛟硕缛仁轿⒕档淖远馐苑椒ǎㄏ率霾街�(I)在搭建好的测试光学系统中，调整微镜与参考镜的角度使参考镜反射的光和微镜反射的光在分光镜处汇聚后发生干涉，出现干涉条纹；(2)首先调整参考镜和微镜的角度，使在PSD处观察到的干涉条纹密度最小化；然后利用电热式微镜的电热特性，在电热式微镜的驱动臂上加载不同的峰峰值电压的三角波信号，范围根据待测微镜的特性而定，等间隔取N个峰峰值；电热式微镜在不同电压的驱动下轴向运动到不同的位置，从而通过步骤(I)所述光学系统形成干涉条纹，这些干涉条纹打·在ro上后，通过采集系统将信号采集到计算机中，记录光电转换后信号峰值的个数，存储微镜位移与加载电压的数据值，系统将记录的数据自动拟合出电压值与微镜轴向位移的关系曲线，同时标定出微镜工作的电压线性区，每个轴向位移对应的电压值；另外，PSD记录的干涉光斑中心在轴向运动过程中的变化量；微镜的晃动可通过计算每个二维干涉图的亮度中心的偏移来得到；根据PSD输出的坐标值的变化来标定此参数；存储并记录偏移量的数据，拟合出不同电压下干涉光斑的偏移量与驱动电压的关系；(3)给微镜的一个驱动臂上加载固定幅值的三角波，改变三角波的频率，观察PSD输出的信号，采集并存储PSD输出的信号波形和加载电压波形，记录驱动信号与PSD输出信号之间的相位差，通过计算转换为微镜在不同频率下的响应延时时间；与此同时记录ro采集信号的幅值，当ro信号幅值衰减到ο时，读取加载信号的频率，此频率即为微镜的极限工作频率。本实用新型方法具有以下优点I.首次使用干涉的方法在一维轴向运动的电热式微镜的性能测试上。2.方法简单容易重复实现，可用于其他种轴向位移的微镜测试上。3.成本低，容易实现。4.光路元件较少，实现简单，实用性强，一次标定参数后，可针对同一版微镜使用。5.外围控制电路简单，容易重复实现。6.通过电脑与电路系统的通信，将数据上传至电脑软件进行计算，可自动测出微镜的几种特性。
图I为本实用新型电热式微镜示意图；图2本实用新型光路结构和电路结构示意图；图3干涉条纹与输出波形关系图图4光程差变化示意图图5延时特性示意图图6光斑中心偏移计算原理图[0027]图中，I、微镜镜面；2、驱动臂；3、中央处理器；4、电源�？椋�5、数模转换器；6、信号处理�？椋�7、通信�？椋�8、信号采集�？椋�9、轴向运动电热式微镜；10、安全保护�？椋�11、激光光源；12、第一分光镜；13、透镜；14, PSD ;15、参考镜；16、第二分光镜;17、PD。
具体实施方式
如图2所示一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统，其包括测试光学系统和自动测试控制电路系统.所述测试光学系统包括激光光源11、第一分光镜12、第二分光镜16、参考镜15、轴向运动电热式微镜9、PD17和PSD14 ;激光光源11经过第一分光镜12后分为两束激光，一束打到轴向运动电热式微镜9上，一束打到参考镜15上；第一分光镜12出射后到轴向运动电热式微镜9的距离和到参考镜15的距离大致相等；两束光分别再反射回第一分光镜12并汇聚到第二分光镜16上，第二分光镜16将干涉光分成两束，一束打在PSD14上，一束打在PD17上； 所述自动测试控制电路系统包括中央处理器3，输出数模转换�？�5，信号整形�？�6，信号采集�？�8和安全保护�？�10 ;中央处理器3是程序运算的中心，数模转换�？�5是将中央处理器3的数字信号转换成模拟电压信号，模拟电压信号经过信号整形�？�6得到设定的驱动微镜的信号加载到轴向运动电热式微镜9上；微镜轴向位移导致干涉条纹的明暗变化，PD17及PSD14光电转换后输出相应的电压值，将信息通过信号采集�？�8采集到中央处理器3内部，中央处理器3通过将采集到的数据发送到上位机软件上进行下一步处理；安全保护�？�10主要避免系统上电瞬间及工作中瞬时大电压对微镜的冲击。一种轴向运动电热式微镜的自动测试方法，包括下述步骤(I)在搭建好的测试光学系统中，调整微镜与参考镜的角度使参考镜反射的光和微镜反射的光在分光镜处汇聚后发生干涉，出现干涉条纹；(2)电热式微镜轴向位移与所加电压关系的测试利用电热式微镜的电热特性，在电热式微镜的驱动臂上加载不同峰峰值的三角波电压信号，等间隔取N个值；电热式微镜在不同电压的驱动下轴向运动到不同的位置，激光光源产生准直光经过透镜13整形后，经过干涉系统干涉条纹打在PSD和ro上，PD输出的信号是用于标定轴向位移与加载电压幅值的关系，PSD是用于标定干涉光斑偏移量与所加电压的关系；电热式微镜加载不同的电压，ro记录下干涉条纹的个数通过软件算法将干涉条纹的个数计算并统计出来，另外在记录干涉条纹的过程中，PSD记录干涉光斑中心的偏移量，通过软件算法计算出不同驱动电压下的微镜晃动位移量。最终拟合出微镜轴向运动位移与所加电压的关系曲线和光斑偏移量与加载电压的关系曲线。(3)电热式微镜系统参数的标定方法标定的系统参数有电热式微镜的轴向位移与所加电压的关系、干涉光斑偏移量与加载电压的关系、延时特性和极限工作频率；激光进入干涉系统后，干涉条纹打在PSD中心位置，此时给微镜加载峰峰值步进的三角波信号，系统自动记录ro采集到的干涉信号的条纹个数，通过软件计算后拟合出相应曲线。去除光源透镜13，微镜单边驱动脚加载固定峰峰值的三角波，改变三角波的频率，采集并存储PSD输出的信号观察驱动信号与PSD输出信号的相位差，通过系统软件计算出相应频率下的微镜响应时间，当PSD输出的信号幅值衰减到O，读取该驱动信号的频率，此频率即为微镜的极限工作频率。如图I所示电热式MEMS微镜包括微镜镜面I和驱动臂2，驱动臂2采用双金属材料制作，由于电热效应，不同材料的膨胀系数不同，在微镜的驱动臂2上就会发生形变，产生应力，以此来驱动微镜镜面I的移动。一维轴向运动的微镜上有两个完全相同的驱动臂2，当两个驱动臂2加载电压时，驱动臂2受热产生形变带动微镜镜面I发生轴向位移，当加载连续的信号时，微镜镜面I发生轴向的连续运动。当微镜的两个驱动臂2连接到信号整形�？槭涑鼋涌谏鲜保缏肥涑龅缪狗段г�0-4V之间，峰峰值步进40mV的三角波驱动电压，读取不同峰峰值电压下PSD输出的信号峰值个数n，根据干涉条件的公式，当δ =ηλ (η为整数)，两束光LI和L2会发生干涉，δ为微镜的轴向位移，λ为激光的波长，如图4所示。得出η的值即可计算出微镜轴向位移量。η的值与加载电压V之间的关系可建立，δ与V之间的关系即可建立。图3表示的为干涉光斑变化过程中对应的信号变化，干涉光斑中心的明暗变化次数即为检测到的波形的峰值个数η，根据η的数值即可计算出实际微镜轴向位移的大小。 干涉光斑的偏移量计算，首先记录干涉光斑初始中心位置坐标(Vx0，Vy0)，当加载不同幅值的驱动电压后，干涉光斑的中心发生偏移，PSD记录坐标为(Vxl，Vyl)。PSD的感光面积为边长为amm的正方形，电压输出范围为-Vo +Vo。每毫米的电压变化量Λ V=2Vo/a,记录存储下PSD输出信号的直流电压值Vx和Vy，则有X方向和Y方向的实际位移变化量Aa x=Vx/ AV, Δ a y=Vy/AV,即可得到干涉光斑中心实际的偏移量
Al =水Aaxl - AaxO)2 -I- (Aayl - Ac0O)2的值，根据微镜镜面到PSD接收面直接的距离L可以计
算得出微镜在Y方向偏移的角度Θ = arctan(Al/L)，如图6所示。由于在不同电压驱动下干涉光斑中心的偏移量不等，由此即可建立起干涉光斑中心偏移量(或微镜偏转角度)与所加三角波信号电压之间的关系曲线。由于微镜米用电热式驱动，驱动结构的热量上升时间与所加信号上升时间存在延迟，即微镜的延时特性。延时特性与所加信号的频率有关，信号频率越高，延时特性越明显。当信号频率达到一定值，微镜驱动臂散热时间慢于加热时间，驱动臂来不及响应，无法产生相应的形变，微镜不在做相应运动，此频率即是微镜的工作极限频率。其响应曲线如图5所示图中to为所加驱动信号的响应时间，tl为微镜驱动臂的响应时间，中间时间差即为延时时间。给微镜单边加载三角波信号或正弦信号，系统自动记录加载信号与PSD输出信号之间的相位差，将其转换到时间单位上即为延时时间。当输出的波形信号幅值逐渐衰减到O时，记录此时的频率值即为工作的极限频率。
权利要求1. 一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统,其特征在于其包括测试光学系统和自动测试控制电路系统； 所述测试光学系统包括激光光源、第一分光镜、第二分光镜、参考镜、轴向运动电热式微镜装置、光电转换器ro和位置敏感传感器PSD ;激光光源经过第一分光镜后分为两束激光，一束打到电热式微镜装置上，一束打到参考镜上；第一分光镜出射后到微镜的距离和到参考镜的距离大致相等；两束光分别再反射回第一分光镜并汇聚到第二分光镜上，第二分光镜将干涉光分成两束，一束打在位置敏感传感器PSD上，一束打在光电转换器ro上； 所述自动测试控制电路系统包括中央处理器，输出数模转换�？椋藕耪文？椋藕挪杉？楹桶踩；つ？椋恢醒氪砥魇浅绦蛟怂愕闹行模Ｗ荒？槭墙醒氪砥鞯氖中藕抛怀赡Ｄ獾缪剐藕牛Ｄ獾缪剐藕啪藕耪文？榈玫缴瓒ǖ那⒕档男藕偶釉氐轿⒕瞪希晃⒕抵嵯蛭灰频贾赂缮嫣跷频拿靼当浠獾缱黄鱮o及位置敏感传感器PSD光电转换后输出相应的电压值，将信息通过信号采集模块采集到中央处理器内部；安全保护�？橹饕苊庀低成系缢布浼肮ぷ髦兴彩贝蟮缪苟晕⒕档某寤�。
专利摘要本实用新型公布了一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统，包括测试光学系统和自动测试控制电路系统。一种轴向运动电热式微镜的自动测试方法，包括电热式微镜轴向位移与所加电压关系的测试和电热式微镜系统参数的标定方法。本实用新型首次将干涉方法使用在一维轴向运动电热式微镜的性能测试上；方法简单容易重复实现，可用于其他种轴向位移的微镜测试上；成本低，容易实现；光路元件较少，实现简单，实用性强，一次标定参数后，可针对同一版微镜使用；外围控制电路简单，容易重复实现；通过电脑与电路系统的通信，将数据上传至电脑软件进行计算，可自动输出采集计算后的数据及相关特征曲线。
文档编号G01M11/00GK202693261SQ20122030491
公开日2013年1月23日 申请日期2012年6月27日 优先权日2012年6月27日
发明者兰树明, 谢会开, 陈巧, 傅霖来, 周亮, 丁金玲, 王东琳 申请人:无锡微奥科技有限公司
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