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专利名称：用于静电模拟测试的电路的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及静电模拟测试设备，特别设计一种用于静电模拟测试的电路。
背景技术：
现有的人体静电(ESD-HBM)测试设备均为对一颗电容充电后，仅使用一个高速继电器(一般是水银继电器)切换到放电端对DUT (待测器件)放电，也就是只使用一个水银继电器作为开关在充电端与放电端做开关切换动作。目前使用的水银继电器均为两个金属片在电磁场中实现偏转，通常会使用惰性气体防护，但是在高压条件下(ESD通常都是几千伏特)，惰性气体会被电离，导致充电端对被测器件发生二次放电，而此二次放电的能量对于越来越先进的集成电路(例如65nm制程的 IC)造成二次伤害，导致测试结果的不准确。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种用于静电模拟测试的电路，解决现有技术中的上述缺陷。本实用新型的技术方案包括一种用于静电模拟测试的电路，包括串联的放电开关和放电电容，以及分别与该放电开关和放电电容并联的充电电路和放电电路，其中在该充电电路中，设置与该放电开关串联的第三开关。该放电开关通常是水银继电器。本实用新型的积极进步效果在于避免充电电路对待测器件的二次放电，使现有静电模拟测试机之测试结果更精确。

图1是现有的用于静电模拟测试的电路示意图。图2是用作放电开关的水银继电器的示意图。图3是本实用新型一实施例的电路示意图。
具体实施方式
以下结合附图所示实施例对本实用新型作详细说明。如图1所示，现有的电路包括充电电路100和放电电路200，该两个电路分别并联在串联的放电电容10以及用作放电开关Sl的水银继电器20的两端。该充电电路100还包括高压电源110和与该放电开关串联的充电电阻120。该放电电路200还包括串联的放电电阻210和待测器件(DUT) 300，在该待测器件300的两端并联设置保护开关S2。如图2所示，该水银继电器20包括充电端22和放电端对，充电端22连接到该充电电路100，放电端M连接到该放电电路200。放电开关Sl (水银继电器20)切换到充电端22，对放电电容做充电动作后，然后 Sl再次切换到放电端M，放电电容对待测器件300做放电，从而完成一次完整的静电放电的动作。水银继电器20在由充电端到放电端切换过程中，其玻璃管中的惰性气体会被充电电路的高压电离，放生二次放电。如图3所示，根据本实用新型一实施例，用于静电模拟测试的电路。在该充电电路100中，串联第三开关S3。在放电开关Sl与充电电路100断开前先将S3断开，从而达到避免充电电路的电压电离Sl中惰性气体，解决二次放电问题。该第三开关S3可以是现有的任何合适的开关。本实用新型可以解决现有静电模拟测试机对于先进制程的集成电路测试时的二次放电问题，使现有静电模拟测试机之测试结果更精确。尽管本实用新型依照其优选实施方式描述，但是存在落入本实用新型范围内的改变、置换和各种替代等同物。这里提供的示例仅是说明性的，而不是对本实用新型的限制。为了简明，本说明书省略了对公知技术的描述。
权利要求1.一种用于静电模拟测试的电路，包括串联的放电开关和放电电容，以及分别与该放电开关和放电电容并联的充电电路和放电电路，其特征在于，在该充电电路中，设置与该放电开关串联的第三开关。
2.根据权利要求1所述的用于静电模拟测试的电路，其特征在于，该放电开关为水银继电器。
专利摘要本实用新型公开一种用于静电模拟测试的电路，包括串联的放电开关和放电电容，以及分别与该放电开关和放电电容并联的充电电路和放电电路，其中在该充电电路中，设置与该放电开关串联的第三开关。本实用新型可避免充电电路对待测器件的二次放电，使现有静电模拟测试机之测试结果更精确。
文档编号G01R29/12GK202126465SQ201120238720
公开日2012年1月25日 申请日期2011年7月7日 优先权日2011年7月7日
发明者张育嘉, 曾元宏, 王春亮 申请人:宜硕科技(上海)有限公司