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    (2)²ÉÓÃÆÁ±Î´ëÊ©£¬½«Ì½¿¨3Óë±»²âԲƬIÕÖÔÚÆÁ±ÎºÐ7ÄÚ£¬¼õСµç´Å¸ÉÈÅ¡¢»·¾³ÔëÉù¶Ô¼ì²âÐźŵÄÓ°Ï죬ͬʱʹ¼ÄÉú²ÎÊýÖµ±È½ÏÎȶ¨£¬±ãÓÚºóÆÚ¼ÄÉú²ÎÊý²¹³¥£»
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    2.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÓÃÓÚMEMSÆ÷¼þµÄÔÚÆ¬²âÊÔϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊö×Ô¶¯Ì½Õę̈(2)Ï·½Í¨¹ý¸ôÕñµØ»ù(8)Ö§³Å¡£
    3.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÓÃÓÚMEMSÆ÷¼þµÄÔÚÆ¬²âÊÔϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊö̽¿¨(3)ºÍ±»²âԲƬ(I)ÖÜΧÉèÓÐÆÁ±ÎºÐ(7)¡£
    4.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1»ò2»ò3ËùÊöµÄÓÃÓÚMEMSÆ÷¼þµÄÔÚÆ¬²âÊÔϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊö̽¿¨(3)ÊÇÓÉPCB°å(3-1)ºÍÓëPCB°å(3-1)Á¬½ÓµÄ̽Õë(3-1)×é³É£¬ËùÊö̽Õë(3_1)Óë±»²âԲƬ(I)Á¬½Ó¡£
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