רÀûÃû³Æ£ºÒ»ÖÖ³ÉÏñ¹âÆ×ÒǶ¨±ê×°ÖõÄÖÆ×÷·½·¨
¼¼ÊõÁìÓò£º
±¾·¢Ã÷Éæ¼°Ò»ÖÖ³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇ£¬ÌرðÉæ¼°Ò»ÖÖ³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇÉϵ͍±ê×°Öã¬ËüÓÃÓÚ³É Ïñ¹âÆ×ÒǵĹâÆ×¼°·øÉ䶨±ê¡£
±³¾°¼¼Êõ£º
³ÉÏñ¹âÆ×ÒǿɻñȡĿ±ê´óÁ¿Õ²¨¶ÎÁ¬Ðø¹âÆ×ͼÏñ£¬ÎªÁËʹ»ñµÃµÄÐÅÏ¢¾ßÓÐÕæÊµ¿É ¿¿ÐÔ£¬ÐèÒª×÷¶¨±êУ׼¡£µ«ÊÇ£¬³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇËäÈ»ÔÚʵÑéÊÒ½øÐйý¶¨±êУ׼£¬Ò»µ©½øÈ빤×÷»· ¾³£¬ÓÉÓÚËù´¦µÄ»·¾³×´¿ö·¢Éú½Ï´óµÄ±ä»¯ÒÔ¼°Ëæ×Åʱ¼äµÄÍÆÒÆ¶øÊܵ½²»Í¬³Ì¶ÈµÄÎÛȾºÍÀÏ »¯£¬Ì½²âÆ÷µÄÏìÓ¦ÂÊ»ò¶à»òÉÙ¶¼»á·¢ÉúһЩ±ä»¯£¬´Ó¶øÊ¹»ñÈ¡µÄÐÅÏ¢ÕæÊµÐÔÊܵ½Ó°Ïì£¬ÌØ±ð ÊǶÔÓÚÐÇÔØ³ÉÏñ¹âÆ×ÒǶøÑÔ£¬Ò»µ©·¢Éä¾Í²»¿ÉÄÜÖØÐÂÔÚʵÑéÊÒ½øÐж¨±ê¡£ÎªÁ˽â¾öÕâ¸öÎÊ Ì⣬һ°ã²ÉÈ¡ÔÚÒÇÆ÷ÄÚ¼Ó×°¶¨±ê×°Öõķ½·¨¶ÔÒÇÆ÷½øÐÐʵʱ¶¨±êУ׼¡£ÊµÊ±¶¨±ê×°ÖÃͨ³£Ê¹Óö¨±êµÆ»òÌ«Ñô¹â×÷Ϊ¹âÔ´¡£¶¨±êµÆ×÷¹âÔ´Ëæ×Å»·¾³±ä»¯ºÍ ʱ¼äµÄÍÆÒÆ£¬ÆäÊä³ö²»¿É±ÜÃâµÄÒª·¢Éú¸Ä±ä£»Ê¹ÓÃÌ«Ñô¹â×÷Ϊ¹âÔ´£¬Ò²´æÔÚÌ«Ñô¸ß¶È½Ç±ä»¯ µ¼ÖµĶ¨±êÎó²îÎÊÌ⣬µ«Ö»Òª¼à²â¶¨±êʱµÄÌ«Ñô¸ß¶È½Ç¼°ÒÇÆ÷λÖÃ×Ë̬£¬¾Í¿ÉÒÔʹÓÃÌ«Ñô ¹â×÷Ϊ¶¨±ê¹âÔ´¡£³ÉÏñ¹âÆ×Òǹ¤×÷ʱ£¬Èç¹û³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇÄܹ»Ñ¡Ôñ³ÉÏñ½Ç¶È£¬Ôò¿ÉÌá¸ßÒÇÆ÷̽²âµÄÄÜ Á¦¡£Òò´Ë£¬¾ß±¸¹â·תÕ۵͍±ê×°Ö㬿ÉʵÏÖ³ÉÏñÆ×ÒǵĶà½Ç¶È¹Û²â£¬ÒÔ×î´óÏ޶ȵķ¢»Ó³É Ïñ¹âÆ×ÒǵÄ̽²âÄÜÁ¦¡£³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇÔÚ»Ò³¾Ðü¸¡¼°Î¶ȼ«¶Ë±ä»¯µÄ¶ñÁÓ»·¾³Öй¤×÷ʱ£¬Ðü¸¡ÓÚ¿ÕÖдóÁ¿µÄ »Ò³¾¿ÅÁ££¬»á¶ÔÒÇÆ÷²úÉúÎÛȾ¡£Î²î½Ï´óʱ£¬»á²úÉúÈÈÓ¦Á¦£¬ÆÆ»µÒÇÆ÷ÈÈÆ½ºâ£¬Ó°ÏìÒÇÆ÷µÄÐÔ ÄÜÎȶ¨¡£ËùÒÔ¶¨±ê×°Öû¹Ðè¾ßÓзÀ³¾Óë¸ôÈȹ¦ÄÜ£¬ÒÔ·ÀÖ¹³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇÊܵ½»Ò³¾ÎÛȾ£¬²¢¼õС ÎÂ±ä´øÀ´µÄÓ°Ïì¡£ÁíÍ⣬Ϊʹ³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇ×ÔÉí½á¹¹ÇáСÐÍ»¯£¬ÒªÇ󶨱ê×°Öýṹ½ô´ÕÇÒ¹¦ÄÜØ£ºÏ¡£
·¢Ã÷ÄÚÈÝ
±¾·¢Ã÷Ä¿µÄÊÇÉè¼ÆÒ»Öֽṹ½ô´Õ¡¢ÇáСµÄ¶¨±ê×°Öá£ÀûÓÃÂþ·´É䶨±ê°åÒýÈëÌ«Ñô ¹â×÷Ϊ¹âÔ´½«¹âÆ×¼°·øÉ䶨±ê×°Öú϶þΪһ£¬Âú×ã³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇʵʱ¹âÆ×¼°·øÉ䶨±êÒªÇó£¬ ÇÒ¿ÉʵÏÖ¶à½Ç¶È¹Û²â£¬Í¬Ê±¾ßÓзÀ³¾Óë¸ôÈȹ¦ÄÜ¡£±¾·¢Ã÷ÌØ±ðÊÊÓÃÓÚÔÂÃæ»·¾³ÖÐÔÂÇòѲÊÓ Æ÷ÔØ³ÉÏñ¹âÆ×Òǵ͍±ê¡¢¶à½Ç¶È³ÉÏñ¡¢·À³¾Óë¸ôÈÈÐèÇó¡£×ÛÉÏËùÊö£¬ÈçºÎÔÚÒ»ÖÖ×°ÖÃÉϽâ¾ö¹âÆ×¼°·øÉ䶨±ê¡¢¶à½Ç¶È¹Û²â¡¢·À³¾Óë¸ôÈȵÄÐè Çó£¬×öµ½×°ÖõÄÇáС½ô´Õ£¬ÊDZ¾·¢Ã÷ËùÒª½â¾öµÄ¼¼ÊõÎÊÌâ¡£¾ßÌå·¢Ã÷È總ͼ1 3Ëùʾ1¡¢³ÉÏñ¹âÆ×ÒǶ¨±ê×°ÖÃÓÉÂþ·´É䶨±ê°å2¡¢Âþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯»ú¹¹3¡¢·´Éä¾µ4¡¢·´ Éä¾µÇý¶¯»ú¹¹5¼°¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù1×é³É¡£2¡¢Âþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯»ú¹¹3´ø¶¯Âþ·´É䶨±ê°å2ת¶¯¡£Âþ·´É䶨±ê°å2´¦ÓÚˮƽ ·½Ïòʱ£¬³ÉÏñ¹âÆ×ÒǽøÈ붨±ê״̬¡£
3¡¢Âþ·´É䶨±ê°å2´¦ÓÚÊúÖ±ÏòÏÂʱ£¬³ÉÏñ¹âÆ×ÒǽøÈë³ÉÏñ״̬£¬·´Éä¾µÇý¶¯»ú¹¹5 ´ø¶¯·´Éä¾µ4ת¶¯£¬ÊµÏÖ²»Í¬½Ç¶È¹Û²â¡£4¡¢Âþ·´É䶨±ê°å2Óë·´Éä¾µ4¼°¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù1±ÕºÏʱ£¬Îª·À³¾Óë¸ôÈÈ״̬¡£±¾·¢Ã÷µÄÌØµãÔÚÓÚ1)±¾·¢Ã÷½«¹âÆ×¼°·øÉ䶨±ê×°Öú϶þΪһ£¬Âú×ãÁËÒÇÆ÷¹âÆ×¼°·øÉ䶨±êÇáСÐÍ»¯ µÄÒªÇó£»2)±¾·¢Ã÷ÀûÓÃÂþ·´ÉäÇý¶¯»ú¹¹´ø¶¯Âþ·´É䶨±ê°åת¶¯ÒÔʵÏÖ¶¨±ê¡¢³ÉÏñ¡¢·À³¾Óë ¸ôÈȶàÏÄÜ£¬½á¹¹½ô´Õ¡¢Éè¼ÆÇÉÃ3)±¾·¢Ã÷ÀûÓ÷´Éä¾µÇý¶¯»ú¹¹´ø¶¯·´É侵ת¶¯£¬ÊµÏÖ¶à½Ç¶È¹Û²â¡£
ͼ1ÊDZ¾·¢Ã÷¶¨±ê×°ÖýṹʾÒâͼ£»Í¼ÖÐ1¡ª¡ª¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù£»2¡ª¡ªÂþ·´É䶨±ê°å£»3¡ª¡ªÂþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯»ú¹¹£»4¡ª¡ª·´Éä¾µ£»5¡ª¡ª·´Éä¾µÇý¶¯»ú¹¹£»6¡ª¡ª³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇ¡£Í¼2ÊDZ¾·¢Ã÷×°ÖÃÈýÖÖ¹¦ÄÜ״̬ͼ£¬a.¶¨±ê״̬£»b.³ÉÏñ״̬£»C.·À³¾¡¢¸ôÈÈ×´ ̬¡£Í¼3ÊDZ¾·¢Ã÷×°ÖóÉÏñʱ²»Í¬¹Û²â½Ç¶È״̬ͼ¡£
¾ßÌåʵʩÀý·½Ê½ÏÂÃæ¸ù¾Ýͼ1ÖÁͼ3¸ø³ö±¾·¢Ã÷Ò»¸ö½ÏºÃʵʩÀý£¬ÓÃÒÔ˵Ã÷±¾·¢Ã÷µÄ½á¹¹ÌØÕ÷ºÍ ʵʩ·½·¨£¬¶ø·ÇÓÃÀ´ÏÞ¶¨±¾·¢Ã÷µÄ·¶Î§¡£±¾ÊµÊ©ÀýÖж¨±ê×°ÖðüÀ¨Èçϼ¸¸ö²¿·ÖÂþ·´É䶨±ê°å(2)¡¢Âþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯ »ú¹¹(3)¡¢·´Éä¾µ(4)¡¢·´Éä¾µÇý¶¯»ú¹¹(5)¡¢¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù(1)¡£1)Âþ·´É䶨±ê°å(2)ÓɲôÔÓÏ¡ÍÁÔªËØµÄ²ÄÁÏ¾ÌØ±ðÉè¼ÆÓëÖÆ×÷£¬¾ßÓÐÎȶ¨µÄ»¯ ѧ¼°ÎïÀíÌØÐÔ£¬¸ÃÂþ·´É䶨±ê°å¿ÉÓÃÓÚ²úÉúÌØ±ðÎüÊշ壬Ìṩ¾ù„òÃæ¹âÔ´£¬¾ßÌåÓɰ²¹âËùÖÆ ×÷¡£±¾ÊµÊ©ÀýÖÐÂþ·´É䶨±ê°å¿ÉÓÉÂþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯»ú¹¹(3)¿ØÖÆ×ª¶¯£¬µ±×ªÖÁ²»Í¬½Ç¶È ʱ·Ö±ðʵÏÖ¶¨±ê¡¢³ÉÏñ¡¢·À³¾Óë¸ôÈȹ¦ÄÜ¡£Âþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯»ú¹¹(3)ÓÉTRUM-30Ðͳ¬Éùµç »ú¡¢61804ÐÍÖá³Ð¼°ÏàӦתÖá×é³É¡£2)·´Éä¾µ(4)·´Éä¾µ(4)Ϊ±íÃæ¶ÆÒøÄ¤µÄʯӢ²£Á§£¬×÷ÓÃÊǽ«À´×ÔÂþ·´É䶨±ê°å »òµØÎï·´ÉäµÄ¹â·´Éä½øÈë¹âѧÖ÷ϵͳ¶¨±ê»ò³ÉÏñ¡£±¾ÊµÊ©ÀýÖз´Éä¾µ(4)¿ÉÓÉ·´Éä¾µÇý¶¯ »ú¹¹(5)´ø¶¯×ª¶¯²»Í¬½Ç¶È£¬Ðγɶà½Ç¶È¹Û²â¡£·´Éä¾µÇý¶¯»ú¹¹(5)ÓÉTRUM-30Ðͳ¬Éùµç »ú¡¢61804ÐÍÖá³Ð¼°ÏàӦתÖá×é³É¡£3)¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù(1)¼°³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇ(6)¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù(1)Æðµ½¹ý¶ÉÓëÖ§³Å×÷Ó㬠½«¶¨±ê×°Öð²×°ÓÚ³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇ(6)ÉÏ¡£±¾ÊµÊ©Àý³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇ(6)Éè¼ÆÊÙÃüΪ3Ä꣬Æä¹âÆ× ·ÖÆ×ÂÊÔÚ400-950nmСÓÚ10nm£¬900-2500nmСÓÚ15nm£¬ÒªÇóʵʱ¹âÆ×¶¨±ê¾«¶ÈÓÅÓÚ5nm£¬·øÉ䶨±ê¾«¶ÈÓÅÓÚ10%¡£ ÈçÉÏËùÊö£¬³ÉÏñ¹âÆ×ÒǶ¨±ê×°Öÿɽ«Ì«Ñô¹âת±äΪ¾ù„òµÄº¬ÓÐÌØÕ÷ÎüÊÕ·åµÄÃæ¹â Ô´£¬½øÈëµ½´ý¶¨±ê³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇÆ÷ÖУ¬ÊµÏÖ¹âÆ×ÒÇÆ÷¹âÆ×¼°·øÉ䶨±ê¡£Í¬Ê±£¬ÔÚ¶¨±ê×°ÖÃÖÐÉè ¼ÆÁ½Ì×ת¶¯»ú¹¹£¬¼È¿ÉʵÏÖ¶¨±ê¡¢³ÉÏñ¡¢·À³¾Óë¸ôÈȹ¦ÄÜת»»£¬ÓÖ¿ÉÔÚ³ÉÏñ״̬ÏÂʵÏÖ¶à½Ç ¶È¹Û²â¡£
ȨÀûÒªÇó
1. Ò»ÖÖ³ÉÏñ¹âÆ×ÒǶ¨±ê×°Öã¬ËüÓÉÂþ·´É䶨±ê°å(2)¡¢Âþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯»ú¹¹(3)¡¢·´ Éä¾µ(4)¡¢·´Éä¾µÇý¶¯»ú¹¹(5)¼°¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù(1)×é³É£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊöµÄ¶¨±ê×°Öð² ×°ÓÚ³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇ(6)¹âѧϵͳÈë¿Ú´¦£»ËùÊöµÄÂþ·´É䶨±ê°å(2)¹Ì¶¨ÔÚ¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù(1) µÄ϶ˣ¬ÔÚÂþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯»ú¹¹(3)Öеç»úÇý¶¯ÏÂÒÔ¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù(1)ÉϵĹ̶¨µãΪÖá ÐÄת¶¯£»ËùÊöµÄ·´Éä¾µ(4)¹Ì¶¨ÔÚ¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù(1)µÄÉ϶ˣ¬ÔÚ·´Éä¾µÇý¶¯»ú¹¹(5)Öеç»ú Çý¶¯ÏÂÒÔ¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù(1)ÉϵĹ̶¨µãΪÖáÐÄת¶¯£»ËùÊöµÄ¶¨±ê×°ÖÃÔڷǹ¤×÷״̬ʱ£¬Âþ ·´É䶨±ê°å(2)¡¢·´Éä¾µ(4)ÓÉÆäÇý¶¯»ú¹¹´ø¶¯Ó붨±ê×°ÖÃÖ§×ù(1)±ÕºÏ£¬¶Ô¹âÆ×ÒÇ·À³¾¡¢ ¸ôÈȱ£»¤£»ËùÊöµÄ¶¨±ê×°ÖÃÔÚ¹¤×÷ʱ£¬Âþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯»ú¹¹(3)½«Âþ·´É䶨±ê°å(2)ת ¶¯ÖÁˮƽ·½Ïò£¬Ì«Ñô¹âÈëÉäÖÁÂþ·´É䶨±ê°å(2)£¬¾·´Éä¾µ(4)·´Éä½øÈë³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇ(6)£¬¼´ ¿É¿ªÊ¼¶ÔÒÇÆ÷½øÐйâÆ×¼°·øÉ䶨±ê£»µ±ÐèÒª³ÉÏñ¹âÆ×Òǹ¤×÷ʱ£¬ÓÉÂþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯»ú¹¹ (3)´ø¶¯Âþ·´É䶨±ê°å(2)ת¶¯ÖÁÊúÖ±ÏòÏ·½Ïò£¬´ËʱÒÇÆ÷¿É¶ÔÄ¿±ê½øÐй۲⣬ÓÉ·´Éä¾µÇý ¶¯»ú¹¹(5)´ø¶¯·´Éä¾µ(4)ת¶¯Ä³Ò»½Ç¶È£¬¼´¿ÉʵÏÖ²»Í¬½Ç¶ÈµÄ³ÉÏñ¹Û²â¡£
È«ÎÄÕªÒª
±¾·¢Ã÷¹«¿ªÁËÒ»ÖÖ³ÉÏñ¹âÆ×ÒǶ¨±ê×°Ö㬰üÀ¨¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ù¡¢Âþ·´É䶨±ê°å¡¢Âþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯»ú¹¹¡¢·´Éä¾µºÍ·´Éä¾µÇý¶¯»ú¹¹¡£Âþ·´É䶨±ê°åÇý¶¯»ú¹¹´ø¶¯Âþ·´É䶨±ê°åת¶¯£¬µ±Âþ·´É䶨±ê°åת¶¯ÖÁˮƽ·½Ïòʱ£¬Ì«Ñô¹âÈëÉäµ½Âþ·´É䶨±ê°åÉÏ£¬¾·´Éä¾µ·´Éä½øÈë³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇÖ÷¹âѧϵͳ£¬ÊµÏÖ¹âÆ×¼°·øÉ䶨±ê¹¦ÄÜ¡£µ±Âþ·´É䶨±ê°åת¶¯µ½ÊúÖ±ÏòÏ·½Ïò£¬µØÎïÄ¿±ê¾¹ý·´Éä¾µ½øÈë³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇ£¬½øÈë³ÉÏñ״̬£¬´Ëʱ£¬·´Éä¾µÇý¶¯»ú¹¹¿É´ø¶¯·´É侵ת¶¯£¬ÊµÏÖ²»Í¬µÄ³ÉÏñ¹Û²ì½Ç¶È¡£µ±Âþ·´É䶨±ê°å¡¢·´Éä¾µ¼°¶¨±ê×°ÖÃÖ§×ùÈýÕß±ÕºÏʱ£¬³ÉÏñ¹âÆ×ÒÇ´¦ÓÚ·À³¾Óë¸ôÈÈ״̬¡£±¾·¢Ã÷¶¨±ê×°ÖõÄÌØµãÔÚÓڽṹ½ô´Õ£¬¾ßÓж¨±ê¡¢³ÉÏñ¡¢·À³¾Óë¸ôÈȶàÏÄÜ¡£
Îĵµ±àºÅG01J3/28GK102003995SQ201010284500
¹«¿ªÈÕ2011Äê4ÔÂ6ÈÕ ÉêÇëÈÕÆÚ2010Äê9ÔÂ17ÈÕ ÓÅÏÈȨÈÕ2010Äê9ÔÂ17ÈÕ
·¢Ã÷ÕߺÎ־ƽ, ÂÀ¸Õ, ÉòÔ¨æÃ, Íõ½¨Óî, ÊæáÉ, ¼Ö½¨¾ü ÉêÇëÈË:Öйú¿ÆÑ§ÔºÉϺ£¼¼ÊõÎïÀíÑо¿Ëù