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一种非接触式直径测量器的制作方法

时间:2025-05-10    作者: 管理员

专利名称:一种非接触式直径测量器的制作方法
技术领域:
本实用新型属于一种测量仪器,具体的说是一种用于测量多晶硅还原炉内硅棒直径的非接触式直径测量器。
背景技术:
目前,多晶硅生产企业在月底进行成本核算时要统计本月多晶硅的产成品及在产品数量,多晶硅还原炉内的温度高达1100度,根本无法直接测量炉内多晶硅棒的直径,常规的做法是由经验丰富的技术人员通过还原炉观测窗目测硅棒的直径,从而来估算还原炉内在产的多晶硅棒,然而目测的数据往往与实际数据存在着差距,从而使得成本的核算存在较大误差,影响企业成本的准确核算。

实用新型内容本实用新型的目的是为解决上述技术问题的不足,提供一种非接触式直径测量器,结构简单,使得测量得出的硅棒直径数据误差较小。本实用新型为解决上述技术问题的不足,所采用的技术方案是一种非接触式直径测量器,由水平刻度尺和垂直透明刻度尺构成,水平刻度尺的一端与垂直透明刻度尺的中部连接,水平刻度尺和垂直透明刻度尺相互垂直,在水平刻度尺的上端面设有移动导槽, 移动导槽内设有准星。所述的准星通过锁紧机构设置在移动导槽内。本实用新型的有益效果是先调整并固定准星的位置,将测量尺紧贴还原炉观察窗口,分别读取硅棒边缘和准星的连线与垂直刻度尺的交点刻度示数,计算出准星到硅棒边缘的夹角大小(视角),利用三角函数计算出炉内硅棒的直径。该实用新型为非接触式测量,其测量结果误差大大降低,从而使得出的数据更准确。

图1是本实用新型的结构示意图。图2是本实用新型的计算原理图。图中标记1、垂直透明刻度尺,2、水平刻度尺,3、准星,4、移动导槽。
具体实施方式
如图1所示,一种非接触式直径测量器,由水平刻度尺2和垂直透明刻度尺1构成,水平刻度尺2的一端与垂直透明刻度尺1的中部连接,水平刻度尺2和垂直透明刻度尺 1相互垂直,所述的水平刻度尺2水平放置,垂直透明刻度尺1上的刻度线垂直与水平刻度尺2上平面,在水平刻度尺2的上端面设有移动导槽4,移动导槽4内设有准星3,因此准星3可在移动导槽4内来回移动,准星通过锁紧机构设置在移动导槽内,当调整准星的位置后,可通过锁紧机构将准星固定在水平刻度尺上,[0011] 如图2所示,使用时先根据待测物体的直径大小调整准星3与垂直透明刻度尺1 的垂直距离以减小测量误差(待测直径较大时可增大准星与垂直刻度尺的距离)。将垂直透明刻度尺1放到还原炉观察窗口上,分别读取待硅棒边缘和准星的连线与垂直刻度尺的交点的刻度示数,可计算出准星到硅棒边缘的夹角大小(视角),利用三角函数计算出硅棒的直径,测量原理如下可在根据刻度尺上BD和CS的数值换算出θ夹角值,然后根据公式 直径=2*0A=2*0S*sin(e/^)计算出硅棒直径,该实用新型为非接触式测量,其测量结果大大降低了误差值,从而得出的数据更加准确。
权利要求1.一种非接触式直径测量器,其特征在于由水平刻度尺(2)和垂直透明刻度尺(1)构成,水平刻度尺(2)的一端与垂直透明刻度尺(1)的中部连接,水平刻度尺(2)和垂直透明刻度尺(1)相互垂直,在水平刻度尺(2)的上端面设有移动导槽(4),移动导槽(4)内设有准星(3)。
2.根据权利要求1所述的一种非接触式直径测量器,其特征在于所述的准星(3)通过锁紧机构设置在移动导槽(4)内。
专利摘要一种非接触式直径测量器,属于一种测量仪器,由水平刻度尺和垂直透明刻度尺构成,水平刻度尺的一端与垂直透明刻度尺的中部连接,水平刻度尺和垂直透明刻度尺相互垂直,在水平刻度尺的上端面设有移动导槽,移动导槽内设有准星。该实用新型为非接触式测量,其测量结果误差大大降低,从而使得出的数据更准确。
文档编号G01B5/08GK202304700SQ201120423208
公开日2012年7月4日 申请日期2011年10月31日 优先权日2011年10月31日
发明者王海洋, 白宏宇, 白宏超 申请人:偃师中岳耐火材料有限公司

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